CN111061132A - 三重托叉式的机械手臂结构及其角度监测模块 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种三重托叉式的机械手臂结构，其包括：支撑框架，内侧设有滑轨；升降模块，其具有升降座可上、下滑动的结合于滑轨；旋转模块，其具有旋转杆可水平旋转的设置于升降座上；以及手臂模块，其具有：手臂框架，其固设于旋转杆的顶端；第一牙叉臂；第二牙叉臂；及第三牙叉臂均为板状且彼此上下平行并列可伸缩滑动的结合于手臂框架。借由本发明的实施，可以至少达成改善膜厚不均匀的问题。

Description

三重托叉式的机械手臂结构及其角度监测模块

技术领域

本发明涉及一种三重托叉式的机械手臂结构及其角度监测模块，特别是涉及一种应用于半导体光阻涂布显影机中，对晶圆片进行搬移的三重托叉式的机械手臂及其手臂模块/吸附式牙叉臂/托夹式牙叉臂结构。

背景技术

如图1A至图1B所示，有关半导体的制造技术，在黄光制程中，光阻涂布机可说是第一站，因此涂布机的稳定及均匀性，可说是决定制程良莠的首站关卡。为了达到自动化生产，一般均借由涂布机加以大量生产及制造，而涂布机内设有双牙叉臂的机械手臂P100，其具有第一牙叉臂310及第二牙叉臂320，又每一牙叉臂设有晶圆片托盘。

涂布机内依照制程的顺序，大致设有卡匣模块(CST)，用以在常温下存放晶圆片900；对位模块(ALN)，用以在常温下使被搬运的晶圆片900设定正确的位置；涂布模块(COT/DEV)，一般在23℃的温度下对晶圆片900进行镀膜作业；加热模块(HPL)，一般在120℃的温度下对镀膜后的晶圆片900加热，以使镀膜固化成型；固化后的晶圆片900又会再次放回卡匣模块(CST)，以便后续的搬运。

如图2所示，而上述的制程中，所有晶圆片900的搬运，都必须借由机器手臂P100加以完成。目前习知的机器手臂P100，均使用双牙叉臂的机械手臂；又在作业的安排上，两只牙叉臂必须频繁进出涂布模块在23℃及加热模块在120℃，使得两只牙叉臂310,320随着进出的次数增加，不断的产生升温现象。累积在两支牙叉臂上的温度，也造成不同时期被搬运晶圆片900，产生不同的温度影响。

经过实际检测，习知制程使用双牙叉臂机械手臂时，针对卡匣模块共25片(slot)晶圆片的每一片晶圆片其五个量测点，中央(Center)、底侧(Bottom)、右侧(Right)、左侧(Left)、及顶侧(Top)进行膜厚量测，发现当制作到第8片(slot)晶圆片时，在上述各量测点的膜厚(Thickness)，开始产生了严重的膜厚不一致性，这对后续组件的制做，在良率上也将造成严重的影响。

造成上述膜厚不一致所产生的均匀性(Uniformity)问题，其主要的原因是因为习知使用两支牙叉臂310,320进行全流程的搬运，牙叉臂310,320被加工后的热晶圆片持续加热后，造成后续待镀膜晶圆片，在搬运过程中就开始被具有余热的牙叉臂所加热，导致进涂布模块(COT/DEV)的晶圆片，其表面温度已经被热的牙叉臂310,320所影响，以致涂布模块生产的晶圆片膜厚均匀度(U％)也受到严重的影响。因此如何有效克服膜厚不一致的问题，已经成为半导体制程中一项重要的课题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种三重托叉式的机械手臂结构及其角度监测模块，其主要是解决机械手臂设计及使用上造成晶圆片生产时，膜厚不均匀、水平旋转位置不精准、晶圆片夹持不当及机械手臂维修不易…等问题。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本发明提出的一种三重托叉式的机械手臂结构，其包括：支撑框架，其内侧设有滑轨；升降模块，其具有升降座，又借由升降驱动单元的驱动，使升降座可上、下滑动的结合于滑轨；旋转模块，其具有旋转杆，又借由水平旋转驱动单元的驱动，使旋转杆可水平旋转的设置于升降座上；以及手臂模块，其具有：手臂框架，其固设于旋转杆的顶端；第一牙叉臂，其借由第一驱动单元，伸缩滑动的结合于手臂框架；第二牙叉臂，其借由第二驱动单元，伸缩滑动的结合于手臂框架；第三牙叉臂，其借由第三驱动单元，伸缩滑动的结合于手臂框架；其中第一牙叉臂、第二牙叉臂、及第三牙叉臂均为板状且彼此上下平行并列的结构。

本发明的目的及解决其技术问题可以采用以下的技术措施来进一步实现。

前述的机械手臂结构，其中该升降驱动单元，其是由伺服马达驱动升降螺杆，又该升降螺杆带动该升降座。

前述的机械手臂结构，其中该水平旋转驱动单元，其是为伺服马达驱动皮带带动该旋转杆旋转。

前述的机械手臂结构，其中该旋转杆设有角度监测模块，其具有：旋转位置件，其是固设于该旋转杆一侧；以及多数个位置感测件，其是设置于该旋转杆的旋转半径上，当任一该位置感测件与该旋转位置件产生重迭时，产生一位置信号。

前述的机械手臂结构，其中该位置感测件包括归位感测件、正角度位置感测件、及负角度位置感测件。

前述的机械手臂结构，其中该第一牙叉臂、该第二牙叉臂、或该第三牙叉臂，进一步具有冷却流道及/或喷气单元。

前述的机械手臂结构，其中该手臂框架的内部设有三组平行滑轨，又该第一牙叉臂、该第二牙叉臂、及该第三牙叉臂是分别借由伺服马达驱动皮带带动并在该平行滑轨内进行伸缩移动。

前述的机械手臂结构，其中该第一牙叉臂、该第二牙叉臂、或该第三牙叉臂为吸附式牙叉臂，其具有托夹部，该托夹部为双叉子状平板，又该托夹部设有多数个相对称的支撑件及多数个相对称的真空吸附件。

前述的机械手臂结构，其中该真空吸附件具有吸气孔，又该真空吸附件的顶面设有环状吸气槽，又该环状吸气槽是与该吸气孔借由至少一个连通气槽相互连通。

前述的机械手臂结构，其中该第一牙叉臂、该第二牙叉臂、或该第三牙叉臂为托夹式牙叉臂，其具有托夹部，该托夹部具有：档块托盘，其为一双叉子状平板，又于每一叉子端部设有档块；以及伸缩夹，其为一双叉子结构且设置于该托盘上方，并位于该档块相对的另一侧。

前述的机械手臂结构，其中该伸缩夹是借由汽压缸的带动及到位磁簧的侦测，以进行夹放移动。

前述的机械手臂结构，其中进一步设有维修模块，该维修模块其具有底盘及顶盘，该底盘及该顶盘是借由一组滑轨相互滑动连接，又该支撑框架是固设于该顶盘上。

前述的机械手臂结构，其中该维修模块进一步具有防滑卡块，又该防滑卡块，其借由顶升气缸的升降，而控制该顶盘的释放或锁固。

前述的机械手臂结构，其中具有控制单元，以控制升降模块、旋转模块、手臂模块、及维修模块完成自动化生产作业。

本发明的目的及解决其技术问题还是采用以下的技术方案来实现的

一种角度监测模块，其具有：旋转位置件，其是固设于旋转杆一侧；以及多数个位置感测件，其是设置于该旋转杆的旋转半径上，当任一个位置感测件与该旋转位置件产生重迭时，产生位置信号。

本发明的目的及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实现。

前述的角度监测模块，其中该位置感测件包括归位感测件、正角度位置感测件、及负角度位置感测件。

借由本发明的实施，至少可以达成下列的进步功效：

一、可以有效的改善膜厚不均匀的问题。

二、可以精准监控旋转杆及机械手臂的水平旋转位置。

三、可以稳固有效的夹持晶圆片并进行搬移。

四、可以更方便的使机械手臂平移，以方便维修。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例,并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1A为习知的一种双牙叉臂的机械手臂的侧视图；

图1B为习知双牙叉臂应用于涂布机的制程循序图；

图2为习知以双牙叉臂搬运晶圆片产生不同膜厚及均匀性的检测图；

图3为本发明的一种三重托叉式的机械手臂实施例图；

图4为本发明的一种升降模块实施例图；

图5A为本发明的一种角度监测模块实施例图；

图5B为本发明的一种旋转模块角度监测模块实施例图；

图6为本发明的一种手臂模块的分解实施例图；

图7A为本发明的一种吸附式牙叉臂的施例图；

图7B为本发明的一种托夹式牙叉臂的施例图；

图8A为本发明的一种具有冷却流道及气道的吸附式牙叉臂施例图；

图8B为本发明的一种具有冷却流道及气道的托夹式牙叉臂的实施例图；

图9为习知与本发明机械手臂应用于涂布机制程的循序对照施例图；

图10为习知与本发明机械手臂的膜厚及均匀性检测对照图；

图11为使用习知与本发明机械手臂的涂布机制程效能对照图；

图12A为本发明的一种维修模块立体实施例图；

图12B为本发明的一种维修模块分解实施例图；

图12C为本发明的一种维修模块锁固状态实施例图；以及

图13为本发明的一种电路架构实施例图。

符号说明

P100:习知双牙叉臂的机械手臂 100:三重托叉式的机械手臂结构

10:支撑框架 110:滑轨

20:升降模块 210:升降座

211:升降驱动单元 212:升降螺杆

25:旋转模块 220:旋转杆

221:水平旋转驱动单元 230:角度监测模块

231:旋转位置件 232:位置感测件

233:归位感测件 234:正角度位置感测件

235:负角度位置感测件 30:手臂模块

301:手臂框架 302:平行滑轨

310:第一牙叉臂 311:第一驱动单元

320:第二牙叉臂 321:第二驱动单

330:第三牙叉臂 331:第三驱动单元

340:散热模块 341:多数个开孔

350:晶圆片感测单元 360:吸附式牙叉臂

361:托盘 362:支撑件

363:真空吸附件 364:吸气孔

365:环状吸气槽 366:连通气槽

370:托夹式牙叉臂 371:托夹部

372:档块托盘 373:伸缩夹

374:档块 375:夹持块

376:汽压缸 380:冷却流道

390:喷气单元 391:气体流道

392:喷气口 40:控制单元

50:维修模块 510:底盘

520:顶盘 530:平移滑轨

540:防滑卡块 550:手动阀

560:顶升气缸 900:晶圆片

CST:卡匣模块 ALN:对位模块

COT/DEV:涂布模块 HPL:加热模块

M:伺服马达 B:皮带

HOME:初始位置

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的三重托叉式之的机械手臂结构及其角度监测模块，其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

如图3所示，本发明提供一种三重托叉式的机械手臂结构100，其包括：支撑框架10；升降旋转模块20；以及手臂模块30。

手臂模块30，其又具有：手臂框架301；第一牙叉臂310；第二牙叉臂320；以及第三牙叉臂330。其中第三牙叉臂330负责对位模块(ALN)与涂布模块(COT/DEV)间的晶圆片900搬运，借此以渐少牙叉臂310,320,330上的余热，造成制程上晶圆片900膜厚均匀性不佳的问题。

如图3所示，支撑框架10，其主要是作为整个机械手臂的支撑结构，支撑框架10的内侧设有滑轨110，用以引导升降模块20进行上、下移动。

如图4所示，升降模块20，其具有升降座210，又升降座210借由升降驱动单元211的驱动，例如是伺服马达M借由皮带B驱动升降螺杆212，然后使升降座210可上、下滑动的结合于滑轨110。当升降驱动单元211，其使升降座210完成上、下滑动时，整个机械手臂100也同时完成上、下移动的动作。

如图5B所示，旋转模块25，其具有旋转杆220，其可水平旋转的设置于升降座210上；旋转杆220其借由水平旋转驱动单元221的驱动，例如是伺服马达M驱动皮带B然后又带动旋转杆220旋转，进而使整个机械手臂100完成水平旋转动作。

如图5A所示，为了有效的完成镀膜机的调校及控制，因此有必要掌握或控制机械手臂100其旋转位置状态；因此、旋转杆220可进一步设有角度监测模块230，角度监测模块230其具有：旋转位置件231；以及多数个位置感测件232。

旋转位置件231，其是固设于旋转杆220一侧，旋转位置件231将随着旋转杆220进行同步旋转；此外、旋转位置件231又配合设置于旋转杆220旋转半径上的多数个位置感测件232，当任一位置感测件232与旋转位置件231产生重迭或信号耦合时，即可以借由例如磁感应或光电信号的检测，而产生一位置信号。

上述的位置感测件232，可以包括一机械手臂回到初始位置，用以侦测归位信号(HOME)的归位感测件233，或正角度位置的正角度位置感测件234，或者负角度位置的负角度位置感测件235；借由上述位置信号，即可达到有效操作机械手臂100，及使机械手臂100操作在安全范围的目的。

如图6所示，手臂模块30，其具有：手臂框架301；第一牙叉臂310；第二牙叉臂320；以及第三牙叉臂330。借由手臂框架301，可以有效的使第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、以及第三牙叉臂330获得稳固的结构支撑，同时也能稳定的运作。

手臂框架301，其固设于旋转杆220的顶端，因此手臂框架301会随着旋转杆220进行同步旋转；手臂框架301其内部设有三组平行滑轨302，分别用以与第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、及第三牙叉臂330结合。又第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、及第三牙叉臂330，其均为板状且彼此上、下平行并列的结构。

第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、及第三牙叉臂330是分别以第一驱动单元311、第二驱动单321元、及第三驱动单元331，例如是伺服马达M驱动皮带B，然后又分别带动第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、及第三牙叉臂330，于所述平行滑轨302内保持水平又可伸缩的滑动。

为了让第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、及第三牙叉臂330，有更好的散热效果，因次在第二牙叉臂320的托盘与第三牙叉臂330的托盘间，可进一步设置散热模块340，又散热模块340可以是平板，又平板具有多数个开孔341；借此、散热模块340不但能阻隔牙叉臂间的热传导或热辐射，也可以使涂布机台内部的下降气流，能快速的穿过散热模块340进行降温。

当手臂模块30于晶圆卡匣中取片时，为了精准的掌握每一卡匣内是否仍有晶圆片900的存在，因此在手臂模块30的取片侧，可以设有晶圆片感测单元350，其可以借由例如红外线或激光的光学感测，辨识出卡匣内是否有待制作的晶圆片900。

如图7A所示，吸附式牙叉臂360，为了稳固的夹持晶圆片900，第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、或第三牙叉臂330其可以为吸附式牙叉臂360。

吸附式牙叉臂360是于第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、或第三牙叉臂330的端部形成具有托盘361，又托盘361可以为双叉子状平板。此外，托盘361可以设有多数个相对称的支撑件362及多数个相对称的真空吸附件363，以有效吸附晶圆片900。

真空吸附件363具有吸气孔364，将吸气孔364借由管线进行抽气，如此可以有效的吸附住晶圆片900。又真空吸附件363的顶面，可设有环状吸气槽365，又环状吸气槽365与吸气孔364是借由至少一个连通气槽366相互连通。如此可以增加晶圆片900的吸附面积。

图7B所示，托夹式牙叉臂370，除了上述的吸附式牙叉臂360外，第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、或第三牙叉臂330亦可以为托夹式牙叉臂370。

托夹式牙叉臂370，其同样于第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、或第三牙叉臂330的端部，形成具有托夹部371，又托夹部371具有：档块托盘372；以及伸缩夹373。

档块托盘372，其可以为一双叉子状平板，用以托住晶圆片900，又于每一叉子端部设有档块374，以防止晶圆片900滑脱；此外托夹部371又具有伸缩夹373，其亦为一双叉子结构，在每一端部设有夹持块375。伸缩夹373设置于档块托盘372上方，并位于档块374相对的另一侧。

伸缩夹373是借由汽压缸376的带动，进行夹放移动，也就是说，当晶圆片900置放于档块托盘372上时，吸附式牙叉臂360借由档块托盘372托住晶圆片900，又借由档块374、夹持块375在汽压缸376带动、及到位磁簧377的侦测下进行夹放移动；夹持后即可进行晶圆片900的搬移动作，又当晶圆片900移动到定位时，伸缩夹373进行释放动作，然后置放晶圆片900。

如图8A及图8B所示，上述的第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、或第三牙叉臂330也就是吸附式牙叉臂360或托夹式牙叉臂370，均可分别再进一步具有冷却流道380及/或喷气单元390；冷却流道380是借由冷却液体在第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、或第三牙叉臂330内流动，将第一牙叉臂310、第二牙叉臂320、或第三牙叉臂330上所累积的余热去除；而喷气单元390是借由气体流道391传输冷却空气，并借由喷气口392向晶圆片900吹送，借此加速晶圆片900的冷却。

如图9所示，设计成三只牙叉臂310,320,330，其主要是在镀膜机的应用上，借由控制单元40将第一牙叉臂310及第二牙叉臂320，应用于卡匣模块(CST)至对位模块(ALN)间、涂布模块(COT/DEV)与加热模块(HPL)间、或者进一步应用于冷却模块(CST)制程前后的晶圆片900搬运。

又借由控制单元40将第二牙叉臂320，应用于对位模块(ALN)与涂布模块(COT/DEV)间的晶圆片900搬运，如此可以避免牙叉臂310,320残余温度，使晶圆片900于镀膜前产生不均匀加热，进而克服晶圆片900制程上膜厚不均匀的问题。

如图10所示，以与习知相同的5个量测点，针对25片晶圆片900进行习知双叉臂(Two Handling Forks)与本实施例三叉臂(Triple Handling Forks)的对照测试，可以清楚的得知，习知膜厚均匀(Uniformity)度是大于3％，而本实施例的膜厚均匀度是小于或等于0.7％。

此外、在习知双叉臂(Two Handling Forks)的检测，可以得知在底侧(Bottom)、左侧(Left)、及顶侧(Top)三个量测点的膜厚，从第8片晶圆片900开始产生膜厚变厚的问题；而本实施例三叉臂(Triple Handling Forks)的检测结果显示，膜厚不均匀的现象已经被有效的被克服了。

图11所示，由产能试验得知，当增加使用冷却模块(CPL)制程时，即使增加了第三牙叉臂(X3)，每小时机台产出芯片数(WPH)依然维持在145片；假若在不使用冷却模块(CPL)制程时，每小时机台产出芯片数(WPH)也是维持在180片。

在上述在产能相同的情况下，再次就膜厚均匀度(U％)进行比较实则发现，测试代码(Test ID)为U％-X1X2X3+CPL及U％-X1X2X3，是本实施例三牙叉臂(Triple HandlingForks)的部分，其膜厚均匀度(U％)显然比测试代码(Test ID)为U％-X1X2及U％-X1X2+CPL使用习知双牙叉臂(Two Handling Forks)的部分，有更佳的表现。

如图12A至图12C所示，维修模块50，其为滑动托盘，维修模块50，其具有底盘510及顶盘520，底盘510及顶盘520是借由一组平移滑轨530相互滑动连接。

维修模块50的设计，主要是为了方便对整个三重托叉式的机械手臂100进行维修。应用时，借由支撑框架10固设于顶盘520上；当维修时，三重托叉式的机械手臂100可以借由维修模块50的平移，将机械手臂100从涂布机的中央位置移至侧边位置，以方便维修。

为了确保维修模块50在应用时的稳固及安全，当维修模块50在涂布机中央位置处于镀膜作业状态时，此时可操作手动阀550，使顶升气缸560让防滑卡块540与顶盘520相干涉，因此顶盘520被锁固不动；当维修模块50欲进行维修时，可操作手动阀550，使顶升气缸560让防滑卡块540与顶盘520相脱离，因此顶盘520被释放可以平移，并使三重托叉式的机械手臂100进行位置移动。

如图13所示，控制单元40，为了使上述的操作流程可以自动化的完成，因此本实施例的升降模块20、旋转模块25、手臂模块30、及维修模块50可借由可程序化的控制单元40，进一步完成相关自动化生产作业。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (16)

1.一种三重托叉式的机械手臂结构，其特征在于包括：

支撑框架，其内侧设有滑轨；

升降模块，其具有升降座，又借由升降驱动单元的驱动，使该升降座可上、下滑动的结合于该滑轨；

旋转模块，其具有旋转杆，又借由水平旋转驱动单元的驱动，使该旋转杆可水平旋转的设置于该升降座上；以及

手臂模块，其具有：

手臂框架，其固设于该旋转杆的顶端；

第一牙叉臂，其借由第一驱动单元，伸缩滑动的结合于该手臂框架；

第二牙叉臂，其借由第二驱动单元，伸缩滑动的结合于该手臂框架；

第三牙叉臂，其借由第三驱动单元，伸缩滑动的结合于该手臂框架；

其中该第一牙叉臂、该第二牙叉臂、及该第三牙叉臂均为彼此上下平行并列的结构。

2.根据权利要求1所述的机械手臂结构，其特征在于该升降驱动单元，其是由伺服马达驱动升降螺杆，又该升降螺杆带动该升降座。

3.根据权利要求1所述的机械手臂结构，其特征在于该水平旋转驱动单元，其是为伺服马达驱动皮带带动该旋转杆旋转。

4.根据权利要求1所述的机械手臂结构，其特征在于该旋转杆上设有角度监测模块，其具有：

旋转位置件，其是固设于该旋转杆一侧；以及

多数个位置感测件，其是设置于该旋转杆的旋转半径上，当任一该位置感测件与该旋转位置件产生重迭时，产生一位置信号。

5.如权利要求4所述的机械手臂结构，其特征在于该位置感测件包括归位感测件、正角度位置感测件、及负角度位置感测件。

6.如权利要求1所述的机械手臂结构，其特征在于该第一牙叉臂、该第二牙叉臂、或该第三牙叉臂，进一步具有冷却流道及/或喷气单元。

7.如权利要求1所述的机械手臂结构，其特征在于该手臂框架的内部设有三组平行滑轨，又该第一牙叉臂、该第二牙叉臂、及该第三牙叉臂是分别借由伺服马达驱动皮带带动并在该平行滑轨内进行伸缩移动。

8.如权利要求1所述的机械手臂结构，其特征在于该第一牙叉臂、该第二牙叉臂、或该第三牙叉臂为吸附式牙叉臂，其具有托夹部，该托夹部为双叉子状平板，又该托夹部设有多数个相对称的支撑件及多数个相对称的真空吸附件。

9.如权利要求8所述的机械手臂结构，其特征在于该真空吸附件具有吸气孔，又该真空吸附件的顶面设有环状吸气槽，又该环状吸气槽是与该吸气孔借由至少一个连通气槽相互连通。

10.如权利要求1所述的机械手臂结构，其特征在于该第一牙叉臂、该第二牙叉臂、或该第三牙叉臂为托夹式牙叉臂，其具有托夹部，该托夹部具有：

档块托盘，其为一双叉子状平板，又于每一叉子端部设有档块；以及

伸缩夹，其为一双叉子结构且设置于该托盘上方，并位于该档块相对的另一侧。

11.如权利要求10所述的机械手臂结构，其特征在于该伸缩夹是借由汽压缸的带动及到位磁簧的侦测，以进行夹放移动。

12.如权利要求1所述的机械手臂结构，其特征在于进一步设有维修模块，该维修模块其具有底盘及顶盘，该底盘及该顶盘是借由一组滑轨相互滑动连接，又该支撑框架是固设于该顶盘上。

13.如权利要求12所述的机械手臂结构，其特征在于该维修模块进一步具有防滑卡块，又该防滑卡块，其借由顶升气缸的升降，而控制该顶盘的释放或锁固。

14.如权利要求1至13其中任意一项所述的机械手臂结构，其特征在于具有控制单元，以控制升降模块、旋转模块、手臂模块、及维修模块完成自动化生产作业。

15.一种角度监测模块，其特征在于具有：

旋转位置件，其是固设于旋转杆一侧；以及

多数个位置感测件，其是设置于该旋转杆的旋转半径上，当任一个位置感测件与该旋转位置件产生重迭时，产生位置信号。

16.如权利要求15所述的角度监测模块，其特征在于该位置感测件包括归位感测件、正角度位置感测件、及负角度位置感测件。

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