KR100343033B1 - 진공아크 증발원 및 진공아크 증착장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 아크방전의 음극으로 되는 일정 두께를 가진 판형상의 증발물질과, 자장발생원을 구비하고 있으며,여기서 자장발생원은 그것의 축방향과 상기 증발물질의 축방향이 일치되도록 상기 증발물질을 둘러싸고, 또한, 상기 자장발생원에서 발생되어 상기 증발물질을 통과하는 자력선의 전부가 상기 증발물질의 증발면의 법선에 대하여 ±30도 범위 이내의 각을 이루어 상기 증발물질의 증발면과 교차되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 1 항에 있어서, 상기 자력선은 상기 증발물질의 증발면의 법선에 대하여 ±10도 이내의 각을 이루어 상기 증발면과 교차되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 1 항에 있어서, 상기 증발면이 상기 자장발생원의 N, S 양극의 중간에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 1 항에 있어서, 상기 자장발생원은 그 축방향 양단에 자극을 갖는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 4 항에 있어서, 상기 자장발생원은, 상기 증발물질을 둘러싸는 직경내측 자장발생원과, 당해 직경내측 자장발생원과 동일축형상 또한 동일극이 동일방향을 향하도록 상기 직경내측 자장발생원을 둘러싸는 직경외측 자장발생원으로 구성되어있는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 1 항에 있어서, 상기 자장발생원은 내주측과 외주측에 자극을 갖는 제 1 자장발생원과 제 2 자장발생원으로 이루어지며,여기서, 상기 제 1 자장발생원과 상기 제 2 자장발생원은 축방향으로 나란히 위치되어 있고, 또한 상기 제 1 자장발생원과 상기 제 2 자장발생원의 내주측의 자극은 상이한 자극인 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 1 항에 있어서, 상기 증발물질의 외주를 둘러싸는 자성체를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 7 항에 있어서, 상기 증발물질과 상기 자성체 사이에 양자를 전기적으로 절연시키는 절연부를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 1 항에 있어서, 자력선의 방향변경수단을 더 구비하고 있으며, 여기서 방향변경수단은 상기 증발물질의 중앙부 배면측에 구비되며, 상기 증발물질의 중앙부 부근에서 교차하는 자력선의 방향을, 증발면에 세운 법선에 대하여, 둘레 가장자리측에 외부방향으로 경사지는 방향으로 변경하는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 4 항에 있어서, 상기 증발물질의 외주를 둘러싸는 자성체와 자력선의 방향변경수단을 더 구비하고 있으며, 여기서, 방향변경수단은 상기 증발물질의 중앙부 배면측에 구비된 자석이고, 축방향 양끝에 자극을 가지며, 그 자극은 상기 자장발생원과 반대방향인 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 1 항에 있어서, 상기 자장발생원은 영구자석인 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 아크방전의 음극으로 되는 증발물질과 자장발생원을 구비하고 있으며, 여기서 자장발생원은 상기 증발물질을 둘러싸도록 하며, 또한 자성발생원의 N, S 양극의 중간의 위치가 상기 증발물질의 증발면으로 되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 12 항에 있어서, 상기 증발물질의 외주를 둘러싸는 자성체를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 12 항에 있어서, 자력선의 방향변경수단을 더 구비하고 있으며, 여기서 방향변경수단은 상기 증발물질의 중앙부 배면측에 구비되어 있고, 상기 증발물질의 중앙부 부근에서 교차하는 자력선의 방향을, 증발면에 세운 법선에 대하여, 둘레 가장자리측으로 외측방향으로 경사하는 방향으로 변경하는 것을 특징으로 하는 진공아크 증발원.
- 제 1 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 기재된 증발원을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 아크증착장치.
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