JP4647476B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
この蒸着装置101は真空槽102を有しており、真空槽102の底壁には蒸着源103が取り付けられている。
蒸着源130は円筒状のアノード電極131と、アノード電極131内部に配置された放電部135とを有している。放電部135は、蒸着材料134と、トリガ電極132とを有しており、トリガ電極132と蒸着材料134はそれぞれ電源装置141に接続されている。
また、蒸着源130から放出される粒子の飛行速度は10000m/秒以下(文献:J、Vac.Sec.Jpn(真空)Vol.47、No.9、2004 pl3)と早いため非常に平坦な膜が形成される(Ulvac techinical Journal No.49 1998 p9)。
「Journal of the Vacuum Society of Japan」2004年、第47巻 9号、p.l3) 「Ulvac techinical Journal」、(株)アルバック・コーポレートセンター、1998年、 No.49、p.9)
請求項2記載の発明は、請求項1記載の成膜装置であって、前記蒸着源は、筒状のアノード電極と、前記アノード電極の内部に配置された放電部とを有し、前記放電部は蒸着材料とトリガ電極とを有し、前記トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電を発生させると、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電が誘起され、前記アーク放電によって前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク電流が流れ、前記蒸着材料から前記荷電粒子が放出され、前記荷電粒子は前記アーク電流が形成する磁界によってその飛行方向が曲げられ、前記アノード電極の開口から前記真空槽内部に放出されるよう構成された成膜装置である。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の成膜装置であって、前記アノード電極は、その中心軸線が前記磁力線と直交するよう配置された成膜装置である。
このとき、ドロップレットは磁力線の影響を受けずに直進するので、基板を直進するドロップレットが到達しない位置であって、飛行方向が曲げられた荷電粒子が到達する場所に配置すれば、基板表面にドロップレットの混入が無い薄膜を形成することができる。
真空槽2の天井には軸状の回転力伝達手段20が気密に挿通されており、回転力伝達手段20は外軸23と、外軸23に挿通された内軸22とを有している。
基板ホルダ7には、その円盤の放射方向の中央位置から所定距離離間した場所に複数の取り付け部8がそれぞれ設けられており、各取り付け部8は成膜対象物である基板11を略水平に保持するよう構成されている。図1は各取り付け部8に基板11がそれぞれ保持された状態を示している。
磁界形成手段50は第一、第二の磁石部材51、52を有している。第一、第二の磁石部材51、52は板状であって、片面を真空槽2の側壁に向けて鉛直に立設されている。
上述したように電子雲が形成された状態では、開口36から放出された微小荷電粒子45には、電子雲から静電引力が加えられる。その静電引力の方向は基板ホルダ7が位置する方向である。
放電部35は棒状であって、先端を開口36に向けた状態でアノード電極31の内部に配置されている。放電部35は蒸着材料34とトリガ電極32とを有しており、蒸着材料34は放電部35の先端に配置され、トリガ電極32は蒸着材料34よりもアノード電極31底壁側に配置されている。
トリガ電源42はトリガ電極32と蒸着材料34の間に電圧を印加するよう構成されている。
蒸着材料34にアーク電流が流れると、蒸着材料34から上述した微小荷電粒子45と電子が放出される。
荷電粒子はアノード電極31の中心軸線を中心とする範囲に発生するから、開口36から放出される微小荷電粒子45と電子の束は、その中心がアノード電極31の中心軸線と一致する。
Claims (3)
- 真空槽と、蒸着材料の荷電粒子を前記真空槽内に放出する蒸着源とを有し、
前記真空槽内に配置された基板ホルダに基板を配置し、前記基板に前記荷電粒子を到達させ、前記基板表面に薄膜が形成されるように構成された成膜装置であって、
前記成膜装置は、放出された前記荷電粒子の放出方向とは垂直な一方向に磁力線を形成する磁界形成手段を有し、
前記磁力線は、前記蒸着源から放出された電子が、前記基板ホルダ方向に曲げられるローレンツ力を及ぼす方向に形成され、
前記基板方向に曲げられた前記電子が形成する電子雲が正の荷電粒子に及ぼす静電引力と前記磁力線が前記正の荷電粒子に及ぼすローレンツ力との差で、前記正の荷電粒子を前記基板ホルダ方向に曲げ、
前記基板の表面に前記蒸着材料の荷電粒子が到達するように構成された成膜装置。 - 前記蒸着源は、筒状のアノード電極と、前記アノード電極の内部に配置された放電部とを有し、
前記放電部は蒸着材料とトリガ電極とを有し、
前記トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電を発生させると、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電が誘起され、前記アーク放電によって前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク電流が流れ、前記蒸着材料から前記荷電粒子が放出され、前記荷電粒子は前記アーク電流が形成する磁界によってその飛行方向が曲げられ、前記アノード電極の開口から前記真空槽内部に放出されるよう構成された請求項1記載の成膜装置。 - 前記アノード電極は、その中心軸線が前記磁力線と直交するよう配置された請求項2記載の成膜装置。
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