KR100223694B1 - 전해수 제조장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

전해수 제조장치

제1도는 본 발명에 따른 전해수 제조장치의 개략적인 구조를 나타낸 도면이고,

제2도는 종래의 2조식 전해수 제조장치의 개략적인 구조를 나타낸 도면이고,

제3도는 종래의 3조식 전해수 제조장치의 개략적인 구조를 나타낸 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

101,201 : 전기 분해 장치 2,3,102,202,203 : 격막

4,104,204 : 양극 6,106,206 : 양극실

5,105,205 : 음극 7,207 : 중간실

8,108,208 : 음극실 9,10,11 : 공급배관

12,13 : 전해질 첨가 장치 14,15,16,22,23 : 배출배관

18,19,118,119,218,219 : 전원전선 20,21 : 여과용 필터

109,29 : 물공급관 114, 116, 214, 215, 216 : 배출관

본 발명은 전해수 제조장치에 관한 것으로, 구체적으로 살균, 금속 표면의 산화방지, 고체표면에 부착된 각종 오염물질의 세척 제거등에 적합한 전해수를 제조하는 전해수 제조장치에 관한 것이다.

본 발명에서 사용되는 물 또는 수용액에 직류 전류를 통전 하여 전기분해를 실시하는 전기분해장치에서는 양전압을 인가하는 전극을 양극, 음전압을 인가하는 전극을 음극이라 부르고 전기분해를 실시할 때 양극 부근에서 얻어진 물을 양극수, 음극 부근에서 얻어진 물을 음극수라고 부른다.

따라서, 양극에는 플러스(+)전하가 부여되는 한편, 음극에는 마이너스(-)전하가 부여되도록 인가가 행해지게 되어 양극은 양극수로부터 전자를 뺏을 수 있도록 작용하고 음극은 음극수에서 전자를 주도록 작용하게 된다. 또한, 전기 분해를 실시할 때 전해조에서 얻어지는 물 또는 수용액을 총칭하여 전해수라고 부른다. 또한, 본 발명에서 전기 분해라고 하는 것은 단지 물 또는 수용액으로 직류 전압을 인가하는 것을 의미하는 것으로, 반드시 그 결과로서 직류 전류가 통전되며, 물이 산소 및 수소로 분해되는 등의 전기 분해 반응이 일어나는 경우만을 의미하는 것은 아니다. 또한 전해조 내에 있어서 양극과 음극이 셀룰로오즈와 합성고분자재료(폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에스테르, 폴리스티렌, 불소수지 등) 와 세라믹스 등의 무기재료 등에 의해 이루어진 격막에 의해서 구분되어 있는 경우, 격막에 의해서 구분된 전해조 부분의 내부, 양극을 배합하는 부분을 양극실이라 부르고 음극을 배합하는 부분을 음극실이라 부른다.

일반적으로, 양극수는 산화성을 갖기 때문에 높은 산화환원전위를 나타내고, 음극수는 환원성을 갖기 때문에 낮은 산화환원전위를 나타낸다. 상기 산화성 또는 환원성에 첨가하여 전해조로 공급되는 원수가 전해질을 함유하고 있는 경우에는, 일반적으로 양극수는 산성 PH를 나타내고 음극수는 알칼리성 PH를 나타낸다. 양극수가 산화성을 나타내는 것은 양극 표면에서 발생하는 산소, 오존 및 그 밖의 음극 부근에 존재하는 물질이 음극 표면에서 산화되어 생성하는 산화성 생성물 때문이며, 또한 음극수가 환원성을 나타내는 것은 음극 표면에서 발생하는 수소 및 그밖의 다른 음극 부근에 존재한 물질이 음극 표면에서 환원되어 생성하는 환원성 생성물때문이다. 또한 양극수가 산성 PH를 나타내는 것은 양극의 양전하에 음이온이 접근함과 동시에 양이온이 배제되며, 양극 부근에서 수소이온농도의 상승을 초래하기 때문이고 음극수가 알칼리성 PH를 나타내는 것은 음극의 음전하에 양이온이 접근함과 동시에 음이온이 배제되며 음극 부근에서 수산화물 이온농도의 상승을 초래하기 때문이다.

상기 물 또는 수용액을 전기분해했을 때 얻어지는 양극수는 산화성을 갖기 때문에 강력한 살균작용을 나타내며, 병원, 치과의원, 식당, 식품가공공장 등에서 살균력을 갖는 물로서 넓게 이용되고 있다. 또한 음극수는 환원성을 갖고 있기 때문에 금속부품제조공정 등에서 금속표면 등을 대기중의 산소 등에 의한 산화로부터 보호하는 작용이 있는 것이 알려지고 있다. 또한 상기 전해수는 고체표면에 부착된 각종 오염물질의 세정에도 유효하게 이용할 수 있다고 알려져 있다.

고체 표면에 부착된 각종 오염물질, 예를들면 금속, 미립자, 기름 등의 오염물질은 이들을 세정 제거하려고 하는 경우, 세정액의 산화환원전위와 pH를 세정목적에 맞게 적절하게 조정하여 효율좋게 제거할 수 있다. 예를들면 산성이고 또한 산화성인 세정액을 사용하면 고체표면에 부착된 금속불순물을 이온화하여 용해제거하는 것이 가능하고, 또한 기름 등 유기계 오염물질은 산화성 세정액으로 산화분해 제거할 수 있다.

미립자는 일반적으로, 고체표면과 반대 부호로 대전함으로써 고체표면에 정전기적으로 부착해 있는 경우가 많지만, 알칼리성으로 또한 환원성인 세정액을 이용함으로써, 많은 경우에 있어서 미립자와 고체표면의 정전기적 인력을 완화하여 미립자를 세정액에 현탁 부유시켜 제거할 수 있다.

상술한 바와 같은 효과를 가지는 전해수를 제조하는 장치로서, 종래에는 제 2 도에 도시한 바와 같이 2조식 전기분해장치를 갖는 전해수 제조장치 또는 제 3 도에 도시한 바와 같은 3조식 전기분해장치를 갖는 전해수 제조장치가 사용되어지고 있었다.

상기 제 2 도의 2조식 전기분해장치(101)는 격막(l02)에 의해 좌우로 나뉘어진 한쪽이 양극(104)에 배치되어 있는 양극실(106), 다른쪽이 음극(105)에 배치되어 있는 음극실(108)을 이루고 이들 각 실에 원수공급관(109)으로부터 원수가 공급된다. 그리고 전해된 각 실의 처리수는 배출관(114, 116)으로부터 배수된다. 또한 도면부호 118, 119 는 양극 (104), 음극(105)에 직류전압을 인가하기 위한 전원 전선이다.

또한, 제 3 도의 3조식 전기분해장치(201)는 중간실(207)의 좌우에 한쌍의 격막(202, 203)에 의해 나뉘어진 양극(204)에 배치되어 있는 양극실(206) 및 음극(205)에 배치되어 있는 음극실(208)을 가지며, 이들 각 실에 원수공급관(209)으로부터 순수 등의 원수가 공급된다. 그리고 전해된 각 실의 처리수는 배출관(214, 215, 216)으로부터 배수된다. 또한 도면부호 218, 219 는 양극(204), 음극(205)에 직류전압을 인가하기 위한 전원전선이다.

그러나, 상기한 바와같이 살균, 금속표면의 산화방지, 고체 표면의 각종 오염물질의 세정제거 등에 유효한 전해수를 제조하기 위한 목적으로 상기 제 2 도, 제 3 도에 나타낸 종래의 전해수 제조장치를 사용하는 경우, 이하에 도시하는 바와 같은 문제가 있었다.

즉, 전자의 2조식 전해수 제조장치는 양극실(106)과 음극실(108)이 예를들면 다공성 고분자막 등의 격막(102)에 의해서 구분되어 있을 뿐이기 때문에, 양극 표면에서 생성된 산화성 물질과 음극 표면에서 생성된 환원성 물실의 일부가 격막을 투과하여 반대측의 전극실로 확산되는 것을 피할 수 없고, 이 확산때문에 전해에 의해 생성된 유용한 산화성 또는 환원성 생성물의 일부를 서로의 산화환원 반응에 의해서 소멸시킴에 따른 효율 저하를 초래할 가능성이 크다. 또한 목적에 따른 넓은 범위에서의 산화환원전위, pH 등의 전해수의 성질 선택이 곤란하다.

이에 대해서, 후자의 3조식 전해수 제조장치에 의하면, 양극실과 음극실 사이에 위치하는 중간실에 물을 통하게 하여 전해에 의해 생성된 유용한 산화성 또는 환원성 생성물의 일부, 예를들면 양극실의 산화성 물질이 음극실에 확산해 산화환원반응에 의해서 환원성 물질을 소멸시키는 것을 피할 수 있어, 상기 효율저하의 문제를 방지하는 것이 가능하다. 그러나, 이 전해수 제조장치에 있어서도 목적에 따라 넓은 범위에서의 산화환원전위, pH등의 전해수 성질을 선택할 수 없다고 하는 단점이 있다. 예를들면 순수를 전해하는 경우에는, 얻어진 전해수의 산화환원전위, pH 등의 성질이 좁은 범의로 한정된다. 또한 순수에 전해질을 첨가한 원수를 사용함으로써 얻어진 양극수 및 음극수의 산화환원전위와 pH 등의 성질을 독립하여 자유롭게 설정하는 것은 상당히 곤란하다.

이 문제는 전해수를 세정 목적에 적용하는 경우에 특히 큰 문제가 된다.

즉, 공업적으로 유용한 세정 효과를 얻는 데에는, 피세정물인 고체 표면의 재질, 표면 처리 상태 및 부착해 있는 불순물의 종류와 부착 상태를 충분히 검토하여 각각의 세정목적에 가장 적합한 산화환원전위와 pH 등의 성질을 갖는 세정액을 선정할 필요가 있고, 또한 일반적으로 고체 표면의 오염은 금속, 미립자, 기름 등이 혼재해 있는 경우가 많고, 이 경우에는 성질이 다른 복수의 세정액을 차례로 조합하여 이용함으로써 비로소 현저한 세정효과를 얻는 것이 가능하게 된다. 이 때문에 세정에 사용되는 양극수와 음극수의 신화환원단위와 pH 등의 전해수의 성질은 각각 독립하여 넓은 범위로 자유롭게 설정할 수 있는 것이 바람직힌 것에 대해 상기 제 3 도에 도시한 3조식 전해수 제조장치에서는 각 전해질로부터 배출되는 전해수의 성질을 독립하여 설정하는 것은 불가능하다. 반대로, 세정에 사용해야 하는 음극수의 성질을 기준으로하여, 전해에 사용되는 원수의 전해질 조성, 농도, 첨가량, pH, 전해전류 등의 운전 조건을 결정한다고 해도 동시에 제조되는 음극수의 성질은 이 양극수 제조를 위한 운전 조건으로 거의 결정된다. 이와 같이, 상기 어떤 경우에도 세정에 유효한 음극수의 성질을 독립하여 선정하는 것은 상당히 곤란하다. 또한 음극수의 성질을 기준으로 운전조건을 결정하면, 동시에 제조되는 양극수의 성질이 그 운전조건에서 거의 결정된다. 세정을 목적으르 하여 전해수를 사용하는 경우에 어느쪽이나 유효한 양극수, 음극수를 제조하기 위한 장치 운전 조건이 반드시 동일하지 않은 사실로서 상기 제 2 도, 제 3 도 중의 한 장치를 이용하여 유효한 양극수, 음극수를 동시에 제조하는 것은 상당히 곤란하며 공업적 규모의 실시에 있어서는, 이것이 큰 장해가 된다.

이상과는 별도로 제 2 도, 제 3 도에서 설명한 종래의 전해수 제조장치에 의해 제조된 전해수를 사용하여 세척을 실시하는 경우에는 약품이 쓸모없이 되는 것을 피할 수 없다고 하는 문제와, 매우 깨끗한 표면을 세척하기 위해서는 이것에 적합한 세척용수를 얻을 수 없다고 하는 문제가 지적된다.

이것은 다음과 같이 설명된다. 즉, 산성이고 또한 산화성인 양극수와, 알칼리성이고 또한 환원성인 음극수를 하나의 장치로 동시에 제조하기 위해서는 공급수에 수소이온 이외의 양이온과 수산화이온 이외의 음이온으로 이루어진 염의 수용액을 이용하여 전해조내에서 이들 이온의 영동(泳動)에 의해서 양극수를 산성으로 하고, 음극수를 알칼리성으로 할 필요가 있다. 그러나, 이와 같은 공급원수를 사용하면 제조된 양극수 중에는 공급원수 중에 존재해 있는 수소이온 이외의 양이온이 상당량 잔류하고, 또한 마찬가지로제조된 음극수 중에는 원수중에 존재하는 수산화물이온 이외의 음이온이 상당량 잔류하는 것을 피할 수 없다. 따라서 이들 각 전해수의 pH를 목표값으로 설정하기 위해서는, 전자에서는 잔류한 양이온을 중화하고, 또한 목표 pH값으로 하기 위한 수산화물이온 이외의 음이온이 필요하게 되며, 또한 후자에서는 잔류하는 음이온을 중화한데다가 또 목표 pH값으로 하기위한 수소이온 이외의 양이온이 필요하게 되어, 이들 중화를 위해 상당량의 약품이 필요해져서, 쓸모없게 된다.

또한 전자장치와 같이 상당히 깨끗한 표면이 요구되는 세정의 경우, 세정액 속의 불순물은 제품의 성능과 제품 제조의 수율에 막대한 악영향을 준다. 이 때문에 세정액은 불순물 농도를 극한까지 저감시킨 순도가 높은 것을 이용하지 않으면 안된다. 그러나, 상기한 바와 같이 양극수 중에 원수에서 유래된 수소이온이외의 양이온 또는 음극수중에 원수에서 유래된 수산화물이온 이외의 음이온이 상당량 잔류하는 경우에는 이들 이온이 세정액속의 불순물이 될 뿐만아니라 피세정물(전자장치 등의 제품)을 건조시킨 경우에 이것이 이온성의 결정인 고체의 염으로서 제품 표면에서 석출할 가능성이 있어서, 이와 같은 염의 석출은 제품성능 또는 제품제조 수득율에 치명적인 악영향을 끼칠 우려가 있다.

현재 일반적으로는, 전자장치와 같이 상당히 깨끗한 표면을 요구하는 피세정물의 세정액으로서 암모니아, 염산, 황산 등의 알칼리와 산과, 과산화수소등을 목적에 따라서 소정 비율로 혼합한 것을 초순수등의 고순도물로 희석시켜 이용하여 상기한 제품 건조시 이온성 결정의 생성은 피할 수 있다. 그러나, 이와 같은 세정액에 대신하여 원수로서 전해질 수용액을 사용한 제 2 도, 제 3 도에 도시한 바와 같은 전해수 제조장치로 얻어지는 전해수(양극수, 음극수)를 이용하는 경우에는 제품건조시의 이온성 결정의 생성이 제품의 성능과 제품 제조의 수율에 치명적인 악영향을 끼칠 가능성이 있다고 하는 상기 문제가 해결되지않는다.

또한, 상기와 같은 문제가 모두 해결되었다고 해도, 전자장치와 같이 상당히 깨끗한 표면을 요구하는 피세정물의 세정을 위하여 상기 제 2 도, 제 3 도의 전해수 제조장치에 공급되는 원수에 전해질 수용액을 사용하는 경우에는 원수를 전해질 수용액으로 하기 위한 공정에 있어서, 불순물이 혼입할 우려가 있기 때문에 공업적인 실시가 용이하지 않다고 하는 문제도 있다.

즉, 상당히 깨끗한 표면이 요구되는 전자장치와 같이 피세정물의 세정을 위하여, 상기 전해질 수용액을 원수로서 양극수 등을 제조하는 전해수 제조장치를 이용한 경우, 원수로서는 말할 필요도 없이 불순물이 거의 혼입해 있지 않은 순수한 전해질 수용액이 필요하게 된다. 이를 위하여 원수를 조정하는 방법으로서는 순수 또는 초순수에 고순도인 전해질을 첨가하는 방법이 고려되지만, 그러나, 상기와 같이 상당히 깨끗한 표면이 요구되는 세정분야에서 사용이 가능한 순도를 가지며, 또한 공업적으로 입수 가능한 약품은 현재에는 산 또는 염기 수용액이 대부분이며, 제 2 도 또는 제 3 도에 나타낸 전해수 제조장치에서 산성이고 또한 산화성인 양극수와 알칼리성이고 또한 환원성인 음극수를 동시에 제조하기 위해서는 공급원수 중에 수소이온 이외의 양이온과 수산화물이온 이외의 음이온이 공존하고 있을 필요가 있음으로 입수한 고순도의 산 및 염기의 수용액을 일정 비율로 일단 혼합하여 조정할 필요가 있다. 따라서, 이와같이 염을 전해수 제조장치의 원수공급구에 공급하기 위해서는 산 또는 염기의 수용액의 혼합을 위한 수단이 필요하게 된다. 이것으로는, 전해수 제조 공정이 번잡하게 될 뿐만아니라 혼합 과정에 있어서 오염에 의한 약품 순도의 저하가 생길지도 모르는 문제를 피할 수 없다.

본 발명자는 상기와 같은 종래의 2조식, 3조식 전해수 제조장치를 그대로 이용하는 것으로는 해결할 수 없는 여러가지 문제를 검토하여 본 발명을 이룬 것이다.

즉, 본 발명의 목적중 한기지는 전해에 의해서 생성시킨 유용한 산화성 또는 환원성 생성물이 전해조 내에서 서로의 산화환원 반응에 따라서 소멸되는 것을 방지할수 있는 것과 동시에 제조된 양극수, 음극수중 적어도 하나의 산화환원전위 또는 pH 등의 성질을, 각각의 유효한 성질을 독립적으로 소정하여 제조하는 것이 가능하며 또한 용이하게 고안된 구조를 갖는 새로운 전해수 제조장치를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기와 같이 산성이고 또한 산화성 양극수 및/ 또는 알칼리성이고 또한 환원성인 음극수를 약품을 쓸모없게 하지 않고 제조할 수 있는 새로운 전해수 제조장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상당히 깨끗한 표면이 요구되는 피세성물의 세정에 적합한 용수로서, 불필요한 이온의 존재를 필요로 하지 않고, 따라서 제품건조시에 결정이 생성될 우려가 없는 용수(用水)를 제조할 수 있는 새로운 전해수 제조장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상당히 깨끗한 표면이 요구되는 피세정물의 세정에 적합한 용수로서 상기 전해수 제조장치의 공급원수로서 고순도의 산, 염기 수용액을 혼합한 전해질 수용액을 공급하는 경우의 문제점을 해소할 수 있고 고순도의 산, 염기 수용액의 혼합조작을 거치지 않고 사용할 수 있는 살균, 금속표면의 산화방지 또는 고체표면에 부착한 각종 오염물질의 세정 등에 적합한 전해수를 공급하는 전해수 제조장치를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하는 본 발명의 전해수 제조장치의 특징의 하나는 양극 전극을 배치한 양극실, 음극전극을 배치한 음극실 이들 양극실과 음극실 사이에 한쌍의 격막에 의해 구분하여 배치한 중간실의 3실로 구성된 물의 전기분해장치와 이들 3실에 각각 원수를 공급하는 공급배관과 이들 3실의 처리액을 배출하는 배출배관 및 상기 양극실과 음극실로부터의 배출배관에 각각 설치된 전해질 첨가수단을 갖추어 이들의 전해질 첨가수단은 첨가한 전해질의 조성, 농도, 첨가량, pH 중의 적어도 하나가 제어가능하게 설치되어 있는 구성을 이룬 것이다.

보다 구체적으로는 본 발명에 따른 전해수 제조장치는 양극 및 음극과, 상기 양극을 배치한 양극실, 상기 음극을 배치한 음극실 및 이들 방의 사이에 설치된 중간실이고 격막부재에 의해 상기 양극실 및 상기 음극실과 분리되어 있는 중간실의 3실로 구성된 물의 전기분해장치와, 상기 전기분해장치의 상기 3실에 각각 원수를 공급하는 공급배관과 전기분해장치의 3실에서 각각 처리액을 배출하는 배출배관과 상기 양극실 및 /또는 음극실에 접속된 배출배관에 설치된 전해질 첨가수단이며 첨가하는 전해질의 조성, 첨가량,농도 및 pH 중 적어도 하나를 제어할 수 있는 전해질 첨가수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기에서, 전해질 첨가수단에 의해 제어되는 것은, 상기 배출배관에 첨가되는 전해질의 조성, 첨가량, 농도 및 pH중 적어도 하나이기 때문에 이들에 한정되지 않고 다른 요소를 제어하는 것도 가능하다. 또한, 제어도, 각 요소를 각각 단독으로 또는 복합적으로 실행하는 것도 가능하다.

또한 상기 구성에서, 양극실 및/ 또는 음극실로부터의 배출배관을 복수로 분기하고 그 전부 또는 일부의 배관에 독립한 전해질 첨가수단을 설치할 수 있고 이와같이 하면 여러 종류로 설정한 복수의 전해수를 얻을 수 있다.

상기 구성의 전해수 제조장치에 따르면, 양극 표면에서 생성되는 산화성 물질의 일부와 음극 표면에서 생성된 환원성 물질의 일부는 격막을 통과하여 중간실로 확산되지만 중간실 공급배관에 의해 중간실로 도입된 배출배관에서 배출되는 물과 함께 외부로 배출되기 때문에 이들 산화성 물질 및 환원성 물질이 반대측 전극실까지 확산되어 서로의 산화환원반응에 의해 소멸되어버림에 따른 효율 저하를 방지할 수 있다.

또한, 전해질의 조성, 농도, 첨가량 및 pH 중에 적어도 하나를 제어할 수 있는 전해질 첨가 수단이 양극실, 음극실로의 배출배관에 설치되어 있기 때문에 음극수 및/또는 양극수 중의 전해질 종류, 조성, 농도 및 pH 등을 각각 독립하여 설정하는 것이 가능하게 되며, 목적하는 유용한 양극수, 음극수의 산화 환원 전위, pH 등의 성질을 동시에 독립적으로 선택하는 것이 용이하게 된다.

상기 전해조는 공급하는 원수와 전해질 및 생성하는 전해수에 대해 내성을 가지는 것이면 어떤 것도 한정되지 않지만 예를 들면 폴리 염화 비닐(PVC), 폴리프로필렌(PP), 아크릴 수지 등의 유기 재료와 세라믹, 유리등의 무기재료 및 접액면에 고무라이닝과 산화 피막 처리 등의 표면 처리를 실시한 금속 재료등을 이용하여 구성할 수 있다.

격막으로서는 예를 들면 셀룰로오즈, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에스테르, 폴리스티렌, 불소 수지등의 고분자 재료와 세라믹 등의 무기 재료등으로 이루어진 필터 또는 기공이 있는 필름, 이온 교환막 등을 이용할 수 있지만 특히 원수중의 전해질 농도가 낮은 경우등에는 이온 교환막을 이용하면 이온 교환막의 도전성에 의해서 전해 전압을 저하시켜, 일정한 전해 전류를 흐르게 하는 경우의 소비 전력을 절약할 수 있다. 전극과 이온 교환막을 밀착시키도록 배치하면, 또한 전해 전압을 저하시켜, 소비전력을 절약하는 것도 가능하다. 또한, 양극실과 중간실을 구분하는 격막에 음이온 교환막을 이용하고, 음극실과 중간실을 구분하는 격막에 양이온 교환막을 이용하는 경우에는 각각 막의 이온 배제 효과에 의해 양극실 및 음극실 보다 중간실로 확산하는 산화성 및 환원성 물질의 양을 줄일 수도 있다. 음이온 교환막으로서는 불소 수지 모체에 -SO₃ ^-기를 도입하는 강산성 음이온 교환막, 예를 들면 Nafion(상품명 : 듀퐁사제)117과 Nafion 350 등, 또는 스티렌-디비닐벤젠 공중합체 모체에 -SO₃ ^-기를 도입한 강산성 음이온 교환막, 예를 들면 네오셉터 CMX((德山曹遠社製) 등을 이용할 수 있고, 양이온 교환막으로서는 불소 수지 모체에 음이온 교환기를 도입한 양이온 교환막, 예를 들면 TOSFLEX IE-SA, TOSFLEX IE-DF, TOSFLEX lE-SF(도소사제 )등과 또는 스티렌-디비닐 벤젠 공중합체를 모체로 하는 양이온 교환막, 예를 들면 네오셉터 AMH(德山曹遠社製)등을 이용할 수 있다.

이와 같이 격막에는 상기 격막의 양측에 위치하는 실 사이에서 이온을 이동시킬수 있는 것이면 여러 재료를 사용할 수 있다. 또한 격막은 그 자체가 정밀한 격막일 필요는 없고 각 실간 용액의 직접적인 혼합을 저지할 수 있는 것이면 요철과 변형 등이 있어도 좋다.

양극, 음극의 전극으로서는 금속, 합금, 금속 산화물 등, 또는 이들 금속등의 기판에 상기 모든 금속등을 도금 또는 코팅한 것과 소결 탄소등의 도전성 재료를 이용할 수 있으며, 이 형상으로는 판 형상, 펀칭 글레이트, 메쉬 등을 이용할 수 있다, 특히 양극의 재질로서는 내산성이 우수하고, 산화되기 어려운 것이 바람직하며, 예를 들면 Pt, Pd, Ir, β-PbO₂, NiFe₂O₄등을 가장 적합하게 이용할 수 있고, 음극 등의 재료로서는 내알칼리성이 우수한 것이 바람직하며, 예를들면, Pt, Pd, Au, 탄소강, 스테인레스, Ag, Cu, 그라파이트, 유리질 탄소 등의 사용이 바람직하다.

양극실 배출 배관 및/ 또는 음극실 배출배관에 첨가되는 전해질로서는 각종 산, 염기, 염 또는 이들 임의의 비율의 혼합물 중에서 목적에 따라서 선택할 수 있고, 그 농도도 특별히 한정되는 것은 아니지만, 일반적으로는 농도 0.001mg/ℓ∼100g/ℓ, 바람직스럽기로는 0.01mg/ℓ∼10g/ℓ 정도의 범위로 선택된다. 산으로서는, 예를 들면 염산, 황산, 탄산, 질산등의 무기산 또는 초산, 구연산, 옥살산(蓚酸)등의 유기산등이 이용되며, 염기로서는 암모니아, 아민계 등의 염기를 이용할 수 있다. 예를들면, 양극실 배출 배관에 첨가하는 전해질로서 할로겐화물을 함유하는 전해질을 이용하여 양극수가 갖는 산화성에 의해서 할로겐산을 생성시키는 경우와 같이 첨가하는 전해질의 일부를 전해수중의 반응에 의해 더욱 유용한 물질로 변화시킬 수도 있다.

전해질로서는 상기 외에 pH 완충 능력이 있는 염, 예를들면 암모늄 염, 탄산염, 옥살산염 등 또는 이들 염과 산 또는 염기의 혼합물을 이용할 수 있고, 전해 전류등의 전해 조건이 전해수의 pH에 미치는 영향을 적게 할 수 있고, 양극수 및 음극수의 성질을 독립하여 설정하는 것을 보다 용이하게 할 수 있다.

또한, 전해질의 첨가는 양극실 배출 배관과 음극실 배출 배관의 양쪽에 실시할 수도 있고, 또 어떤 한쪽에 대해서만 실시할 수도 있다. 예를들면 살균등을 목적으로 하는 장치의 경우에는 주로 산성이며 또한 산화성인 양극수의 제조가 요구되기 때문에, 양극실로의 배출배관에만 전해질 첨가 수단을 설치하고, 음극실로부터 배출배관으로의 전해질 첨가 수단을 불필요하게 할 수 있다. 반대로 금속 표면의 산화 방지 등을 주요 목적으로 하는 장치의 경우에는 알칼리성이며 또한 환원성인 음극수를 제조하면 좋기 때문에 전해질의 첨가 수단을 음극실로부터의 배출 배관만 설치하여 양극실의 배출 배관으로의 전해질 첨가 수단의 설치를 불필요하게 할수 있다. 이들의 경우에는 전해질 첨가 수단을 제거하여 전해수 제조 장치의 구성을 간략화할 수 있다.

또한 전해질의 첨가는 양극실 배출배관과 음극실 배출배관의 양쪽에 행할 수 있는 한편 어떤 한 쪽에 대해서 행할 수 있는 것은 전술한 대로인 음극실 배출배관과 음극실 배출배관의 양쪽 혹은 어느 한 쪽에 전해질을 첨가하는 것과 동시에 음극실로의 원수공급배관과 음극실로의 원수공급배관의 양쪽 혹은 어느 한 쪽으로도 전해질을 첨가하여도 방해되지 않는다.

이와 같이 양 전해질의 배출배관과 원수공급배관의 양쪽으로 동시에 전해질을 첨가해도 본 발명의 작용효과가 손상되지 않는다.

이들 전해질 첨가 수단으로서는, 전해질 수용액을 첨가하는 경우에는 전해질 수용액을 저장하는 약품 탱크와, 전해질 수용액을 상기 약품 탱크에 의해 양극실 또는 음극실로의 배출 배관에 주입하기 위해서 설치된 전해질 수용액 주입 펌프의 조합 등을 이용할 수 있다. 또한, 암모니아와 탄소 가스등의 기체를 이용할 수 있고, 이들을 주입하는 경우에는 주입하는 기체를 채운 가스 범퍼 및 상기 범퍼와 양극실 또는 음극실에서 배출배관에 접속한 기체 주입 배관에 있어서, 그 도중에 압력 조절 기구 및 주입량 조절 기구를 설치한 것등을 이용할 수 있다. 전해질 수용액을 첨가하는 경우, 약품 탱크의 재질은 이용하는 전해질 수용액에 의해 용해 또는 변질하는 재질이 아니면 아무런 제한이 없지만 예를 들면 고밀도 폴리에틸렌제 탱크등을 가장 적합하게 이용할 수 있다. 또한, 전해질 수용액 주입 펌프의 재질과 형식도 이용하는 전해질 수용액에 대한 충분한 내성이 있으며, 필요한 첨가량이 확보되는 배출 능력을 구비한 것이면 어떤 제한도 없지만 예를 들면 왕복 동형 정량 펌프등을 가장 적합하게 이용할 수 있다.

전해수중의 전해질 조성, 농도, 침가량 및 pH 제어는 목적하는 사용에 유효한 전해수의 산화 환원 전위, pH 등의 성질 설정을 위해 실시되며, 예를 들면 조성은 복수의 이온을 첨가하는 경우에 가장 적합한 이온 밸런스를 조정하기 위하여 농도 및 첨가량은 목적하는 사용에 유효한 성질의 전해수를 제조하기 위해서 필요한 전해질의 농도와 양을 확보하기 위해서 pH는 얻어지는 전해수의 pH를 최종적으로 조정함과 동시에 전해에 의해서 생성되는 유효한 산화성 및 환원성 생성물을 안정하게 유지하여 다시 사용할 때 이들을 유효하게 작용시키기 위해서 제어된다. 이들은 그 하나를 제어할 수 있는 것이어도 좋고, 복수를 제어할 수 있도록 해도 좋다.

이들의 제어를 위해서는 예를들면 미리 소정농도로 조정한 전해질 수용액을, 소정량을 정량펌프에 의해서 첨가하거나 또는 설정값을 가변하고 싶은 경우에는, 첨가하는 전해질의 종류에 따른 자동농도 계측기, pH계 또는 산화환원전위계 등을 전해질 첨가점보다 하류의 전해수 배출배관에 설치하고 상기 계측기, pH계 또는 산화환원전위계 등의 지시값에 의해서 전해질 주입량을 가변하는 기구 등을 전해질 첨가수단에 설치함에 의해서 달성할 수 있다. 또한 전해수의 수질은 전해전류에 의해서도 변화할 수 있음으로 전해질 첨가량을 가변하는 것에 부가하여 전해전류를 가변해도 좋다.

전해수 제조 장치로 공급하는 원수는 목적에 따라서 그 수질을 선택할 수 있고, 예를 들면 수도물, 공업용수, 지하수, 순수, 초순수 등을 예로 들 수 있다. 예를들면, 병원과 치과 병원, 식당, 식품 가공 공장등에서 살균을 목적으로 사용하고, 금속부품제조공정등에서 금속표면 등의 산화방지를 목적으로 하는 경우 등에는 수도물, 공업용수, 지하수 등을 물로 해도 이들 분야에서 통상 요구되는 전해수의 불순물 농도로서 충분히 그 목적을 달성할 수 있고, 물에 포함되는 각종 이온을 전해 처리하여 pH의 조정제로서 이용하거나 전해에 의해서 생성되는 산화성 생성물과 환원성 생성물의 원료로서 이용할 수 있다고 하는 장점도 있다.

매우 깨끗한 표면이 요구되는 전자장치 등을 세정하는 경우등에 있어서, 세정액은 불순물 농도를 저감시킨 순도가 높은 것을 이용하는 것이 요구되기 때문에 원수에는 순수 또는 초순수를 사용하는 것이 바람직하다.

순수로서는, 예를들면 수도물, 공업용수, 지하수 등을 이온 교환 수지에 통과시키거나 역침투막으로 탈염 처리하고, 그 도전율을 10μs/cm이하로 한 것을 가장 적합하게 이용할 수 있다. 또한 낮은 불순물 농도가 요구되는 경우에는 상기 순수를 이온 교환, 막처리, 자외선 조사, 탈기등의 각 장치를 조합한 초순수 제조 시스템에 의해서 정제하고, 미량 이온, 세균, 유기물, 미립자 및 용존 기체를 제거한 이른바 초순수를 이용할 수 있다. 이러한 경우에, 전해질 첨가점보다 하류의 전해수 배출배관 중에 있어서, 첨가한 전해질만이 수중에 존재하므로 전해수의 성질을 보다 정확하게 설정할 수 있다. 또한 이 경우 전해수 배출배관에 정밀여과막,한외 여과막등에 의한 여과기를 설치하고, 전해수를 여과한 후, 목적한 사용에 제공하도록 하면 미립자 등의 불순물울 제거한 더욱 순도가 높은 전해수를 공급할 수 있다.

초순수를 물로 하여 전기분해를 실시한 경우에는 전기분해에 고전압을 요구한다. 다음과 같은 경우에는(이 경우에 한정되는 것은 아니지만) 중간실에 고체 전해질을 충전하여, 고체 전해질의 도전성에 의해서 전해 전압을 저하시켜 저전압으로 전해를 실시하도록 하는 것이 바람직하다.

중간실에 충진하는 고제 전해질로서는 이온 교환 수지와 이온 교환 섬유 등을 이용할 수 있고, 이온 교환 수지로서는 불소수지 모체의 이온 교환 수지가 적합하며, 특히 불소 수지 모체에 -SO₃ ^-기를 도입한 강산성 음이온 교환 수지, 구체적으로는 듀풍사제의 시판중인 Nafion NR50 등을 대표적인 예로 들 수 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 이온 교환 수지의 다른 예로서는 예를들면 스티렌-디비닐벤젠 공중합체 모체에 -SO₃ ^-기를 도입한 강산성 음이온 교환 수지, 구체적으로는 언퍼라이트(등록 상표)IR-120B, IR-124, 200과 스티렌-디비닐벤젠 공중합체 모체에 4차 암모늄 염기를 도입한 강염기성 양이온 교환 수지, 구체적으로는 언퍼라이트 IRA-400, IRA-402BL, IRA-900 등을 예로 들 수 있다.

본 발명의 전해수 제조 장치는 상기 전자장치와 같이 매우 깨끗한 표면이 요구되는 세정용수의 제조에는 매우 유리하다. 즉, 이와같은 용도로서는 산성이고 또한 산화성인 양극수와 알칼리성이고 또한 환원성인 음극수가 동시에 요구되지만 본 발명의 장치에서는 전해처리된 양극수와 음극수에 고순도의 산,염기 수용액을 그대로 또는 임의의 농도로 희석하어 첨가하는 것만으로는 목적하는 성질을 갖는 세정용 용수를 제조할 수 있기 때문이다, 다음과 같은 깨끗한 표면 세정 용도로서는 제품건조시에 결정생성의 우려가 없도록 첨가하는 전해질로서는, 음극수에는 암모니아, 아민계 등의 염기, 양극수에는 염산, 황산, 질산, 탄산 등의 산을 첨가하는 것이 바람직하다

[실시예]

이하 본 발명을 양극수 및 음극수로 각각 전해질을 첨가하도록 설치한 하나의 실시예의 전해수·제조 장치에 의해 보다 구체적으로 설명한다.

제 1 도는 본 실시예에 따른 전해수 제조 장치의 개략적인 구성을 나타낸 것이며, 1 은 3조식의 전기 분해 장치이며, 양극(4)이 배치된 양극실(6), 중간실(7), 음극(5)이 배치된 음극실(8)의 3실로 이루어지며, 이들 병설된 각 실은 격막(2),(3)에 의해 구분되어 있다. 또한, 도면 부호 18 19는 양극(4), 음극(5)에 직류 전압을 인가하기 위한 전원 전선이다.

도면부호 9 10 11은 상기 3실에 물을 공급하기 위한 공급 배관이며, 공통의 원수 배관으로부터 양극실로의 원수공급 배관(9), 중간실로의 원수공급 배관(10), 음극실로의 원수공급 배관(11)으로 분기되어 있다.

또한, 도면부호 14 15 16 은 상기 3실의 처리수를 배출하기 위한 배출배관이며, 도면부호 14 는 양극실로부터의 처리수 배출 배관, 도면부호 15는 중간실로부터의 처리수 배출 배관, 도면부호 16 은 음극실로부터의 처리수 배출 배관이다.

도면부호 20 21 은 양극수 배출 배관(14)과 음극수 배출 배관(21)에 설치된 여과용 필터이며, 예를들면 정밀 여과막등의 막처리 장치를 이용하여 이들 양극수, 음극수에 포함되는 미립자 등을 제거하기 위하여 설치되어 있다. 이와같은 막처리 장치는 본 실시예 장치를 전자 장치 등의 매우 깨끗한 표면이 요구되는 경우의 세정수 제조에 이용할 경우에는 바람직하게 채용되는 경우가 많다. 그리고, 본 실시예의 특징은 음극실(6)로부터 배출배관(14)의 여과용 필터(20) 전단에 전해질 첨가 장치(12)로부터 전해질이 첨가되도록 설치되고 또한 똑같이 음극실(8)로부터 배출배관(16)의 여과용 필터(21)의 전단에 전해질 첨가수단(13)으로부터 전해질이 첨가되도록 설치되어 있는 것에 있다.

이상과 같이 설치된 본 실시예의 장치에 의하면 전해 분해 장치(1)가 중간실(7)을 가지는 3조식으로 설치되어 있는 것에 의해 양극(4)의 표면에서 생성되는 산화성 물질의 일부와, 음극(5)의 표면에서 생성되는 환원성 물질의 일부는 격막(2) 또는 격막(3)을 통과하여 중간실(7)로 확산되지만 중간실 공급 배관(10)에서 상기 중간실(7)로 도입되어 중간실 배출 배관(15)으로 배츨되는 물에 의해서 전기 분해 장치(1)의 외부로 배출되기 때문에 이들 산화성 물질 및 환원성 물질이 극성이 반대인 전극실까지 확산되어 서로의 산화 환원 반응에 의해 소멸해버리는 효율 저하의 문제를 방지하는 장점이 얻어진다.

또한, 전해질의 조성, 농도, 첨가량 및 pH 중의 적어도 하나를 제어할 수 있는 전해질 첨가장치(12, 13)가 양극실(6) 및 음극실(8)의 배출배관(14, 16)에 설치되어 있음으로 양극수 및 음극수 중의 전해질의 종류, 조성, 농도, pH 등을 각각 독립하여 설정하는 것이 가능하며, 목적하는 유용한 양극수 및 음극수의 산화 환원 전위, pH 등의 성질을 동시에 독립적으로 선택하는 것이 용이하게 된다.

제 1 도의 예에서는 pH측정계가 전해질 첨가 후의 배출배관(22),(23)에 설치되어 있고 이 pH측정계의 계측값에 따라서 전해질 첨가장치(12),(13)가 전해질의 첨가량을 제어한다. 따라서 전해질 첨가 후의 전해수의 pH를 바라는 대도 제어할 수 있다.

[참고예 1]

제 1 도의 구성을 가지는 장치를 이용하여, 전해조. 전해전류, 전해질등의 전해조건을 이하와 같이 설정하여 전해수를 제조했다.

즉, 전해조(1)를 폴리프로필렌제의 재료를 이용하여 구성하고, 격막(2) (3)에 음이온 교환막(Nafion 350(듀퐁사제))을 이용했다. 전극(4) (5)은 180×240mm의 80 메쉬의 망 형상의 백금제 전극을 이용하고, 또한 중간실(7)에 음이온 교환 수지(Nafion NR50)를 충전했다.

또한, 양극실(6)에서의 배출배관(14)에 전해질로서 염산을 첨가하고, 음극실(8)에서 배출배관(16)에 전해질로서 암모니아수를 첨가했다. 이 들 전해질의 첨가장치(12)(13)로서는 폴리에틸렌제의 약품 탱크에 염산 또는 암모니아수를 소정의 농도로 희석하여 저장하고, 왕복 동형 정량 펌프(도시하지 않음)에 의해 각 배출 배관(14, 16)에 주입시키는 것으로 이루어져 있다, 또한 원수로서는 초순수(18MΩ·cm)를 이용했다,

전해 조건

전해전류 … 10A(전해전류 밀도 2.3A/d㎡)

통과하는 물 유량 … 각 실 50리터/h

통과하는 물 온도 … 실온

또한, 전해수중의 전해질(염산, 암모니아)의 농도는 정량 펌프에 의한 주입량을 변화시켜 하기 표 1과 같이 변화시켰다.

상기와 같이 하여 전해수(양극수, 음극수)를 제조한 결과를 하기 표 1에 나타낸다.

[표 1]

또한, 표에 산화 환원 전위는 표준 수소 전극(NHE)에 대한 전위로 표시했다. 또한, 전해질 농도 0mg/ℓ(즉 전해질 비첨가)의 경우는 18MΩ·cm의 초순수 pH는 측정할 수 없기 때문에 참고값으로서 (pH7)으로서 기재했다.

상기 표 1 의 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 양극실(6)에서 배출 배관(14)에 첨가하는 염산의 첨가량을 조정(0∼1460mg·HCl/ℓ)했을 때에, 나타나는 양극수의 pH 변화는 1.4∼7의 범위이며, 염산의 첨가량을 조정하여 이 범위로 pH를 조정할수 있다. 또한, 산화 환원 전위는 1050∼1330mV(대 NHE)의 범위로 조정 가능했다. 또한 동시에 제조한 음극수의 수질은 음극실(8)로부터의 배출 배관(16)에 첨가하는 암모니아의 첨가량을 조정(수중 암모니아 농도를 0∼680mgNH₃/ℓ로 변화)하여 pH 7∼10.7, 산화 환원 전위 -630∼-500mV(대 NHE)의 범위로 조정가능했다. 그리고 본 예에 있어서는 염산은 양극실(6)로부터의 배출배관(14), 암모니아는 음극실(8)로부터의 배출배관(16)에 각각 독립적으로 첨가됨으로 이들의 수질을 완전히 독립적으로 설정할 수 없고 양극수중으로의 암모늄이온의 혼입과 음극수중으로 염화물이온의 혼입의 염려는 전혀 없다.

[비교예 1]

비교하기 위해 참고예 1에서 전해질 첨가를 실시하지 않고 참고예 1 의 초순수에 염화 암모늄 수용액을 첨가한 것을 원수로서 각실(100리터/h)의 통과하는 물 유량으로 전해조(1)에 공급하고, 동시에 이 첨가하는 염화 암모늄 수용액의 농도를 하기 표 2와 같이 변화시킨 이외에는 참고예 1과 같은 조건으로 전해수를 제조했다.

[표 2]

상기 표 2에 도시한 바와 같이, 원수의 염화 암모늄 농도를 변화시킴으로써 제조되는 전해수의 pH와 산화 환원 전위를 변화시키는 것은 가능하지만 양극수와 음극수의 수질을 독립하여 조정할 수 없다.

또한, 표 2에 나타낸 바와 같이, 양극수 중에는 상당량의 암모늄이 혼입되어 있고, 음극수중에는 상당량의 염화물 이온이 혼입되어 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 전해수 제조 장치에 의하면, 제조되는 양극수, 음극수 양쪽의 산화 환원 전위와 pH 등의 성질을 전기분해장치의 후단에 설치한 전해질 첨가장치에 의해 각각의 물에서 얻어지는 유효한 성질로 각각 독립적으로 조정하여 제조하는 것이 가능하고 또한 용이하게 되어 공업적 규모의 실시에 매우 유리한 효과가 얻어진다.

또한, 전기 분해 장치를 3조식으로 설치함으로써 전기분해에 의해서 생성된 산화성 또는 환원성의 생성물이 전해조내에 있어서 서로의 산화 환원 반응에 따라서 소멸되어버리는 불합리함이 없고, 또 제조된 양극수와 음극수에는 잔류하는 불필요한 이온이 없기 때문에, 약품을 낭비하지 않고 소망의 전해수를 제조할 수 있다고 하는 효과가 얻어진다.

또한, 특히 매우 깨끗한 표면이 요구되는 피세정물의 세정에 적합한 용수로서 불필요한 이온이 존재하지 않고 따라서 제품 건조시에 결정 생성의 우려가 없는 전해수를 용이하게 제조할 수 있다고 하는 효과도 얻을 수 있다.

상기와 같은 효과에 대하여 다음과 같은 효과도 가진다.

①: 전해수의 사용 목적에 따라서 양극실 또는 음극실에서의 배출배관중 어느 한쪽에만 전해질 첨가 장치를 설치할 수 있고, 이 경우에는 전해수 제조 장치의 구성을 간략화할 수 있다.

②: 양극실, 음극실 및 중간실에 공급하는 원수를 순수 또는 초순수로 하면 불순물이 적은 전해수를 공급할 수 있을 뿐만 아니라 전해수의 성질을 보다 정확하게 설정할 수 있다.

③: 양극실, 음극실과 중간실을 구분하는 격막을 이온 교환막으로 하는 경우에는 이온 교환막의 도전성에 의해서 전해 전압을 저하시켜 소비 전력을 절약할 수 있다.

④: 중간실에 고체 전해질을 충전하는 경우에는 순수 또는 초순수를 원수로서 이용하는 경우라도 고전압을 필요로 하지 않고 전해를 실시할 수 있다.

Claims (12)

1. (a) 양극 및 음극; (b) 상기 양극을 배치한 양극실, 상기 음극을 배치한 음극실 및 이들 양극실과 음극실 사이에 설치되어 한쌍의 격막부재에 의해 상기 양극실 및 상기 음극실로 분리하는 중간실의 3실로 이루어진 물의 전해부; (c) 상기 전기분해부의 상기 3실에 각각 원수를 공급하는 공급 배관; (d) 전기분해실의 3실로부터 각각 처리액을 배출하는 배출배관; 및, (e) 상기 양극실 및/또는 음극실에 접속된 배출배관에 설치된 전해질 첨가수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 전해질 첨가 수단은 첨가하는 전해질의 전하량, 조성 및 농도 중의 어느 한가지를 제어할 수 있는 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 전해질 첨가 수단은 첨가하는 전해질의 첨가량, 조성 및 농도 중의 어느 한가지를 제어하고, 이것에 의해서 전해질 첨가 후의 전해수의 조성, 농도 또는 pH 중의 어느 한 가지를 제어하는 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 전해질 첨가 수단이 제어하는 것은 전해질 첨가 후의 전해수 pH인 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 배출배관에 첨가되는 것은 산성 전해질인 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
6. 제 4 항에 있어서, 상기 배출배관에 첨가되는 것은 알칼리성 전해질인 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 3실에 공급되는 원수는 순수 또는 초순수인 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 격막부재가 이온교환막인 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
9. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 중간실에는 고체전해질이 충전되어 있는 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
10. 제 7 항에 있어서, 상기 격막부재가 이온교환막인 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
11. 제 7 항에 있어서, 상기 중간실에는 고체전해질이 충전되어 있는 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.
12. 제 8 항에 있어서, 상기 중간실에는 고체전해질이 충전되어 있는 것을 특징으로 하는 전해수 제조 장치.