KR100209121B1 - 고 다공도의 비휘발성 게터재료의 제조방법 및 그 게터재료 - Google Patents

고 다공도의 비휘발성 게터재료의 제조방법 및 그 게터재료 Download PDF

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파오로 델라 폴라
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Abstract

모든 성분이 비입자크기를 갖는 금속 게터 성분, 하나 또는 그 이상의 게터 합금 및 고체 유기 화합물을 혼합하는 단계를 포함하는 양호한 기계적 강도, 높은 다공성 및 개선된 가스 흡착율을 갖는, 비휘발성 게터재료를 제조하기 위한 방법이 공지된다. 따라서 얻어진 혼합물은 100/

Description

고 다공도의 비휘발성 게터재료의 제조방법 및 그 게터재료
제1(a)도는 그 제조 방법이 제1실시예에 기술되어있는 본 발명의 게터 재료의 X 700 으로 확대된 주사 전자 현미경(SEM)에 의해 얻어진 현미경사진을 도시한 것이다.
제1(b)도는 제1(a)도의 현미경사진을 재구성한 도면을 도시한 것이다.
제2(a)도는 제2실시예에 기술된 독일 특허 출원 2,204,714의 공정에 따라 제조된 X 700으로 확대된 게터 재료의 SEM현미경 사진을 도시한 것이다.
제2(b)도는 제2(a)도의 현미경사진을 재구성한 것이다.
제3(a)도는 제3실시예에 기술된 바와같은 영국 특허 출원 2,077,487에 따라 제조된 X 700 배로 확대딘 게터 재료의 SEM 현미경 사진을 도시한 것이다.
제3(b)도는 제3(a)도의 현미경사진을 재구성한 도면을 도시한 것이다.
제4(a)도는 제4실시예에 기술된 공정에 따라 수득된 X 700으로 확대된 비교 게터 재료의 SEM 현미경사진을 도시한 것이다.
제4(b)도는 제4(a)도의 현미경사진을 재구성한 도면을 도시한 것이다.
제5(a)도는 제5실시예에 기술된 공정에 따라 수득된 X 700 으로 확대된 비교 게터 재료의 SEM 현미경사진을 도시한 것이다.
제5(b)도는 제5(a)도의 현미경사진을 재구성한 도면을 도시한 것이다.
제6(a)도는 제6실시예에 기술된 공정에 따라 수득된 X 700으로 확대된 본 발명의 게터 재료의 SEM 현미경사진을 도시한 것이다.
제6(b)도는 제6(a)도의 현미경사진을 재구성한 도면을 도시한 것이다.
제7도는 CO를 시험가스로 사용한 표 1 내지 표 5의 게터 재료의 5개 표본의 가스 흡수 특징을 도시한 것으로, 초 당 흡수된 CO를 cc로서 측정한 흡수 속도(S) 대 게터 재료의 그램은 cc X Pa로서 측정된 흡수된 CO의 양(Q)의 작용 대 게터재료의 그램을 도시한 그래프를 예시한 것이다.
제8도는 시험가스로서 질소를 사용하여 수득된 제7도와 유사한 그래프를 도시한 것이다.
제9도는 본 방명의 게터 재료와 비교 게터 재료의 수소 흡수 특성을 도시한 제7도 및 제8도에 도시한 것과 유사한 그래프를 예시한 것이다.
제10(a)-10(d)도는 본 발명의 공정에 의해 수득될 수 있는 게터 본체의 몇가지 가능한 형태를 에시한 것이다.
본 발명은 매우 고도한 다공성을 갖는 비 증발성 게터 재료를 수득하기 위한 가공방법 및 이에따라 수득된 게터 재료에 관한 것이다.
특히, 본 발명은 특별히 고도한 값의 다공성 및 가스 흡수속도를 갖는 비증발성 게터재료를 수득하기위한 가공 방법 및 이에따라 수득된 비중발성 게터 재료에 관한 것이다.
(당해 기술분야에서 NEG재료로서 공지되어 있는) 비증발성 게터 재료는 진공 저장 분야, 예컨데, 열 절연을 위해 또는 램프 내면에서, 비활성가스를 정제하는데 폭넓게 사용된다. 가장 통상적인 NEG재료는 Zr, Ti, Nb, Ta, V 또는 이들의 합금에 하나 또는 그 이상의 다른 요소를 임의적으로 부가된 것이다. 이들 실시예는 St 101이란 상표명으로 밀란의 사에스 게터(SAES GETTERS)사에서 시판되는 Zr 84% 및 Al 16%의 중량 %의 구성물을 갖춘 합금이거나 또는 St 707이란 상표명으로 사에스 게터사에서 시판되는 중량 %의 Zr 70%, V 24.6%, Fe 5.4%의 합금이다.
이들 재료들은 CO, CO2, H2O, O2, H2와 같은 반응성 가스의 표면 흡수에 의해 작용을 받는다. H 원자로 분리되거나 또는 저온에서도 재료의 내면에서 확산되는 H이외에도, 다른 가스에 있어서, 화학 흡수는 NEG 재료에 따라 그범위가 200 내지 500 ℃가 될 수도 있는 온도이하에서 본질적으로 피상적인 현상이다. 상기 재료의 내면에서 화합흡수된 종의 확산은 더 고온에서 일어난다.
어떠한 가스에서 일지라도, 상기 NEG 재료의 표면은 반응성 가스 흡수 현상에서 기초적인 역할을 한다. 이에 따라서, 상기 재료의 큰 특정 표면(유닛 중량 당 표면) 및 상기 NEG입자의 표면에 가스의 용이한 접근은 이들의 최상의 성능을 위한 기초적 중요성의 파라메터이다. 이들 특성들은 NEG재료를 분말형태로 사용함에 의해 보장될수도 있지만, 그러나 이 해결책은 실제로는 적용될 수 없다. NEG 재료는 실제로는 장치의 형태로 사용될수 있고, 게터 장치는 분말로부터 제조되고, 이분말은 계속해서 필요한 기계적 강도를 주도록 소결되는 팰릿(pellet)을 수득하도록 압축될수도 있으며, 최종적으로 상기 분말은 지지체 상에서 냉각 압연될수도 있다. 장치를 제조하도록 사용된 가공공정에도 불구하고, 상기 압축 및/또는 열 소결 조작은 출발 분말과 관련하여, 특정표면을 환원시키게 되고 나아가 가장 내부의 게터 입자에 대한 가스의 접근은 방지되어, 흡수 능력 및 특히 가스 흡수 속도가 연속적으로 감소되도록 한다.
이러한 단점을 극복하기 위해서, 독일 특허 출원 2,204,714에는 금속지르코늄을 토대로한 다공성 NEG 장치를 제조하는 방법이 기술되어 있다. 이 방법에 따라서, 흑연 분말 예를들어 암모늄 카르바메이트와 같은 유기 성분이 지르코늄 분말에 첨가되고 그리고 상기 유기 성분의 중량은 지르코늄 및 흑연의 중량의 합에 이르게 될 수도 있다. 열 소결 처리를 하는 동안, 상기 유기 성분은 증발되어 지르코늄과 흑연으로 구성된 다공성 구조를 이탈하게되고, 여기서 흑연은 지르코늄을 위한 소결방지제로서 작용하여 상기 특정 표면의 초과환원을 방지하게 된다.
상기 특허 출원에 있어서, 단지 기초적인 성분만이 인용되어 있고 합금에 대해서는 인용되어 있지 않으며, 밀리미터의 범위의 크기를 갖는 분말 입자의 형태에 부가되는 유기 성분으로부터 분리되어 성분들의 입자크기로 제조된다는 것은 언급되어있지 않다. 상기 유기 성분의 크기로 인해, 상기 최종의 게터 재료는 상기 다공성의 용적과 상기 장치의 기하학적 부피사이에서 높은 비율을 갖는 구조를 갖춘다. 그러나, 상기 특허 출원에 기술된 가공에 의해 수득된 다공성 분포는 가장 내부의 NEG 재료의 입자의 표면에 대해 가스의 접근성을 최적화하지 못한다. 나아가, 상기 특허 출원에 의해 제조된 재료는 우수한 기계적 특성을 갖지 못한다.
영국 특허 2,077,487에는 티탄과 같은 금속 게터 재료 및 소결방지제로서 이미 언급된 St 707 합금의 분말 혼합물로부터 수득된 다공성 NEG재료를 기술하고 있다. 상기 특허에 따르면, 금속 성분의 입자는 약 125보다 작은 입자크기를 가지며, 상기 St 707 합금의 입자는 약 400보다 작은 입자크기를 갖는다. 상기 특허 명세서에는 상기 2개의 재료의 크기사이의 비는 열 처리를 하는 동안 금속이 초과로 소결되는 것을 방지하도록 선택되는데, 이 열처리는 특정 표면을 환원되게하고 그리고 계속해서 게터로서의 생성물의 효율을 더 낮추도록한다. 이 특허에는 유기 성분의 용도는 지시되지 않았다.
최종적으로, 미합중국 특허 4,428,856호에는 중량을 토대로 50 내지 98%의 티탄, 1.5 내지 30%의 니오븀, 탄타륨, 몰리브뎀 및 텅스텐중에서 선택된 고용융점의 금속 및 0.5 내지 20%의 티탄 수소화물로 구성된 다공성 비 증발성 게터 재료가 기술되어 있는데, 이 특허에는 지르코늄 분말이 용이하게 인화되고 그리고 이들이 폭발을 개시할 수 있어서, 이 특허의 목적 중 하나가 지르코늄의 사용을 피할수 있는 게터 조성물을 제공하는 것으로 기술되어 있다.
종래기술의 다공성 NEG 재료의 특정 표면과 다공성의 특징은 통성적인 NEG와 관련하여보면 개선되어 있지만, 고도한 성능이 요구되는 게터 재료에 있어서 작은 부피의 게터 펌프와 같은 특정한 적용에 있어서는 충분하지 않다.
이에따라 본 발명의 목적은 종래기술의 재료와 비교하여 다공성 및 흡수속도의 개선된 특징과 우수한 기계적 강도를 갖는 비 증발성 게터 재료를 제공하는 가공방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따라서, 이것 및 다른 목적은 하기와 같은 단계를 포함하는 다공성 및 가스 흡수 속도의 개선된 특성을 갖는 비 증발성 게터 재료를 제조하는 가공 수단에 의해 이루어진다.
A) i) 약 70이하의 입자 크기를 갖는 금속 게터 요소의 분말과, ii) 약 40이하의 입자 크기를 갖는 하나이상의 게터 합금의 분말과, 그리고, iii) 실온에서 가스상 생성물을 승화시키거나 또는 분해되도록하는 특징을 가지며, 공기에 노출되거나 또는 연속적으로 열처리를 하는동안 잔류물을 남기지 않고, 2개의 체 분획에서 상기 제1의 분획의 입자가 약 50이하의 크기를 갖추고, 제2의 분획의 입자는 약 50내지 150의 크기를 갖고 그리고 2개의 분획사이의 중량비가 4 : 1 내지 1 : 4에서 변형될 수 있도록된 유기 성분 고체의 분말의 혼합물을 제공하는 단계와, B) 지점 A 에서의 분말 혼합물을 1000/이하의 압력에서 압축시키는 단계와, 그리고 C) 900 내지 1200℃의 온도에서 5분 내지 1시간 동안 진공 또는 비활성 가스에 의해 압축된 분말 혼합물을 소결하는 단계를 포함한다.
상기 금속 게터 요소는 지르코늄, 티탄, 니오븀, 바나듐 및 탄타륨과 같은 장에서 사용되는 기초금속 중 하나일수도 있으며, 이들중에서 티탄 및 특히 지르코늄이 바람직하다.
이들 금속성 게터 요소는 입자 크기가 약 70이하인 미세 분말의 형태로 사용된다. 바람직하게는, 이 성분의 입자 크기는 약 40 내지 60사이이다.
게터 재료에 의해 흡수하고자 하는 가스 혼합물내에 수소가 존재하거나 또는 그렇지않은가에 따라, 상기 분말의 혼합물의 게터 합금 부품은 하나 또는 그이상의 게터 합금으로 이루어질수도 있다. 사실상 O2, N2,H2O, CO, CO2등과 같은 가스와는 대조적으로, 상기 게터에 의한 수소의 흡수는 가역적인 현상인데, 이것은 평형상태로 상승시킬수 있고, 온도와 게터 재료의 타입에 따라, 수소는 상기 게터내에서 부분적으로 그리고 주변 대기로 나누어져서, 잔류 수소 압력이 항상 소개시키고자하는 용기내에 존재하도록 한다. 자유 수소의 양 및 이에따른 상기 게터위의 수소 압력은 모든 게터 재료에 대해서 온도에 따라 증가된다. 이와동일한 온도에서, 다른 게터 재료는 약간 정도의 크기에 의해 가별될수 있는 자유수소의 평형 압력을 가지며, 동일한 온도에서 더 큰 양의 수소를 흡수하여, 이에따라 환경내에서 수소의 부분압력이 낮추어지도록 남겨져서 나머지는 이후에 설명되겠지만, 낮은 수소 게터 재료를 형성할 것이다.
수소와 다른 가스사이에 존재하는 게터에 대한 주어진 작용의 차이에 있어서, 바람직하게는, 상기 게터 재료의 의도된 용도는 무시할수 없을 정도의 수소양을 포함하는 환경내에 있을 때, 낮은 수소의 게터 재료는 본 발명의 게터 재료로 제조된 분말의 혼합물에 부가된다.
게터 합금은 하나이상의 전이 원소와 타탄을 토대로 된 게터 합금 또는 이원 합금 Zr-Al, Zr-V, Zr-Fe 및 Zr-Ni 또는 삼원 합금 Zr-Mn-Fe 또는 Zr-V-Fe과 같은 하나 이상의 전이 원소와 지르코늄을 토대로한 게터 합금중에서 선택된다. 수소가 흡수하고자 하는 가스의 혼합물내에 존재하지 않은 경우에, 상기 게터 합금 부품은 바람직하게는 단일한 게터 합금으로 이루어진다. Zr-V-Fe 삼원 합금을 사용하는 것이 바람직한데, 특히 중량을 토대로 Zr 70%, V 24.6%, Fe 5.4%의 %의 조성물을 갖춘 상술한 St 707 합금이 바람직하다. 무시할 수 있을 정도의 수소양이 흡수되는 경우, 바람직하게는, 적어도 하나의 낮은 수소 게터 재료를 포함하는 하나 바람직하게는 두 개 이상의 다른 게터 합금으로 이루어지는 것이다. 이경우에, 게터 합금의 바람직한 조합물은 상기 인용된 St 707 합금 및 St 101의 상표명으로 밀란의 사에스게터에서 시판되는 Zr 84%, Al 16%의 중량%의 조성물을 갖춘 합금의 혼합물로 이루어진다.
상기 게터 합금은 최대 입자 크기가 40및 바람직하게는 30이하인 매우 미세한 분말의 형태로 사용된다.
상기 금속 게터 요소와 게터 합금사이의 중량비는 폭 넓은 범위내에서 변경될 수도 있지만, 그러나, 일반적으로는 1 : 10 내지 10 ; 1 및 3 : 1 내지 1 : 3을 범위로 한다. 2개의 합금이 사용될 때, 의도한 적용에 따라, 상기 합금사이의 중량비는 폭 넓은 범위로 변활될 수 있고 그리고 일반적으로 1 : 20 내지 20 : 1사이에서 이루어진다. 상술한것보다 더 높은 금속 요소의 양은 상기 표본의 게터링 효율을 감소시키고 그리고 일반적으로 게터 합금의 초과되는 양을 사용하면 상기 분말 압축으로부터 수득된 게터 본체를 소결하는데 있어서 곤란하게 하고, 이에따라 최종게터 본체의 기계적 강도를 열악하게 한다.
본 발명의 유기화합물은 상온에서 고체상태이며, 게터재료를 소결시키는 열처리 중에 잔류물을 남기지 않고서 증발하는 특성을 갖추어야만 한다. 바람직하게, 이러한 유기화합물을 게터재료가 활동하는 온도에서는 반응증기를 발생시키지 못하도록, 약 300℃이하의 온도에서 완전히 증발하여야만 한다. 이와같은 조건을 충족시킬 수 있는 유기화학물의 몇몇 예로는, 옥살산 암모늄(ammonium oxalate),벤조산 암모늄(ammonium benzoate), 그리고 특히 바람직하게 카르밤산 암모늄(ammonium carbamate)이 있다.
유기화학물은 분말의 형태로 사용된다. 이러한 분말은 2가지의 분율(fractions)로 사용되는데, 한가지는 50이하의 입자크기를 갖는 것이며, 다른 한가지는 50 내지 150정도의 입자크기를 갖는 것이다. 본 발명의 방법에 따르면, 이들 분율은 모두가 최소량 이하가 아닌 분말혼합물내에 존재하는데, 이들 분율 사이의 중량비는 4 : 1 내지 1 : 4 내에서 변화될 수 있다.
유기화학물의 중량은 지점(A)에서의 분말혼합물의 전체 중량의 40%까지로 구성될 수 있으며, 바람직하게 소결전의 분말혼합물의 전체 중량의 약 10 내지 35%의 범위로 구성될 수도 있다. 이러한 유기화합물이 너무 소량으로 사용되는 경우에는 소결에 의해서 제공되는 게터의 몸체가 거의 다공성을 갖추지 못하며, 반면에 유기화합물의 양이 중량비로 40% 이상을 차지할 경우에는 기계적으로 안정된 게터의 몸체를 제공하는 것이 불가능하다.
이와같이 제공된 분말혼합물은 1000/이하의 압력, 바람직하게 50 내지 800 Kg/㎠ 정도의 압력에서 작은 압축력을 받는다. 작용되는 압력의 크기가 작은 경우에는 최종적으로 소결된 몸체가 불량한 기계적 강도를 갖는 반면에, 큰 압축력의 경우에는 과잉으로 치밀화된 분말이 제공되어서, 결과적으로 특정 표면이 감소되고 다공성이 거의 감소되어 버린다.
분말혼합물이 압축된 후에 열처리가 수행되는데, 이러한 열처리는 불활성 가스분위기내에서 또는 바람직하게 진공상태에서 이루어지는데, 약 900 내지 1200℃, 바람직하게는 1000 내지 1100℃ 정도의 온도에서 5분 내지 1분 동안 수행된다.
본 발명의 제2실시양태는, 앞에서 설명된 방법으로 제공되는 다공성이 큰 게터재료에 관한 것이다.
이하, 본 발명에 따른 게터재료에 대해서 참부된 도면들을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
본 발명의 게터재료는 그 특수한 제조방법으로 인하여, 종래기술에 비해서 새로운 구조적 결합 및 작용상의 특성을 갖는다. 특히 제1(b)도를 참조하면, 본 발명의 재료는 큰 직경의 제1네트워크 구멍(1)으로 이루어진 다공성 구조를 갖추고 있는데, 이는 게터의 몸체내의 제일 안쪽의 부분까지 가스와 용이하게 접근할 수 있게 한다. 또한, 2개의 개터재료로 구성된 단일의 입자들로 이루어진 표면에 대한 접근을 제공하는 다소 작은 직경의 제2네트워크 구멍(2)이 제1네트워크 구멍(1)상에 중첩되어 있다. 양호한 기계적 강도와 함께 큰 다공성 및 넓은 표면적이, 이러한 특수한 구조로부터 얻어진다.
본 발명에 따른 제조방법으로부터 제공되는 게터의 몸체는 램프의 내부의 진공을 유지시키거나 또는 어떤 공간(예를 들면, 보온병)을 단열시키는 분야 등과 같이, 게터재료가 필요한 모든 분야에서 사용될 수 있다. 보온병내에서 사용하기 적절한 게터의 몸체의 형상은, 예를 들어서 제10(a)도에 도시된 바와같이 작은 알맹이 형상으로 형성될 수 있다. 그러나, 본 발명의 게터재료의 특수한 작용상의 특성에 따르면, 이러한 게터재료를 포함하는 게터장치에 의해서 제공되는 여러 가지 잇점들은, 예를 들어서 게터재료에 대하여 사용가능한 체적이 작은 게터펌프의 경우와 같이, 작은 체적의 장치로 고도의 가스흡착성능(gas sorption performances)을 필요로 하는 분야에서 특히 명백하게 나타난다. 이와같은 유형의 게터펌프는, 예를 들어 본 출원인의 미합중국 특허 제5,320,496호 및 제5,324,172호에 개시되어 있다. 이들 2개의 특허 중에서 제5,320, 496호에는, 게터의 몸체가 펌프의 몸체와 동심으로 배열되도록 여러 개로 쌓여져 있는 원판(discs)의 형태로 형성되어 있는 펌프에 대해서 개시되어 있다. 상기 특허에 개시된 것과는 다르지만, 이와같은 펌프와 유사한 형태의 펌프에 사용될 수 있는 또 다른 형태의 원판의 형상이 제8(c)도 및 제8(d)도에 도시되어 있다. 한편 미합중국 특허 제5,324,172호에는, 펌프의 축선 둘레로 반경방향으로 배열된 판 형상의 게터의 몸체를 갖추고 있는 게터펌프가 개시되어 있으며, 제8(b)도에는 이러한 펌프에 사용되는 또 다른 판 형태의 게터의 몸체가 도시되어 있다.
이제, 다음에 설명되는 실시예들로부터 본 발명의 여러 가지 목적 및 잇점들이 본 발명의 기술분야에서 숙련된 당업자들로부터 용이하게 이해될 수 있을 것이며, 이들 실시예는 본 발명의 사상을 이들 실시예로만 국한시키려는 것이 결코 아니고 단지 예시적으로 설명되는 것에 불과하다는 점을 미리 강조해 둔다.
[실시예 1]
제1실시예는 본 발명의 게터재료의 준비에 관한 것이다.
40 내지 50정도의 입자크기를 갖는 2.4g의 금속 지르코늄과, 30이하의 입자크기를 갖는 3.6g의 St 707 합금과, 그리고 입자크기가 각각 0 내지 50과 50 내지 150인 2개의 부분으로 구성된 각각 2g씩의 카르밤산 암모늄(ammonium carbamate)으로 이루어진 혼합물이 준비되었다.
상기 혼합물은 4시간 동안 V형 혼합기내에서 균질화되고 150kg/㎠의 압축력하에서 압축된다. 그후, 압축된 혼합물은 약 2시간 동안 1050℃로 가열하고 그 온도에서 30분 동안 유지함으로써 진공노내의 열처리에 의해 소결된다. 이렇게 준비된 게터 몸체가 샘플 1이다.
[예 2(비교예)]
본 예에 있어서는 특허출원 DE-A-2,204,714호에 기술된 프로세스에 따른 게터재료의 준비에 대해 설명한다.
혼합물은 0 내지 44의 입경을 갖는 5.8g 의 금속 지르코늄과, 75 내지 128의 입경을 갖는 1.2g 의 흑연분말 및 약 1의 입경을 갖는 암모늄 카르바메이트로 준비된다. 상기 혼합물로 예 1에서와 같이 균질화되고 1050℃에서 55분 동안 가열하고 상기 온도에서 5분 동안 유지함으로써 소결한다. 상기 노에서 꺼낸 소결된 게터몸체가 샘플 2이다.
[예 3(비교예)]
본 예에서는 특허 GB-2,077,487호에 따른 다공성 게터재료의 준비에 대해 설명한다.
혼합물은 0 내지 44의 입경을 갖는 4g의 금속 지르코늄분말과 53 내지 128의 입경을 갖는 6g 의 st 707 합금으로 준비된다. 상기 혼합물은 전술한 예와 동일하게 균질화되고 예 2와 동일한 열처리에 의해 소결된다. 이렇게 얻은 게터 몸체가 샘플 3 이다.
[예 4(비교예)]
예 2에 따른 게터 게터재료의 준비과정이 반복되나, 44이하의 입경을 갖는 보다 미세한 암모늄 카르바메이트가 사용된다. 이렇게 얻은 게터몸체가 샘플 4이다.
[예 5(실시예)]
예 3에 따른 게터 재료의 준비과정이 반복되나, 소결전에 60kg/㎠ 의 압축값으로 분말 혼합물을 가압한다. 이렇게 얻은 게터 몸체가 샘플 5이다.
[예 6]
본 예는 본 발명의 게터 재료의 준비에 관한 것이다.
혼합물은 40 내지 50의 입경을 갖는 35g 의 금속 지르코늄과, 30이하의 입경을 갖는 15g의 st 707 합금과, 30이하의 입경을 갖는 50g의 st 101합금과, 0 내지 50의 입경을 갖는 13g 의 암모늄 카르바메이트, 및 50 내지 150의 입경을 갖는 20g 의 암모늄 카르바메이트로 준비된다. 상기 혼합물은 4시간 동안 V형 혼합기내에서 균질화되며, 1.3g 의 균질화된 혼합물은 600kg/㎠의 압축력하에서 압축된다. 그후, 압축된 혼합물은 약 2시간 동안 1050℃로 가열되고 그 온도에서 30분 동안 유지함으로써 진공노내의 열처리에 의해 소결된다. 이렇게 준비된 게터 몸체가 샘플 6 이다.
[예 7]
가스 흡수율과 용량의 측정은 600℃에서 10분 동안 활성화한 후에, 실온에서 샘플 1 내지 5에 대해 수행했다. 상기 테스트는 F 798-82 표준규격에 따른 방법에 따라 테스트실 내에서의 가스의 연속적인 투입중 각각의 샘플이 흡수한 가스의 양의 비율을 측정함으로써 실행된다. 상기 테스트에 사용된 가스는 CO 이다. 5개의 샘플에 대한 1 내지 5의 곡선으로 각각 표시한 제7도의 그래프에 그 테스트의 결과를 나타냈다.
[예 8]
샘플 1 내지 5의 흡수 특성의 측정은 샘플 7과 동일한 조건하에서 수행되나, 단지 차이점은 본 경우에 테스트 가스가 질소라는 점이다. 그 결과를 제 8도에 도시했다.
[예 9]
수소흡수율 및 용량에 대한 측정은 600℃에서 30분 동안 활성한 후에, 실온에서 샘플 6(본 발명)과 샘플 2(비교예)에 대해 실시했다. 그 테스트는 ASTM F 798-82 표준규격의 방법에 따라 실시된다. 그 테스트의 결과는 두 개의 샘플(6,2)에 대한 곡선(6,7)으로서 각각 표시한 제9도의 그래프에 나타냈다.
[예 10]
표면적의 측정은 퀀타솝(Quantasorb) QS-12 기구를 사용하는 상기 B.E.T방법에 따라 샘플 1 내지 6에 대해 실시했다. 그 테스트 결과는 표 1에 요약되어 있다.
[예 11]
샘플 1 내지 6의 겉보기 밀도와 다공율을 측정했다. 겉보기 밀도는 샘플의 중량과 그 체적 사이의 비율로서 계산된다. 상기 다공도한 다음식에 따라 계산된 백분율 값이다.
여기서, dapp 는 위에서 정의한 샘플의 겉보기 밀도이고 dt 는 이론 밀도이다. 샘플을 형성하는 재료의 공지된 절대밀도와 중량 분율로부터, dt의 값은 두 개의 식, 즉 두 성분의 재료(샘플 1 내지 5)로 형성된 샘플에 대해서는 식 l, 그리고 3 성분의 재료(샘플 6)로 형성된 샘플에 대해서는 식 ll 에 따라 차례로 계산된다.
dA= 동일 샘플을 형성하고 있는 제 1 재료의 밀도;
dB= 동일 샘플을 형성하고 있는 제 2 재료의 밀도;
dC= 동일 샘플을 형성하고 있는 제 3 재료의 밀도;
XA= 동일 샘플을 형성하고 있는 제 1 재료의 중량분율;
XB= 동일 샘플을 형성하고 있는 제 2 재료의 중량분율;
XC= 동일 샘플을 형성하고 있는 제 3 재료의 중량분율;
상기 결과는 표 1에 요약되어 있다.
상기 비교예 샘플 4를 준비하는 프로세스는 이미 공지된 프로세스와 일치하지 않으나, 예 2 보다 작은 입경을 갖고 본 발명의 프로세스에 사용되는 암모늄 카르바메트의 입경에 필적하는 입경을 갖는 암모늄 카르바메이트를 사용하고 있는 예 2의 프로세스를 변경한 것이다. 유사하게, 비교예의 샘플 5를 준비하는 프로세스는 종래의 어떤 프로세스와도 일치하지 않으나, 본 발명의 프로세스에서와 같이 경압축된 분말 혼합물을 사용하는 예 3의 프로세스를 변경한 것이다. 샘플 5의 표면적은 사용기구의 판도한계보다 낮으나, 샘플 3에서 얻은 0.08㎡/g의 값보다 확실히 낮다.
제1도 내지 제6도의 미세한 사전 그래프의 검토로부터 알 수 있듯이, 본 발명의 게터재료에 대응하는 샘플 1과 6은 종래 기술의 비교예의 샘플 2와 3의 구조 및 비교예의 샘플 4와 5의 구조와 다른 다공구조를 가진다. 특히, 본 발명의 게터 몸체들은 샘플몸체 내부에 침입할 수 있는 커다란 다공도(1)와 지르코늄 및 합금 입자 사이의 미세다공도(2)로 이루어지므로 다른 샘플과 용이하게 구별될 수 있는 다공구조를 가지며, 비교적 샘플 2내지 5는 더 조밀해 보인다. 표 1의 테이타로부터, 비교예의 샘플 2와 4가 샘플 1과 6의 값에 필적하는 특정표면과 다공도를 갖는 반면에, 샘플 3과 5는 샘플 1과 6보다 휠씬 작은 특정표면과 다공도를 갖다는 것을 알 수 있다. 다른 한편으론, 샘플 2와 4는 낮은 기계강도를 가지며, 기술적 적용을 어렵게 하는 취성과 느슨한 입자들을 가진다. 구조 및 기계적 특성의 개선된 조합이외에도, 본 발명의 샘플 1은 샘플 1 내지 5의 실온에서의 흡수율 곡선이 CO 와 N에 대해 각각 주어져 있는 제7도 및 제8도의 그래프를 검토함으로써 알 수 있는 바와같이, 가장 양호한 가스 흡수 특성을 가진다.
사실, 샘플 1은 두 가스에 대하여 낮은 다공질 구조물이 구비된 샘플 3 및 5 보다 큰 흡착 특성을 나타낸다. 그러나, 본 발명의 샘플은 두 가스에 대하여 다공질 특성이 샘플 1의 그것들과 비교되는 샘플 2 및 4보다 양호한 흡착 성능을 보여준다. 본 발명의 샘플 6은 양호한 성능의 조합을 나타내는데, 즉, 샘플 1의 높은 비체적, 높은 다공성 및 기계적 강도를 보인다. 또한, 샘플 6은 게터 합금 성분으로서 낮은 수소 게터재료로 구성된 게터합금의 혼합물을 사용할때와 비교하여 본 발명의 게터 재료는 양호한 수소 흡착 성능을 보인다. 제9도의 그래프 조사에 의하면, 샘플 6은 일정의 다공성 구조물을 구비한 샘플 2의 것보다 높은 수소 흡착 성능을 보인다.
샘플 2 및 4와 샘플 3 및 5의 흡착 특성사이의 비교는 본 발명의 프로세스에 따른 작동에 의하여 전술된 바와같은 우수한 효과를 달성할 수 있다. 사실, 이들 도면에 의하면, 샘플 2의 준비단계(독일연방공화국 특허출원 제 A-2,204,714호)를 변경함으로써 본 발명의 프로세스와 더욱 유사하게, 즉 보다 미세한 입자 크기(샘플 4)의 카르빔산 암모늄으로 변경시킴으로써 가스흡착이 악화됨을 보여준다. 비슷하게, 본 발명의 프로세스와 더욱 유사하도록 분말혼합물에 낮은 압력을 가함으로써 샘플 3을 마련하는 프로세스(영국특허 GB-2,077,487호의 프로세스)의 변화를 가스 흡착 성능을 악화시키는 쪽으로 유도된다. 결론적으로, 효과적인 시험은 본 발명의 샘플이 공학적인 실시에 적합한 것으로 할 수 있는 양호한 기계적 강도와 함께 가장 우수한 흡착 특성을 보여주고 또한 본 발명 샘플의 특성 비교와 비교 샘플은 특성들의 이 조합은 공지된 프로세스 변수의 변경에 의해 단순히 유도될 수 없는 변수들의 주합을 특징으로 한다.

Claims (3)

  1. 개선된 다공도 특성, 가스 흡착물 및 흡착 성능을 갖는 비휘발성의 게터 재료를 제조하기 위한 방법에 있어서, A) i) 70미만의 결정 크기를 갖는 금속 게터 성분 분말과, ii) 49미만의 결정립 크기를 갖는 하나 또는 그 이상의 게터 합금 분말과, iii) 제 1 체질부의 결정립이 50미만의 크기를 그리고 제 2부의 결정립이 50및 150사이의 크기를 가지며 두 체질부 사이의 중량비가 4:1 및 1:4 사이에서 변화하는 두 체질부에서 단순한 공기에서의 노출 또는 다음의 열처리 동안 잔류물을 남기지 않고 가스로, 승화 또는 분해하는 특성을 갖는 상온에서 고체된 유기화합물 분말의 혼합물을 마련하는 단계와, B) 점 A의 분말 혼합물을 1000/보다 낮은 압력으로 압축하는 단계와, C) 압축된 분말 혼합물을 900℃ 및 1200℃ 사이의 온도에서 5분 내에 1시간동안 진공 또는 불활성 가스처리에 의하여 소결시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항의 방법에 따라 제조된 고 다공성 게터 재료.
  3. 제1항의 방법에 따라 제조된 고 다공성 게터 몸체.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011118883A1 (ko) * 2010-03-26 2011-09-29 주식회사 엑스엘 비확산 게터가 장착된 엑스선관
KR101848969B1 (ko) 2011-10-14 2018-04-13 사에스 게터스 에스.페.아. 고온에서 반응성 가스에 노출 후 저온에서 재활성화될 수 있는 비-증발성 게터 조성물

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6110807A (en) * 1995-06-07 2000-08-29 Saes Getters S.P.A. Process for producing high-porosity non-evaporable getter materials
WO1998010461A1 (en) * 1996-09-04 1998-03-12 Saes Getters S.P.A. Thin-film phosphors for field emission displays
IT1295340B1 (it) * 1997-10-15 1999-05-12 Getters Spa Pompa getter ad elevata velocita' di assorbimento di gas
IT1297013B1 (it) 1997-12-23 1999-08-03 Getters Spa Sistema getter per la purificazione dell'atmosfera di lavoro nei processi di deposizione fisica da vapore
EP0993047A1 (fr) * 1998-10-06 2000-04-12 Koninklijke Philips Electronics N.V. Dispositif semi-conducteur avec des éléments de circuits intégrés du groupe III-V ayant des moyens pour prévenir la pollution par l'hydrogène
JP3420520B2 (ja) 1999-01-13 2003-06-23 キヤノン株式会社 非蒸発性ゲッターの製造方法及び画像形成装置
DE20023858U1 (de) * 1999-06-02 2007-03-01 Saes Getters S.P.A., Lainate Unabhängig von Aktivierungsbehandlungen zur Wasserstoffsorption befähigte Verbundmaterialien
US6420002B1 (en) 1999-08-18 2002-07-16 Guardian Industries Corp. Vacuum IG unit with spacer/pillar getter
IT1318061B1 (it) * 2000-06-28 2003-07-21 Getters Spa Catodi per deposizione catodica di leghe getter e processo per la loro produzione.
US6956268B2 (en) * 2001-05-18 2005-10-18 Reveo, Inc. MEMS and method of manufacturing MEMS
JP2003022744A (ja) 2001-07-06 2003-01-24 Sony Corp 非蒸発型ゲッター、表示装置およびこれらの製造方法
JP3998948B2 (ja) * 2001-10-31 2007-10-31 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子及びその製造方法
TWI245308B (en) * 2002-09-13 2005-12-11 Getters Spa Non-evaporable getter compositions which can be reactivated at low temperature after exposure to reactive gases at a higher temperature
ITMI20031178A1 (it) * 2003-06-11 2004-12-12 Getters Spa Depositi multistrato getter non evaporabili ottenuti per
US20050069475A1 (en) * 2003-09-30 2005-03-31 Hage Daniel B. System and process for reducing impurities
EP2126155B1 (en) * 2006-12-15 2019-03-13 BAE Systems PLC Improvements relating to thin film getter devices
ITMI20070301A1 (it) * 2007-02-16 2008-08-17 Getters Spa Supporti comprendenti materiali getter e sorgenti di metalli alcalini o alcalino-terrosi per sistemi di termoregolazione basati su effetto tunnel
BRPI0910238A2 (pt) 2008-03-28 2015-09-29 Getters Spa sistema de bombeamento combinado.
ITMI20090402A1 (it) 2009-03-17 2010-09-18 Getters Spa Sistema di pompaggio combinato comprendente una pompa getter ed una pompa ionica
ITMI20120872A1 (it) 2012-05-21 2013-11-22 Getters Spa Leghe getter non evaporabili particolarmente adatte per l'assorbimento di idrogeno e azoto
WO2014136151A1 (ja) * 2013-03-04 2014-09-12 パナソニック株式会社 複層ガラス、及び複層ガラスの製造方法
JP2015110214A (ja) * 2013-11-01 2015-06-18 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 非蒸発型ゲッタ材、非蒸発型ゲッタモジュール、及び非蒸発型ゲッタポンプ
ITMI20131921A1 (it) 2013-11-20 2015-05-21 Getters Spa Leghe getter non evaporabili particolarmente adatte per l'assorbimento di idrogeno e monossido di carbonio
ES2739285T3 (es) * 2014-07-30 2020-01-30 Agc Inc Vidrio con vacío multicapa
CN105783296B (zh) * 2014-12-24 2018-06-15 北京有色金属研究总院 多孔吸氢元件及其在太阳能集热管中的安装方法
ITUA20163861A1 (it) 2016-05-27 2017-11-27 Getters Spa Non-evaporable getter alloys particularly suitable for hydrogen and carbon monoxide sorption
US11524271B2 (en) 2017-08-28 2022-12-13 Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University Erica Campus Thin film getter and manufacturing method therefor
GB202103659D0 (en) 2021-03-17 2021-04-28 Johnson Matthey Plc Getter activation and use
CN114749144A (zh) * 2022-04-27 2022-07-15 中山金石新材料科技有限公司 用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂及其制作方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2204714C3 (de) 1972-02-01 1979-10-18 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Verfahren zum Herstellen von Getterkörpern
IT1198325B (it) 1980-06-04 1988-12-21 Getters Spa Struttura e composizione getteranti,particolarmente adatti per basse temperature
US4671889A (en) * 1982-08-10 1987-06-09 Horst Schreiner Molded getter bodies and method of producing the same
US4428856A (en) 1982-09-30 1984-01-31 Boyarina Maya F Non-evaporable getter
IT1255438B (it) 1992-07-17 1995-10-31 Getters Spa Pompa getter non evaporabile
US5685963A (en) * 1994-10-31 1997-11-11 Saes Pure Gas, Inc. In situ getter pump system and method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011118883A1 (ko) * 2010-03-26 2011-09-29 주식회사 엑스엘 비확산 게터가 장착된 엑스선관
KR101151859B1 (ko) * 2010-03-26 2012-05-31 주식회사엑스엘 비확산 게터가 장착된 엑스선관
KR101848969B1 (ko) 2011-10-14 2018-04-13 사에스 게터스 에스.페.아. 고온에서 반응성 가스에 노출 후 저온에서 재활성화될 수 있는 비-증발성 게터 조성물

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