JPH0730421B2 - 非蒸発型ゲッター合金 - Google Patents
非蒸発型ゲッター合金Info
- Publication number
- JPH0730421B2 JPH0730421B2 JP63269417A JP26941788A JPH0730421B2 JP H0730421 B2 JPH0730421 B2 JP H0730421B2 JP 63269417 A JP63269417 A JP 63269417A JP 26941788 A JP26941788 A JP 26941788A JP H0730421 B2 JPH0730421 B2 JP H0730421B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amount
- alloy
- absorption
- getter material
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は気体を物理吸着及び化学吸着の形で捕らえるこ
とができるゲッター材料に関し、特に、初期のガス吸収
速度及びガス吸収量の増大を可能とした非蒸発型ゲッタ
ー合金に関するものである。
とができるゲッター材料に関し、特に、初期のガス吸収
速度及びガス吸収量の増大を可能とした非蒸発型ゲッタ
ー合金に関するものである。
一般にゲッター材料としては、従来からZr、Ti、Hf、N
b、Ta、Th、およびＶなどの金属単体が知られている。
b、Ta、Th、およびＶなどの金属単体が知られている。
ゲッター材料は通常、物理吸着および化学吸着を効果的
に行なうため、反応表面積を多くとれるように100μｍ
程度の粉末状で用いられ、そのため粉砕性がゲッター材
料の具備すべき特性の一つである。しかし、これらの単
体金属では延性が大きすぎて、容易に粉砕できないとい
う欠点がある。また、通常、ゲッター能を保有させるた
めに表面の酸化物などを分解するための活性化処理を施
し、活性な表面を作る。しかし、これらの単体金属は非
常に安定な酸化物を表面に形成しており、活性な表面を
作るのは真空中で高温に加熱する必要があり、容易でな
い。
に行なうため、反応表面積を多くとれるように100μｍ
程度の粉末状で用いられ、そのため粉砕性がゲッター材
料の具備すべき特性の一つである。しかし、これらの単
体金属では延性が大きすぎて、容易に粉砕できないとい
う欠点がある。また、通常、ゲッター能を保有させるた
めに表面の酸化物などを分解するための活性化処理を施
し、活性な表面を作る。しかし、これらの単体金属は非
常に安定な酸化物を表面に形成しており、活性な表面を
作るのは真空中で高温に加熱する必要があり、容易でな
い。
そこで、前述した単体金属の代替として、合金のゲッタ
ー材料が開発された。特公昭46−39811に開示されてい
る84重量％Zr−16重量％Al合金のゲッター材料はZrとAl
の金属間化合物であり、この合金は前述の粉砕性につい
ては解決されているが、吸収速度は小さく、特に室温に
おいては多量の気相を排気するにはかなりの時間を要す
る欠点があり、この合金の吸収速度は300℃以上でない
と増加しないため、合金を300℃以上に加熱しなければ
ならない。
ー材料が開発された。特公昭46−39811に開示されてい
る84重量％Zr−16重量％Al合金のゲッター材料はZrとAl
の金属間化合物であり、この合金は前述の粉砕性につい
ては解決されているが、吸収速度は小さく、特に室温に
おいては多量の気相を排気するにはかなりの時間を要す
る欠点があり、この合金の吸収速度は300℃以上でない
と増加しないため、合金を300℃以上に加熱しなければ
ならない。
また、特公昭53−1141にあるように、上記の単体金属と
Zr−Al合金を混合させたゲッター材料が開示されている
が、これも室温では十分な排気能力が認められない欠点
を有している。
Zr−Al合金を混合させたゲッター材料が開示されている
が、これも室温では十分な排気能力が認められない欠点
を有している。
このように、300℃以下で使用する場合に吸収速度の大
きいゲッター材料が要望されていた。
きいゲッター材料が要望されていた。
本発明は、上記従来技術の欠点を解決し、300℃以下で
使用する場合においても初期の吸収速度およびガス吸収
量が大きく、しかも粉砕性が良好な非蒸発型ゲッター合
金を提供しようとするものである。
使用する場合においても初期の吸収速度およびガス吸収
量が大きく、しかも粉砕性が良好な非蒸発型ゲッター合
金を提供しようとするものである。
本発明は上記課題を解決すために、 Al 10〜30重量％ Ｖ 0.1〜14重量％ Zr 実質的に残部 よりなることを特徴とする非蒸発型ゲッター合金を提供
するものである。
するものである。
通常、ゲッター表面での反応が律速である場合、初期の
ガス吸収速度及び吸収量は活性化処理によって生成する
活性サイトの量に比例して大きくなり、その後と吸収速
度はゲッター材料内部への拡散速度に依存する。
ガス吸収速度及び吸収量は活性化処理によって生成する
活性サイトの量に比例して大きくなり、その後と吸収速
度はゲッター材料内部への拡散速度に依存する。
そこで、活性サイトの量を増大させるためには、ゲッタ
ー材料粒子の粒径を小さくすることが考えられる。しか
しこの場合、粉砕時及び取扱い時に空気等に触れること
で表面酸化が著しく起こり、ゲッター材料の性能が劣化
するおそれがある。
ー材料粒子の粒径を小さくすることが考えられる。しか
しこの場合、粉砕時及び取扱い時に空気等に触れること
で表面酸化が著しく起こり、ゲッター材料の性能が劣化
するおそれがある。
密閉真空容器に用いられるゲッター材料には、吸収速度
が大きく、しかも吸収ガス量が多いことが要求されてい
る。活性化処理後、ゲッター材料の吸収速度が大きいほ
ど早期に目的の真空度が得られること、また、ガス吸収
量が多いほど到達真空度が高くなることからである。
が大きく、しかも吸収ガス量が多いことが要求されてい
る。活性化処理後、ゲッター材料の吸収速度が大きいほ
ど早期に目的の真空度が得られること、また、ガス吸収
量が多いほど到達真空度が高くなることからである。
本発明者は室温で使用し得るゲッター材料について種々
の研究を行い、ZrにAlとＶを添加することにより、粉砕
性およびガス吸収能力が共に向上することを見出し、本
発明に到達したものである。
の研究を行い、ZrにAlとＶを添加することにより、粉砕
性およびガス吸収能力が共に向上することを見出し、本
発明に到達したものである。
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明は、ゲッター能力を有する単体金属Zrをベースと
して、粉砕性を付与するためAlおよびＶを添加し、同時
に室温におけるガス吸収能力を高めたものである。
して、粉砕性を付与するためAlおよびＶを添加し、同時
に室温におけるガス吸収能力を高めたものである。
Alは10〜30重量％含有させる。これにより、Zr−Al金属
間化合物が形成され、粉砕性が向上すると共に、ガス吸
収能も高くなる。Alの添加によりZr単体に比し粉砕性が
向上し、50〜100μｍの粉末が容易に作製できる。Alの
含有量が10重量％未満では粉砕性が劣り、30重量％を越
えるとZr量が低下することによりガス吸収能が低下す
る。
間化合物が形成され、粉砕性が向上すると共に、ガス吸
収能も高くなる。Alの添加によりZr単体に比し粉砕性が
向上し、50〜100μｍの粉末が容易に作製できる。Alの
含有量が10重量％未満では粉砕性が劣り、30重量％を越
えるとZr量が低下することによりガス吸収能が低下す
る。
Ｖは0.1〜14重量％含有させる。Ｖの添加によりゲッタ
ー材料の初期吸収速度が著しく増大する。また、粉砕性
も増大し、粒の表面積が増加する。Ｖの含有量が0.1重
量％未満では初期吸収速度の増加は少なく、14重量％を
越えると飽和吸収量が低下する。
ー材料の初期吸収速度が著しく増大する。また、粉砕性
も増大し、粒の表面積が増加する。Ｖの含有量が0.1重
量％未満では初期吸収速度の増加は少なく、14重量％を
越えると飽和吸収量が低下する。
第１表に示す組成の合金を500mbarのアルゴン雰囲気に
てアーク溶解し、それぞれ30gのボタン状の合金を作製
した。
てアーク溶解し、それぞれ30gのボタン状の合金を作製
した。
これを乳鉢にて粉砕・分級し、粒径約50〜100μｍの粉
末を作製した。
末を作製した。
次にこれらの粉末をそれぞれ300mg秤量し、ハンドプレ
スにて7t/cm2の加圧条件で直径6mmの円板状試料とし
た。
スにて7t/cm2の加圧条件で直径6mmの円板状試料とし
た。
上記の手順で作製した円板状のゲッター材料を、１×10
-6Torr以下にて約1000℃で10分間活性化を行い、室温ま
で冷却後ガス吸収測定を行った。
-6Torr以下にて約1000℃で10分間活性化を行い、室温ま
で冷却後ガス吸収測定を行った。
ガス吸収測定は、H2ガスを用いてゲッター材料雰囲気を
30℃、１×10-3Torrで一定に保ちながら、吸収するガス
量を他のチャンバーから補充していき、そのチャンバー
の圧力変化を読み取る方法で吸収量および吸収速度を測
定した。
30℃、１×10-3Torrで一定に保ちながら、吸収するガス
量を他のチャンバーから補充していき、そのチャンバー
の圧力変化を読み取る方法で吸収量および吸収速度を測
定した。
活性化後30分時点での吸収速度及び吸収量をそれぞれの
合金について測定した。
合金について測定した。
また、飽和吸収量については100mgの粉末試料を用い、
材料雰囲気を300℃をとしたほかは前記と同様にして測
定した。
材料雰囲気を300℃をとしたほかは前記と同様にして測
定した。
但し、ここでの飽和吸収量はH2ガス導入後チャンバーの
圧力変化がほとんど生じなくなる約150分での吸収量と
した。
圧力変化がほとんど生じなくなる約150分での吸収量と
した。
測定結果を比較例と共に第１表に示す。
〔発明の効果〕 本発明のゲッター合金を用いることにより、室温におい
ても内容量の大きな容器内を排気したり、あるいは、特
に初期に大きな排気速度を必要とする場合において、従
来よりも少ない量で高真空を短時間に確保し、しかも維
持可能とすることができ、また、これによってゲッター
材料の容器内等の設置体積が少なくて済み、設置場所の
確保が容易になる。
ても内容量の大きな容器内を排気したり、あるいは、特
に初期に大きな排気速度を必要とする場合において、従
来よりも少ない量で高真空を短時間に確保し、しかも維
持可能とすることができ、また、これによってゲッター
材料の容器内等の設置体積が少なくて済み、設置場所の
確保が容易になる。
Claims (1)
- 【請求項１】Al 10〜30重量％ Ｖ 0.1〜14重量％ Zr 実質的に残部 よりなることを特徴とする非蒸発型ゲッター合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63269417A JPH0730421B2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 非蒸発型ゲッター合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63269417A JPH0730421B2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 非蒸発型ゲッター合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02118045A JPH02118045A (ja) | 1990-05-02 |
| JPH0730421B2 true JPH0730421B2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=17472127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63269417A Expired - Lifetime JPH0730421B2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 非蒸発型ゲッター合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730421B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100381960B1 (ko) * | 2000-06-05 | 2003-05-01 | 주식회사 세종소재 | 겟터 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4839085A (en) * | 1987-11-30 | 1989-06-13 | Ergenics, Inc. | Method of manufacturing tough and porous getters by means of hydrogen pulverization and getters produced thereby |
-
1988
- 1988-10-27 JP JP63269417A patent/JPH0730421B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02118045A (ja) | 1990-05-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3203901A (en) | Method of manufacturing zirconiumaluminum alloy getters | |
| JP3917514B2 (ja) | 無蒸発ゲッタ合金 | |
| EP0719609B1 (en) | A process for producing high-porosity non-evaporable getter materials and materials thus obtained | |
| EP1817439B1 (en) | Non-evaporable getter alloys for hydrogen sorption | |
| EP1160820B1 (en) | Combination of materials for the low temperature triggering of the activation of getter materials and getter devices containing the same | |
| JP2009541586A (ja) | 水素収着に特に適した不揮発性ゲッター合金 | |
| JPH0730421B2 (ja) | 非蒸発型ゲッター合金 | |
| US6110807A (en) | Process for producing high-porosity non-evaporable getter materials | |
| US4629720A (en) | Substance for reversibly absorbing and desorbing hydrogen | |
| US5908579A (en) | Process for producing high-porosity non-evaporable getter materials and materials thus obtained | |
| EP0248607A1 (en) | Composition for reversably absorbing and desorbing hydrogen | |
| GB1452779A (en) | Getter devices | |
| JP2790598B2 (ja) | 水素吸蔵合金部材の製造方法 | |
| JPH02159335A (ja) | ガス吸収ペレット及びその製造方法 | |
| JPH02290941A (ja) | 非蒸発型ゲッター材料 | |
| JPH0347933A (ja) | 非蒸発型ゲッター合金 | |
| JPH07102339A (ja) | 水素吸蔵合金 | |
| ITMI942449A1 (it) | Processo per la produzione di materiali getter non evaporabili ad elevata porosita' e materiali cosi' ottenuti |