JPH02118045A - 非蒸発型ゲッター合金 - Google Patents
非蒸発型ゲッター合金Info
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- JPH02118045A JPH02118045A JP26941788A JP26941788A JPH02118045A JP H02118045 A JPH02118045 A JP H02118045A JP 26941788 A JP26941788 A JP 26941788A JP 26941788 A JP26941788 A JP 26941788A JP H02118045 A JPH02118045 A JP H02118045A
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Landscapes
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は気体を物理吸着及び化学吸着の形で抽らλるこ
とができるゲッター材Ｈに関し、特に。
とができるゲッター材Ｈに関し、特に。
川明のガス吸収速度及びガス吸収破の増大を可能とした
非蒸発型ゲッター合金に関するものである。
非蒸発型ゲッター合金に関するものである。
［従来の技術］
一般にゲッター材料としては、従来からＺｒ、′「１、
Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｈ、およびＶなどの金属単体が知
られている。
Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｈ、およびＶなどの金属単体が知
られている。
ゲッター材料は通常、物理吸着および化学吸着を効果的
に行なうため１反応表面積を多くとれろように１１００
ｕ程度の粉末状で用いられ、そのため粉砕性がゲッター
材料の４廂すべき特性のっである。しかし、これらのｍ
体金属では延ｉ牛が大きすぎて、容易に粉砕できないと
いう欠点がある。また１通常、ゲッター能を保有させる
ために表面の酸化物などを分解するための活性化処理を
施し、活性な表面を作る。しかし、これらのｌｉｔ体金
属は非常に安定な酸化物を表面に形成しており、活性な
表面を作るのは真空中で高温に加熱する必要があり、容
易でない。
に行なうため１反応表面積を多くとれろように１１００
ｕ程度の粉末状で用いられ、そのため粉砕性がゲッター
材料の４廂すべき特性のっである。しかし、これらのｍ
体金属では延ｉ牛が大きすぎて、容易に粉砕できないと
いう欠点がある。また１通常、ゲッター能を保有させる
ために表面の酸化物などを分解するための活性化処理を
施し、活性な表面を作る。しかし、これらのｌｉｔ体金
属は非常に安定な酸化物を表面に形成しており、活性な
表面を作るのは真空中で高温に加熱する必要があり、容
易でない。
そこで、前述した＋１ｉ体金属の代替として、合金のゲ
・ンター材料が開発された。特公昭４６−．３９８１１
に開示されている８ ４ ｉｎ ｆｔ１％Ｚ ｒ −１
ｆ３ ｉｎ砒％ＡＱ合金のゲッター材Ｉ４はＺｒとＡｆ
ｆの金属間化合物であり、この合金は前述の粉砕性につ
いては解決されているが、吸収速度は小さく、特に室温
にＪいては５礒の気相なｉｔ気するにはかなりの時間を
要する欠点があり、この合金の吸収速度は３００℃以上
でないと増加しないため、合金を３００℃以上に加熱し
なければならない。
・ンター材料が開発された。特公昭４６−．３９８１１
に開示されている８ ４ ｉｎ ｆｔ１％Ｚ ｒ −１
ｆ３ ｉｎ砒％ＡＱ合金のゲッター材Ｉ４はＺｒとＡｆ
ｆの金属間化合物であり、この合金は前述の粉砕性につ
いては解決されているが、吸収速度は小さく、特に室温
にＪいては５礒の気相なｉｔ気するにはかなりの時間を
要する欠点があり、この合金の吸収速度は３００℃以上
でないと増加しないため、合金を３００℃以上に加熱し
なければならない。
また、特公昭５３−１１４１にあるように、上記の単体
金属とＺｒ−Ａｌ２合金をを混合させたゲッター材料が
開示されているが、これも室温では十分な排気能力が認
められない欠点を有している。
金属とＺｒ−Ａｌ２合金をを混合させたゲッター材料が
開示されているが、これも室温では十分な排気能力が認
められない欠点を有している。
このように、３００℃以下で使用する場合に吸収速度の
大きいゲッター材料が要望されていた。
大きいゲッター材料が要望されていた。
［発明が解決しようとする課題］
本発明は、上記従来技術の欠点を解決し、３００℃以下
で使用する場合においても初期の吸収速度およびガス吸
収型が大きく、しかも粉砕性が良好な非蒸発型ゲッター
金倉を提供しようとするものでのである。
で使用する場合においても初期の吸収速度およびガス吸
収型が大きく、しかも粉砕性が良好な非蒸発型ゲッター
金倉を提供しようとするものでのである。
〔課題を解決するための手段］
本発明は上記課題を解決するために、
Ａｒ１５〜３０小看％
ｖ Ｏ，１−１４重徹％
Ｚｒ 実質的に残部
よりなることを特徴とする非蒸発型ゲッター合金を提供
するものである。
するものである。
〔作用］
通常、ゲッター表面での反応が律速である場合、初期の
ガス吸収速度及び吸収量は活性化処理によって生成する
活性サイトの鷹に比例して大きくなり、その後の吸収速
度はゲッター材料内部への拡散速度に依存する。
ガス吸収速度及び吸収量は活性化処理によって生成する
活性サイトの鷹に比例して大きくなり、その後の吸収速
度はゲッター材料内部への拡散速度に依存する。
そこで、活性サイトの頃を増大させるためには、ゲッタ
ー材料粒子の拉（￥を小さ（することか考えられる。し
かしこの場合、粉砕時及び取扱い時に空気等に触れるこ
とで表面酸化が著しく起こり、ゲッター材料の性能が劣
化するおそれがある。
ー材料粒子の拉（￥を小さ（することか考えられる。し
かしこの場合、粉砕時及び取扱い時に空気等に触れるこ
とで表面酸化が著しく起こり、ゲッター材料の性能が劣
化するおそれがある。
密閉真空容器に用いられるゲッター材料には、吸収速度
が大きく、シかも吸収ガス量が多いことが要求されてい
る。活性化処理後、ゲッター材料の吸収速度が大きいほ
ど早期に目的の真空度が（１られること、また、ガス吸
収型が多いほど到達真空度が高くなることからである。
が大きく、シかも吸収ガス量が多いことが要求されてい
る。活性化処理後、ゲッター材料の吸収速度が大きいほ
ど早期に目的の真空度が（１られること、また、ガス吸
収型が多いほど到達真空度が高くなることからである。
本発明者は室温で使用し得るゲッター材料についで種々
の研究を行い、ＺｒにＡｆｆとＶを添加することにより
、粉砕性およびガス吸収能力が共に向上することを見出
し、本発明に到達したものである。
の研究を行い、ＺｒにＡｆｆとＶを添加することにより
、粉砕性およびガス吸収能力が共に向上することを見出
し、本発明に到達したものである。
以下１本発明について詳細に説明する。
本発明は、ゲッター能力を有する単体金属Ｚｒをベース
として、粉砕性を付与するため八βおよびＶを添加し、
同時に室温におけるガス吸収能力を高めたものである。
として、粉砕性を付与するため八βおよびＶを添加し、
同時に室温におけるガス吸収能力を高めたものである。
Ａｒ１は５〜３０１ｍ １％含有させる。これにより、
Ｚｒ−ＡＱｔｔ属間化合間化合物され、粉砕性が向上す
ると共に、ガス吸収能も高くなる。Ａｒ１の添加により
Ｚ「単体に比し粉砕性が向上し、５０〜１００μｍの粉
末が容易に作製できる。
Ｚｒ−ＡＱｔｔ属間化合間化合物され、粉砕性が向上す
ると共に、ガス吸収能も高くなる。Ａｒ１の添加により
Ｚ「単体に比し粉砕性が向上し、５０〜１００μｍの粉
末が容易に作製できる。
Ａｇの含有量が５重量％未満では粉砕性が劣り、３０市
量％を越えるとＺｒｌが低下することによりガス吸収能
が低下する。
量％を越えるとＺｒｌが低下することによりガス吸収能
が低下する。
Ｖはｏ、ｔ−１４重看％含有させる。■の添加によりゲ
ッター材料の初期吸収速度が著しく増大する。また、粉
砕性も増大し１粒の表面積が増加する６ｖの含（Ｔ Ｎ
が０，１小量％未満では初期吸収速度の増加は少な（，
１４ｆｆｉ’ｆｔ％を越えると飽和吸収用が低下する。
ッター材料の初期吸収速度が著しく増大する。また、粉
砕性も増大し１粒の表面積が増加する６ｖの含（Ｔ Ｎ
が０，１小量％未満では初期吸収速度の増加は少な（，
１４ｆｆｉ’ｆｔ％を越えると飽和吸収用が低下する。
〔実施例Ｊ
第１表に示す組成の合金を５００ｍｂａｒのアルゴン雰
囲気にてアーク溶解を示し、それぞれ３０ｇのボタン状
の合金を作製した。
囲気にてアーク溶解を示し、それぞれ３０ｇのボタン状
の合金を作製した。
これを乳鉢にて粉砕・分級し、粒径的５０〜１００μｍ
の粉末を作製した。
の粉末を作製した。
次にこれらの粉末をそれぞれ３００ｍｇ１ｉＱし、ハン
ドプレスにて７ｔ／ｃｒｒ１１の加圧条件で直径６ｍｍ
の円板状試料とした。
ドプレスにて７ｔ／ｃｒｒ１１の加圧条件で直径６ｍｍ
の円板状試料とした。
上記の手順で作製した円板状のゲッター材料を、ｌＸｌ
０−６Ｔｏｒｒ以下にて約ｔｏｏｏ’ｃｔ−１Ｏ分間活
性化を行い、室温まで冷却後ガス吸収測定を行った。
０−６Ｔｏｒｒ以下にて約ｔｏｏｏ’ｃｔ−１Ｏ分間活
性化を行い、室温まで冷却後ガス吸収測定を行った。
ガス吸収測定は、Ｈ２ガスを用いてゲッター材料雰囲気
を３０℃、ｌＸｌ０−３Ｔｏｒｒで一定に保らながら、
吸収するガス１を伯のチャンバーから補充していき、そ
のチャンバーの圧力変化を読み取る方法で吸収量および
吸収速度を測定した。
を３０℃、ｌＸｌ０−３Ｔｏｒｒで一定に保らながら、
吸収するガス１を伯のチャンバーから補充していき、そ
のチャンバーの圧力変化を読み取る方法で吸収量および
吸収速度を測定した。
活性化後３０分時点での吸収速度及び吸収量をそれぞれ
の合金について測定した。
の合金について測定した。
また、飽和吸収量についてはｌｏｏｍｇの粉末試料を用
い、材料雰囲気を３００℃をとしたほかは前記と同様に
して測定した。
い、材料雰囲気を３００℃をとしたほかは前記と同様に
して測定した。
但し、ここでの飽和吸収量はＨ２ガス導入後チャンバー
の圧力変化がほとんど生じなくなる約１、５０分での吸
収量とした。
の圧力変化がほとんど生じなくなる約１、５０分での吸
収量とした。
測定結果を比較例と共に第１表に示す。
〔発明の効果１
本発明のゲッター合金を用いることにより、室温におい
ても内容用の大きな容器内を排気したり、あるいは、特
に初期に大きな排気速度を必要とする場合において、従
来よりも少ない量で高真空を短時間に確保し、しかも維
持可能とすることができ、また、これによってゲッター
材料の容器内等の設置体積が少なくて済み、設置場所の
確保が容易になる。
ても内容用の大きな容器内を排気したり、あるいは、特
に初期に大きな排気速度を必要とする場合において、従
来よりも少ない量で高真空を短時間に確保し、しかも維
持可能とすることができ、また、これによってゲッター
材料の容器内等の設置体積が少なくて済み、設置場所の
確保が容易になる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ａｌ：５〜３０重量％ Ｖ：０．１〜１４重量％ Ｚｒ：実質的に残部 よりなることを特徴とする非蒸発型ゲッター合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63269417A JPH0730421B2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 非蒸発型ゲッター合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63269417A JPH0730421B2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 非蒸発型ゲッター合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02118045A true JPH02118045A (ja) | 1990-05-02 |
| JPH0730421B2 JPH0730421B2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=17472127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63269417A Expired - Lifetime JPH0730421B2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 非蒸発型ゲッター合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730421B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100381960B1 (ko) * | 2000-06-05 | 2003-05-01 | 주식회사 세종소재 | 겟터 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01156409A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-20 | Ergenics Inc | 水素粉砕による強靭かつ多孔性のゲッターの製造法およびそれより製造されたゲッター |
-
1988
- 1988-10-27 JP JP63269417A patent/JPH0730421B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01156409A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-20 | Ergenics Inc | 水素粉砕による強靭かつ多孔性のゲッターの製造法およびそれより製造されたゲッター |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100381960B1 (ko) * | 2000-06-05 | 2003-05-01 | 주식회사 세종소재 | 겟터 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0730421B2 (ja) | 1995-04-05 |
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