KR0144945B1 - 레티클 검출장치 - Google Patents

레티클 검출장치

Info

Publication number
KR0144945B1
KR0144945B1 KR1019940021085A KR19940021085A KR0144945B1 KR 0144945 B1 KR0144945 B1 KR 0144945B1 KR 1019940021085 A KR1019940021085 A KR 1019940021085A KR 19940021085 A KR19940021085 A KR 19940021085A KR 0144945 B1 KR0144945 B1 KR 0144945B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
reticle
cassette
manipulator
detection device
hand
Prior art date
Application number
KR1019940021085A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960009089A (ko
Inventor
지원호
Original Assignee
이대원
삼성항공산업주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이대원, 삼성항공산업주식회사 filed Critical 이대원
Priority to KR1019940021085A priority Critical patent/KR0144945B1/ko
Priority to GB9517171A priority patent/GB2292636B/en
Priority to DE19530856A priority patent/DE19530856A1/de
Priority to FR9510047A priority patent/FR2723929B1/fr
Priority to JP7239148A priority patent/JPH0878325A/ja
Priority to CN95117126A priority patent/CN1130260A/zh
Publication of KR960009089A publication Critical patent/KR960009089A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0144945B1 publication Critical patent/KR0144945B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
    • G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Library & Information Science (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 레티클 검출장치를 개시한다. 본 고안은 전면에 그 폭보다 긴 길이를 갖는 도어를 구비한 카세트와, 이 카세트에 레티클을 인입 및 인출하는 매니퓰레이터의 핸드와 상기 매니퓰레이터의 본체에 설치된 X,Y 테이블에 설치되어 상기 도어를 개폐하는 개폐수단을 구비하여 된 레티클 검출장치에 관한 것으로, 상기 핸드 또는 개폐수단의 적어도 일측에 상기 카세트 내부에 레티클의 장착 여부를 감지하는 레티클 감지수단을 설치하여 된 것에 그 특징이 있으며, 이는 카세트에 레티클의 장착여부를 감지하여 카세트에 레티클을 인입 및 인출시키는 매니퓰레이터를 제어하여 카세트에 장착된 레티클과 인입되는 레티클의 충돌을 방지할 수 있다.

Description

레티클 검출장치
제1도는 일반적인 레티클을 도시한 사시도,
제2도는 카세트 지지대를 도시한 사시도,
제3도는 본 발명에 따른 레티클 검출장치를 도시한 사시도,
제4도는 개폐수단에 의해 카세트의 도어가 개폐되는 상태를 도시한 사시도,
제5도 및 제6도는 본 발명에 따른 레티클 검출장치의 다른 실시예를 도시한 사시도,
제7도는 레티클 검출장치의 또 다른 실시예를 도시한 사시도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
20:감지수단 42:무게 감지수단
100:레티클(reticle) 200:카세트
201:카세트의 도어 300:지지대
400:매티퓰레이터 401:핸드
본 발명은 카세트 내부의 부품 검출장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 카세트의 내부에 레티클(reticle)의 장착여부를 검출하는 레티클 검출장치에 관한 것이다.
통상적으로 카세트의 내부에 장착되는 부품 즉, 웨이퍼 또는 평판형 화상표시소자의 기판에 소정의 전극패턴을 형성하기 위해 소정의 패턴이 새겨진 레티클은 그 제작이 매우 어렵고 고가이므로 주의 깊게 다루어져야 한다.
이러한 레티클은 제1도에 도시된 바와 같이 그 상면 또는 하면에 소정 노광 패턴이 형성된 유리기판(101)과, 이 유리기판(101)의 상하면에 설치되어 먼지 등과 같은 이물이 부착되는 것을 방지하는 상하부 펠리클(102)(102')을 구비하여 이루어진다. 이와같이 구성된 레티클은 제2도에 도시된 바와 같이 카세트(200)에 장착된 후 지지대(300)에 적층되어 있다.
이러한 레티클은 기판의 노광작업시 레티클(100)을 지지대(300)에 지지된 카세트(200)로부터 인출하여 사용한 후 인입하거나 카세트에 지지된 레티클을 정기적으로 인출하여 먼지를 제거하게 된다. 이와같이 카세트로부터의 레티클(100)인출 및 인입은 매니퓰레이터의 핸드에 의해 이루어지게 되는데, 이 매니퓰레이터의 핸드에 의해 카세트로부터 레티클을 인출하는 경우 매니퓰레이터의 데이터 프로세스에 의해 레티클이 인출된 카세트를 기억하고 있어야 한다. 그러나 데이터 프로세스에 이상이 발생되거나 작업자가 임의로 인출후 인입한 경우 카세트에 장착되어 있는 레티클과 핸드에 의해 이동되는 레티클이 충돌되어 파손되게 되는 문제점이 내재되어 있었다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 카세트의 내부에 레티클의 장착 여부를 감지하여 매니퓰레이터에 의한 레티클의 인입시 레티클 상호간의 충돌을 방지할 수 있는 레티클 검출장치를 제공함에 그 목적이 있다.
[발명의 상세한 설명]
본 발명의 다른 목적은 레티클을 검출함에 따른 시간을 줄여 작업의 신속성을 기할 수 있는 레티클 검출장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 전면에 그 폭보다 긴 길이를 갖는 도어를 구비한 카세트와, 이 카세트에 레티클을 인입 및 인출하는 매니퓰레이터의 핸드와, 상기 매니퓰레이터의 본체에 설치된 X,Y 테이블에 설치되어 상기 도어를 개폐하는 개폐수단을 구비하여 된 레티클 검출장치에 있어서, 상기 핸드 또는 개폐수단의 적어도 일측에 상기 카세트 내부에 레티클의 장착 여부를 감지하는 레티클 감지수단을 설치하여 된 것을 그 특징으로 한다.
본 발명의 다른 특징은, 전면에 그 폭보다 긴 길이를 갖는 도어를 구비하며 투명한 재질로 이루어진 카세트와, 이 카세트에 레티클을 인입 및 인출하는 매니퓰레이터의 핸드와, 상기 매니퓰레이터의 본체에 설치된 X,Y 테이블에 설치되어 상기 도어를 개폐하는 개폐수단과, 상기 카세트의 상면 또는 하면에 설치되어 카세트의 내부에 레티클의 장착 여부를 감지하는 레티클 감지수단을 구비하여 된 것에 있다.
본 발명의 또 다른 특징은, 다수의 카세트가 상호 소정간격 이격되도록 지지된 지지대와, 이 지지대에 지지된 각 카세트에 선택적으로 레티클을 인입 및 인출하는 매니퓰레이터의 핸드와 상기 매니퓰레이터의 본체에 설치된 X,Y 테이블에 설치되어 상기 도어를 개폐하는 개폐수단을 구비하여 된 레티클 검출장치에 있어서, 상기 지지대에 지지된 카세트의 하부에 카세트의 무게를 감지하는 무게 감지센서와, 이 무게감지센서로부터 감지된 무게에 의해 상기 카세트 내부의 레티클 유무를 감지하는 데이터 프로세스를 구비하여 된 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 카세트의 레티클 검출장치는 매니퓰레이터의 핸드에 의해 카세트에 레티클의 인입 및 인출시 카세트의 내부에 레티클의 유무를 감지하는 것으로, 그 일 실시예는 제3도 및 제4도에 도시된 바와 같다.
이것은 카세트(200)의 전면에 그 폭보다 긴 길이를 갖는 도어(201)가 설치되고 이 카세트(200)에 레티클(100)을 인입 및 인출하는 매니퓰레이터(400)의 핸드(401)가 구비된다. 그리고 상기 매니퓰레이터의 본체(402)에 설치된 X,Y 테이블(403)에 설치되어 상기 도어(201)를 개폐하는 개폐수단(10)이 구비되며 상기 핸드(401) 또는 개폐수단(10)의 적어도 일측에 상기 카세트 내부에 레티클(100)의 장착 여부를 감지하는 레티클 감지수단(20)이 설치된다.
여기에서 상기 개폐수단(10)은 본체(402)의 X,Y 테이블(403)에 상기 핸드(401)와 나란한 방향으로 지지된 실린더(12)와, 이 실린더(12)의 로드(12a)에 부착되어 로드(12a)의 후퇴시 도어(201)를 개폐하는 롤러(13)을 구비하여 구성된다. 그리고 상기 핸드(401)는 ㄷ 자형의 상형으로 이루어져 지지부(401a)를 가지며, 이 지지부(401a)의 상면에는 흡입력이 작용하는 흡입공(401b)이 형성되어 있다.
상기 레티클을 감지하는 감지수단(20)은 카세트(200)의 내부에 설치된 레티클(100)의 유무를 감지하는 것으로, 제4도에 도시된 바와 같이 핸드(401)의 양측에 설치된 서포트(21)(21')와, 일측의 서포트(21)에 설치되어 상기 도어(201)가 열린 카세트(200)의 내부로 광을 조사하는 발광소자(22)와, 타측의 서포트(21')에 설치되어 상기 발광소자(22) 로부터 카세트의 내부에 조사되어 레티클(100)에 반사된 광을 감지하는 수광소자(23)을 구비하여 구성된다. 여기에서 상기 수광소자(22)와 발광소자(23)는 각각 지지부(401a)의 단부에 설치하거나 지지부(401a)의 중앙부에 설치할 수도 있다. 여기에서 상기 수광소자(22)와 발광소자(23)에 사용되는 광은 가시광, 적외선광, 레이저광등이 모두 이용가능 하며 소자종류로는 LED(light emitting diode) 혹은 LD(laster diode)를 이용함이 바람직하다.
그리고 본 발명에 따른 다른 실시예의 레티클 감지수단은 제5도 및 제6도에 도시된 바와 같이 전면에 그 폭보다 긴 길이를 갖는 도어(201')를 구비하며 카세트(200')를 반투명 또는 투명한 재질로 제작하고 이 카세트(200')의 상하부 또는 측면에는 광을 조사하는 발광소자(31)와 이 발광소자(31)로부터 조사된 광을 감지하는 수광소자(32)를 구비하여 구성된다. 그리고 수광소자(32)로부터 감지된 정보는 상기 매니퓰레이터(400)의 데이터 프로세스에 전달되어 핸드(401)의 조작을 제어하게 된다.
그리고 발명에 따른 레티클 감지수단의 또 다른 실시예는 제7도에 도시된 바와 같이 지지대(300)에 다수의 카세트(200)가 상호 소정간격 이격되도록 지지되고 이 지지대(300)에 지지된 카세트의 하면에는 카세트(200)의 무게를 감지하는 무게 감지센서(41)가 설치되고, 이 무게감지센서(41)로부터 감지된 무게에 의해 상기 카세트 내부의 레티클 유무를 감지하는 데이터 프로세스를 구비하여 구성된다. 이 무게 감지센서(41)에서 상기 데이터 프로세스에 의해 감지된 정보에 의해 상술한 매니퓰레이터가 작동된다. 여기에서 상기 무게 감지센서(41)는 로드셀을 사용함이 바람직하다.
이와같이 구성된 본 발명에 따른 레티클 감지수단의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저 지지대(도시되지 않음)에 다수의 카세트(200)가 소정간격 이격되도록 지지되어 있는 상태에서 매니퓰레이터(400)의 본체(402)에 설치된 X,Y 테이블(403)에 의해 실린더가 외측 방향으로 이동된 후 작동되어 로드(12a)가 전진함으로써 이의 단부에 설치된 롤로(13)가 카세트(200)의 도어(201) 보다 후측에 위치되도록 한다. 이 상태에서 상기 X,Y 테이블(403)에 의해 실린더(12)가 카세트(200)의 측면으로 이동되어 카세트(200)로부터 돌출된 도어(201)의 후측에 위치되도록 한다. 그리고 상기 실린더(12)가 작동되어 롤러(13)가 후퇴하게 되면 로드(12a)에 지지된 롤러(13)에 의해 도어(201)가 열리게 되고 상기 서포트(21)에 설치된 발광소자(22)로부터 광이 카세트의 내부에 조사된다. 이때에 상기 카세트(200)의 내부에 레티클이 설치되어 있는 경우에는 상기 레티클(100)으로부터 반사된 광이 상기 수광소자(23)에 의해 감지되어 매니퓰레이터의 헤드(401)에 의한 레티클의 인입이 중지된다. 그리고 상기 발광소자(22)로부터 조사된 광이 수광소자에 감지되지 않은 경우에는 상기 카세트(200)의 내부에 레티클이 장착되지 않은 상태이므로 핸드(401)에 의해 이에 지지된 레티클(100)이 카세트에 인입되게 된다.
그리고 본 발명의 다른 실시예로서 카세트(200)가 반투명 또는 투명한 재질로 제작된 경우에는 제5도 및 제6도에 도시된 바와 같이 발광소자(31)로부터 방출된 광이 투명 또는 반투명한 재질로 된 카세트(200)를 통과한 후 레티클 유무에 의해 반사 또는 투과되어 수광소자에 감지되는 지의 여부에 따라 카세트에 레티클의 장착여부를 감지하게 된다.
그리고 본 발명의 또 다른 실시예는 제7도에 도시된 바와 같이 지지대(300)에 지지된 카세트의 장착여부의 무게를 감지하는 감지센서(41)에 의해 카세트의 무게가 감지되고 이 감지된 무게는 무게 감지센서(41)의 데이터 프로세서에 의해 분석되어 카세트의 내부에 레티클의 장착여부를 감지하게 되고 이 장착여부에 따라 상기 매니퓰레이터가 작동되게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 상기 레티클 검출장치는 카세트의 내부에 레티클의 장착여부를 감지하여 매니퓰레이터를 제어함으로써 카세트에 장착된 레티클과 상기 핸드에 지지된 레티클이 접촉되어 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 공정지연을 방지하여 생산성의 향상을 도모할 수 있는 이점을 가진다.
본 발명은 레티클의 먼지제거장치, 레티클의 세척장치등에도 적용이 가능하다.

Claims (7)

  1. 전면에 그 폭보다 긴 길이를 갖는 도어를 구비한 카세트와, 이 카세트에 레티클을 인입 및 인출하는 매니퓰레이터의 핸드와, 상기 매니퓰레이터의 본체에 설치된 X,Y 테이블에 설치되어 상기 도어를 개폐하는 개폐수단을 구비하여 된 레티클 검출장치에 있어서, 상기 핸드 또는 개폐수단의 적어도 일측에 상기 카세트 내부에 레티클의 장착 여부를 감지하는 레티클 감지수단을 설치하여 된 것을 특징으로 하는 레티클 검출장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 감지수단이 매니퓰레이터의 핸드 양측에 지지된 한쌍의 서포트와, 이 서포트에 지지되어 상기 카세트의 내부에 광을 조사하는 발광소자와, 이 발광소자로부터 레티클에 조사되어 반사된 광을 감지하는 수광소자를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 레티클 검출장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 수광소자와 발광소자가 핸드에 설치된 것을 특징으로 하는 레티클 검출장치.
  4. 전면에 그 폭보다 긴 길이를 갖는 도어를 구비하며 투명한 재질로 이루어진 카세트와, 이 카세트에 레티클을 인입 및 인출하는 매니퓰레이터의 핸드와, 상기 매니퓰레이터의 본체에 설치된 X,Y 테이블에 설치되어 상기 도어를 개폐하는 개폐수단과, 상기 카세트의 상하부 또는 측면에 설치되어 카세트의 내부에 레티클의 장착 여부를 감지하는 레티클 감지수단을 구비하여 된것을 특징으로 하는 레티클 검출장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 감지수단이 카세트의 상하부 또는 측면에 설치되어 광을 조사하는 발광소자와, 이 발광소자로부터 조사되어 카세트의 내부에 설치된 레티클 유무에 의해 반사 또는 투과된 광을 감지하는 수광소자를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 레티클 검출장치.
  6. 다수의 카세트가 상호 소정간격 이격되도록 지지된 지지대와, 이 지지대에 지지된 각 카세트에 선택적으로 레티클을 인입 및 인출하는 매니퓰레이터의 핸드와 상기 매니퓰레이터의 본체에 설치된 X,Y 테이블에 설치되어 상기 도어를 개폐하는 개폐수단을 구비하여 된 레티클 검출장치에 있어서, 상기 지지대에 지지된 카세트의 하부에 카세트의 무게를 감지하는 무게 감지센서와, 이 무게감지센서로부터 감지된 무게에 의해 상기 카세트 내부의 레티클 유무를 감지하는 데이터 프로세스를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 레티클 검출장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 무게 감지센서가 로드셀인 것을 특징으로 하는 레티클 검출장치.
KR1019940021085A 1994-08-25 1994-08-25 레티클 검출장치 KR0144945B1 (ko)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019940021085A KR0144945B1 (ko) 1994-08-25 1994-08-25 레티클 검출장치
GB9517171A GB2292636B (en) 1994-08-25 1995-08-22 Apparatus for loading and unloading reticles
DE19530856A DE19530856A1 (de) 1994-08-25 1995-08-22 Vorrichtung zum Laden und Entladen einer Zwischenmaske
FR9510047A FR2723929B1 (fr) 1994-08-25 1995-08-24 Dispositif pour charger et decharger des reticules
JP7239148A JPH0878325A (ja) 1994-08-25 1995-08-24 レチクルの装着及び取り出し装置
CN95117126A CN1130260A (zh) 1994-08-25 1995-08-25 标线片的装入和取出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019940021085A KR0144945B1 (ko) 1994-08-25 1994-08-25 레티클 검출장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960009089A KR960009089A (ko) 1996-03-22
KR0144945B1 true KR0144945B1 (ko) 1998-08-17

Family

ID=19391159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019940021085A KR0144945B1 (ko) 1994-08-25 1994-08-25 레티클 검출장치

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JPH0878325A (ko)
KR (1) KR0144945B1 (ko)
CN (1) CN1130260A (ko)
DE (1) DE19530856A1 (ko)
FR (1) FR2723929B1 (ko)
GB (1) GB2292636B (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100665293B1 (ko) * 2006-01-04 2007-01-17 코리아테크노(주) 마스크 운송박스 박스커버 오프너
CN105448783A (zh) * 2015-12-28 2016-03-30 江苏创基新能源有限公司 装框件的溢胶检查装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6142722A (en) * 1998-06-17 2000-11-07 Genmark Automation, Inc. Automated opening and closing of ultra clean storage containers
TW495802B (en) * 1999-04-13 2002-07-21 Semiconductor 300 Gmbh & Amp C Arrangement for storing objects, particularly for storing disklike objects such as wafers, flat panels or CDs
KR100620160B1 (ko) * 2002-12-30 2006-09-01 동부일렉트로닉스 주식회사 레티클 로딩장치
CN108615332A (zh) * 2016-12-13 2018-10-02 海太半导体（无锡）有限公司 贴片设备基板位置传感器感应和报警系统
JP7186225B2 (ja) * 2017-11-30 2022-12-08 チャイナ トライアンフ インターナショナル エンジニアリング カンパニー リミテッド 密閉チャンバ内での基板位置を判定する方法およびこの方法を実行する装置
CN110941145B (zh) * 2018-09-21 2021-07-30 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种掩膜版检测装置及方法、掩膜版库设备
CN110609451A (zh) * 2019-08-19 2019-12-24 武汉华星光电技术有限公司 一种曝光机
CN113671799A (zh) * 2020-05-15 2021-11-19 长鑫存储技术有限公司 光罩检测装置、方法、曝光机和光刻设备

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4776462A (en) * 1985-09-27 1988-10-11 Canon Kabushiki Kaisha Container for a sheet-like article
JPS6276531A (ja) * 1985-09-27 1987-04-08 Canon Inc 基板収納方法
JPS6278084A (ja) * 1985-09-27 1987-04-10 キヤノン株式会社 基板収納容器
US4999671A (en) * 1986-07-11 1991-03-12 Canon Kabushiki Kaisha Reticle conveying device
DE69123279T2 (de) * 1990-04-06 1997-04-24 Canon Kk Transportvorrichtung für Substrate und Verfahren zur Kontrolle
DE4238834A1 (en) * 1991-11-18 1993-05-19 Fusion Systems Corp Robotic semiconductor wafer transporter with vertical photodetector array - scans detectors to determine which slots are occupied by wafers illuminated from emitter on robot arm
US5225691A (en) * 1992-05-18 1993-07-06 Avalon Engineering, Inc. Semiconductor wafer cassette mapper with emitter and detector arrays for slot interrogation

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100665293B1 (ko) * 2006-01-04 2007-01-17 코리아테크노(주) 마스크 운송박스 박스커버 오프너
CN105448783A (zh) * 2015-12-28 2016-03-30 江苏创基新能源有限公司 装框件的溢胶检查装置

Also Published As

Publication number Publication date
GB9517171D0 (en) 1995-10-25
DE19530856A1 (de) 1996-02-29
JPH0878325A (ja) 1996-03-22
KR960009089A (ko) 1996-03-22
GB2292636B (en) 1998-12-23
CN1130260A (zh) 1996-09-04
GB2292636A (en) 1996-02-28
FR2723929B1 (fr) 1997-07-25
FR2723929A1 (fr) 1996-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0144945B1 (ko) 레티클 검출장치
KR960032577A (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법
JP3059112B2 (ja) 印刷機における刷版の端部挿入装置
JPS6256041B2 (ko)
JP4262389B2 (ja) ワーク取出し方法
IT202000008092A1 (it) Macchina per la lavorazione di componenti di legno o simili
JP2001350130A (ja) 液晶表示素子用フィルム切断装置及びこれに用いるフィルム
JP2002029023A (ja) 印刷ユニットの補助装置
TW200409266A (en) Wafer processing apparatus capable of mapping wafer
JP2004207507A (ja) 基板検出装置
JPH0520333B2 (ko)
JP4139591B2 (ja) カセット蓋着脱装置
JP3177903B2 (ja) 荷役車両における荷物の位置検出装置
JP4173979B2 (ja) 容器開閉装置
JPH08192293A (ja) バネで付勢されたピンによる加圧装置
JP3933781B2 (ja) ステップ装置
KR100752508B1 (ko) 도포장치
JPH0712499U (ja) 抄紙機用β線坪量計
JP2001217303A (ja) ガラス基板の基板端検出装置
KR200151980Y1 (ko) 리드 프레임의 폼 옵션 감지장치
JPH10319125A (ja) 物品搬出モニタ
JPH0610243Y2 (ja) 投光装置
JP4034902B2 (ja) ２次元測定機のワークセット装置
JP2001259744A (ja) プレスブレーキの安全装置
JP3172637B2 (ja) 基板枚数検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20010402

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee