JPS6278084A - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器Info
- Publication number
- JPS6278084A JPS6278084A JP60215491A JP21549185A JPS6278084A JP S6278084 A JPS6278084 A JP S6278084A JP 60215491 A JP60215491 A JP 60215491A JP 21549185 A JP21549185 A JP 21549185A JP S6278084 A JPS6278084 A JP S6278084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- storage container
- lid member
- box member
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の利用分野］
本発明は、半導体製造装置、特に自動的にマスク、レチ
クル等を交換する装置において、マスク及びレチクル等
の基板を収納する容器に関するものである。
クル等を交換する装置において、マスク及びレチクル等
の基板を収納する容器に関するものである。
［従来技術］
半導体素子製造用のフォトマスク及びレチクル（以下レ
チクルと呼ぶ）を収納する容器は、レチクルの清浄度を
保存して収納し、必要な時には速やかに取り出せる事が
求められている。従来用いられている容器は収納レチク
ルを支持する長方形の箱の１側面を、上端で開閉可能に
結合した蓋部材とし、レチクル挿脱時にはこの蓋部材の
みを開放して挿脱を行う構成をとっていた。しかしこの
容器の構成では、レチクルの存在の確認を外部から行う
のは困難で、レチクルの保持、搬出等の操作もせまい容
器内で行わなければならなかった。
チクルと呼ぶ）を収納する容器は、レチクルの清浄度を
保存して収納し、必要な時には速やかに取り出せる事が
求められている。従来用いられている容器は収納レチク
ルを支持する長方形の箱の１側面を、上端で開閉可能に
結合した蓋部材とし、レチクル挿脱時にはこの蓋部材の
みを開放して挿脱を行う構成をとっていた。しかしこの
容器の構成では、レチクルの存在の確認を外部から行う
のは困難で、レチクルの保持、搬出等の操作もせまい容
器内で行わなければならなかった。
この為この容器内のレチクルを自動袋とで挿脱するには
、容器より十分小さく、かつレチクルの存在を検知する
手段をそなえたアーム等を挿入操作するなど複雑な装置
、困難な操作を必要とした。
、容器より十分小さく、かつレチクルの存在を検知する
手段をそなえたアーム等を挿入操作するなど複雑な装置
、困難な操作を必要とした。
［発明の目的］
本発明の目的は前述従来例の欠点を解消し、レチクルの
自動挿脱時のレチクル確認と挿脱操作が容易にできる基
板収納容器を提供する事にある。
自動挿脱時のレチクル確認と挿脱操作が容易にできる基
板収納容器を提供する事にある。
［実施例］
第１図、第２図、第３図、第４図に本発明の基板収納容
器の実施例を示す。第１図は収納容器・蓋部材裏面Φ箱
部材の斜視図である。図中１はレチクル、２は箱部材、
３は蓋部材である。
器の実施例を示す。第１図は収納容器・蓋部材裏面Φ箱
部材の斜視図である。図中１はレチクル、２は箱部材、
３は蓋部材である。
箱部材到視因において、レチクル１の４隅を支持した箱
部材は太きく円曲した隅部と平面等で形状を構成し、使
用開始前容器に塵がたまっている時、又は長期使用時に
“万が−”塵が容器内に付着してしまった時のメンテナ
ンス清掃の際に隅の方まで容易にかつ完全に塵を取り去
る事ができる構造にしである。又、レチクルｌの基板を
箱部材の所定の位置に設定する為に円曲した紙部に突起
５を複数ケ所持たせている０箱部材２は側面を３面にし
、対向する２面の上端は隣接する側面の上端から底に向
かって傾斜している。この為箱部材内部に塵が付着して
も洗浄がしやすくなっている。一方蓋部材３は前述した
箱部材２の上端傾斜側面と係合するように同様の下Ｉｔ
Ａ＃ｉ斜側面を右側面いる。又レチクルを上から押えて
安定させる為に押え部材６を設けである。
部材は太きく円曲した隅部と平面等で形状を構成し、使
用開始前容器に塵がたまっている時、又は長期使用時に
“万が−”塵が容器内に付着してしまった時のメンテナ
ンス清掃の際に隅の方まで容易にかつ完全に塵を取り去
る事ができる構造にしである。又、レチクルｌの基板を
箱部材の所定の位置に設定する為に円曲した紙部に突起
５を複数ケ所持たせている０箱部材２は側面を３面にし
、対向する２面の上端は隣接する側面の上端から底に向
かって傾斜している。この為箱部材内部に塵が付着して
も洗浄がしやすくなっている。一方蓋部材３は前述した
箱部材２の上端傾斜側面と係合するように同様の下Ｉｔ
Ａ＃ｉ斜側面を右側面いる。又レチクルを上から押えて
安定させる為に押え部材６を設けである。
第２図は蓋部材３と箱部材２の保合関係を示したもので
、（ａ）は蓋部材３を閉じた状態での容器の側面図、（
ｂ）はその断面図である。第３図にはその正面断面図を
示す。第２図で箱部材についているピン２ａと蓋部材に
ついているヒンジ３ａは図示のこと〈保合し、このピン
２ａを回転中心にした蓋部材３又は箱部材２の開閉が可
能で、更に両者は分離できるようになっている。又第３
図に示すように箱部材２の両上端傾斜側面の上端は外方
向に傾斜しているリブ２ｂを有し、蓋部材３の両側の傾
斜側面端部はリブ２ｂの傾斜面に係合し、箱部材２と蓋
部材３の位置合わせも同時に行なう。この構造によって
密封性を向上でき、更に止め具等を使用していないので
塵の発生も防げる。
、（ａ）は蓋部材３を閉じた状態での容器の側面図、（
ｂ）はその断面図である。第３図にはその正面断面図を
示す。第２図で箱部材についているピン２ａと蓋部材に
ついているヒンジ３ａは図示のこと〈保合し、このピン
２ａを回転中心にした蓋部材３又は箱部材２の開閉が可
能で、更に両者は分離できるようになっている。又第３
図に示すように箱部材２の両上端傾斜側面の上端は外方
向に傾斜しているリブ２ｂを有し、蓋部材３の両側の傾
斜側面端部はリブ２ｂの傾斜面に係合し、箱部材２と蓋
部材３の位置合わせも同時に行なう。この構造によって
密封性を向上でき、更に止め具等を使用していないので
塵の発生も防げる。
レチクルｌは４隅の支持部材４によって保持されるので
、ペリクル防塵膜の種々形状寸法に自由度があり、支持
部の簡略化で収納容器洗浄時も邪魔にならない。
、ペリクル防塵膜の種々形状寸法に自由度があり、支持
部の簡略化で収納容器洗浄時も邪魔にならない。
第４図に本発明の基板収納容器におけるレチクルの挿脱
方法を示す。（ｉ）の状態でレチクルを収納している収
納容器の蓋部材３を（ｉｉ）のようにピン２ａを回転中
心にして持ち上げ、（ｉｉｉ）のように箱部材２を矢印
の方向へ引き出す。図かられかるようにレチクル１は（
ｉｉｉ）の状態で１部が容器から完全に露出した形にな
っている。この為レチクルｌを自動挿脱する際には保持
するアーム等が大きい場合も露出度を保持する事で容器
による制限を受けない挿脱操作が容易にできる。又露出
部がある事でレチクルの存在検知手段を容器外部に設置
する事ができ、アームに検知手段を取りつける等の挿脱
装置の複雑化を避ける事が可能になる。
方法を示す。（ｉ）の状態でレチクルを収納している収
納容器の蓋部材３を（ｉｉ）のようにピン２ａを回転中
心にして持ち上げ、（ｉｉｉ）のように箱部材２を矢印
の方向へ引き出す。図かられかるようにレチクル１は（
ｉｉｉ）の状態で１部が容器から完全に露出した形にな
っている。この為レチクルｌを自動挿脱する際には保持
するアーム等が大きい場合も露出度を保持する事で容器
による制限を受けない挿脱操作が容易にできる。又露出
部がある事でレチクルの存在検知手段を容器外部に設置
する事ができ、アームに検知手段を取りつける等の挿脱
装置の複雑化を避ける事が可能になる。
本実施例では基板収納容器が収納棚等の中に設置される
事を想定して箱部材２を引き出す構成をとったが、第４
図の（ｉｉ）の状態からそのままレチクルを挿脱する形
や、（ｉ）の状態から蓋部材３をそのまま上に持ち上げ
てレチクルｌや箱部材２を挿脱する形をとってもよい、
又、箱部材２にレチクルの位置決め突起５を前後左右４
ケ所持たせたが、第５図のようにレチクル挿脱方向の突
起を蓋側に持たせレチクル挿脱や容器洗浄の邪魔になら
ないようにする事も可能である。又咽部は円曲面ではな
く緩やかな傾斜面であってもかまわない。更に容器の形
状、箱部材、蓋部材、支持部材の形状も本発明の範囲内
で適宜変更可能である。
事を想定して箱部材２を引き出す構成をとったが、第４
図の（ｉｉ）の状態からそのままレチクルを挿脱する形
や、（ｉ）の状態から蓋部材３をそのまま上に持ち上げ
てレチクルｌや箱部材２を挿脱する形をとってもよい、
又、箱部材２にレチクルの位置決め突起５を前後左右４
ケ所持たせたが、第５図のようにレチクル挿脱方向の突
起を蓋側に持たせレチクル挿脱や容器洗浄の邪魔になら
ないようにする事も可能である。又咽部は円曲面ではな
く緩やかな傾斜面であってもかまわない。更に容器の形
状、箱部材、蓋部材、支持部材の形状も本発明の範囲内
で適宜変更可能である。
［発１１の効果］
本発明によりレチクルの自動挿脱時のレチクル＠認と挿
脱操作が容易にできる基板収納容器が可能になった。
脱操作が容易にできる基板収納容器が可能になった。
第１図は本発明の実施例の基板収納容器会蓋部材裏面・
箱部材の斜視図、第２図（ａ）は基板収納容器の側面図
、（ｂ）はその断面図、第３図は基板収納容器の正面断
面図、第４図は本実施例における基板挿脱方法の概念図
、第５図は本発明の別の実施例の基板収納容器の側面断
面図である。 １ニレチクル ２二箱部材 ２ａ：ピン ２ｂ：リブ ６：押え部材 Ｓ部訝
箱部材の斜視図、第２図（ａ）は基板収納容器の側面図
、（ｂ）はその断面図、第３図は基板収納容器の正面断
面図、第４図は本実施例における基板挿脱方法の概念図
、第５図は本発明の別の実施例の基板収納容器の側面断
面図である。 １ニレチクル ２二箱部材 ２ａ：ピン ２ｂ：リブ ６：押え部材 Ｓ部訝
Claims (7)
- （１）基板を収納する箱部材と、前記箱部材の開口部を
略密閉状態にする蓋部材と、前記基板を支持する前記箱
部材内の支持部とによって構成され、前記基板が前記支
持部に支持された状態で前記蓋部材を開けた時に前記基
板の一部が前記開口部より突出している事を特徴とする
基板収納容器。 - （２）前記蓋部材と前記箱部材が支軸を中心に開閉可能
かつ上下分離可能な結合手段を有する事を特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載の基板収納容器。 - （３）前記蓋部材と前記箱部材が、前記基板の両平面に
略平行に挿脱可能な方向に傾斜した角度で当接する事を
特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の基板収納容器
。 - （４）前記支持部が前記基板の４隅部を支持する事を特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の基板収納容器。 - （５）前記蓋部材と前記箱部材の当接する面が互いにテ
ーパーで接している事を特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載の基板収納容器。 - （６）前記蓋部材と前記箱部材が略多面体形であり前記
面が互いに結合する部分が曲面ないし平面を成す事を特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の基板収納容器。 - （７）前記蓋部材に前記基板を位置決めする手段を設け
た事を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の基板収
納容器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60215491A JPS6278084A (ja) | 1985-09-27 | 1985-09-27 | 基板収納容器 |
| US06/911,414 US4776462A (en) | 1985-09-27 | 1986-09-25 | Container for a sheet-like article |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60215491A JPS6278084A (ja) | 1985-09-27 | 1985-09-27 | 基板収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6278084A true JPS6278084A (ja) | 1987-04-10 |
Family
ID=16673261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60215491A Pending JPS6278084A (ja) | 1985-09-27 | 1985-09-27 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6278084A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2723929A1 (fr) * | 1994-08-25 | 1996-03-01 | Samsung Aerospace Ind | Dispositif pour charger et decharger des reticules |
-
1985
- 1985-09-27 JP JP60215491A patent/JPS6278084A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2723929A1 (fr) * | 1994-08-25 | 1996-03-01 | Samsung Aerospace Ind | Dispositif pour charger et decharger des reticules |
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