JPWO2023233554A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2023233554A5
JPWO2023233554A5 JP2024524051A JP2024524051A JPWO2023233554A5 JP WO2023233554 A5 JPWO2023233554 A5 JP WO2023233554A5 JP 2024524051 A JP2024524051 A JP 2024524051A JP 2024524051 A JP2024524051 A JP 2024524051A JP WO2023233554 A5 JPWO2023233554 A5 JP WO2023233554A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
substrates
lid
flat
container body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2024524051A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2023233554A1 (https=
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2022/022223 external-priority patent/WO2023233554A1/ja
Publication of JPWO2023233554A1 publication Critical patent/JPWO2023233554A1/ja
Publication of JPWO2023233554A5 publication Critical patent/JPWO2023233554A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2024524051A 2022-05-31 2022-05-31 Pending JPWO2023233554A1 (https=)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2022/022223 WO2023233554A1 (ja) 2022-05-31 2022-05-31 基板収納容器及び蓋体側基板支持部

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2023233554A1 JPWO2023233554A1 (https=) 2023-12-07
JPWO2023233554A5 true JPWO2023233554A5 (https=) 2025-06-06

Family

ID=89025941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024524051A Pending JPWO2023233554A1 (https=) 2022-05-31 2022-05-31

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20260026299A1 (https=)
JP (1) JPWO2023233554A1 (https=)
KR (1) KR20250019627A (https=)
CN (1) CN119343766A (https=)
TW (1) TW202348529A (https=)
WO (1) WO2023233554A1 (https=)

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH069850Y2 (ja) * 1987-06-15 1994-03-16 日本板硝子株式会社 車両用窓ガラス
JPH062272Y2 (ja) * 1988-02-25 1994-01-19 信越ポリマー株式会社 ウェーハ容器の上部緩衝板
JP3778958B2 (ja) * 1994-05-12 2006-05-24 ミライアル株式会社 薄板用支持容器
JP3145252B2 (ja) * 1994-07-29 2001-03-12 淀川化成株式会社 基板支承用側板およびそれを用いたカセット
JP3180693B2 (ja) * 1996-11-21 2001-06-25 三菱マテリアル株式会社 ウェーハ収納容器のウェーハ押え部材
JPH11121601A (ja) * 1997-10-20 1999-04-30 Dainippon Ink & Chem Inc ウエハ収納容器
JP3938293B2 (ja) * 2001-05-30 2007-06-27 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器及びその押さえ部材
MY134341A (en) * 2001-11-14 2007-12-31 Entegris Inc Wafer carrier with wafer retaining system
KR100615761B1 (ko) * 2002-09-11 2006-08-28 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 기판 수납 용기
JP4667769B2 (ja) * 2004-06-11 2011-04-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US7523830B2 (en) * 2004-11-23 2009-04-28 Entegris, Inc. Wafer container with secondary wafer restraint system
JP2006269771A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Miraial Kk 気密容器
JP4668053B2 (ja) * 2005-12-07 2011-04-13 信越ポリマー株式会社 リテーナ及び基板収納容器
US8528738B2 (en) * 2006-06-13 2013-09-10 Entegris, Inc. Reusable resilient cushion for wafer container
JP5270668B2 (ja) * 2008-04-25 2013-08-21 信越ポリマー株式会社 リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器
TWI384577B (zh) * 2008-07-31 2013-02-01 家登精密工業股份有限公司 門上凹陷區域兩旁配置有晶圓限制件模組之前開式晶圓盒
TWD176128S (zh) * 2010-03-11 2016-06-01 安堤格里斯公司 用於晶圓載運器之襯墊
JP6114193B2 (ja) * 2010-10-20 2017-04-12 インテグリス・インコーポレーテッド ドア・ガイドおよびシールを備えたウェーハ容器
KR20150066540A (ko) * 2012-10-12 2015-06-16 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기
KR102062672B1 (ko) * 2012-11-20 2020-01-06 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기
KR20140092548A (ko) * 2013-01-16 2014-07-24 삼성전자주식회사 웨이퍼 보관 장치
US9887116B2 (en) * 2014-03-26 2018-02-06 Miraial Co., Ltd. Substrate storing container
JP6391333B2 (ja) * 2014-07-10 2018-09-19 ミライアル株式会社 基板収納容器及びリテーナ
SG11201707411QA (en) * 2015-04-10 2017-10-30 Shinetsu Polymer Co Substrate storage container
KR102363033B1 (ko) * 2015-07-03 2022-02-15 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기
WO2018185894A1 (ja) * 2017-04-05 2018-10-11 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP7445741B2 (ja) * 2019-07-19 2024-03-07 インテグリス・インコーポレーテッド ウェハクッション、ウェハキャリアおよびウェハを支持する方法
JP7414982B2 (ja) * 2020-05-19 2024-01-16 ミライアル株式会社 基板収納容器
TWI855914B (zh) * 2023-05-04 2024-09-11 家登精密工業股份有限公司 基板容器保護裝置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20080237327A1 (en) Food Container With a Holder For a Condiment Cup
WO2014203405A1 (ja) ウェブ収納容器
USD935165S1 (en) Storage container
JPWO2023233554A5 (https=)
JPWO2023248464A5 (https=)
JP3180818U (ja) ポップアップ式箸箱
KR200454960Y1 (ko) 샤프심 케이스 수납함이 구비된 필통
JP2017149462A (ja) 食品包装用容器
USD1029497S1 (en) Storage container
JP4500933B2 (ja) カード類整理箱
JPWO2024247263A5 (https=)
JP2018203276A (ja) 容器
CN201086931Y (zh) 4英寸晶圆包装盒
CN217673856U (zh) 一种储蛋装置
JP2005001736A (ja) 容器体のスタッキング構造
JP3185256U (ja) 多用途収納箱
USD1082047S1 (en) Lid for specimen storage container
JP3244063B2 (ja) 収納容器
CN217416569U (zh) 一种锂电池运输存放装置
JP2005088219A (ja) 画像形成装置
CN208665811U (zh) 一种手腕式剂量片容纳盒
CN211732179U (zh) 用于硬盘结构的包装托盘
JP2019150878A (ja) ストラップガイド及びこれを有するペールパック
CN2928760Y (zh) 5英寸晶圆包装盒
JP3158139U (ja) ディスク収納ケース