JPWO2022003916A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024076652A (ja) * 2022-11-25 2024-06-06 株式会社大気社 検査装置および検査方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6121961U (ja) * 1984-07-16 1986-02-08 神奈川県 超音波探触子の保持装置
JPH10227768A (ja) 1997-02-13 1998-08-25 Aisin Seiki Co Ltd 雨滴検出装置
JPH10253604A (ja) 1997-03-07 1998-09-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波探触子
JPH10308997A (ja) 1997-05-08 1998-11-17 Olympus Optical Co Ltd 超音波振動子
US6134006A (en) * 1998-02-25 2000-10-17 Becthel Bwxt Idaho, Llc Imaging photorefractive optical vibration measurement method and device
JPH11315883A (ja) * 1998-04-30 1999-11-16 Canon Inc 除振装置、露光装置およびデバイス製造方法
JP2002177271A (ja) 2000-12-07 2002-06-25 Ge Medical Systems Global Technology Co Llc 超音波プローブ製造方法、超音波プローブ、および超音波撮像装置
WO2005006416A1 (ja) * 2003-07-09 2005-01-20 Nikon Corporation 結合装置、露光装置、及びデバイス製造方法
CN100508119C (zh) 2003-07-09 2009-07-01 株式会社尼康 曝光装置、器件制造方法
JP4244172B2 (ja) * 2003-08-13 2009-03-25 株式会社Ihi 高温用超音波探触子
JP4801457B2 (ja) * 2006-02-02 2011-10-26 株式会社リコー 表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査プログラム
JP5456010B2 (ja) * 2011-08-31 2014-03-26 三菱電機株式会社 薄板検査装置
US9495737B2 (en) 2012-10-31 2016-11-15 The Boeing Company Thermal sound inspection system
JP5996415B2 (ja) * 2012-12-19 2016-09-21 株式会社東芝 超音波探傷装置及び方法
TWI585519B (zh) * 2015-11-06 2017-06-01 艾斯邁科技股份有限公司 光罩檢測裝置及其方法
JP6451695B2 (ja) 2016-06-02 2019-01-16 株式会社島津製作所 欠陥検査方法及び欠陥検査装置
CN108088913B (zh) * 2018-01-09 2023-08-25 东莞理工学院 用于钢轨轨底探伤的压电超声导波探头及其探伤方法
CN208282930U (zh) * 2018-05-08 2018-12-25 辛迈 基于振动分析的动力机组无线监测系统
CN208872452U (zh) * 2019-01-08 2019-05-17 中国大唐集团新能源科学技术研究院有限公司 一种便携式风电机组用螺栓预紧力检测设备
CN210525404U (zh) * 2019-03-01 2020-05-15 郑淑选 一种水泥混凝土振实装置
CN209416526U (zh) * 2019-03-15 2019-09-20 江苏万宝电子有限公司 一种电机轴承用热电阻
US11898926B2 (en) * 2019-09-13 2024-02-13 Technical Manufacturing Corporation Inspection apparatus and methods for precision vibration-isolation tabletops

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