JPWO2022003916A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2022003916A5 JPWO2022003916A5 JP2022532965A JP2022532965A JPWO2022003916A5 JP WO2022003916 A5 JPWO2022003916 A5 JP WO2022003916A5 JP 2022532965 A JP2022532965 A JP 2022532965A JP 2022532965 A JP2022532965 A JP 2022532965A JP WO2022003916 A5 JPWO2022003916 A5 JP WO2022003916A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- inspection apparatus
- excitation
- defect inspection
- leg
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 28
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 24
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 17
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 16
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2020/026071 WO2022003916A1 (ja) | 2020-07-02 | 2020-07-02 | 欠陥検査装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2022003916A1 JPWO2022003916A1 (https=) | 2022-01-06 |
| JPWO2022003916A5 true JPWO2022003916A5 (https=) | 2023-03-20 |
| JP7444257B2 JP7444257B2 (ja) | 2024-03-06 |
Family
ID=79315004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022532965A Active JP7444257B2 (ja) | 2020-07-02 | 2020-07-02 | 欠陥検査装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US12345653B2 (https=) |
| JP (1) | JP7444257B2 (https=) |
| CN (1) | CN115997104B (https=) |
| WO (1) | WO2022003916A1 (https=) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024076652A (ja) * | 2022-11-25 | 2024-06-06 | 株式会社大気社 | 検査装置および検査方法 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6121961U (ja) * | 1984-07-16 | 1986-02-08 | 神奈川県 | 超音波探触子の保持装置 |
| JPH10227768A (ja) | 1997-02-13 | 1998-08-25 | Aisin Seiki Co Ltd | 雨滴検出装置 |
| JPH10253604A (ja) | 1997-03-07 | 1998-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波探触子 |
| JPH10308997A (ja) | 1997-05-08 | 1998-11-17 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波振動子 |
| US6134006A (en) * | 1998-02-25 | 2000-10-17 | Becthel Bwxt Idaho, Llc | Imaging photorefractive optical vibration measurement method and device |
| JPH11315883A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-16 | Canon Inc | 除振装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
| JP2002177271A (ja) | 2000-12-07 | 2002-06-25 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 超音波プローブ製造方法、超音波プローブ、および超音波撮像装置 |
| WO2005006416A1 (ja) * | 2003-07-09 | 2005-01-20 | Nikon Corporation | 結合装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| CN100508119C (zh) | 2003-07-09 | 2009-07-01 | 株式会社尼康 | 曝光装置、器件制造方法 |
| JP4244172B2 (ja) * | 2003-08-13 | 2009-03-25 | 株式会社Ihi | 高温用超音波探触子 |
| JP4801457B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2011-10-26 | 株式会社リコー | 表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査プログラム |
| JP5456010B2 (ja) * | 2011-08-31 | 2014-03-26 | 三菱電機株式会社 | 薄板検査装置 |
| US9495737B2 (en) | 2012-10-31 | 2016-11-15 | The Boeing Company | Thermal sound inspection system |
| JP5996415B2 (ja) * | 2012-12-19 | 2016-09-21 | 株式会社東芝 | 超音波探傷装置及び方法 |
| TWI585519B (zh) * | 2015-11-06 | 2017-06-01 | 艾斯邁科技股份有限公司 | 光罩檢測裝置及其方法 |
| JP6451695B2 (ja) | 2016-06-02 | 2019-01-16 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| CN108088913B (zh) * | 2018-01-09 | 2023-08-25 | 东莞理工学院 | 用于钢轨轨底探伤的压电超声导波探头及其探伤方法 |
| CN208282930U (zh) * | 2018-05-08 | 2018-12-25 | 辛迈 | 基于振动分析的动力机组无线监测系统 |
| CN208872452U (zh) * | 2019-01-08 | 2019-05-17 | 中国大唐集团新能源科学技术研究院有限公司 | 一种便携式风电机组用螺栓预紧力检测设备 |
| CN210525404U (zh) * | 2019-03-01 | 2020-05-15 | 郑淑选 | 一种水泥混凝土振实装置 |
| CN209416526U (zh) * | 2019-03-15 | 2019-09-20 | 江苏万宝电子有限公司 | 一种电机轴承用热电阻 |
| US11898926B2 (en) * | 2019-09-13 | 2024-02-13 | Technical Manufacturing Corporation | Inspection apparatus and methods for precision vibration-isolation tabletops |
-
2020
- 2020-07-02 JP JP2022532965A patent/JP7444257B2/ja active Active
- 2020-07-02 US US18/013,401 patent/US12345653B2/en active Active
- 2020-07-02 WO PCT/JP2020/026071 patent/WO2022003916A1/ja not_active Ceased
- 2020-07-02 CN CN202080103681.8A patent/CN115997104B/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20140114300A (ko) | 형상 측정 장치 | |
| CN104698010A (zh) | 用于检查芯片组件的外观的装置 | |
| JP2019179028A (ja) | 光干渉測定装置 | |
| JP2010286362A5 (https=) | ||
| TWI820581B (zh) | 不良檢測裝置、不良檢測方法以及振動檢測裝置 | |
| JPWO2022003916A5 (https=) | ||
| US11781861B2 (en) | Surface measurement method, component manufacturing method, component inspection method, and component measurement device | |
| JP2008298509A (ja) | モバイル放射線検査装置 | |
| JP2022545508A5 (https=) | ||
| KR101527764B1 (ko) | 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치 | |
| JP2016186424A (ja) | 情報取得装置及び固定具 | |
| CN115997104B (zh) | 缺陷检查装置 | |
| JPWO2022239522A5 (https=) | ||
| CN1844843A (zh) | 高分辨率实时无损检测系统和方法 | |
| CN112612170B (zh) | 圆筒内周面拍摄装置 | |
| JP5190886B2 (ja) | 蛍光顕微鏡 | |
| JP2012063272A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
| JP6251049B2 (ja) | 表面形状検査装置 | |
| JP7228935B2 (ja) | パック詰め卵の撮像システム | |
| KR20160001107A (ko) | 내면검사장치 | |
| JP6676910B2 (ja) | 検査装置 | |
| JP2017003415A (ja) | 検査装置、検査方法、及び検査プログラム | |
| JP2021047047A (ja) | 撮像装置、画像取得方法および検査装置 | |
| JPH1183465A (ja) | 表面検査方法及び装置 | |
| KR20160051170A (ko) | 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계 |