JP5456010B2 - 薄板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、薄板に発生したクラックを安定に検知する薄板検査装置に関するものである。

従来から、半導体基板等の薄板形状の測定対象物に振動を与えて、発生した音を解析することによってクラック（欠陥）を検知する技術がある。その一例として、吸着パッドに保持された基板に振動を与えることにより発生させた音を検知を解析することによって、基板のクラックの有無を判断するようにした基板割れ検査装置がある（例えば、特許文献１参照）。

特開２００６−９０８７１号公報（実施例１等）

特許文献１に記載されている基板割れ検査装置においては、測定対象物を吸着パッドで保持した状態で、測定対象物に振動を与え、測定対象物のクラックの有無に基づく音響解析からクラックを検知するようにしている。しかしながら、特許文献１に記載されている基板割れ検査装置は、測定対象物の支持、搬送に吸着パッドを用いているため、測定対象物の振動を妨げる構成となっている。その結果、測定対象物の振動状態の変化により、判断基準となる検知部から測定される特徴量が大きくばらつき、クラックが有る場合も無い場合も解析される特徴量に差が現れず、検知精度が低下してしまうという課題があった。

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、薄板形状の測定対象物の振動状態を一定に保ち、測定対象物のクラックの有無の検知について安定した測定を可能とする薄板検査装置を得ることを目的とする。

本発明に係る薄板検査装置は、一方の端部側に板状の測定対象物が載置される突起部が設けられ、前記突起部に載置された前記測定対象物の外周外側から内側に向かって延設された部分を有している複数の突起部設置部と、前記測定対象物に向かって音波を放射し、該測定対象物を振動させる加振部と、前記測定対象物が振動することによって発生する音を検出し、その音情報に基づいて、前記測定対象物のクラックの有無を検知する検知部と、を備え、前記突起部設置部は、前記突起部が設置されている端部側とは反対側の端部が前記測定対象物の外周外側で固定されているものである。

本発明によれば、薄板形状の測定対象物の振動状態を一定に保つことができ、測定対象物のクラックの有無の検知について安定した測定が可能となる。

本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置の概略構成図である。 本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置の支持手段及び位置決定部の全体構成の概略を示す上面図である。 本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置の検査対象となる測定対象物が振動によって異音を発生する原理の説明図である。 本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置の検査対象となる測定対象物から発生する音のＦＦＴ処理後の波形の例を示すものである。 本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置における音響エネルギー解析部によってＦＦＴ処理された音圧レベル波形の、測定対象物の変位量Δｒ２の変動に伴う変化を示す図である。 本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置の支持台をセットした状態の全体構成の概略を示す側面図である。 本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置の支持台をセットした状態の全体構成の概略を示す正面図である。 本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置の支持台をセットした状態の全体構成の概略を示す上面図である。 本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置の支持台をセットする前の状態の全体構成の概略を示す上面図である。 本発明の実施の形態２に係る薄板検査装置の支持手段及び位置決定部の全体構成の概略を示す上面図である。 本発明の実施の形態２に係る薄板検査装置の支持台に装着されるレバー部を手前に移動させ、位置決定部を回動させた際の支持手段及び位置決定部の全体構成の概略を示す上面図である。 本発明の実施の形態３に係る薄板検査装置の支持台をセットした状態の上部の構成の概略を示す側面図である。 本発明の実施の形態３に係る薄板検査装置を制御する制御回路のブロック図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置１００の概略構成図である。以下、図１を参照しながら、薄板検査装置１００の構成について説明する。また、図１を含め、以下の図面においては、各構成部材同士の大きさの関係を限定するものではなく、実際のものとは異なる場合がある。

［薄板検査装置１００の全体構成］
本実施の形態１に係る薄板検査装置１００は、少なくとも、薄板である測定対象物１に対して超音波を放射する超音波発生部２０、測定対象物１を固定させずに設置させる支持手段３０、測定対象物１を支持手段３０に支持する際に測定対象物１の支持位置を決定する位置決定部４０、超音波発生部２０によって加振された測定対象物１から発生する音を検出して解析するクラック有無判断部５０によって構成されている。

超音波発生部２０は、少なくとも、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電素子１０ａが設けられた振動部１０、その振動部１０の一端側（紙面下側）に取り付けられ、円錐台形状に構成されたホーン１１、そのホーン１１の一端側（紙面下側）に固着され、金属板（剛体）で構成された振動板１２、及び、振動部１０の圧電素子１０ａにパルス電圧を印加する発振部１３によって構成されている。なお、超音波発生部２０は、本発明の「加振部」に相当する。

支持手段３０は、少なくとも、錐状の先端で測定対象物１を固定させずに支持する突起部３１と、この突起部３１が設置される棒状の突起部設置部３２と、で構成されている。

位置決定部４０は、支持手段３０によって測定対象物１を支持する際に、測定対象物１の載置位置の決定を補助する機能を有している。たとえば、棒状部材又は壁部を、予め決定されている測定対象物１の載置位置の外側のうち少なくとも２箇所に設置し、それらに囲まれた範囲に測定対象物１の載置を促すことで、測定者は測定対象物１を予め決定されている載置位置に載置することができる。

クラック有無判断部５０は、超音波発生部２０から照射される超音波により支持手段３０に支持された測定対象物１が振動することによって発生する音を検出する音検出装置５１、及び、その音検出装置５１によって検出された音の音響エネルギーを解析する音響エネルギー解析部５２によって構成されている。なお、クラック有無判断部５０は、本発明の「検知部」に相当する。

（測定対象物１）
測定対象物１は、薄板検査装置１００の構成ではないが被検体であるのでここで詳しく説明しておく。測定対象物１は、たとえばシリコン基板あるいは太陽電池用セル等の半導体ウェハ基板、又は、金属材料等の薄い板状のもの、つまり薄板であるとする。また、測定対象物１の平面形状を特に限定するものではなく、たとえば平面形状が四角形状であってもよく、円形状であってもよい。この測定対象物１は、振動板１２と音検出装置５１との間の空気層において、振動板１２におけるホーン１１が設置された面とは反対側の面に対向するように、支持手段３０における突起部３１の上に固定されずに載置される。

そして、測定対象物１は、振動板１２から放射される超音波を受けて振動することになる。図１で示されるように、上記のような測定対象物１による振動の幅を、変位量Δｒ２とする。なお、測定対象物１は、測定対象物１の振動を抑制しないような位置（たとえば、測定対象物１の外周側近辺）で突起部３１に載置されるとよい。

（超音波発生部２０）
振動部１０は、１５ｋＨｚ〜４５ｋＨｚ帯域内に共振周波数ｆ０を有する圧電素子１０ａを挟み込んで備えており、その圧電素子１０ａで発生した振動を伝播する金属（剛体）によって形成されている。

圧電素子１０ａは、正電極端子及び負電極端子を介して発振部１３に接続され、その発振部１３から印加されるパルス電圧によって振動する。このとき、圧電素子１０ａは、発振部１３から共振周波数ｆ０近傍のパルス電圧が印加されることによって、共振周波数ｆ０近傍にピークを有する振動を発振する。

ホーン１１は、圧電素子１０ａを備えた振動部１０から発生する振動の振幅を増幅する機能を有している。このホーン１１は、上下両端面が開口され、内部に振動部１０から発振された振動を増幅して振動板１２に伝播させる音響通路が形成されている。そして、ホーン１１は、振動部１０と振動板１２との間に挟持されている。また、ホーン１１は、略円錐台形状に構成され、振動部１０側から振動板１２に向けて徐々に縮径されているのが好ましい。ホーン１１の形状には円錐台形状以外にもステップ型、指数型等の形状が一般的に存在するが、円錐台形状とし、振動部１０側から振動板１２に向けて徐々に縮径する方が、圧電素子１０ａとの周波数ずれを少なくすることができ、振動板１２の振動の仕方を制御しやすい。

振動板１２は、金属板（剛体）によって構成され、ホーン１１の両端の開口部のうち、振動部１０側に固定された一方の開口部の反対側の開口部にネジ止め又は接着等によって固着されている。また、振動板１２は、振動部１０から発生する振動の振動エネルギーがホーン１１を介して伝播され、振動部１０の振動と共振して強力な共振波を発生する。すなわち、振動板１２は、振動部１０の圧電素子１０ａが共振周波数ｆ０で振動することによって、同様に共振周波数ｆ０によって共振するように構成されている。
なお、正確には圧電素子１０ａの共振周波数ｆ０と振動板１２の共振周波数ｆ０については、振動板１２の接合方法やホーン１１の形状により０．１ｋＨｚ程度のずれが生じる場合があるが、測定上に影響はなく、誤差としてよい。

発振部１３は、圧電素子１０ａに接続され、圧電素子１０ａに共振周波数ｆ０近傍のパルス電圧を印加する機能を有している。

図１で示されるように、振動板１２による振動の幅を、変位量Δｒ１とする。また、振動板１２は、振動によってその両面（ホーン１１側の面及びその反対側の面）の全体から超音波の音響流を放射する。振動板１２を、振動部１０から発生する高周波数の振動の「腹」の部分に当たるように固着すれば、振動板１２が特定の振動モードで振動することになり、振動板１２と測定対象物１との間には、空気の疎密を繰り返す定在波による音響流が発生することになる。また、この振動板１２の平面の面積である板面積は、測定対象物１の板面積と同等以上であるものとする。これによって、振動板１２の振動によって、測定対象物１全体に縦波を主とする均一な振動による音波を与えることができ、測定対象物１の形状及び支持手段３０の設置位置に関わらず、測定対象物１のクラックの有無の検知について安定した測定が可能となる。

なお、図１で示されるように、振動部１０と振動板１２との間にホーン１１が設置される構成としているが、これに限定されるものではなく、ホーン１１を設けず、振動板１２を振動部１０に直接取り付けるものとしてもよい。たとえば、振動板１２を密度が小さく弾性の高い素材であるアルミ等の軽量な素材によって構成し、さらに、圧電素子１０ａが、発振部１３からより高電圧なパルス電圧を印加さえることによって、ホーン１１を設けなくても高周波数の音波を放射することが可能であり、ホーン１１が必ずしも必要というわけではない。

（支持手段３０）
突起部３１は、小さな面積の先端で測定対象物１と接触し、測定対象物１を固定させずに支持するものである。このように、測定対象物１と突起部３１との接触面積を小さくすることで、振動板１２から放射される超音波によって測定対象物１の振動に対する支持手段３０の影響を小さくしている。つまり、測定対象物１と突起部３１との接触面積を小さくすることで、測定対象物１の振動を抑制しないようにしているのである。

また、突起部３１の構成材料としては、シリコンゴム等の樹脂材料が望ましい。ただし、測定対象物１を超音波によって振動させる必要があるため、振動を吸収低減しないような剛性が要求される。さらに、突起部３１は、測定対象物１の大きさや平面形状にもよるが、測定対象物１を下側から支持するために少なくとも２つ以上備えていればよい。突起部３１は、先端面積が小さいほど好ましい。たとえば、先端部の直径を１ｍｍ程度にすればよい。なお、突起部３１の先端部分が錐状、つまり測定対象物１との接触部分が点（点に近い形状）になっていればよく、その全体が錐状である必要はない。上記のような機能を発揮できればよく、突起部３１の大きさや形状を特に限定するものではない。

突起部設置部３２は、測定対象物１の外側から内側に向かって測定対象物１と略平行となるように延設された部分を有している。突起部設置部３２の測定対象物１の外周外側に延びている一端はたとえば支持台（図２で示す支持台６０）に固定されている。そして、突起部設置部３２の他端側に突起部３１が設置されている。突起部設置部３２を備えることによって、測定対象物１を可能な限り露出させることを可能にしている。すなわち、突起部設置部３２は、測定対象物１の下面部分の露出を多くすることを可能にし、測定対象物１の下側空間を広くでき、突起部設置部３２から生じるノイズの影響を非常に小さくことができる。また、突起部設置部３２は、突起部３１とともに、測定対象物１の振動を抑制しないようにしているのである。

また、突起部設置部３２の構成材料としては、たとえば、金属材料や樹脂材料、木材等が考えられる。ただし、振動板１２から放射される超音波によって突起部設置部３２が振動してしまうと、測定対象物１の振動に影響を与えるだけでなく、雑音が発生することにもなってしまう。そこで、振動板１２から放射される超音波の影響を受けやすい材料で突起部設置部３２を構成した場合には、任意の振動低減部材を突起部設置部３２に巻くようにするとよい。

さらに、突起部設置部３２は、突起部３１の個数に応じて設置個数を決定するとよい。なお、突起部設置部３２は、先端側に突起部３１を設置するとともに、測定対象物１を支持できるような形状であればよく、長さや太さ、断面形状等を特に限定するものではない。また、突起部設置部３２を、まっすぐなものに限定するものではなく、途中で曲げるようにしてあってもよい。

（位置決定部４０）
位置決定部４０は、上述したように、予め決定されている測定対象物１の載置位置の外周のうち少なくとも２箇所に設置された棒状部材又は壁部で構成されている。なお、測定対象物１を検査する際に、測定対象物１が位置決定部４０に接触してしまうと、測定対象物１の振動が抑制されてしまうことに留意しなければならない。そこで、位置決定部４０は、測定対象物１の設置範囲よりも外側に設けるようにしている。

（クラック有無判断部５０）
音検出装置５１は、例えば、マイクロホン、音センサー、超音波センサー、又はこれらのいずれかを組み合わせたものによって構成され、振動板１２から放射される超音波によって振動する測定対象物１から発生する音を検出するものである。この音検出装置５１によって検出された音情報は、音響エネルギー解析部５２に送信される。

なお、図１で示されるように、音検出装置５１は、１つだけ備えられる構成としているが、これに限定されるものではなく、複数備えられる構成としてもよい。このように音検出装置５１が複数備えられることによって、音検出装置５１を１個設ける場合よりも、測定対象物１におけるクラックの検知範囲が広範囲となり、さらに、測定対象物１に発生したクラックの位置を決定できる等、クラック検知精度を向上させることができる。また、それぞれ感度の異なる音検出装置５１を複数設けるものとしてもよく、この場合、測定対象物１に存在するクラックの大きさを、ある程度把握することができる。

音響エネルギー解析部５２は、音検出装置５１から受信した測定対象物１からの音情報に基づいて、その音の音響エネルギーを解析するものである。このとき、音響エネルギー解析部５２は、たとえばその音情報に対してＦＦＴ（Ｆａｓｔ Ｆｏｕｒｉｅｒ Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）処理を実施し、その音の音圧レベルを周波数の関数に変換することによって、その音の音響エネルギーを解析し、測定対象物１におけるクラックの有無を検知する。この音響エネルギー解析部５２による測定対象物１におけるクラックの検知動作の詳細は、後述する。

なお、この音響エネルギー解析部５２によってクラックの有無を検知する場合、その検知結果を報知する報知手段を設けてもよい。

［支持手段３０及び位置決定部４０の具体的な構成］
図２は、支持手段３０及び位置決定部４０の全体構成の概略を示す上面図である。図２に基づいて、支持手段３０及び位置決定部４０の具体的な構成について説明する。なお、図２では、便宜的に測定対象物１の設置位置を破線で表している。また、ここでは詳述しないが、支持台６０の一対の側面にはレール駆動部６２が設けられ、後述するレール部７２ａと共同することで支持台６０はスライド移動可能になっている。なお、レール駆動部６２としては、たとえばタイヤ等が好ましい。タイヤを設けておけば、レール部７２ａ側から伝達される振動をタイヤで吸収することができ、測定対象物１に余計な振動を伝達させないようにできる。

図２に示すように、支持手段３０及び位置決定部４０は、支持台６０に支持されている。支持台６０は、上面視した状態において四角形状（たとえば、正方形や長方形等）となっている。支持台６０の中央側に開口部６２が形成されており、測定対象物１がセットされていない状態においては振動板１２と音検出装置５１とが開口部（後述の開口部７２ｂ）を介して連通するようになっている。また、支持台６０の一側面（紙面右側の側面）には、取っ手６１が設置されている。この取っ手６１は、支持台６０を引き出したり、押し込んだりする際に利用されるものである。なお、支持台６０の上面視した形状を四角形状に限定するものではなく、角部が曲面を有していてもよい。

図２では、支持手段３０を構成する突起部設置部３２が支持台６０の四隅に設けられている状態を例に示している。突起部設置部３２は、一端が支持台６０の四隅の一部に、他端が支持台６０の中心側に、それぞれ位置するようになっている。上述したように、突起部設置部３２の他端側には、突起部３１が設置されている。なお、図２では突起部設置部３２が支持台６０の四隅に設けられている状態を例に示しているが、設置個数を特定に限定するものではない。また、図２では突起部設置部３２が支持台６０の対角線上に設置されている状態を例に示しているが、これも一例であり、突起部設置部３２の取り付け位置及び取り付け角度を特に限定するものではない。

図２では、位置決定部４０が測定対象物１の４側面の中間部に位置するように４箇所に設けられている状態を例に示している。位置決定部４０は、一端が支持台６０の４つの側面側の一部に、他端が測定対象物１の４側面の中間部に、それぞれ位置するようになっている。なお、図２では、位置決定部４０の他端側を棒状部材で構成されている状態を例に示しているが、これに限定するものではないことは上述した通りである。

［薄板検査装置１００によるクラック検知動作］
図３は、薄板検査装置１００の検査対象となる測定対象物１が振動によって異音を発生する原理の説明図である。図４は、薄板検査装置１００の検査対象となる測定対象物１から発生する音のＦＦＴ処理後の波形の例を示すものである。以下、図１〜図４を参照しながら、薄板検査装置１００によるクラック検知動作について説明する。

まず、薄板検査装置１００による検査対象である測定対象物１が、支持手段３０に載置される。次に、発振部１３は、圧電素子１０ａに対して、圧電素子１０ａ及び振動板１２の共振周波数ｆ０近傍のパルス電圧を印加する。これによって、圧電素子１０ａは、印加されたパルス電圧によって、共振周波数ｆ０近傍の周波数で振動し、この圧電素子１０ａを挟持した振動部１０にその振動が伝播する。この振動部１０の振動は、ホーン１１によってその振幅が増幅され、振動板１２に伝播する。そして、振動板１２は、その全体が変位量Δｒ１で共振し、その共振に伴う高い音圧レベルを有する超音波が振動板１２全体から放射される。これにより、測定対象物１は、その全体が加振され、変位量Δｒ２で振動することになる。

ここで、圧電素子１０ａ及び振動板１２の共振周波数ｆ０は、以下の（１）及び（２）の理由によって、１５ｋＨｚ〜４５ｋＨｚ帯域内となるようにするとよい。

（１）１５ｋＨｚ未満だと人間の可聴領域となるため、人間の聴覚で感じ取ることが可能となり、使用者に不快感を与える可能性がある。
（２）４５ｋＨｚを超えると周波数が大き過ぎて、十分な振幅が得られないため、音圧レベルが低下することになる。

測定対象物１によって、振動するのに必要なエネルギーは異なるが、測定対象物１が、たとえば半導体ウェハ又は太陽電池用セルである場合、その振動には１３０ｄＢ以上の音圧レベルが必要であることがわかっている。そこで、薄板検査装置１００における超音波発生部２０は、１３０ｄＢ以上の音圧レベルの超音波が発生できるように構成されている。振動板１２から放射される超音波は、空気中にゆらぎを発生させ、超音波の波長に伴って、空気中に音圧（気圧）の「疎」の部分（減圧される部分）と「密」の部分（加圧される部分）とを生成する。つまり、「疎」の部分から「密」の部分に向かって空気の移動が発生する。

これによって、支持手段３０上に載置された測定対象物１は、振動板１２から放射される超音波の音圧によってその全体が振動することになる。この場合、振動板１２は、測定対象物１の上面、すなわち測定対象物１における振動板１２と対向する面が「密」の部分と近くなるように設置する必要がある。これは、測定対象物１における振動板１２と対向する面と反対側の面が「密」の部分に近いと、測定対象物１において重力方向に空気の移動が発生するため、測定対象物１は、支持手段３０に押し付けられる状態となり、測定対象物１の振動が抑制されてしまうためである。

以上のように、振動板１２が放射する超音波によって、測定対象物１が振動すると、測定対象物１から音波である弾性波が発生する。ここで、固体中（自由音場）に生じる弾性波の縦波の伝播速度を下記の式（１）に、そして、固体中（自由音場）に生じる弾性波の横波の伝播速度を下記の式（２）に示す。

Ｃｐ＝√［｛Ｅ・（１−σ）｝／｛ρ・（１＋σ）・（１−２σ）｝］ （１）
Ｃｓ＝√［Ｅ／｛ρ・２（１＋σ）｝］ （２）
（Ｃｐ：縦波の伝播速度、Ｃｓ：横波の伝播速度、Ｅ：ヤング率、ρ：密度、σ：ポアソン比）

固体内部には縦波及び横波が伝播するが、固体内部ではポアソン比σは０．３程度が一般的であり、横波に比べて縦波の伝播速度の方が速くなる。測定対象物１におけるクラックの有無は、ヤング率Ｅの値を変化させるため、クラック有無による変化は、横波の伝播速度よりも縦波の伝播速度の方が大きく影響を受けるということが上記の式（１）及び式（２）から明らかとなる。また、空気を媒質とする振動は、空気中に気圧の疎密を作る縦波として伝播するため、振動板１２から放射される超音波は、固体である測定対象物１に対しても縦方向の振動を与えやすいことになる。つまり、測定対象物１におけるクラックの有無は、測定対象物１からの音波である弾性波の伝播の仕方に大きく影響を与える。

次に、図３を参照しながら、クラックを有する測定対象物１が振動することによって、異音（ビビリ音）が発生する原理を説明する。図３においては、測定対象物１においてクラックが発生している状態が示されている。また、図３（ａ）は、測定対象物１のクラック部分の断面図を示し、３２（ｂ）は、その断面図のクラック部分の拡大図を示している。

図３（ａ）で示されるように、測定対象物１において、クラックを境にして右側部分をエリアＡ、そして、左側部分をエリアＢとする。また、エリアＡの幅、すなわち、クラックから測定対象物１の右端部までの距離をａとし、エリアＢの幅、すなわち、クラックから測定対象物１の左端部までの距離をｂ（＞ａ）とする。このとき、超音波発生部２０から放射される超音波によって、測定対象物１におけるエリアＡが振動する場合の振動周波数をｆａとし、エリアＢが振動する場合の振動周波数をｆｂとする。

図３（ｂ）で示されるように、超音波発生部２０が放射する超音波によってクラックを有する測定対象物１が縦方向に振動する場合、基本的にはエリアＡ及びエリアＢ共に振動するが、クラックを境にして、エリアＡとエリアＢとのヤング率に相違が発生し、振動周波数が異なることになる。このとき、エリアＡにおける距離ａの方が、エリアＢにおける距離ｂよりも小さいため、エリアＡの振動周波数ｆａは、エリアＢの振動周波数ｆｂよりも高くなる。また、測定対象物１におけるクラックから両端部までの距離に関わらず、エリアＡ及びエリアＢの振動には位相差φも生じる。このように、クラックを境にしたエリアＡとエリアＢとの振動周波数の相違、又は、振動の位相差によって、クラック部分が擦れ、異音（ビビリ音）が発生するのである。

次に、図４を参照しながら、クラック有無判断部５０が測定対象物１から発生する音を検出して解析し、測定対象物１のクラックの有無を判定する動作を説明する。測定対象物１が発生する音は、クラック有無判断部５０における音検出装置５１によって検出される。音検出装置５１によって検出された音情報は、音響エネルギー解析部５２に送信される。音響エネルギー解析部５２は、この音情報をＦＦＴ処理し、音の音圧レベルを周波数の関数に変換する。このＦＦＴ処理によって、測定対象物１からの音が有する様々な周波数成分において、それぞれの周波数成分の音圧レベルの大小がわかるようになる。

図４は、この音響エネルギー解析部５２によってＦＦＴ処理された周波数の関数である音圧レベルの波形を示すものである。この図４のうち、図４（ａ）は、測定対象物１にクラックがない場合の音圧レベルの波形を示し、図４（ｂ）は、測定対象物１にクラックがある場合の音圧レベルの波形を示すものである。この図４においては、横軸が振動周波数［Ｈｚ］を示し、縦軸がレスポンス（音圧レベル）［ｄＢ］を示している。

図４（ａ）で示されるように、測定対象物１にクラックが発生していない場合には、振動板１２が共振周波数ｆ０で振動しているときに（ア）で示された測定対象物１から主波長であるピーク周波数（発振周波数Ｆｓ）の音波が発生し、それ以外の（イ）で示される周波数領域には、周波数の変化は見られない。ここで、図４（ａ）で示される音圧レベルの波形と、その波形のうち（イ）で示される周波数領域の音圧レベルを平均したものを示す線Ｐとを比較すると、測定対象物１の発振周波数Ｆｓ近傍部分のみ線Ｐを超えるが、それ以外の周波数領域においてはこの線Ｐを超えない。

一方、図４（ｂ）で示されるように、測定対象物１にクラックが発生している場合には、振動板１２が共振周波数ｆ０で振動しているときに（ア）で示された測定対象物１から主波長であるピーク周波数（発振周波数Ｆｓ）の音波が発生する他、それ以外の（ウ）で示される周波数領域には複数のピーク周波数成分が現れる。このように、測定対象物１から複数のピーク周波数成分を有する音波が放射されることによって、いわゆるビビリ音と呼ばれる異音が発生することになる。

このとき、図４（ｂ）で示される音圧レベルの波形と、その波形のうち（ウ）で示される周波数領域の音圧レベルを平均したものを示す線Ｑとを比較すると、発振周波数Ｆｓ近傍部分が線Ｑを超えるのみならず、（ウ）で示される周波数領域の複数のピーク周波数成分のうち、線Ｑを超えるものがいくつか発生する。また、図４（ｂ）で示されるように、線Ｑは、ピーク波形を有する（ウ）の周波数領域で音圧レベルが平均化されたものなので、線Ｐよりも高い値となっている。

音響エネルギー解析部５２は、たとえば音圧レベル波形を平均化した前述の線Ｑ（クラックが発生していない場合は線Ｐ）を演算し、この線Ｑを閾値として、この閾値を超えるピーク波形が、図４（ｂ）における（ア）で示される発振周波数Ｆｓにおけるピーク波形以外に存在すると判定した場合、測定対象物１にクラックが発生していると判定するものとすればよい。また、音響エネルギー解析部５２によってＦＦＴ処理された音圧レベル波形の周波数の測定帯域を特に限定するものではないが、たとえば音検出装置５１によって検出可能な５ｋＨｚ〜８０ｋＨｚの帯域とすればよい。

以上のように、音検出装置５１によって検出された音を、音響エネルギー解析部５２によってＦＦＴ処理して周波数応答として解析することによって、測定対象物１におけるクラック有無を容易に判定することができる。

なお、上記のように音響エネルギー解析部５２による判定の閾値を、周波数の関数として示される音圧レベルを平均化した図４（ｂ）で示される線Ｑとしたが、これに限定されるものではなく、音響エネルギー解析部５２は、測定対象物１にクラックが発生していない場合の測定結果から、予め閾値（例えば、線Ｐ）を定めておき、この閾値に基づいて、クラックの有無を判定してもよく、あるいは、任意に定めた所定の閾値に基づいて、クラックの有無を判定するものとしてもよい。

また、音響エネルギー解析部５２に接続された表示装置を備えるものとしてもよく、この表示装置が、音響エネルギー解析部５２によってＦＦＴ処理が実施され、周波数の関数として示された音圧レベルの波形、及び、その波形から測定対象物１におけるクラックの有無の判定結果を表示させるものとしてもよい。これによって、人間の視覚によって容易に測定対象物１におけるクラックの有無の判定結果を認識することができる。また、測定対象物１から発生する異音（ビビリ音）によって、人間の聴覚によってもある程度、クラックの有無が判定できるが、クラックによる異音（ビビリ音）が人間の聴覚では聞き取ることのできない超音波領域にある場合、この表示装置を備えることによって、音圧レベル波形とクラックの判定結果が容易に目視によって確認することができる。

（変位量Δｒ２の変動に伴う音圧レベル波形の変化）
図５は、本発明の実施の形態１に係る薄板検査装置１００における音響エネルギー解析部５２によってＦＦＴ処理された音圧レベル波形の、測定対象物１の変位量Δｒ２の変動に伴う変化を示す図である。図５では、縦軸がレスポンス（ｄＢ）を、横軸が周波数（ｆ）を、それぞれ表している。図５で示される実線の音圧レベルの波形は、測定対象物１の変位量Δｒ２が最小値である場合のものであり、そして、破線の音圧レベルの波形は、変位量Δｒ２が最大値である場合のものである。

図５で示されるように、変位量Δｒ２が最小値である場合の音圧レベルの波形も、最大値である場合の音圧レベルの波形も、その発振周波数ｆ₀ は共通であり、変位量Δｒ２の変動に影響を受けない。したがって、測定対象物１におけるクラックの有無の検知範囲を、たとえば変位量Δｒ２の変動に伴う音圧レベル波形の変化部分とは異なる周波数帯域における検知範囲とした場合、音響エネルギー解析部５２による測定対象物１におけるクラックの有無の検知動作は、変位量Δｒ２の変動によって影響を受けない。すなわち、音響エネルギー解析部５２は、測定対象物１の変位量Δｒ２の変動に関わらず、クラックの有無の検知が可能となる。

［実施の形態１に係る薄板検査装置１００の有する効果］
薄板検査装置１００によれば、振動板１２の振動によって、測定対象物１全体に縦波を主とする均一な振動による音波を与えることができ、測定対象物１の振動状態を一定に保ち、測定対象物１のクラックの有無の検知について安定した測定を可能とすることが可能になる。つまり、測定対象物１と突起部３１との接触面積を小さくし、支持手段３０の影響を小さくすることで、測定対象物１の振動状態を一定に保ち、測定対象物１を安定的に振動させることができ、測定対象物１のクラックの有無の検知について安定して測定することが可能になる。

なお、上記の構成のように、超音波発生部２０の振動板１２から超音波を測定対象物１に向けて放射するものとしたが、必ずしも超音波を用いる必要はなく、測定対象物１全体に縦波を主とする均一な振動を与えることができる音波を放射できるものとすれば、測定対象物１のクラックの有無の検知は可能である。ただし、振動板１２から放射する音波を超音波とすることによって、人間の聴覚で感じ取れることはなく、使用者に不快感を与えることがない。

［薄板検査装置１００の全体的な構成及び動作］
図６は、薄板検査装置１００の支持台６０をセットした状態の全体構成の概略を示す側面図である。図７は、薄板検査装置１００の支持台６０をセットした状態の全体構成の概略を示す正面図である。図８は、薄板検査装置１００の支持台６０をセットした状態の全体構成の概略を示す上面図である。図９は、薄板検査装置１００の支持台６０をセットする前の状態の全体構成の概略を示す上面図である。図６〜図９に基づいて、薄板検査装置１００の全体的な構成及び作用について説明する。

図６及び図７に示すように、薄板検査装置１００の機械的な構成は台部７０を介して１つにまとまるようになっている。台部７０は、超音波発生部２０の一部を固定する加振部固定部７１と、支持手段３０及び位置決定部４０を支持台６０を介してスライド可能に支持するセット部７２と、クラック有無判断部５０の一部を固定する検知部固定部７３と、を有している。なお、薄板検査装置１００の電気的な構成（発振部１３、音響エネルギー解析部５２）は、接続線を介して台部７０とは別に設置してもよい。

すなわち、薄板検査装置１００は、超音波発生部２０の一部が前後左右に動かないように固定し、上面視した状態において支持台６０を超音波発生部２０と重ならない位置にスライド移動させるように構成されている。このようにすることによって、超音波発生部２０の位置を固定したままの状態で支持台６０を介して測定対象物１の出し入れができるので、超音波発生部２０と測定対象物１との位置関係が変化してしまうことを抑制することができる。よって、薄板検査装置１００の検知精度のばらつきを低減することが可能になっている。

加振部固定部７１は、一端側に振動部１０が取り付けられる支持棒７１ａと、支持棒７１ａの他端側を固定する支持棒固定部７１ｂと、で構成されている。支持棒７１ａ及び支持棒固定部７１ｂは、超音波発生部２０と加振部固定部７１との間に介在し、超音波発生部２０（特に振動部１０）を加振部固定部７１に固定するものである。なお、支持棒固定部７１ｂの下端は、台部７０の上面の一部に固定されている。

セット部７２は、台部７０の上面の一部を支持台６０がスライド可能にセットできるように機能させたものである。セット部７２は、レール部７２ａが台部７０の側面側に一対設けられている。このレール部７２ａを介して、支持台６０がスライド移動可能になっている。また、セット部７２として機能させる台部７０の上壁面には開口部７２ｂが形成されている。すなわち、レール部７２ａは、開口部７２ｂの外周側に一対設けられており、セットされた支持台６０が開口部７２ｂを跨ぐようになっている。

検知部固定部７３は、音検出装置５１が収容される空間部７３ａと、一端側に音検出装置５１が取り付けられる支持棒７３ｂと、支持棒７３ｂの他端側を固定する支持棒固定部７３ｃと、で構成されている。支持棒７３ｂ及び支持棒固定部７３ｃは、クラック有無判断部５０と検知部固定部７３との間に介在し、クラック有無判断部５０（特に音検出装置５１）を検知部固定部７３に固定するものである。なお、支持棒固定部７３ｃの下端は、台部７０の空間部７３ａの一部内壁面に固定されている。

薄板検査装置１００で測定対象物１を検査する場合、まず支持台６０をスライド移動させて引き出す。なお、支持台６０には、上述したようにレール駆動部６２が設けられており、レール駆動部６２とレール部７２ａによって、支持台６０がスライド移動可能になっている。支持台６０の引き出しは、ユーザーが取っ手６１を介して直接行なってもよく、スイッチなどが操作された際に機械的に行なってもよい。また、ここでは、支持台６０の引き出し方向と、押し込み方向とが真逆になる場合を例に説明するが、これに限定するものではない。たとえば、薄板検査装置１００を製造ラインの一部に取り入れるような場合を想定し、引き出す方向と、押し込む方向とを同一方向にしてもよい。具体的には、支持台６０を一方から押し込み、その延長方向に支持台６０を引き出すようにしてもよい。

支持台６０が引き出されたら、測定対象物１を支持台６０にセットする。このとき、使用者は、位置決定部４０によって測定対象物１の設置位置を容易に決定することができる。つまり、位置決定部４０によって拘束されている範囲に測定対象物１を載置するだけで、測定対象物１が測定に適した位置に設置されることになるのである。位置決定部４０を設けたことによって、毎回、略同じ位置に測定対象物１を設置することができるとともに、測定中における測定対象物１の位置ずれを抑制することもできる。したがって、測定対象物１の位置ずれ（設置時及び測定時）を大幅に抑制することができ、位置ずれが生じることによる検知精度の低下を抑制できる。

ただし、位置決定部４０が測定対象物１に接触すると測定対象物１の振動を抑制してしまうので、位置決定部４０を設置範囲よりも外側に設けるようにしている。こうすることによって、位置決定部４０と測定対象物１とを接触させずに、測定対象物１の設置を決定することができる。よって、位置決定部４０によって測定対象物１の振動が抑制されることがなく、安定した測定が実現できる。

また、このとき、測定対象物１は、突起部３１上に設置されていることになる。測定対象物１と、突起部３１との接触面積を減らすことができ、測定対象物１の振動の抑制を低減できる。よって、測定対象物１の重量や硬さによる振動の変化を効率的に抑制することが可能になる。さらに、突起部３１は、突起部設置部３２に設置されているので、測定対象物１を突起部３１のみで支持することができ、測定対象物１の露出面積の拡大を実現している。こうすることによって、測定対象物１の露出面積を可能な限り広くでき、測定対象物１の超音波発生部２０からの影響を受けやすくし、測定対象物１を振動しやすくしている。

測定対象物１を設置したら、支持台６０を押し込む。このとき、支持台６０のセット位置が不完全であると、検知精度が悪化してしまう。そこで、支持台６０のセットされた位置を検知する支持台検知部を備え、支持台６０が所定の位置にセットされた場合にのみ検査が行えるようにしておくとよい。支持台検知部としては、たとえばタクトスイッチ等を適用することができる。このような支持台検知部を、支持台６０の進行方向先端部、又は支持台６０の進行方向先端部と対向する台部７０の所定位置に設け、支持台６０がセットされた際に支持台検知部から何らかの情報が報知されるようにしておくとよい。支持台６０のセット位置を正確に把握することで、測定対象物１の位置のバラつきを低減することができる。なお、支持台６０と台部７０との接触箇所にはゴムシートなどの振動低減部材等を設けておくとよい。

支持台６０が正確にセットされた状態で、測定対象物１の検査が開始される。検査が終了したら、支持台６０を再度引き出し、次の測定対象物１を設置し上記動作を繰り返せばよい。

上記実施の形態１では、超音波発生部２０が上、クラック有無判断部５０が下に設置されている状態を例に示しているが、これらが逆の位置関係になってもよい。つまり、測定対象物１を挟んで、超音波発生部２０とクラック有無判断部５０とが対向していればよい。測定対象物１を挟んで構成することで、超音波発生部２０から発生する超音波が直接クラック有無判断部５０に放射させることを防ぎ、検知する音と超音波の干渉による雑音発生を抑制し、検知精度を更に高める効果がある。

実施の形態２．
図１０は、本発明の実施の形態２に係る薄板検査装置１００Ａの支持手段及び位置決定部の全体構成の概略を示す上面図である。また、図１１は、図１０で示す支持台６０Ａを、セット部（実施の形態１のセット部７２と同様）を稼動させ、振動板１２の下部に測定対象物１を移動し、測定を行う際の、位置決定部４０Ａの動作を模式的に示す上面図である。図１０及び図１１に基づいて、薄板検査装置１００Ａの具体的な構成について説明する。なお、実施の形態２では実施の形態１との相違点を中心に説明し、実施の形態１と同一部分には、同一符号を付して説明を省略するものとする。

実施の形態１に係る薄板検査装置１００においては、前述したように、測定対象物１を支持台６０にセットする際に、位置決定部４０によって測定対象物１を載置する範囲を拘束する。こうすることによって、実施の形態１に係る薄板検査装置１００は、使用者が、毎回、略同じ位置に測定対象物１を設置することができるとともに、測定中における測定対象物１の位置ずれを抑制することもできるよう構成され、一定の振動が得られるようにしている。

ところが、測定対象物１の重さや形状によっては、加振時や、測定対象物１を振動板１２の下に移動した際の位置ずれによって位置決定部４０に接触するのみで振動が妨げられ、測定が困難になる場合がある。特に、超音波発生部２０は１時間程度の動作の後に安定する傾向がある上、電源のＯＮ／ＯＦＦを繰り返す場合、ＯＮ時に過渡電流により素子や電源への負荷が増大し、劣化が促進したり、ノイズが入ってしまったりする場合がある。そのため、超音波発生部２０の動作は測定対象物１の出し入れの際も停止させないで動作し続ける方が望ましい。

しかしながら、そのようにすると測定対象物１を振動板１２の下に移動する最中も測定対象物１は振動板１２から放出される超音波に曝され、振動することになり、移動中に最適な測定位置からずれ、振動が一様でない状態で測定が開始される可能性がある。

また、本発明に係る薄板検査装置は、振動そのものを測定するわけでは無く、振動により生じる音を測定しているため、振動が安定した上で測定を行った方が、再現性が得られやすい傾向がある。従って、安定状態に至るまでに測定対象物の初期状態が変化するのを防ぐため、先ずは振動を与え、安定した状態を確認した上で位置決定部４０を動作させ、その後測定を行うのが望ましい。

そこで、本実施の形態２に係る薄板検査装置１００Ａは、上記のような場合を想定し、測定対象物１が位置ずれし、位置決定部４０Ａに容易に振動が妨げられる可能性が有る場合でも、測定ばらつきを抑え、安定した測定が可能となるような構成としている。

以下、本発明の実施の形態２に係る薄板検査装置１００Ａを図面に基づいて説明する。
［支持台６０の構成及び動作］
図１０に示すように、支持手段３０、位置決定部４０Ａ、及び、回動部４１が、支持台６０Ａに支持されている。実施の形態２に係る薄板検査装置１００Ａの基本的な構成や動作は、実施の形態１に係る薄板検査装置１００と変わらないが（図２に示す支持台６０参照）、薄板検査装置１００Ａは、支持台６０Ａ上に回動部４１を有し、全ての位置決定部４０Ａ及び回動部４１が紐部４２によって支持台６０Ａ上を交差しないように接続されている点が相違している。

位置決定部４０Ａは、紐駆動部６３によって駆動される紐部４２によって駆動されるように構成されている。つまり、位置決定部４０Ａは、測定対象物１に面する先端が、紐部４２によって測定対象物１の側端面に近づいたり離れたりするように構成されている。
回動部４１は、紐駆動部６３の設置位置以外における支持台６０Ａの三隅に設けられ、紐部４２が支持台６０Ａ上で交差しないようにしている。この回動部４１は、たとえばプーリーのようなもので構成するとよい。

紐部４２は、一端が紐駆動部６３に接続され、もう一端が取っ手６１がある辺に設置されている回動部４１に接続されている。そして、紐部４２は、各辺に設置されている位置決定部４０Ａと各角に設置されている回動部４１を繋ぐ役目を果たしている。なお、紐部４２を構成する材質なども特に限定するものではない。

また、薄板検査装置１００Ａでは、取っ手６１の接続される辺の端に紐駆動部６３が設けられている。紐駆動部６３は、操作されることにより紐部４２を引っ張る機能を有している。紐駆動部６３が操作されることによって、紐部４２が引っ張られ、その力が回動部４１を介して全部の位置決定部４０Ａに伝達され、位置決定部４０Ａが動作するようになっている。なお、位置決定部４０Ａにはバネなどの弾性体が内蔵されており、紐駆動部６３の操作が解除されると、自動的に位置決定部４０Ａが元の状態に戻る。それに伴い、紐部４２も元の状態に戻る。なお、紐駆動部６３の形態は、図１０及び図１１に記載される構造に限定するものではなく、たとえば回転動作により紐を巻き取るようなものであってもよい。

支持台６０Ａの動作について説明する。
図１１では、支持台６０Ａに装着される取っ手６２を手前に移動させ、位置決定部４０Ａを回動させた際の支持手段３０及び位置決定部４０Ａの全体構成の概略を図示している。支持台６０Ａが引き出され（実施の形態１で説明した図９参照）、測定対象物１を設置する動作を行う場合は図１０に示す状態を維持する。これにより、測定対象物１を測定に適した位置に設置することが可能になる。

測定対象物１を設置した後、支持台６０Ａを、振動板１２の下に測定対象物１が設置されるように稼動する（実施の形態１で説明した図８参照）。稼動後に、紐駆動部６３を手前に移動させることで、紐部４２が引っ張られ（図１１に示す矢印（イ））、薄板検査装置１００Ａは図１１の状態となる。つまり、位置決定部４０Ａが回転し、位置決定部４０Ａの測定対象物１に面する先端と、測定対象物１の先端の距離が離れ、集音している状態で、測定対象物１の位置がずれた場合でも、位置決定部４０Ａと接触しない状態を維持することができるようになっている（図１１に示す矢印（ア））。測定が完了した場合は、紐駆動部６３を図１０に記載される通りに戻す。

位置決定部４０Ａには図示していないがバネ等の弾性体を内蔵しており、弾性体の力で図１０の状態に戻る構成としている。従って、紐駆動部６３の支持部分を開放することで、自動的に図１０の状態に戻すことができ、直ぐに次の測定対象物１に置き換える事が可能な状態を作ることができる。

なお、位置決定部４０Ａ、回動部４１、紐部４２は、位置決定部４０Ａの先端以外の部分が振動板１２の真下に設置されないよう構成するのが望ましい。振動板１２は面全体から真下の測定対象物１の方向、及び天面方向に対して最も強い超音波を放出しているため、このように構成することでこれらの部位は振動板１２から放出される超音波を直接受けることがなくなる。位置決定部４０Ａ、回動部４１、紐部４２は、何れも動作点があり、完全に固定がされていない部分を有する構成となっていることから、超音波を受けることで振動し、異音の原因となる場合がある。従って、強力な超音波が放射されている範囲から可能な限り、離すのが望ましいのである。

また、薄板検査装置１００Ａにおいては、位置決定部４０Ａの離間を制御できる箇所は紐駆動部６３の一箇所に限定する構成としている。これは、位置決定部４０Ａの離間動作を制御する際に発生する音や、反響する超音波による振動による異音の発生が測定に影響する場合があり、動作を行う箇所を可能な限り抑制するのが望ましいためである。また、使用者の使い勝手の点でも、一箇所を動作させるのみで位置決定部４０Ａの全てが駆動する形態が望ましい。

以上より、薄板検査装置１００Ａにおいては、上述するような構造を有する支持台６０Ａを用いることで、使用者は測定対象物１の振動の仕方を見極めたうえで、クラック有無判断部５０の動作前に任意で紐駆動部６３を動作させ、クラック有無判断部５０の動作中に位置決定部４０Ａと測定対象物１が接触し、検知精度が低下することを防ぐことができる。

実施の形態３．
図１２は、本発明の実施の形態３に係る薄板検査装置１００Ｂの支持台６０Ｂをセットした状態の上部の構成の概略を示す側面図である。図１３は、本発明の実施の形態３に係る薄板検査装置１００Ｂを制御する制御回路８０のブロック図である。図１２及び図１３に基づいて、薄板検査装置１００Ｂの具体的な構成について説明する。なお、実施の形態３では実施の形態１及び実施の形態２との相違点を中心に説明し、実施の形態１及び実施の形態２と同一部分には、同一符号を付して説明を省略するものとする。

実施の形態２においては、不必要な駆動音や動作による雑音影響を抑制するために、任意で紐駆動部６３を動作させ、位置決定部４０Ａを動作させる構成としたが、使い勝手や、人的な誤差要因を排除する上では、自動化を行なうのが望ましい。特に、振動板１２と測定対象物１は振動を十分に与えるために、振動板１２と測定対象物１の距離を１〜３ｃｍ程度とし、近接して設置するのが望ましく、測定対象物１の状態の判断が目視ではしづらく、見逃す場合があり得る。そこで、実施の形態３に係る薄板検査装置１００Ｂは、このような内容を加味し、位置決定部４０Ａの動作を自動で行う構成としたものである。

以下、本発明の実施の形態３を図面に基づいて説明する。
実施の形態３に係る薄板検査装置１００Ｂは、実施の形態２に係る薄板検査装置１００Ａの構成に追加し、支持台検知部７４及び測定対象物位置検知部７５が更に設けられている。また、薄板検査装置１００Ｂでは、紐駆動部６３が電気的に駆動されるようになっている。なお、支持台検知部７４及び測定対象物位置検知部７５については、薄板検査装置１００Ｂの動作とともに説明するものとする。

薄板検査装置１００Ｂは、図１２に図示はしていないが、図１３に示す制御回路８０によって制御されている。制御回路８０は、超音波発生部２０、支持台検知部７４、測定対象物位置検知部７５からの入力を、信号処理部８１にて処理し、クラック有無判断部５０、紐駆動部６３、表示部９０に向けて出力する。なお、紐駆動部６３については、駆動のためにＡ／Ｄ変換が必要となるため、信号処理部８１からの信号を受けてアナログ信号へと変換する入力制御部８２を制御回路８０内に設ける構成としている。また、制御回路８０を図１２に図示していないのは、制御回路８０をどこに設けてもよいからである。

薄板検査装置１００Ｂの動作を説明する。
制御回路８０は、超音波発生部２０の動作を確認した後、駆動する。支持台６０Ｂが挿入されたことを支持台検知部７４により検知し、紐駆動部６３が動作して位置決定部４０Ａが測定対象物１から離れ、動作が完了した後にクラック有無判断部５０の動作が開始される。つまり、位置決定部４０Ａは、測定開始のタイミング（音検知のタイミング）に連動して測定対象物１から離間する。支持台検知部７４は、たとえば支持台６０Ｂが挿入され、所定の接触位置に接触したことを検知する接触センサー等で構成される。

このような流れとすることで、薄板検査装置１００Ｂでは、測定対象物１が適正な位置に設置されるまで測定されないため、測定対象物１の物性によらず、常に安定した振動を与え、測定が可能となる。また、薄板検査装置１００Ｂでは、紐駆動部６３及び位置決定部４０Ａの駆動音をクラック判断部５０がノイズとして拾わないようにすることができ、検知精度の低下を抑制でき、確実に振動影響を取り除いた形で測定が可能となる。測定が完了した後は、クラック有無判断部５０による判定結果を表示部９０に示すとともに紐駆動部６３を再動作させ、測定対象物１を最適位置に設置しやすい状態へと戻す。

測定対象物位置検知部７５の動作について説明する。測定対象物位置検知部７５は、クラック有無判断部５０が動作をしている間、測定対象物１の位置が適正位置範囲外へとずれていないか否かを判定し、測定対象物１が適正な測定位置の範囲外へと移動したことを検知し、信号処理部８１に信号を入力する働きを持つ。信号処理部８１は、測定対象物位置検知部７５の信号が入力された場合、クラック有無判断部５０の動作を停止し、表示部９０にエラーを表示させる。

位置決定部４０Ａが駆動することで、測定対象物１は位置決定部４０Ａとは接触しづらくなるが、測定対象物１のズレを妨げるものが無くなるため、クラック有無判断部５０が動作している間に振動板１２の面から外れ、振動が妨げられる可能性がある。そのため、測定対象物位置検知部７５を設置することで、万が一、測定対象物１が大きく動いて振動板１２の下からはみ出ることがあっても、それを認識できるようにして、誤検知を防ぐ必要がある。

以上より、薄板検査装置１００Ｂにおいては、上述するような支持台検知部７４を用いることで、測定対象物１が適正な位置に設置されるまで測定されないため、測定対象物１の物性によらず、常に安定した振動を与え、測定が可能となる。また、薄板検査装置１００Ｂにおいては、上述するような測定対象物位置検知部７５を用いることで、万が一、測定対象物１が大きく動いて振動板１２の下からはみ出ることがあっても、それを認識できるようにして、誤検知を防ぐことが可能となる。

本発明の構成及び動作を実施の形態を分けて説明したが、それらを適宜組み合わせることができるものとする。

１ 測定対象物、１０ 振動部、１０ａ 圧電素子、１１ ホーン、１２ 振動板、１３ 発振部、２０ 超音波発生部、３０ 支持手段、３１ 突起部、３２ 突起部設置部、４０ 位置決定部、４０Ａ 位置決定部、４１ 回動部、４２ 紐部、５０ クラック有無判断部、５１ 音検出装置、５２ 音響エネルギー解析部、６０ 支持台、６０Ａ 支持台、６０Ｂ 支持台、６１ 取っ手、６２ レール駆動部、６３ 紐駆動部、７０ 台部、７１ 加振部固定部、７１ａ 支持棒、７１ｂ 支持棒固定部、７２ セット部、７２ａ レール部、７２ｂ 開口部、７３ 検知部固定部、７３ａ 空間部、７３ｂ 支持棒、７３ｃ 支持棒固定部、７４ 支持台検知部、７５ 測定対象物位置検知部、８０ 制御回路、８１ 信号処理部、８２ 入力制御部、９０ 表示部、１００ 薄板検査装置、１００Ａ 薄板検査装置、１００Ｂ 薄板検査装置。

Claims (11)

1. 一方の端部側に板状の測定対象物が載置される突起部が設けられ、前記突起部に載置された前記測定対象物の外周外側から内側に向かって延設された部分を有している複数の突起部設置部と、
   前記測定対象物に向かって音波を放射し、該測定対象物を振動させる加振部と、
   前記測定対象物が振動することによって発生する音を検出し、その音情報に基づいて、前記測定対象物のクラックの有無を検知する検知部と、
   を備え、
   前記突起部設置部は、
   前記突起部が設置されている端部側とは反対側の端部が前記測定対象物の外周外側で固定されている
   ことを特徴とする薄板検査装置。
2. 前記測定対象物の設置範囲よりも外側に設置され、前記測定対象物の設置位置の決定を補助する位置決定部を備えた
   ことを特徴とする請求項１に記載の薄板検査装置。
3. 前記突起部設置部の延設された部分は、
   前記測定対象物の外側から内側に向かって前記測定対象物と略平行となるように構成されている
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の薄板検査装置。
4. 前記突起部設置部、及び、前記位置決定部を備えた支持台を備え、
   前記加振部を固定し、
   前記支持台を前記加振部に対してスライド移動を可能にした
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の薄板検査装置。
5. 前記突起部は、
   前記測定対象物と略点接触する形状に構成されている
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の薄板検査装置。
6. 前記突起部は、
   略錐状に形成されている
   ことを特徴とする請求項５に記載の薄板検査装置。
7. 前記支持台の位置を検知する支持台検知部を備え、
   前記支持台検知部によって、前記支持台が所定の位置に設置されたことを検知してから前記測定対象物の検査を実行する
   ことを特徴とする請求項４、請求項４に従属する請求項５又は６に記載の薄板検査装置。
8. 前記位置決定部は、
   前記測定対象物から離間可能な機能を備えている
   ことを特徴とする請求項２、請求項２に従属する請求項３〜７のいずれか一項に記載の薄板検査装置。
9. 前記位置決定部の前記離間可能な機能を発現する起点を一箇所とした
   ことを特徴とする請求項８に記載の薄板検査装置。
10. 前記位置決定部は、
    前記測定対象物の音検知のタイミングに連動して自動的に前記測定対象物から離間する
    ことを特徴とする請求項９に記載の薄板検査装置。
11. 前記位置決定部の離間動作の後、前記測定対象物の位置が適正位置範囲外へとずれたとき、前記測定対象物の音検知を停止する
    ことを特徴とする請求項１０に記載の薄板検査装置。

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