JPWO2020110858A1 - 基板洗浄方法、処理容器洗浄方法、および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
処理容器の内部に基板を配置する工程と、
前記処理容器の内部に配置されたガスノズルの噴射口からガスを噴射する工程と、
前記ガスノズルからのガスの噴射によって発生した垂直衝撃波を、前記基板の主表面に衝突させる工程と、
前記垂直衝撃波を前記基板の前記主表面に衝突させることにより、前記基板の前記主表面に付着したパーティクルを除去する工程とを有する。
D=ρ×v・・・(1)
上記の式(1)において、ρはガスの密度(kg/m3)であり、vはガスの流速(m/s)である。ガスの流速が正であることはガスが上方から下方に流れることを意味し、ガスの流速が負であることはガスが下方から上方に流れることを意味する。供給圧Pが大きいほど、ガスの密度ρとガスの流速vの両方が大きくなるので、質量流束密度Dが大きくなる。また、水素ガスよりも大きな分子量の二酸化炭素ガスの含有率Cが大きいほど、ガスの密度ρが大きくなるので、質量流束密度Dが大きくなる。
PRE1=(n1−n2)/n1×100・・・(2)
上記の式(2)において、n1は洗浄前の基板2の主表面3に付着させた粒径200nmのシリカ粒子の数であり、n2は洗浄後の基板2の主表面3に残った粒径200nmのシリカ粒子の数である。シリカ粒子の数n1、n2は、SEM(Scanning Electron Microscope)によって計測した。
PRE2=(n3−n4)/n3×100・・・(3)
上記の式(3)において、n3は洗浄前の基板2の主表面3に付着させた粒径40nmのシリカ粒子の数であり、n4は洗浄後の基板2の主表面3に残った粒径40nmのシリカ粒子の数である。シリカ粒子の数n3、n4は、SEM(Scanning Electron Microscope)によって計測した。
3 主表面
5 大粒径のパーティクル
6 小粒径のパーティクル
10 基板処理装置
20 処理容器
22 内壁面
30 基板保持部(衝突板)
31 基板保持面
40 ガスノズル(第1ガスノズル)
41 噴射口
80 ガスノズル(第2ガスノズル)
90 制御部
SW 垂直衝撃波
GC ガスクラスター
Claims (16)
- 処理容器の内部に基板を配置する工程と、
前記処理容器の内部に配置されたガスノズルの噴射口からガスを噴射する工程と、
前記ガスノズルからのガスの噴射によって発生した垂直衝撃波を、前記基板の主表面に衝突させる工程と、
前記垂直衝撃波を前記基板の前記主表面に衝突させることにより、前記基板の前記主表面に付着したパーティクルを除去する工程とを有する、基板洗浄方法。 - 前記垂直衝撃波を前記基板の前記主表面に衝突させる時に、前記基板の前記主表面の近傍における前記垂直衝撃波の質量流束密度が6kg/m2s以上である、請求項1に記載の基板洗浄方法。
- 前記垂直衝撃波を前記基板の前記主表面に衝突させる時に、前記ガスノズルの前記噴射口と前記基板の前記主表面とのギャップが37mm以上45mm以下である、請求項1または2に記載の基板洗浄方法。
- ガスの噴射によって発生したガスクラスターを、前記基板の前記主表面に衝突させる工程を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板洗浄方法。
- 処理容器と、
前記処理容器の内部に配置される基板を保持する基板保持部と、
前記処理容器の内部にガスを噴射するガスノズルと、
前記基板保持部に保持されている前記基板に対する前記ガスの衝突を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記ガスノズルからの前記ガスの噴射により発生した垂直衝撃波を前記基板の主表面に衝突させることにより、前記基板の前記主表面に付着したパーティクルを除去する、基板処理装置。 - 前記制御部は、前記垂直衝撃波を前記基板の前記主表面に衝突させる時に、前記基板の前記主表面の近傍における前記垂直衝撃波の質量流束密度を6kg/m2s以上に制御する、請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記垂直衝撃波を前記基板の前記主表面に衝突させる時に、前記ガスノズルの噴射口と前記基板の前記主表面とのギャップを37mm以上45mm以下に制御する、請求項5または6に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、ガスの噴射によって発生したガスクラスターを、前記基板の前記主表面に衝突させる、請求項5〜7のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 処理容器の内部に配置されたガスノズルの噴射口からガスを噴射する工程と、
前記ガスノズルからのガスの噴射によって発生した垂直衝撃波を、前記処理容器の内部に配置された衝突板の表面に衝突させる工程と、
前記垂直衝撃波が前記衝突板の前記表面に衝突することで発生した気流を、前記処理容器の内壁面に吹き付ける工程と、
前記気流を前記処理容器の内壁面に吹き付けることにより、前記処理容器の内壁面に付着したパーティクルを除去する工程とを有する、処理容器洗浄方法。 - 前記垂直衝撃波を前記衝突板の前記表面に衝突させる時に、前記衝突板の前記表面の近傍における前記垂直衝撃波の質量流束密度が6kg/m2s以上である、請求項9に記載の処理容器洗浄方法。
- 前記垂直衝撃波を前記衝突板の前記表面に衝突させる時に、前記ガスノズルの前記噴射口と前記衝突板の前記表面とのギャップが37mm以上45mm以下である、請求項9または10に記載の処理容器洗浄方法。
- 前記処理容器の内部に、前記処理容器の内壁面から除去された前記パーティクルを運ぶ渦状の気流を形成する工程を有する、請求項9〜11のいずれか1項に記載の処理容器洗浄方法。
- 処理容器と、
前記処理容器の内部にガスを噴射する第1ガスノズルと、
前記処理容器の内部に配置された衝突板に対する、前記第1ガスノズルから噴射されたガスの衝突を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記第1ガスノズルからのガスの噴射により発生した垂直衝撃波を前記衝突板の表面に衝突させることにより、前記処理容器の内壁面に付着したパーティクルを除去する気流を発生させる、基板処理装置。 - 前記制御部は、前記垂直衝撃波を前記衝突板の前記表面に衝突させる時に、前記衝突板の前記表面の近傍における前記垂直衝撃波の質量流束密度を6kg/m2s以上に制御する、請求項13に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記垂直衝撃波を前記衝突板の前記表面に衝突させる時に、前記第1ガスノズルの噴射口と前記衝突板の前記表面とのギャップを37mm以上45mm以下に制御する、請求項13または14に記載の基板処理装置。
- 前記処理容器の内部に、前記処理容器の内壁面から除去された前記パーティクルを運ぶ渦状の気流を形成する第2ガスノズルを備える、請求項13〜15のいずれか1項に記載の基板処理装置。
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