JPWO2019146119A1 - 太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システム - Google Patents

太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システム Download PDF

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Abstract

安価で変換効率が優れた太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システムを提供する。実施形態の太陽電池は、第1p電極(1a)と第2p電極(1b)が積層したp電極(1)と、第1p電極(1a)と直接的に接したp型光吸収層(2)と、p型光吸収層(2)と直接的に接したn型層(3)と、n電極(4)と、を有する。p型光吸収層(2)と第2p電極(1b)の間に第1p電極(1a)が配置される。n型層(3)と第1p電極(1a)との間にp型光吸収層(2)が配置される。p型光吸収層(2)とn電極(4)との間にn型層(3)が配置される。第1p電極(1a)は、Snを主成分とする金属の酸化物からなる。

Description

本発明は、太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システムに関する。
新しい太陽電池の1つに、亜酸化銅(CuO)太陽電池がある。CuOはバンドギャップが2.1eVのワイドギャップ半導体である。CuOは地球上に豊富に存在する銅と酸素からなる安全かつ安価な材料であるため、高効率かつ低コストな太陽電池が実現できると期待されている。
図1は、従来のCuO太陽電池の断面図を示す。CuO太陽電池は、光吸収層の作製法に依存して、厚膜型(図1a)と薄膜型(図1b)の2種類がある。
厚膜型CuO太陽電池は、厚さ0.1mm以上0.2mm以下程度の銅箔を電気炉中で熱酸化してCuO厚膜シートを作製し、片面にn型層と透明電極(光透過性n電極)を順次積層し、もう片面には光学的に不透明なAu電極(非透過性p電極)を形成して素子化したものである。これに対して、薄膜型CuO太陽電池は、ガラス基板上にAu電極(p電極)を形成した後、厚さ1μm以上5μm以下程度のCuO薄膜(p層)、n型層、透明電極を順次成膜して素子化したものである。
図1より、従来のCuO太陽電池は、厚膜型と薄膜型いずれについても、p電極に高価なAu電極を使用しており、大面積の太陽電池を作製する際にp電極が高価であることが問題となる。
特開2017−098479号公報
本発明が解決しようとする課題は、安価で変換効率が優れた太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システムを提供する。
第1p電極と第2p電極が積層したp電極と、第1p電極と直接的に接したp型光吸収層と、p型光吸収層と直接的に接したn型層と、n電極と、を有する。p型光吸収層と第2p電極の間に第1p電極が配置される。n型層と第1p電極との間にp型光吸収層が配置される。p型光吸収層とn電極との間にn型層が配置される。第1p電極は、Snを主成分とする金属の酸化物からなる。
従来の厚膜型亜酸化銅太陽電池の断面図(図1(a))と薄膜型亜酸化銅太陽電池の断面図(図1(b))。 実施形態の太陽電池の断面図。 ガラス/Au/CuO/Au素子の電流電圧特性。 ガラス/ITO/CuO/Au素子の電流電圧特性。 ガラス/SnO/CuO/Au素子の電流電圧特性。 実施形態の太陽電池の断面図。 実施形態の太陽電池の斜視図。 実施形態の多接合型太陽電池の断面図。 実施形態の太陽電池モジュールの斜視図。 実施形態の太陽電池モジュールの断面図。 実施形態の太陽光発電システムの構成図。
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な一実施形態について詳細に説明する。
(第1実施形態)
第1実施形態は、太陽電池に関する。図2に、第1実施形態の太陽電池100の断面図を示す。図2に示すように、本実施形態に係る太陽電池100は、p電極1と、p型光吸収層2と、n型層3と、n電極4を有する。n型層3とn電極4との間等には、図示しない中間層が含まれていてもよい。太陽光はn電極4側、p電極1側いずれから入射しても良いが、n電極4側から入射するのがより好ましい。図示しない基板がp電極1側又はn電極4側に設けられてもよい。
p電極1は、p型光吸収層2と直接的に接した電極である。p電極1は、第1p電極1aと第2p電極2bを含む。第1p電極1aと第2p電極1bは積層している。第1p電極は、第2p電極1bよりもp型光吸収層2側に配置されている。
第1p電極1aは、Snを主成分とする金属の酸化物からなる酸化物膜である。第1p電極1aは、p型光吸収層2と直接的に接した電極である。第1p電極1aは、第2p電極1bとp型光吸収層2との間に配置される。p電極1が積層膜であることが好ましい理由は、Snを主成分とする金属の酸化物の抵抗率が、金属膜や金属間化合物膜や酸化インジウムスズ(Indium Tin Oxide:ITO)などの酸化物透明導電膜と比較して高く、単独の電極で用いると抵抗成分による発電損失を生じるためである。
p型光吸収層2と直接的に接する電極はこれまで、Auなどの金属膜又はITOなどの酸化物透明導電膜が用いられてきた。Auなどの金属膜をp型光吸収層2と直接的に接するp電極として用いるとp型光吸収層とp電極の界面は、正孔に対してオーミックコンタクトになることが知られている。オーミックコンタクトであれば、低抵抗であるがAuは高価であるためコストの問題がある。また、酸化インジウムスズなどの透明導電膜をp型光吸収層2と直接的に接するp電極として用いると透明導電膜とp型光吸収層2との界面にショットキーバリアを形成してしまいp電極と光吸収層2とのコンタクト抵抗が高いため変換効率が低くなってしまうことが知られている。
Au電極とp型光吸収層2とのコンタクトについてより具体的に説明する。図3は、ガラス基板にAu電極を形成し、その上にCuO薄膜光吸収層(p型光吸収層)、対向のAu電極を順次成膜した、ガラス/Au/CuO/Au素子の電流電圧特性を示す。図より、本素子では電圧に対してオーミック電流が流れることが分る。Au/CuO界面は経験的に正孔に対してオーミックコンタクトになることが知られているため、図3の結果はそれが妥当であることを示している。
ITO電極とp型光吸収層2とのコンタクトについてより具体的に説明する。ITOは、Snを含むがInが金属の主成分である。図4は、ガラス基板にITO電極を形成し、その上にCuO薄膜光吸収層(p型光吸収層)、対向のAu電極を順次成膜した、ガラス/ITO/CuO/Au素子の電流電圧特性を示す。図より、本素子では電圧に対して整流性を示し、ダイオード電流が流れることが分る。Au/CuO界面は経験的に正孔に対してオーミックコンタクトになることが知られているため、図4の結果はITO/CuO界面は、ショットキーバリアを形成することを示している。
SnO電極とp型光吸収層2とのコンタクトについてより具体的に説明する。図5は、導電性のSnO(アンチモンSb添加)上にCuO薄膜光吸収層を成膜し、さらにその上に対向電極としてAuを形成した、ガラス/SnO/CuO/Au素子の電流電圧特性を示す。図より、本素子も電圧に対してオーミック電流が流れることが分った。Au/CuO界面は正孔に対してオーミックコンタクトであることから、図5の結果はSnO/CuO界面もまた、正孔に対してオーミックコンタクトであることを示している。
図3、4及び5の結果に示すようにp型光吸収層2と直接的に接するp電極1すなわち第1p電極1aは、Snを主成分とする金属の酸化物であることが好ましい。かかる結果は、以下の理由により予想外の結果である。Snを主成分とする金属の酸化物の導電型はITO等と同様にn型半導体である。n型で比較的導電性の低いSnO(Snを主成分とする金属の酸化物)は、p型光吸収層と直接的に接するp電極として不適と考えられていた。すると、SnO(Snを主成分とする金属の酸化物)は、ITOと同様にショットキーバリアを形成することが予想されるが結果は予想とは異なっていた。Snを主成分とする金属の酸化物がp型光吸収層2とオーミックコンタクトをしている理由は明らかではないが、金属の酸化物とp型光吸収層2がトンネル接合をしている可能性がある。
さらに、SnOは導電性はあるがSnO自体は導電性の低い材料である。しかしながら図3と図5を比較すると、SnO電極を用いた素子は、Au電極を用いた素子と同程度の電流電圧特性を示している。かかる結果もSnOの特性からは予想外の結果である。
第1p電極1aの酸化物に含まれる金属には、Snの他にZn、Al、Ga、In、Si、Ge、Ti、Cu、Sb、Nb、F及びTaからなる群より選ばれる1種以上の金属が含まれていてもよい。これらのSn以外の金属は、酸化スズにドープされている。例えば、Sbを増やすことでキャリアが増え第1p電極1aとp型光吸収層2とがトンネル接合しやすくなる。また、p型光吸収層2に含まれるCuが第1p電極1aに含まれていてもよい。これらのことから、上記の金属のうち、第1p電極1aに含まれる金属としては、Snに加えて、Cu、Sb又はCu及びSbが好ましい。従って、第1p電極1aの酸化物の金属は、Sn及びSb、Sn及びCu、又は、Sn、Sb及びCuであることが好ましい。なお、第1p電極1aは、Sn以外にZn、Al、Ga、In、Si、Ge、Ti、Cu、Sb、Nb、F及びTaからなる群より選ばれる1種以上の金属を実質的に含まない酸化物透明導電膜、すなわち、酸化物に含まれる金属のうち99atom%以上がSnである酸化物透明導電膜でもよい。
第1p電極1aの酸化物に含まれる金属のうち90atom%以上がSnであることが好ましい。第1p電極1a中のSn濃度が低いとITOのようにp型光吸収層2とショットキーバリアを形成してしまいやすくなる。同観点から、第1p電極1aの酸化物に含まれる金属のうち95atom%以上がSnであることがより好ましい。また、同観点から第1p電極1aに含まれるSnの濃度は、29.5atom%以上33.5%以下であることが好ましい。第1p電極1aの酸化物に含まれる金属のうち95atom%以上がSnであり、5atom%以下がZn、Al、Ga、In、Si、Ge、Ti、Cu、Sb、Nb、F及びTaからなる群より選ばれる1種以上の金属であることがより好ましい。また、第1p電極1aの酸化物に含まれる金属のうち95atom%以上がSnであり、0.1atom%以上5atom%以下がCu、Sb、又はCu及びSbであることがより好ましい。
第1p電極1aの厚さは、電子顕微鏡による断面観察や、段差計によって求められ、1nm以上1000nm以下であることが好ましい。第1p電極1aが薄すぎるとp型光吸収層2が第2p電極1bと直接的に接してしまいやすい。また、第1p電極1aが厚すぎるとp電極1の抵抗が大きくなってしまうため好ましくない。第1p電極1aのp型光吸収層2を向く全面とp型光吸収層2の第1p電極1aを向く全面が直接的に接する観点から、上記範囲が好ましい。また、同観点から、第1p電極1aの厚さは、5nm以上300nm以下であることがより好ましい。
第2p電極1bは、第1p電極1aよりも低抵抗な導電膜である。第2p電極1bは、第1p電極1aとは直接的に接しているが、p型光吸収層2と直接的に接していない電極である。第2p電極1bは、金属膜、金属管化合物膜及び酸化物透明導電膜からなる群より選ばれる単層膜又は積層膜であることが好ましい。積層膜には、例えば金属膜と酸化物透明導電膜を組み合わせるなど異種の膜を積層した形態と、例えば金属膜と金属膜を組み合わせるなど同種の膜を積層した形態も含まれる。太陽電池を多接合型太陽電池にしたり透光性のある太陽電池としたりする場合は、p電極1及びn電極4の両方が可視光に対して、光透過性を有することが好ましい。可視光の透過性の観点から第2p電極1bは、酸化物透明導電膜であることが好ましい。
第2p電極1bに用いられる金属膜としては、Cu、Al、Ag、Mo、W及びTaからなる群より選ばれる1種以上の金属の膜であることが好ましい。第2p電極1bに用いられる金属間化合物としては、金属膜で挙げた金属を1種以上含む金属間化合物の膜であることが好ましい。第2p電極1bに用いられる酸化物透明導電膜としては、酸化インジウムスズ、アルミニウムドープ酸化亜鉛(Al-doped Zinc Oxide:AZO)、ボロンドープ酸化亜鉛(Boron-doped Zinc Oxide:BZO)、ガリウムドープ酸化亜鉛(Gallium-doped Zinc Oxide:GZO)、インジウムドープ酸化亜鉛(Indium-doped Zinc Oxide:IZO)、アルミニウムガリウム酸化物(Aluminum Gallium Oxide:AGO)、チタンドープ酸化インジウム(Titanium-doped Indium Oxide:ITiO)、酸化インジウムガリウム亜鉛(Indium Gallium Zinc Oxide:IGZO)及び水素ドープ酸化インジウム(Hydrogen-doped Indium Oxide:In)からなる群より選ばれる1種以上の膜であることが好ましい。第2p電極1b中に含まれる金属のうちSnとSbの合計濃度は、10atom%以下であることが好ましい。
第2p電極1bの厚さは、電子顕微鏡による断面観察や、段差計によって求められ、特に限定はないが、典型的には、1nm以上1μm以下である。
第1p電極1a及び第2p電極1bは、例えばスパッタなどによって成膜されることが好ましい。
第1p電極1a及び第2p電極1b中の元素組成は、二次イオン質量分析法(Secondary Ion Mass Spectrometry; SIMS)による分析を行うことによって確認できる。n型層3から光吸収層2に向かって深さ方向の分析をSIMSで行う。p電極1に含まれる元素は、太陽電池の断面をエネルギー分散型分光−透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope-Energy dispersive X-ray spectrometry; TEM EDX)であらかじめ測定することが好ましい。分析位置は、図6の斜視図に示すように、n電極4の主面(n型層側を向いた面とは反対側の面)長手方向に4等分割、短手方向に2等分割して生じた8領域の中心の78μm×78μmの領域である。p型光吸収層2、n型層3及びn電極4も同様の方法によって分析が可能である。
p型光吸収層2は、p型の半導体層である。p型光吸収層2は、第1p電極1aとn型層3との間に配置される。p型光吸収層2としては、Cuを主成分とする金属の酸化物の半導体層である。Cuを主成分とする金属の酸化物は、亜酸化銅又は亜酸化銅の複合酸化物である。Cuを主成分とする金属の酸化物は、Cuが60.0atom%以上67.0atom%以下であり、O(酸素)が32.5atom%以上34.0atom%以下である。亜酸化銅の複合酸化物には、Cu以外の金属が含まれる。亜酸化銅の複合酸化物に含まれる金属は、Cuに加えて、Sn、Sb、Ag、Li、Na、K、Cs、Rb、Al、Ga、In、Zn、Mg及びCaからなる群より選ばれる1種以上の金属である。Cu以外にAg、Li、Na、K、Cs、Rb、Al、Ga、In、Zn、Mg及びCaからなる群より選ばれる1種以上の金属が含まれると、p型光吸収層2のバンドギャップを調整することができる。p型光吸収層2のバンドギャップは、2.0eV以上2.2eV以下であることが好ましい。かかる範囲のバンドギャップであると、Siを光吸収層に用いた太陽電池をボトムセルに用い、実施形態の太陽電池をトップセルに用いた多接合型太陽電池において、トップセル及びボトムセルの両方で太陽光を効率よく利用できる。p型光吸収層2には、SnやSbをさらに含んでもよい。p型光吸収層2のSnやSbは、光吸収層2に添加されたものでもよいし、p電極1に由来するものでもよい。p型光吸収層2は、Cuで表される酸化物の層である。Mは、Sn、Sb、Ag、Li、Na、K、Cs、Rb、Al、Ga、In、Zn、Mg及びCaからなる群より選ばれる1種以上の金属である。a、b及びcは、1.80≦a≦2.01、0.00≦b≦0.20及び0.98≦c≦1.02を満たすことが好ましい。上記p型光吸収層2の組成比は、p型光吸収層2の全体の組成比である。また、上記のp型光吸収層2の化合物組成比は、p型光吸収層2において全体的に満たすことが好ましい。なお、Sn及びSbのp型光吸収層中の濃度が高いと、欠陥が増加して、キャリア再結合が増えてしまう。そこで、p型光吸収層2中のSb及びSnの合計体積濃度は、1.5x1019atoms/cm以下が好ましい。
p型光吸収層2の厚さは、電子顕微鏡による断面観察や、段差計によって求められ、1,000nm以上10,000nm以下が好ましい。
p型光吸収層2は、例えばスパッタなどによって成膜されることが好ましい。
n型層3は、n型の半導体層である。n型層3は、p型光吸収層2とn電極4との間に配置される。n型層3は、p型光吸収層2の第1p電極1aと接した面とは反対側の面と直接接している。n型層3としては、酸化物層や硫化物層を含む層が好ましい。より具体的には、n型層3に用いる酸化物層は、Zn(1−x)(A=Si、Ge、Sn)、Cu(2−x)O(M=Mn、Mg、Ca、Zn、Sr、Ba)、Al(2−x Gaからなる群から選ばれる層が好ましい。n型層に用いる硫化物層は、ZnIn(2−2x)(3−2x)、ZnS、InGa(1−x)Sからなる群から選ばれる1種以上の硫化物からなる層が好ましい。Zn(1−x)をn型層に用いる場合、Zn/A組成比は、1乃至3の範囲が望ましく、1.5乃至2.5がより好ましい。
n型層3の厚さは、5nm以上100nm以下であることが好ましい。n型層3の厚さが5nm以下であるとn型層3のカバレッジが悪い場合にリーク電流が発生し、好ましくない。n型層3の厚さが100nmを超えると透過率が低下し短絡電流が低下するので好ましくない。従って、n型層3の厚さは10nm以上50nm以下がより好ましい。また、カバレッジの良い膜を実現するためにn型層3の表面粗さは5nm以下が好ましい。
n型層3は、例えばスパッタなどによって成膜されることが好ましい。
n電極4は、可視光に対して、光透過性を有するn型層3側の電極である。n電極4とp型光吸収層2によってn型層3を挟んでいる。n型層3とn電極4の間には、図示しない中間層を設けることができる。n電極4には、酸化物透明導電膜を用いることが好ましい。n電極4で用いられる酸化物透明導電膜としては、酸化インジウムスズ、アルミニウムドープ酸化亜鉛、ボロンドープ酸化亜鉛、ガリウムドープ酸化亜鉛、インジウムドープ酸化亜鉛、アルミニウムガリウム酸化物、チタンドープ酸化インジウム、酸化インジウムガリウム亜鉛及び水素ドープ酸化インジウムからなる群より選ばれる1種以上の透明導電膜であることが好ましい。
n電極4の厚さは、電子顕微鏡による断面観察や、段差計によって求められ、特に限定はないが、典型的には、1nm以上2μm以下である。
n電極4は、例えばスパッタなどによって成膜されることが好ましい。
(第2実施形態)
第2実施形態は、太陽電池に関する。図6に、第1実施形態の太陽電池101の断面図を示す。図2に示すように、本実施形態に係る太陽電池100は、p電極1と、p型光吸収層2と、n型層3と、n電極4を有する。p型光吸収層2には、Sn、Sbのうち少なくとも一方の元素とCuを含む酸化物が含まれる酸化物領域5が存在することが、第1実施形態の太陽電池100とは異なる。酸化物領域5以外は、第1実施形態の太陽電池100と第2実施形態の太陽電池101は共通する。第1実施形態の太陽電池100と第2実施形態の太陽電池101の共通することについては説明を省略する。
発明者らの研究によって、p型光吸収層2のp電極1側に、Cu及びSn,Cu及びSb,又は、Cu,Sn及びSbを含む金属の酸化物が含まれる酸化物領域5が存在するとp電極1(第1p電極1a)とp型光吸収層2とのコンタクト抵抗が下がることがわかった。
コンタクト抵抗を下げる観点から酸化物領域5は、p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面(起点)からn型層3の方向に向かって1000nmの深さ(終点)までのp型光吸収層中に存在することが好ましい。同観点から、酸化物領域5は、p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面(起点)からn型層3の方向に向かって1000nmの深さ(終点)であって、かつ、p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面(起点)からn型層3の方向に向かってp型光吸収層2の厚さの半分の深さ(終点)までに存在することが好ましい。同観点から酸化物領域5は、p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面(起点)からn型層3の方向に向かって100nmの深さ(終点)までがより好ましい。p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面(起点)からn型層3の方向に向かって100nmの深さ(終点)までの領域においては、全体的にSn、Sb、又は、Sn及びSbを含むことが好ましい。
コンタクト抵抗を下げる観点から、酸化物領域5中のSn及びSbの合計体積濃度は、1015atoms/cm以上であることが好ましい。上記範囲の領域中に好適なSn及びSbの合計体積濃度を満たす領域が含まれればよい。同観点より、酸化物領域5中のSn及びSbの合計体積濃度は、1016atoms/cm以上であることがより好ましい。なお、酸化物領域5中のSn及びSbの合計体積濃度が高すぎると結晶性が低下してキャリア再結合を起こす欠陥が増えて好ましくない。酸化物領域5中のSb濃度は、体積濃度で1016atoms/cm以上、1021atoms/cm以下が好ましく、1016atoms/cm以上、1019atoms/cmがより好ましい。p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面(起点)からn型層3の方向に向かって100nmの深さ(終点)までの領域においては、全体的に上記体積濃度を満たすことがより好ましい。
また、p型光吸収層2中の全体にわたってSn及びSb濃度が高いと欠陥増加に伴い移動度が低下してやはりキャリア再結合が増加してしまう。そこで、p型光吸収層2とn型層3との界面(起点)からp電極1に向かってp型光吸収層2の厚さの1/3までの深さ(終点)までの領域において、酸化物領域5中のSn及びSbの合計体積濃度は、10 atoms/cm以下であることが好ましい。
なお、酸化物領域5中のSn及びSbの合計体積濃度は、p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面からn型層3の方向に向かって傾斜的に減少することがより好ましい。具体的には、以下の通りである。
p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面(起点)からn型層3の方向に向かって10nmの深さ(終点)までの領域を第1酸化物領域とする。第1酸化物領域のSn及びSbの合計体積濃度をCとする。Cは、1021atoms/cm以下であることが好ましい。第1酸化物領域のSn及びSbの合計体積濃度の平均値をC1AVEとする。C 1AVEは、1021atoms/cm以下であることが好ましい。また、C及びC 1AVEは、1019atoms/cm以上であることが好ましい。p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面に最も近い第1酸化物領域において、Sn及びSbの合計体積濃度が高いと、p型光吸収層2と第1p電極1aとのコンタクト抵抗が低減する。ただし、第1酸化物領域において、Sn及びSbの合計体積濃度が高すぎると、欠陥増加に伴い移動度が低下してやはりキャリア再結合が増加してしまう。
p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面からn型層3の方向に向かって10nmの深さ(起点)からp型光吸収層2と第1p電極1aとの界面からn型層3の方向に向かって30nmの深さ(終点)までの領域を第2酸化物領域とする。第2酸化物領域のSn及びSbの合計体積濃度をCとする。Cは、1020atoms/cm以下であることが好ましい。第2酸化物領域のSn及びSbの合計体積濃度の平均値をC2AVEとする。C2AVEは、1020atoms/cm以下であることが好ましい。第1酸化物領域がp型光吸収層2とp電極とのコンタクト抵抗の低減に寄与するが、それよりもn型層3側に存在する領域は、コンタクト抵抗低減にあまり寄与しないため、第2酸化物領域以降は、Sn及びSbの合計体積濃度は高すぎることは、欠陥の増加を招く影響が大きくなってしまう。また、C2AVEとC1AVEは、C2AVE<C1AVEの関係を満たすことが好ましい。
p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面からn型層3の方向に向かって30nmの深さ(起点)からp型光吸収層2と第1p電極1aとの界面からn型層3の方向に向かって100nmの深さ(終点)までの領域を第3酸化物領域とする。第3酸化物領域のSn及びSbの合計体積濃度をCとする。Cは、1019atoms/cm以下であることが好ましい。第3酸化物領域のSn及びSbの合計体積濃度の平均値をC3AVEとする。C3AVEは、1019atoms/cm以下であることが好ましい。第1酸化物領域がp型光吸収層2とp電極とのコンタクト抵抗の低減に寄与するが、それよりもn型層3側に存在する領域は、コンタクト抵抗低減にあまり寄与しないため、第3酸化物領域以降も、Sn及びSbの合計体積濃度は高すぎることは、欠陥の増加を招く影響が大きくなってしまう。また、C3AVEとC2AVEは、C3AVE<C2AVEの関係を満たすことが好ましい。
p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面からn型層3の方向に向かって100nmの深さ(起点)からp型光吸収層2と第1p電極1aとの界面からn型層3の方向に向かって1000nmの深さ(起点)又はn型層3の方向に向かってp型光吸収層2の厚さの半分の深さ(終点)までの深い方の領域を第4酸化物領域とする。第4酸化物領域のSn及びSbの合計体積濃度をCとする。Cは、1017atoms/cm以下であることが好ましい。第4酸化物領域のSn及びSbの合計体積濃度の平均値をC4AVEとする。C4AVEは、1019atoms/cm以下であることが好ましい。第1酸化物領域がp型光吸収層2とp電極とのコンタクト抵抗の低減に寄与するが、第4酸化物領域は、コンタクト抵抗低減に寄与しないため、第4酸化物領域も、Sn及びSbの合計体積濃度は高すぎることは、欠陥の増加を招く影響が大きくなってしまう。また、C4AVEとC3AVEは、C4AVE<C3AVEの関係を満たすことが好ましい。
p型光吸収層2と第1p電極1aとの界面はSIMS分析において、Sn濃度とCu濃度が交差するところとする。また、p型光吸収層2とn型層3との界面もSIMS分析によって求められる。SEM画像から界面を観察し、各層の厚さを求めSIMS結果と併せて酸化物領域5の位置を求めることもできる。
第2実施形態の太陽電池101のp型光吸収層2を成膜する方法として以下に1例挙げる。酸化物領域中にCuとSnを含む場合では、例えば、第1p電極1a上に酸素、アルゴンガス雰囲気中でスパッタリング法により酸化物領域5となるCuとSnを両方含む酸化物層(Sn−doped CuO)を堆積し、次いでp型光吸収層2を成膜する方法が挙げられる。
(第3実施形態)
第3実施形態は、多接合型太陽電池に関する。図8に第3実施形態の多接合型太陽電池の断面概念図を示す。図8の多接合型太陽電池200は、光入射側に第1実施形態の太陽電池(第1太陽電池)100(101)と、第2太陽電池201を有する。第2太陽電池201の光吸収層のバンドギャップは、第1実施形態の太陽電池100のp型光吸収層2よりも小さいバンドギャップを有する。なお、実施形態の多接合型太陽電池は、3以上の太陽電池を接合させた太陽電池も含まれる。
第2実施形態の第1太陽電池100のp型光吸収層2のバンドギャップが2.0eV−2.2eV程度であるため、第2太陽電池200の光吸収層のバンドギャップは、1.0eV以上1.6eV以下であることが好ましい。第2太陽電池の光吸収層としては、Inの含有比率が高いCIGS系及びCdTe系からなる群から選ばれる1種以上の化合物半導体層、結晶シリコン及びペロブスカイト型化合物からなる群より選ばれる1種であることが好ましい。
(第4実施形態)
第4実施形態は、太陽電池モジュールに関する。図9に第4実施形態の太陽電池モジュール300の斜視図を示す。図9の太陽電池モジュール300は、第1太陽電池モジュール301と第2太陽電池モジュール302を積層した太陽電池モジュールである。第1太陽電池モジュール301は、光入射側であり、第1実施形態の太陽電池100を用いている。第2の太陽電池モジュール302には、第2太陽電池201を用いることが好ましい。
図10に太陽電池モジュール300の断面図を示す。図10では、第1太陽電池モジュール301の構造を詳細に示し、第2太陽電池モジュール302の構造は示していない。第2太陽電池モジュール301では、用いる太陽電池の光吸収層などに応じて適宜、太陽電池モジュールの構造を選択する。図4の太陽電池モジュールは、複数の太陽電池100(太陽電池セル)が横方向に並んで電気的に直列に接続した破線で囲われたサブモジュール303が複数含まれ、複数のサブモジュール303が電気的に並列もしくは直列に接続している。隣り合うサブモジュール303は、バスバー304で電気的に接続している。
太陽電池100は、スクライブされていて、隣り合う太陽電池100は、上部側のn電極4と下部側のp電極1が接続している。第3実施形態の太陽電池100も第1実施形態の太陽電池100と同様に、p電極1、p型光吸収層2、n型層3とn電極4を有し、さらにp電極1と第2太陽電池モジュール302の間に基板6を有する。基板6としては、白板ガラスを用いることが望ましく、石英、ソーダライムガラス、化学強化ガラスなどガラス全般、あるいはポリイミド、アクリル等の樹脂等を用いることもできる。サブモジュール303中の太陽電池100の両端は、バスバー304と接続し、バスバー304が複数のサブモジュール303を電気的に並列もしくは直列に接続し、第2太陽電池モジュール302との出力電圧を調整するように構成されていることが好ましい。
(第5実施形態)
第5実施形態は太陽光発電システムに関する。第4実施形態の太陽電池モジュールは、第5実施形態の太陽光発電システムにおいて、発電を行う発電機として用いることができる。実施形態の太陽光発電システムは、太陽電池モジュールを用いて発電を行うものであって、具体的には、発電を行う太陽電池モジュールと、発電した電気を電力変換する手段と、発電した電気をためる蓄電手段又は発電した電気を消費する負荷とを有する。図11に実施形態の太陽光発電システム400の構成図を示す。図11の太陽光発電システムは、太陽電池モジュール401(300)と、コンバーター402と、蓄電池403と、負荷404とを有する。蓄電池403と負荷404は、どちらか一方を省略しても良い。負荷404は、蓄電池403に蓄えられた電気エネルギーを利用することもできる構成にしてもよい。コンバーター402は、DC−DCコンバーター、DC−ACコンバーター、AC−ACコンバーターなど変圧や直流交流変換などの電力変換を行う回路又は素子を含む装置である。コンバーター402の構成は、発電電圧、蓄電池403や負荷404の構成に応じて好適な構成を採用すればよい。
太陽電池モジュール300に含まれる受光したサブモジュール301に含まれる太陽電池セルが発電し、その電気エネルギーは、コンバーター402で変換され、蓄電池403で蓄えられるか、負荷404で消費される。太陽電池モジュール401には、太陽電池モジュール401を常に太陽に向けるための太陽光追尾駆動装置を設けたり、太陽光を集光する集光体を設けたり、発電効率を向上させるための装置等を付加することが好ましい。
太陽光発電システム400は、住居、商業施設や工場などの不動産に用いられたり、車両、航空機や電子機器などの動産に用いられたりすることが好ましい。実施形態の変換効率に優れた光電変換素子を太陽電池モジュールに用いることで、発電量の増加が期待される。
以下、実施例に基づき本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
実施例1の太陽電池は、可視光に対して不透明な、非光透過性太陽電池の例である。ガラス基板上に、裏面側の積層タイプのp電極として、ガラスと接する側にAl膜を堆積し、次にAl上にATO(Antimony-doped Tin Oxide)透明導電膜を堆積する。不透明なp電極上に酸素、アルゴンガス雰囲気中でスパッタリング法により500℃で加熱してCu O光吸収層を成膜する。その後、室温でスパッタリング法により、n型層としてZnGeO酸化物を堆積し、表面側のn電極としてAZO透明導電膜を堆積する。
光吸収層と接する側のp電極にSnを主成分とするATO透明導電膜を用いることで、光吸収層との間で正孔に対して良好なオーミックコンタクトが得られ、開放電圧、フィルファクタが改善する。
(比較例1)
比較例1の太陽電池は、可視光に対して不透明な、非光透過性太陽電池の例である。ガラス基板上に、裏面側の積層タイプのp電極として、ガラスと接する側にAl膜を堆積し、次に、CuO光吸収層と接する側にITO透明導電膜を堆積した。p電極以外は、先の実施例1と同じ構成である。発電特性を調べた結果、先の実施例1と比べて、開放電圧は半分以下に、フィルファクタは3分の2に減少した。
ITOは、Sn:In=1:4で、主成分がInからなる酸化物である。従って、Cu Oに対して良好なpコンタクトを得るには、CuOと接する側のp電極として、Snを主成分とする酸化物が必要なことが確かめられた。
(実施例2)
実施例2の太陽電池は、光吸収層と接しない層は可視光に対して透明な、光透過性太陽電池の例である。ガラス基板上に、裏面側の積層タイプのp電極として、ガラスと接する側にITO透明導電膜を堆積し、次にITO上にATO透明導電膜を堆積する。透明なp電極上に酸素、アルゴンガス雰囲気中でスパッタリング法により500℃で加熱してCu O光吸収層を成膜する。その後、室温でスパッタリング法により、n型層としてZnGeO酸化物を堆積し、表面側のn電極としてAZO透明導電膜を堆積する。
光吸収層と接する側のp電極にSnを主成分とするATO透明導電膜を用いることで、光吸収層との間で正孔に対して良好なオーミックコンタクトが得られ、開放電圧、フィルファクタが改善する。
(比較例2)
比較例2の太陽電池は、可視光に対して透明な、光透過性太陽電池の例である。ガラス基板上に、裏面側の積層タイプのp電極として、ガラスと接する側にITO透明導電膜を堆積し、次に、CuO光吸収層と接する側にAZO膜を堆積した。p電極以外は、先の実施例2と同じ構成である。発電特性を調べた結果、先の実施例1と比べて、開放電圧、フィルファクタともに半分以下に減少した。
AZOは、主成分がZnからなる酸化物である。従って、CuOに対して良好なpコンタクトを得るには、CuOと接する側のp電極として、Snを主成分とする酸化物が必要なことが確かめられた。
(実施例3)
実施例3の太陽電池は、光吸収層と接しない層は可視光に対して透明な、光透過性太陽電池の例である。ガラス基板上に、裏面側の積層タイプのp電極として、ガラスと接する側にITO透明導電膜を堆積し、次にITO上にATO透明導電膜を堆積する。透明なp電極上に酸素、アルゴンガス雰囲気中でスパッタリング法により500℃で加熱してCuとSbを両方含む酸化物層を堆積し、次いでCuO光吸収層を成膜する。
その後、室温でスパッタリング法により、n型層としてZnGeO酸化物を堆積し、表面側のn電極としてAZO透明導電膜を堆積する。
光吸収層と接する側のp電極にSnを主成分とするATO透明導電膜を用いることで、光吸収層との間で正孔に対して良好なオーミックコンタクトが得られ、実施例1乃至2と比較して、開放電圧、フィルファクタがさらに改善する。
(実施例4)
実施例4の太陽電池は、光吸収層と接しない層は可視光に対して透明な、光透過性太陽電池の例である。ガラス基板上に、裏面側の積層タイプのp電極として、ガラスと接する側にITO透明導電膜を堆積し、次にITO上にNTO(Niobuim-doped Tin Oxide)透明導電膜を堆積する。透明なp電極上に酸素、アルゴンガス雰囲気中でスパッタリング法により500℃で加熱してCuO光吸収層を成膜する。その後、室温でスパッタリング法により、n型層としてZnGeO酸化物を堆積し、表面側のn電極としてAZO透明導電膜を堆積する。
光吸収層と接する側のp電極にSnを主成分とするNTO透明導電膜を用いることで、光吸収層との間で正孔に対して良好なオーミックコンタクトが得られ、開放電圧、フィルファクタが改善する。
(実施例5)
実施例5の太陽電池は、光吸収層と接しない層は可視光に対して透明な、光透過性太陽電池の例である。ガラス基板上に、裏面側の積層タイプのp電極として、ガラスと接する側にAZO透明導電膜を堆積し、次にAZO上にATO透明導電膜を堆積する。透明なp電極上に酸素、アルゴンガス雰囲気中でスパッタリング法により500℃で加熱してCu O光吸収層を成膜する。その後、室温でスパッタリング法により、n型層としてZnGeO酸化物を堆積し、表面側のn電極としてAZO透明導電膜を堆積する。
光吸収層と接する側のp電極にSnを主成分とするATO透明導電膜を用いることで、光吸収層との間で正孔に対して良好なオーミックコンタクトが得られ、開放電圧、フィルファクタが改善する。
(実施例6)
実施例6の太陽電池は、光吸収層と接しない層は可視光に対して透明な、光透過性太陽電池の例である。ガラス基板上に、裏面側の積層タイプのp電極として、ガラスと接する側に水素ドープ酸化インジウム透明導電膜を堆積し、この膜の上にATO透明導電膜を堆積する。透明なp電極上に酸素、アルゴンガス雰囲気中でスパッタリング法により500℃で加熱してCuO光吸収層を成膜する。その後、室温でスパッタリング法により、n型層としてZnGeO酸化物を堆積し、表面側のn電極としてAZO透明導電膜を堆積する。
光吸収層と接する側のp電極にSnを主成分とするATO透明導電膜を用いることで、光吸収層との間で正孔に対して良好なオーミックコンタクトが得られ、開放電圧、フィルファクタが改善する。
(実施例7)
実施例7の太陽電池は、光吸収層と接しない層は可視光に対して透明な、光透過性太陽電池の例である。p電極、及びn型層、n電極は実施例2と同様だが、光吸収層の組成が異なる。
実施例7の光吸収層は、Cuの他にAgを含む酸化物であり、透明なp電極上に酸素、アルゴンガス雰囲気中でスパッタリング法により480℃で加熱して成膜される。
光吸収層には、Cuを主成分とする酸化物を用い、さらに光吸収層と接する側のp電極にSnを主成分とするATO透明導電膜を用いることで、光吸収層との間で正孔に対して良好なオーミックコンタクトが得られ、開放電圧、フィルファクタが改善する。
(実施例8)
実施例8の太陽電池は、実施例2の太陽電池を多接合型太陽電池のトップセルに用いた例である。トップセルの構成は、実施例2と同じである。
多接合型太陽電池を構成するために、ボトムセルには単体での変換効率が22%の単結晶Siを用い、トップセルとボトムセルを積層して、電気的に並列に接続した。なお、両者の出力電圧が一致するように、トップセルのセル数mとボトムセルのセル数nを、次式m×出力V(トップセル)=n×V(ボトムセル)となるように調整している。
太陽電池特性を調べた結果、1sunの擬似太陽光を照射することで、トップセル単体として効率11%、多接合型太陽電池として効率29%の高特性が得られた。
明細書中一部の元素は、元素記号のみで示している
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態そのままに限定解釈されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成することができる。例えば、変形例の様に異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせても良い。
100,101…太陽電池(第1太陽電池)、1…p電極、2…p型光吸収層、3…n型層、4…n電極、5…酸化物領域、
200…多接合型太陽電池、201…第2太陽電池、
300…太陽電池モジュール、6…基板、301第1太陽電池モジュール、302…第2太陽電池モジュール、303…サブモジュール、304…バスバー、
400…太陽光発電システム、401…太陽電池モジュール、402…コンバーター、403…蓄電池、404…負荷


Claims (16)

  1. 第1p電極と第2p電極が積層したp電極と、
    前記第1p電極と直接的に接したp型光吸収層と、
    前記p型光吸収層と直接的に接したn型層と、
    n電極と、を有し、
    前記p型光吸収層と前記第2p電極の間に前記第1p電極が配置され、
    前記n型層と前記第1p電極との間に前記p型光吸収層が配置され、
    前記p型光吸収層と前記n電極との間に前記n型層が配置され、
    前記第1p電極は、Snを主成分とする金属の酸化物からなる太陽電池。
  2. 前記p型光吸収層は、Cuを主成分とする金属の酸化物の半導体層である請求項1に記載の太陽電池。
  3. 前記第1p電極の金属は、前記Sn及びSb、前記Sn及びCu、又は、前記Sn、Sb及びCuを少なくとも含む請求項1又は2に記載の太陽電池。
  4. 前記第2p電極は、金属膜、金属間化合物膜及び酸化物透明導電膜からなる群より選ばれる単層膜又は積層膜であり、
    前記金属膜は、Cu、Al、Ag、Mo、W及びTaからなる群より選ばれる1種以上の金属の膜であり、
    前記金属間化合物膜は、前記金属を1種以上含む金属間化合物の膜であり、
    前記酸化物透明導電膜は、酸化インジウムスズ、アルミニウムドープ酸化亜鉛、ボロンドープ酸化亜鉛、ガリウムドープ酸化亜鉛、インジウムドープ酸化亜鉛、アルミニウムガリウム酸化物、チタンドープ酸化インジウム、酸化インジウムガリウム亜鉛及び水素ドープ酸化インジウムからなる群より選ばれる1種以上の膜である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の太陽電池。
  5. 前記p型光吸収層と前記第1p電極との界面から前記n型層の方向に向かって1000nmの深さまでの前記p型光吸収層中に、Cu及びSn,Cu及びSb,又は、Cu,Sn及びSbを含む金属の酸化物が含まれる酸化物領域が存在する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の太陽電池。
  6. 前記酸化物領域中には、SnとSbの合計体積濃度が1015atoms/cm以上の領域が存在する請求項5に記載の太陽電池。
  7. 前記第2p電極は、可視光に対して、光透過性を有する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の太陽電池。
  8. 前記第1p電極の厚さは、1nm以上1000nm以下である請求項1ないし7のいずれか1項に記載の太陽電池。
  9. 前記第1p電極に含まれる金属のうち90atom%以上がSnである請求項1ないし8のいずれか1項に記載の太陽電池。
  10. 前記第1p電極に含まれる金属のうち95atom%以上がSnであり、0.1atom%以上5atom%以下がSbである請求項1ないし9のいずれか1項に記載の太陽電池。
  11. 前記p型光吸収層は、Cuで表される酸化物の層であり、
    前記Mは、Sn、Sb、Ag、Li、Na、K、Cs、Rb、Al、Ga、In、Zn、Mg及びCaからなる群より選ばれる1種以上であり、
    前記a、b及びcは、1.80≦a≦2.01、0.00≦b≦0.20及び0.98≦c≦1.02を満たす請求項1ないし10のいずれか1項に記載の太陽電池。
  12. 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の太陽電池と、
    請求項1ないし11のいずれか1項に記載の太陽電池の光吸収層よりもバンドギャップの小さい光吸収層を有する太陽電池とを有する多接合型太陽電池。
  13. 前記請求項1ないし11のいずれか1項に記載の太陽電池のp型光吸収層よりもバンドギャップの小さい光吸収層を有する太陽電池の光吸収層は、化合物半導体層、結晶シリコン及びペロブスカイト型化合物からなる群より選ばれる1種である請求項12に記載の多接合型太陽電池。
  14. 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の太陽電池を用いた太陽電池モジュール。
  15. 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の太陽電池と、請求項1ないし11のいずれか1項に記載の太陽電池のp型光吸収層よりもバンドギャップの小さい光吸収層を有する太陽電池を用いた太陽電池モジュール。
  16. 請求項14又は15に記載の太陽電池モジュールを用いて太陽光発電を行う太陽光発電システム。
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