JPWO2018211664A1 - X線分光分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
試料表面の所定の照射領域に、特性X線を発生させるための励起線を照射する励起源と、
前記照射領域に面して設けられた分光結晶と、
前記照射領域と前記分光結晶の間に設けられた、該照射領域及び該分光結晶の所定の結晶面に平行なスリットと、
前記スリットの長手方向に垂直な方向に複数の検出素子が並ぶように設けられたX線リニアセンサと
を備えたX線分光分析装置を提案した。
a) 試料表面の所定の照射領域に、特性X線を発生させるための励起線を照射する励起源と、
b) 前記照射領域に面して設けられた回折部材と、
c) 前記照射領域と前記回折部材の間に設けられた、該照射領域及び該回折部材の所定の面に平行なスリットを有するスリット部材と、
d) 前記スリットの長手方向に垂直な方向に複数の検出素子が配列されてなる光入射面を有するX線リニアセンサと
e) 前記長手方向に垂直な面内で前記回折部材を移動させることにより、前記試料表面と前記所定の面の成す角度、又は/及び前記試料表面と前記所定の面の間の距離を変更する第1移動機構と、
f) 前記長手方向に垂直な面内で前記X線リニアセンサを移動させることにより、前記スリットを通過して前記所定の面で回折された特性X線の経路上に該X線リニアセンサを位置させる第2移動機構と
を備えることを特徴とする。
上記態様のX線分光分析装置では、先願のX線分光分析装置と同様に、液体や粉末のように、位置によらず組成が均一であると見なすことできる試料の測定に好適に用いることができる。上記態様のX線分光分析装置では、後述するように、試料表面の同じ位置から発せられる異なる波長のX線を検出することができ、また試料表面の異なる位置から発せられる同一波長のX線を検出することもできるため、位置によって組成が異なる試料も測定することができる。
このX線分光分析装置において、例えば、第1移動機構により、試料表面に対して回折部材の所定の面が成す角度を変化させるとブラッグ反射の条件を満たす波長が変化する。従って、X線の測定波長範囲を適宜に変更して目的の元素から発せられる特性X線を測定することができる。
また、回折部材とX線リニアセンサの相対的な位置関係を固定したまま、第1移動機構により試料表面から回折部材の所定の面までの距離を変化させ、前記照射領域から放出された特性X線がX線リニアセンサに入射する光路長を変更すると、X線リニアセンサの入射面を構成する複数の検出素子にそれぞれ入射するX線の波長幅が変化する。これにより、測定の波長(エネルギー)分解能を変更することができる。
さらに、第2機構により回折部材の所定の面からX線リニアセンサの光入射面までの距離を変化させることによっても測定の波長(エネルギー)分解能を変更することができる。
このように、本発明の第1の態様に係るX線分光分析装置を用いることにより、従来に比べて測定の自由度を高めることができる。
a) 試料表面の所定の照射領域に、特性X線を発生させるための励起線を照射する励起源と、
b) 前記照射領域に面して設けられた回折部材と、
c) 前記照射領域と前記回折部材の間に設けられ、該照射領域及び該回折部材の所定の面に平行なスリットを有し、該スリットの開口幅を変更可能な可変スリット部材と
d) 前記スリットを通過し前記所定の面で回折される特性X線の経路上に配置された、前記スリットの長手方向に垂直な方向に複数の検出素子が配列されてなる光入射面を有するX線リニアセンサと
を備えることを特徴とする。
試料ホルダ111に試料Sを保持させたうえで、励起源112から試料Sの照射領域Aに励起光であるX線を照射する。これにより、照射領域Aの全体から、試料Sを構成する元素によって異なる波長を有する特性X線が放出される。
に示すように、開口幅が異なるスリットが形成された複数のスリット部材134a〜134dを回転軸Rを中心に配置し、これを回転軸Rを中心に回転させてスリット部材134a〜134dを切り換え可能に構成したりすることにより実施することができる。なお、前者の場合、いずれか一方のスリット板のみを他方に対して移動可能としても良いが、その場合スリットの中央の位置が変化するため、これが変化しないよう、1組のスリット板131、132を等分に移動してスリット部材13の開口幅を変更することが好ましい。
上式は標準試料1個から検出下限値を求める数式であり、Dは標準試料の濃度(%)、Ibはバックグラウンド強度(cps)、Ipは信号のネット強度(cps)、tは積算時間(s)である。
例えば実施例2で説明した設計思想は一例であって、別の手順で各構成要素の配置を決定していくこともできる。例えば、実施例2では必ずしもX線リニアセンサ15の全検出素子を使用しない構成としたが、必ず全ての検出素子を使用するように測定光学系を設計することもできる。
また、実施例1〜3の構成を兼ね備えたX線分光分析装置を構成してもよい。
さらに、変形例で説明した特定波長測定光学系を複数備え、それぞれにより特定の元素から放出される特性X線を測定するようにしても良い。
その他、分光結晶とX線リニアセンサの相対的な位置関係を固定したまま、第1移動機構により試料表面から分光結晶の所定の結晶面までの距離を変化させ、試料の照射領域から放出された特性X線がX線リニアセンサに入射する光路長を変更して、X線リニアセンサの入射面を構成する複数の検出素子にそれぞれ入射するX線の波長幅が変化させることによって、測定の波長(エネルギー)分解能を変更する等、第1移動機構及び第2移動機構を適宜に用いて様々な測定のパラメータを変更し、測定の自由度を高めるでことができる。
11…試料ホルダ
12…照射部
13…スリット部材
131…スリット板
133a、133b…リニアガイド部
134a〜134d…スリット部材
14…分光結晶
15…X線リニアセンサ
21、21A…第1移動機構
211A…第1直動機構
212、212A…第1回転機構
31、31A…第2移動機構
311A…第2直動機構
312、312A…第2回転機構
40…特定波長測定光学系
41…ソーラースリット
42…凹面回折格子
43…X線検出器
Claims (12)
- a) 試料表面の所定の照射領域に、特性X線を発生させるための励起線を照射する励起源と、
b) 前記照射領域に面して設けられた回折部材と、
c) 前記照射領域と前記回折部材の間に設けられた、該照射領域及び該回折部材の所定の面に平行なスリットを有するスリット部材と、
d) 前記スリットの長手方向に垂直な方向に複数の検出素子が配列されてなる光入射面を有するX線リニアセンサと
e) 前記長手方向に垂直な面内で前記回折部材を移動させることにより、前記試料表面と前記所定の面の成す角度、又は/及び前記試料表面と前記所定の面の間の距離を変更する第1移動機構と、
f) 前記長手方向に垂直な面内で前記X線リニアセンサを移動させることにより、前記スリットを通過して前記所定の面で回折された特性X線の経路上に該X線リニアセンサを位置させる第2移動機構と
を備えることを特徴とするX線分光分析装置。 - 前記第1移動機構が回転機構及び直動機構を備えることを特徴とする請求項1に記載のX線分光分析装置。
- 前記第2移動機構が回転機構及び直動機構を備えることを特徴とする請求項1に記載のX線分光分析装置。
- 前記回折部材が、切り換え可能に配置された、回折可能なX線の波長範囲が異なる複数の回折部材の中から選択されることを特徴とする請求項1に記載のX線分光分析装置。
- 前記X線リニアセンサが、切り換え可能に配置された、検出可能なX線の波長範囲が異なる複数のX線リニアセンサの中から選択されることを特徴とする請求項1に記載のX線分光分析装置。
- 前記X線リニアセンサが、検出素子が長手方向に垂直な方向と該方向に直交する方向に二次元的に配列されたものであって、前記直交する方向に配置された検出素子の出力信号が1つの出力信号として出力されるものであることを特徴とする請求項1に記載のX線分光分析装置。
- a) 試料表面の所定の照射領域に、特性X線を発生させるための励起線を照射する励起源と、
b) 前記照射領域に面して設けられた回折部材と、
c) 前記照射領域と前記回折部材の間に設けられ、該照射領域及び該回折部材の所定の面に平行なスリットを有し、該スリットの開口幅を変更可能な可変スリット部材と
d) 前記スリットを通過し前記所定の面で回折される特性X線の経路上に配置された、前記スリットの長手方向に垂直な方向に複数の検出素子が配列されてなる光入射面を有するX線リニアセンサと
を備えることを特徴とするX線分光分析装置。 - 前記可変スリット部材が、一辺が対向配置された2枚のスリット板のうちの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動することによりスリットの開口幅を変更する機構を有することを特徴とする請求項7に記載のX線分光分析装置。
- 前記可変スリット部材が、スリットの開口幅が異なる複数のスリット部材が切り換え可能に構成されたものであることを特徴とする請求項7に記載のX線分光分析装置。
- 回折条件が異なる複数の回折部材を切り換え可能に備えることを特徴とする請求項7に記載のX線分光分析装置。
- 検出波長が異なる複数のX線リニアセンサを切り替え可能に備えることを特徴とする請求項7に記載のX線分光分析装置。
- さらに、
e) 前記照射領域から放出されるX線のうち、特定の方向に進むX線のみを通過させる平行光スリット部材と、
f) 前記平行光スリット部材を通過した、前記特定の方向に進むX線のうち、特定の波長を有する光を回折して集光する凹面回折部材と、
g) 前記所定の面に受光面が位置するように配置されたX線検出器と
を備えることを特徴とする請求項1又は7に記載のX線分光分析装置。
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