JP7144475B2 - 分析方法および分析装置 - Google Patents
分析方法および分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7144475B2 JP7144475B2 JP2020060716A JP2020060716A JP7144475B2 JP 7144475 B2 JP7144475 B2 JP 7144475B2 JP 2020060716 A JP2020060716 A JP 2020060716A JP 2020060716 A JP2020060716 A JP 2020060716A JP 7144475 B2 JP7144475 B2 JP 7144475B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- energy
- spectroscopic element
- incident angle
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
- G01N23/2251—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
- G01N23/2252—Measuring emitted X-rays, e.g. electron probe microanalysis [EPMA]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/05—Investigating materials by wave or particle radiation by diffraction, scatter or reflection
- G01N2223/056—Investigating materials by wave or particle radiation by diffraction, scatter or reflection diffraction
- G01N2223/0563—Investigating materials by wave or particle radiation by diffraction, scatter or reflection diffraction measure of energy-dispersion spectrum of diffracted radiation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/079—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission incident electron beam and measuring excited X-rays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/32—Accessories, mechanical or electrical features adjustments of elements during operation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/40—Imaging
- G01N2223/413—Imaging sensor array [CCD]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
- G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/2204—Specimen supports therefor; Sample conveying means therefore
Description
試料で発生したX線を分光する分光素子と、
前記分光素子で分光されたX線を検出するイメージセンサと、
前記分光素子に入射するX線の入射角を制御する入射角制御機構と、
を含み、
前記イメージセンサがエネルギー分散方向に並んだ複数の検出領域を有する分析装置における分析方法であって、
取得するX線のエネルギーを指定する工程と、
指定されたエネルギーと、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域と前記分光素子の結像面との間の距離と、に基づいて前記分光素子に入射するX線の入射角を算出し、算出された前記分光素子に入射するX線の入射角に基づいて前記分光素子に入射するX線の入射角を調整することによって、前記分光素子の結像面を、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域に合わせる工程と、
を含む。
試料で発生したX線を分光する分光素子と、
前記分光素子で分光されたX線を検出するイメージセンサと、
前記分光素子に入射するX線の入射角を制御する入射角制御機構と、
前記入射角制御機構を制御する制御部と、
を含み、
前記イメージセンサは、エネルギー分散方向に並んだ複数の検出領域を有し、
前記制御部は、指定されたX線のエネルギーと、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域と前記分光素子の結像面との間の距離と、に基づいて前記分光素子に入射するX線の入射角を算出し、算出された前記分光素子に入射するX線の入射角に基づいて前記入射角制御機構を制御することによって、前記分光素子の結像面を、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域に合わせる。
1.1. 分析装置
まず、第1実施形態に係る分析装置について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る分析装置100の構成を示す図である。
Unit)、DSP(digital signal processor)等)などのハードウェアで、プログラムを実行することにより実現できる。制御部50は、分析装置100を構成する各部を制御する処理や、各種計算処理を行う。
次に、分析装置100における分析方法について説明する。分析装置100における分析方法は、取得するX線のエネルギーを指定する工程と、指定されたエネルギーに基づいて回折格子30に入射するX線の入射角を調整することによって、回折格子30の結像面を、指定されたエネルギーのX線を検出する検出領域2に合わせる工程と、を含む。
図3は、回折格子30の結像面を示す図である。図3には、回折格子30の結像面と、イメージセンサ40の検出面43を示している。
0.2°ずらした場合の結像面を示している。結像面F+0.5は、回折格子30を基準配置からX線の入射角を+0.5°ずらした場合の結像面を示している。検出面FCCDは、イメージセンサ40の検出面43を示している。
分析装置100における分析方法では、上述したように、指定されたエネルギーに基づいて試料ステージ12を動作させることによって、回折格子30の結像面を、指定されたエネルギーのX線を検出する検出領域2に合わせる。以下、試料ステージ12で試料Sを
移動させるときの試料Sの移動量Δzの算出方法について説明する。
の結像面を、目的のエネルギー(波長)のX線を検出する検出領域2aに一致させるための試料Sの移動量Δzを算出できる。
ただし、dは、回折格子30の格子定数(格子周期)である。mは回折次数である。なお、回折次数mは基本的に1である。λはX線の波長である。αは回折格子30に対するX線の入射角である。βは回折格子30に対するX線の出射角である。
図8は、分析装置100の動作の一例を示すフローチャートである。
、初期位置(z=O)での入射長r、および目的のエネルギーEから、入射角α´を算出する。
分析装置100における分析方法は、取得するX線のエネルギーを指定する工程と、指定されたエネルギーに基づいて入射角αを調整することによって、回折格子30の結像面を、指定されたエネルギーのX線を検出する検出領域2aに合わせる工程と、を含む。そのため、目的のエネルギーにおいて高分解能のX線スペクトルを得ることができる。
1.5.1. 第1変形例
(1)分析装置の構成
まず、第1変形例に係る分析装置について説明する。以下では、上述した分析装置100の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
第1変形例に係る分析装置の制御部50は、取得したX線スペクトルのエネルギー軸のキャリブレーションを行う。具体的には、制御部50は、試料Sと回折格子30の位置関係、および回折格子30と複数の検出領域2の位置関係に基づいて、各検出領域2で検出されるX線のエネルギーを求めて、エネルギー軸のキャリブレーションを行う。
図11は、第1変形例に係る分析装置の動作の一例を示すフローチャートである。
させた後、処理を終了する。
次に、第2変形例に係る分析装置について説明する。以下では、上述した分析装置100の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
図12は、X線の入射角と回折格子の結像面との関係を示す図である。
次に、第4変形例に係る分析装置について説明する。以下では、上述した分析装置100の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
ただし、0°<θ<90°である。
生成する処理と、複数の行スペクトルに基づいてX線スペクトルを生成する処理と、を行う。
クトルS4を取得する。例えば、まず、1行目において、行方向Cに並んだ2048個の検出領域2で検出されたX線の強度に基づいて、1行目の行スペクトルS4を生成する。次に、2行目において、行方向Cに並んだ2048個の検出領域2で検出されたX線の強度に基づいて、2行目の行スペクトルS4を生成する。2行目以降についても同様の処理を行う。このようにして1行目から2048行目まで行スペクトルS4を生成する処理を繰り返して、2048個の行スペクトルS4を取得する。
2.1. 分析装置
次に、第2実施形態に係る分析装置について、図面を参照しながら説明する。図18は、第2実施形態に係る分析装置200の構成を示す図である。以下、第2実施形態に係る分析装置200において、第1実施形態に係る分析装置100の構成部材と同様の機能を
有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2.2.1. 第1変形例
図20は、第1変形例に係る分析装置210の構成を示す図である。以下、第1変形例に係る分析装置210において、第2実施形態に係る分析装置200の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
上述した第1実施形態に係る分析装置100の第1変形例、第2変形例、第3変形例、および第4変形例は、第2実施形態に係る分析装置200にも適用できる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
Claims (11)
- 試料で発生したX線を分光する分光素子と、
前記分光素子で分光されたX線を検出するイメージセンサと、
前記分光素子に入射するX線の入射角を制御する入射角制御機構と、
を含み、
前記イメージセンサがエネルギー分散方向に並んだ複数の検出領域を有する分析装置における分析方法であって、
取得するX線のエネルギーを指定する工程と、
指定されたエネルギーと、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域と前記分光素子の結像面との間の距離と、に基づいて前記分光素子に入射するX線の入射角を算出し、算出された前記分光素子に入射するX線の入射角に基づいて前記分光素子に入射するX線の入射角を調整することによって、前記分光素子の結像面を、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域に合わせる工程と、
を含む、分析方法。 - 請求項1において、
前記分析装置は、前記試料を移動させる移動機構を有する試料ステージを含み、
前記入射角の調整は、前記試料ステージで前記試料を移動させることによって行われる、分析方法。 - 請求項1において、
前記分光素子を移動させる移動機構を含み、
前記入射角の調整は、前記移動機構で前記分光素子を移動させることによって行われる、分析方法。 - 請求項1において、
前記分光素子を回転させる回転機構を含み、
前記入射角の調整は、前記回転機構で前記分光素子を回転させることによって行われる
、分析方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記試料と前記分光素子の位置関係、および前記分光素子と複数の前記検出領域の位置関係に基づいて、各前記検出領域で検出されるX線のエネルギーを求める工程を含む、分析方法。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
取得するX線のエネルギーを指定する工程では、前記分光素子で分光可能なエネルギー範囲のうちから、取得するX線のエネルギーを指定し、
前記分光素子に入射するX線の入射角を、前記分光素子で分光可能なエネルギー範囲のうちから指定されたエネルギーと、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域と前記分光素子の結像面との間の距離と、に基づいて算出する、分析方法。 - 試料で発生したX線を分光する分光素子と、
前記分光素子で分光されたX線を検出するイメージセンサと、
前記分光素子に入射するX線の入射角を制御する入射角制御機構と、
前記入射角制御機構を制御する制御部と、
を含み、
前記イメージセンサは、エネルギー分散方向に並んだ複数の検出領域を有し、
前記制御部は、指定されたX線のエネルギーと、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域と前記分光素子の結像面との間の距離と、に基づいて前記分光素子に入射するX線の入射角を算出し、算出された前記分光素子に入射するX線の入射角に基づいて前記入射角制御機構を制御することによって、前記分光素子の結像面を、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域に合わせる、分析装置。 - 請求項7において、
前記入射角制御機構は、前記試料を移動させる移動機構を有する試料ステージである、分析装置。 - 請求項7において、
前記入射角制御機構は、前記分光素子を移動させる移動機構である、分析装置。 - 請求項7において、
前記入射角制御機構は、前記分光素子を回転させる回転機構である、分析装置。 - 請求項7ないし10のいずれか1項において、
前記制御部は、前記分光素子で分光可能なエネルギー範囲のうちから指定されたエネルギーと、指定されたエネルギーのX線を検出する前記検出領域と前記分光素子の結像面との間の距離と、に基づいて前記分光素子に入射するX線の入射角を算出する、分析装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020060716A JP7144475B2 (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | 分析方法および分析装置 |
US17/210,787 US11536675B2 (en) | 2020-03-30 | 2021-03-24 | Analytical method and apparatus |
EP21164698.9A EP3889592B1 (en) | 2020-03-30 | 2021-03-24 | Analytical method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020060716A JP7144475B2 (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | 分析方法および分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021162310A JP2021162310A (ja) | 2021-10-11 |
JP7144475B2 true JP7144475B2 (ja) | 2022-09-29 |
Family
ID=75339400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020060716A Active JP7144475B2 (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | 分析方法および分析装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11536675B2 (ja) |
EP (1) | EP3889592B1 (ja) |
JP (1) | JP7144475B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6962951B2 (ja) * | 2019-03-08 | 2021-11-05 | 日本電子株式会社 | 分析装置およびスペクトル生成方法 |
US11699567B2 (en) * | 2020-11-27 | 2023-07-11 | Jeol Ltd. | X-ray detection apparatus and method |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000149851A (ja) | 1998-11-10 | 2000-05-30 | Shimadzu Corp | 電子プローブマイクロアナライザー |
JP2002329473A (ja) | 2001-02-27 | 2002-11-15 | Jeol Ltd | X線分光器を備えた透過型電子顕微鏡 |
JP2005140581A (ja) | 2003-11-05 | 2005-06-02 | Shimadzu Corp | X線分析装置 |
WO2014068689A1 (ja) | 2012-10-31 | 2014-05-08 | 株式会社日立製作所 | 分光素子、およびそれを用いた荷電粒子線装置 |
JP2016031271A (ja) | 2014-07-29 | 2016-03-07 | 日本電子株式会社 | X線分光器の調整方法、x線分光器、および試料分析装置 |
JP2019035642A (ja) | 2017-08-14 | 2019-03-07 | 日本電子株式会社 | X線分析装置およびスペクトル生成方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013096750A (ja) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Hamamatsu Photonics Kk | X線分光検出装置 |
WO2013098520A1 (fr) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procédé d'analyse d'un échantillon de matériau par diffractométrie et diffractomètre associé |
FR2995688B1 (fr) * | 2012-09-20 | 2014-10-10 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'analyse par diffractometrie et diffractometre associe, particulierement adaptes a des echantillons comportant plusieurs couches de materiaux |
DE102013207160A1 (de) * | 2013-04-19 | 2014-10-23 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der energetischen Zusammensetzung von elektromagnetischen Wellen |
US10295485B2 (en) * | 2013-12-05 | 2019-05-21 | Sigray, Inc. | X-ray transmission spectrometer system |
US9594036B2 (en) * | 2014-02-28 | 2017-03-14 | Sigray, Inc. | X-ray surface analysis and measurement apparatus |
JP6242291B2 (ja) * | 2014-05-21 | 2017-12-06 | 日本電子株式会社 | 相分析装置、相分析方法、および表面分析装置 |
US9752997B2 (en) * | 2014-05-30 | 2017-09-05 | Hitachi, Ltd. | Charged-particle-beam analysis device and analysis method |
JP6503145B2 (ja) * | 2016-07-26 | 2019-04-17 | 株式会社日立製作所 | 置換サイト計測装置および置換サイト計測方法 |
WO2018102792A1 (en) * | 2016-12-02 | 2018-06-07 | Ningbo Infinite Materials Technology Co., Ltd | X-ray diffraction and x-ray spectroscopy method and related apparatus |
US10247683B2 (en) * | 2016-12-03 | 2019-04-02 | Sigray, Inc. | Material measurement techniques using multiple X-ray micro-beams |
JP6383018B2 (ja) * | 2017-01-19 | 2018-08-29 | 本田技研工業株式会社 | X線回折測定方法及び装置 |
WO2018175570A1 (en) * | 2017-03-22 | 2018-09-27 | Sigray, Inc. | Method of performing x-ray spectroscopy and x-ray absorption spectrometer system |
WO2018211664A1 (ja) * | 2017-05-18 | 2018-11-22 | 株式会社島津製作所 | X線分光分析装置 |
JP6769402B2 (ja) * | 2017-06-30 | 2020-10-14 | 株式会社島津製作所 | 電子線マイクロアナライザー及びデータ処理プログラム |
WO2019064360A1 (ja) * | 2017-09-27 | 2019-04-04 | 株式会社島津製作所 | X線分光分析装置、及び該x線分光分析装置を用いた化学状態分析方法 |
US10718726B2 (en) * | 2017-10-13 | 2020-07-21 | Infineon Technologies Austria Ag | Method for determining the concentration of an element of a heteroepitaxial layer |
US10895541B2 (en) * | 2018-01-06 | 2021-01-19 | Kla-Tencor Corporation | Systems and methods for combined x-ray reflectometry and photoelectron spectroscopy |
US10578566B2 (en) * | 2018-04-03 | 2020-03-03 | Sigray, Inc. | X-ray emission spectrometer system |
-
2020
- 2020-03-30 JP JP2020060716A patent/JP7144475B2/ja active Active
-
2021
- 2021-03-24 EP EP21164698.9A patent/EP3889592B1/en active Active
- 2021-03-24 US US17/210,787 patent/US11536675B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000149851A (ja) | 1998-11-10 | 2000-05-30 | Shimadzu Corp | 電子プローブマイクロアナライザー |
JP2002329473A (ja) | 2001-02-27 | 2002-11-15 | Jeol Ltd | X線分光器を備えた透過型電子顕微鏡 |
JP2005140581A (ja) | 2003-11-05 | 2005-06-02 | Shimadzu Corp | X線分析装置 |
WO2014068689A1 (ja) | 2012-10-31 | 2014-05-08 | 株式会社日立製作所 | 分光素子、およびそれを用いた荷電粒子線装置 |
JP2016031271A (ja) | 2014-07-29 | 2016-03-07 | 日本電子株式会社 | X線分光器の調整方法、x線分光器、および試料分析装置 |
JP2019035642A (ja) | 2017-08-14 | 2019-03-07 | 日本電子株式会社 | X線分析装置およびスペクトル生成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021162310A (ja) | 2021-10-11 |
EP3889592B1 (en) | 2023-12-27 |
EP3889592A1 (en) | 2021-10-06 |
US11536675B2 (en) | 2022-12-27 |
US20210302339A1 (en) | 2021-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11353414B2 (en) | Analysis device and spectrum generation method | |
JP7144475B2 (ja) | 分析方法および分析装置 | |
US11131638B2 (en) | Calibration method and analysis device | |
CN110873725B (zh) | X射线分析装置 | |
JP6574959B2 (ja) | 波長分散型蛍光x線分析装置およびそれを用いる蛍光x線分析方法 | |
WO2011070704A1 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2013096750A (ja) | X線分光検出装置 | |
JP2005207982A (ja) | 分光器及びそれを用いた測定装置 | |
US10746675B2 (en) | Image processing device, analysis device, and image processing method for generating an X-ray spectrum | |
US11062434B2 (en) | Method of generating elemental map and surface analyzer | |
JP7030077B2 (ja) | X線分析装置 | |
US11391682B2 (en) | Auger electron microscope and analysis method | |
JP4349146B2 (ja) | X線分析装置 | |
JP2021056208A (ja) | 分析方法および分析装置 | |
JP7126928B2 (ja) | 表面分析装置および表面分析方法 | |
JP2003151478A (ja) | 電子エネルギー損失分光装置、及びそれを備えた電子顕微鏡、及び電子エネルギー損失スペクトル測定方法 | |
JP2009222727A (ja) | 分光器 | |
JP2016031271A (ja) | X線分光器の調整方法、x線分光器、および試料分析装置 | |
JP2024066835A (ja) | 分析方法および分析装置 | |
JP4365687B2 (ja) | 分析方法及び分析装置 | |
JP2008076140A (ja) | 試料の定量面分析方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220414 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220823 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220915 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7144475 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |