JPWO2018134673A1 - はんだ接合方法、およびはんだ継手 - Google Patents
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Abstract
Description
はんだ継手は、5μm2以下の面積を有するBi相の個数のうち、0.5μm2以下の面積を有するBi相の個数が占める割合が、平均で60%以上であってもよい。
本発明の第2態様に係る、基板の電極と電子部品の電極を接合するはんだ継手は、基板の電極には、電子部品の電極に形成されたはんだ合金よりも融点の低いSn−Bi系はんだ合金が形成されており、はんだ継手は、5μm2以下の面積を有するBi相の個数のうち、0.5μm2以下の面積を有するBi相の個数が占める割合が、平均で60%以上である。
本発明の実施形態に係るはんだ接合方法は、はんだ継手を形成することにより基板の電極と電子部品の電極を接合するはんだ接合方法である。
2.基板の電極に、電子部品の電極に形成したはんだ合金よりも融点の低いSn−Bi系はんだ合金を形成する工程
(1)はんだ合金の形成方法
本実施形態のはんだ接合方法では、まず、基板の電極および電子部品の電極にはんだ合金を形成する。電子部品の電極にはリフロー温度で溶融しない高融点はんだ合金を形成し、基板の電極には、リフロー温度で溶融するSn−Bi系低融点はんだ合金を形成する。
本実施形態に用いる基板の電極には、電子部品の電極に形成されたはんだ合金よりも融点の低いSn−Bi系はんだ合金を形成する。このような低融点はんだ合金は、基板の熱的損傷を抑制するための低温接合の際に必須である。このように、本実施形態の基板側に用いるはんだ合金は、融点(液相線温度)が低い方がよく、150℃以下であることが望ましい。このようなSn−Bi系はんだ合金としては、Sn−Biはんだ合金、Sn−Bi−Cuはんだ合金、Sn−Bi−Niはんだ合金、Sn−Bi−Cu−Niはんだ合金、Sn−Bi−Agはんだ合金、およびSn−Bi−Sbはんだ合金の少なくとも1種が挙げられる。
電子部品の電極に形成されたはんだ合金は、例えば、Sn−Cuはんだ合金、Sn−Agはんだ合金、Sn−Ag−Cuはんだ合金、Sn−Ag−Cu−Niはんだ合金、Sn−Ag−Cu−Sbはんだ合金、およびSn−Ag−Cu−Ni−Sbはんだ合金の少なくとも1種であることが望ましい。
基板の電極に形成されたはんだ合金の融点(液相線温度)と電子部品の電極に形成されたはんだ合金の融点(固相線温度)の温度差は30℃以上であることが望ましい。30℃以上であれば、温度制御の誤差を考慮しても電子部品の電極に形成されたはんだ合金が溶融することがない。融点の温度差は40℃以上であることがより好ましく、50℃以上であることが更に好ましい。なお、液相線温度や固相線温度は、例えば、DSCを用いて測定することができる。
次に、基板の電極と電子部品の電極が接触するように基板上に電子部品を搭載する。バンプが形成された電子部品をフィーダーにより供給し、部品装着装置にて電子部品を基板に搭載する。部品装着装置の方式としては、例えば、ワンバイワン方式、インライン方式、マルチ方式などが挙げられる。
(1)ピーク加熱温度
電子部品を搭載した基板をリフロー炉に導入し、リフロー時のピーク加熱温度を150〜180℃として基板を加熱する。この温度域は、電子部品の電極に形成したはんだ合金の融点より低いことが望ましい。すなわち、この温度域は、基板の電極に形成したはんだ合金が溶融するとともに電子部品の電極に形成したはんだ合金が溶融しない温度域であることが望ましい。この温度域であれば、基板や電子部品の熱的損傷を防ぐことができる。また、加熱温度が低く抑えられていることから、基板、電子部品、およびはんだ合金の熱膨張率の差による影響が低減し、急冷時のはんだ継手への応力集中を抑制することが可能となる。
ピーク加熱温度の保持時間は60秒超え150秒以下である。従来では、製造時間の短縮やコストの低減の観点から、保持時間がせいぜい40秒程度に抑えられていた。しかし、本実施形態では、はんだ継手の接続信頼性を向上させるため、従来ではむしろ避けられていたこのような長時間の加熱によって十分な溶融時間が確保されるために組織が均一化し、また、溶融拡散が十分に行われる。また、本実施形態のはんだ接合方法では、ピーク加熱温度が前述のように低く抑えられているため、保持時間を長くしても接合界面の金属間化合物層の成長を抑制するとともにはんだ合金の結晶粒径を微細にすることができる。その結果、優れた接続信頼性が得られる。
加熱後の冷却速度が3℃/秒以上の範囲になるように基板を加熱温度から室温まで冷却する。従来では、リフロー後の冷却は空冷で行われており、概ね1℃/秒程度の冷却速度である。これは、基板、電子部品、はんだ合金の熱膨張係数の違いによるはんだ継手への応力集中を避けるためである。しかし、本実施形態では、リフロー炉に冷却手段を別途設けて基板の冷却速度を上げることによって、接合界面の金属間化合物層の成長を抑制するとともにSn−Bi系低融点はんだ合金中のBi相が微細になり、接合界面および結晶界面への応力集中を抑制して優れた接続信頼性を確保することができる。また、加熱温度を下げているため、加熱後に急冷しても、そもそも基板の熱膨張差による残留応力が低減されており、はんだ継手の優れた接続信頼性を維持することができる。
本実施形態に係るはんだ接合方法で形成したはんだ継手では、その断面を観察した時に、基板電極側の任意の領域において、5μm2以下の面積を有するBi相の個数のうち、0.5μm2以下の面積を有するBi相の個数が占める割合は、平均で60%以上であることが望ましい。本実施形態では、低融点はんだ合金の組織に着目し、前述のように加熱条件および冷却条件を所定の範囲に設定してはんだ合金の組織を制御することによって、従来では達成されなかった優れた接続信頼性を実現することができる。このためには、低融点はんだ合金にとって必須であるBi相の面積に着目する必要がある。すなわち、はんだ継手の断面を観察した時に、面積が小さく微細なBi相の数が、面積が大きく粗大なBi相の数に対して多く存在すれば、微細なBi相が多数存在することになるため、組織の微細化が図られていることになる。
基板のCu電極に形成するはんだ合金組成と加熱条件および冷却条件を表1に示す。本実施例で用いた基板はFR−4のガラス・エポキシ基板であり、電極径が325μm、一辺の長さが105mm、板厚が0.8mmである。これに、電極径が450μm、―辺の長さが20mmのCu電極を備える電子部品(BGA)を搭載した。BGA(表1では「Device」と称する。)の電極に形成したはんだ合金の合金組成は表1に示すようにSAC405(Sn−4Ag−0.5Cu(Ag:4%、Cu:0.5%、残部Sn)、固相線温度:217℃)であり、直径が290μmのはんだボールを用いてはんだバンプを形成した。基板の電極に形成したはんだ合金の合金組成は表1に示した通りである。表1の「合金組成」欄に記載した合金組成において、元素の前に記載した数字は含有量(質量%)を表し、Bi、Cu、Ni以外の残部はSnであることを表す。また、基板側のはんだ合金の液相線温度はいずれもBGA側の固相線温度より低いことをDSCにて確認した。Sn−58Biの液相線温度は141℃であり、Sn−35Bi−0.5Cu−0.03Niの液相線温度は184℃であり、Sn−70Bi−0.5Cu−0.03Niの液相線温度は180℃であった。固相線温度および液相線温度は、ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社製のDSC(型番:Q2000)により、大気中で5℃/minで昇温して得られたDSC曲線から求めた。
形成したはんだ継手の破断面を走査型電子顕微鏡(日本電子株式会社製:JSM−5600LV)にて観察モードをBEIとして1000倍のSEM写真を撮影した。はんだ継手の接合界面近傍領域から任意に128μm×96μmの3領域を選択し、その3か所のBi相の面積を求めた。Bi相の面積は、SEM写真において、1ドットが0.04μm2であり、2ドットまでをノイズとし、3ドットである0.12μm2以上の白い部分をBi相と判定して求めた。求めたBi相の面積のうち、0.5μm2以下の面積を有するものが微細化したBi相であるとした。各領域で5μm2以下の面積を有するBi相の個数のうち、0.5μm2以下の面積を有するBi相の個数の占める割合を計測し、各々の平均値を求めた。
上記1.のようにはんだ継手が形成された実装基板を用い、BGAの4隅に歪ゲージを貼り付けその歪量を常時モニターしながら繰り返し曲げ試験を行った。曲げ試験の結果を評価するため、BGAと基板との間の接合インピーダンス(Ω)を測定し、そのインピーダンスが初期値から10%以上増加した時点のサイクル数を計測した。
Claims (9)
- はんだ継手を形成することにより基板の電極と電子部品の電極を接合するはんだ接合方法であって、
前記基板の電極に、前記電子部品の電極に形成したはんだ合金よりも融点の低いSn−Bi系はんだ合金を形成し、
前記基板の電極に形成されたはんだ合金と前記電子部品の電極に形成されたはんだ合金が接触するように前記基板上に前記電子部品を搭載し、
ピーク加熱温度を150〜180℃とし、前記ピーク加熱温度の保持時間を60秒超え150秒以下として前記基板を加熱し、
加熱後の冷却速度を3℃/秒以上として前記基板を冷却して前記はんだ継手を形成する
ことを特徴とするはんだ接合方法。 - 前記ピーク加熱温度は前記電子部品の電極に形成したはんだ合金の融点より低い、請求項1に記載のはんだ接合方法。
- 前記はんだ継手は、5μm2以下の面積を有するBi相の個数のうち、0.5μm2以下の面積を有するBi相の個数が占める割合が、平均で60%以上である、請求項1または2に記載のはんだ接合方法。
- 前記Sn−Bi系はんだ合金は、Sn−Biはんだ合金、Sn−Bi−Cuはんだ合金、Sn−Bi−Niはんだ合金、Sn−Bi−Cu−Niはんだ合金、Sn−Bi−Agはんだ合金、およびSn−Bi−Sbはんだ合金の少なくとも1種である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のはんだ接合方法。
- 前記Sn−Bi系はんだ合金のBi含有量は、質量%で、Bi:30〜80%である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のはんだ接合方法。
- 前記電子部品の電極に形成されたはんだ合金は、Sn−Cuはんだ合金、Sn−Agはんだ合金、Sn−Ag−Cuはんだ合金、Sn−Ag−Cu−Niはんだ合金、Sn−Ag−Cu−Sbはんだ合金、およびSn−Ag−Cu−Ni−Sbはんだ合金の少なくとも1種である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のはんだ接合方法。
- 前記基板の電極に形成されたはんだ合金の融点と前記電子部品の電極に形成されたはんだ合金の融点の温度差が30℃以上である、請求項1〜6のいずれか1項に記載のはんだ接合方法。
- 前記Sn−Bi系はんだ合金が、質量%で、Bi:58%、及び残部Snである、請求項1〜7のいずれか1項に記載のはんだ接合方法。
- 基板の電極と電子部品の電極を接合するはんだ継手において、
前記基板の電極には、前記電子部品の電極に形成されたはんだ合金よりも融点の低いSn−Bi系はんだ合金が形成されており、
前記はんだ継手は、5μm2以下の面積を有するBi相の個数のうち、0.5μm2以下の面積を有するBi相の個数が占める割合が、平均で60%以上であることを特徴とするはんだ継手。
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