JPWO2016208687A1 - 磁歪式センサ、磁性構造体およびその製造方法、ならびに、磁歪式センサを備えたモータ駆動ユニットおよび電動アシスト付き自転車 - Google Patents
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Abstract
Description
1.1.磁歪式センサの構成
図1は、本発明の一実施形態に係る磁歪式センサの概略構成を示す部分断面図である。以下の説明では、磁歪式センサの一例として、図示しない回転軸に取り付けられた基材21に作用するトルクを検知するための磁歪式トルクセンサ(以下、単に「トルクセンサ」と表記する場合もある。)1について説明する。なお、図1では、説明のために、トルクセンサ1の構成を模式的に示す。
図3に示す磁歪膜2の磁歪列部2aの長さL/幅Wは、下記式(2)を満たす。磁歪列部2aは、磁歪膜2の領域2bでは、軸線Aに直交する方向から見て、軸線Aに対して交差する第1の方向に延びている。磁歪列部2aは、磁歪膜2の領域2cでは、軸線Aに直交する方向から見て、前記第1の方向と交差する第2の方向に延びている。すなわち、磁歪列部2aは、基材21の軸線方向において、磁歪膜2の中央部分に、角度θで折れ曲がった曲部Zを有する。磁歪列部2aは、下記式(1)で定義される被覆率が30%以上95%以下である。
30≦長さL/幅W≦120 ・・・(2)
図4ないし図12は、図2に示す磁性構造体20の磁歪膜2における磁歪列部2aの他の例を示す図である。
図14は、図1に示す磁性構造体20の断面を模式的に示す。図14に示す断面は、磁歪列部2aにおいて延伸方向と直交する面で磁性構造体20を切断することにより得られる断面である。より具体的には、図14に示す断面は、磁歪列部2aを第1の方向(図2における磁歪膜2の端部Xから曲部Zに向かう方向)と垂直な面で切断した場合の断面(図3のC−C線に沿って紙面と垂直方向に切断した断面)である。図14に示すように、磁性構造体20は、円筒状の基材21と、該基材21の外周面21sに設けられた磁歪膜2とを含む。なお、図14における「M」は、図3の「W」に相当する。
磁歪膜2は、磁性体材料を含む材料によって構成されている。前記磁性体材料は、強磁性体材料が好ましい。具体的には、前記磁生体材料は、例えば、Ni、Fe、Co、およびCrから選ばれる少なくとも1種の金属を含むことが好ましい。高い透磁率および高い磁歪効果が得られるという観点から、前記磁性体材料は、Feと、Ni、CoおよびCrから選ばれる少なくとも1種とを含むことがより好ましい。また、磁歪膜2は、Al、Ti、Ge、Mo、Ag、Cu等の金属、または、Si、B、S、C、O、N等の非金属材料をさらに含んでいてもよい。
基材21は、磁歪膜2と異なる成分の材料、例えば、磁歪膜2よりも透磁率が低い材料によって構成されている。基材21は、磁性体材料によって構成されるのが好ましく、Fe、Ni、Co、Cr等の強磁性体材料によって構成されるのがより好ましい。なお、基材21は、Al、Ti、Ge、Mo、Ag、Cu等の金属や、Si、B、S、C、O、N等の非金属材料を含んでいてもよい。
磁性構造体20は、磁歪膜2の表面に設けられたレジスト層をさらに含んでいてもよい。この場合、レジスト層の膜厚は45μm以下が好ましい。
図16の(a)および(b)は、磁性構造体20の製造方法を説明するための図である。なお、図16は、磁性構造体20の製造過程において、基材21、磁歪膜2、レジスト層91等を、図14と同じ面で切断して示す断面図である。
本発明の一実施形態に係る電動アシスト付き自転車(例えば、二輪車、三輪車または四輪車)は、上記実施形態に係るトルクセンサ1を備える。本実施形態に係る電動アシスト付き自転車10では、例えば、搭乗者がペダルを踏むことによって生じるトルクをトルクセンサ1が検出する。電動アシスト付き自転車10では、トルクセンサ1によって検出したトルクの値に基づいて、電動モータの駆動が制御される。
本実施形態では、トルクセンサ1は、軸線Aに沿って延びる筒状の基材21と、基材21の外周面21s上に形成された磁歪膜2とを備える。磁歪膜2は、列状に延びる複数の磁歪列部2aを有する。複数の磁歪列部2aのうち少なくとも一部は、該一部を含む磁歪列部2aをその延伸方向と直交する断面で見て、基材21の外周面21sに平行な方向において、最も長い部分の長さMが、前記一部を含む磁歪列部2aと基材21の外周面21sとの接触部分2fの長さNよりも大きく、且つ、前記接触部分2fと、前記磁歪列部2aの隣りの磁歪列部2aと基材21の外周面21sとの接触部分2fとの間隔D(磁歪列部2a同士の間隔D)よりも大きい。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。
図16に示す製造方法において、めっき法により、図3に示す磁歪列部2aおよび図14に示す断面を有する磁歪膜2が形成された磁性構造体20を得た。めっきは、硫酸ニッケル、塩化ニッケル、硫酸鉄(II)、ホウ酸等を用いた公知のNi−Fe合金浴(ワット浴)によって行った。めっき条件は、pH3、浴温55℃、電流密度5〜20A/dm2とした。また、基材21を周方向に3回転/分で回転させながらめっきを行うことにより、得られるめっき膜(磁歪膜2)の膜厚の均一性を確保した。また、得られた磁歪膜2は、500℃で1時間、窒素雰囲気下で熱処理された。
磁歪膜2を図5〜11,13に記載されたパターンとした以外は、実施例1と同様の方法にて、図5〜11,13に示す磁歪列部および図14に示す断面を有する磁性構造体をそれぞれ得た。本実施例に係る磁性構造体を備えたトルクセンサは、実施例1に係るトルクセンサ1と同等の感度を有していた。
磁歪膜2を図12に記載されたパターンとした以外は、実施例1と同様の方法にて、図12に示す磁歪列部および図14に示す断面を有する磁性構造体をそれぞれ得た。本実施例に係る磁性構造体を備えたトルクセンサは、実施例1に係るトルクセンサ1よりも若干感度が劣るものの、良好な感度を有していた。
磁歪膜2を形成するためのレジスト層91の厚みを50μmとし、磁歪膜2の厚みを45μmとした以外は、実施例1と同様の方法にて、図3に示す磁歪列部2aおよび図15に示す断面を有する磁性構造体を得た。本実施例に係る磁性構造体を備えたトルクセンサは、実施例1に係るトルクセンサ1と比較して、感度は1/3程度であった。
図16の(a)および(b)は、磁性構造体20の製造方法を説明するための図である。なお、図16の(a)および(b)は、磁性構造体20の製造過程において、基材21、磁歪膜2、レジスト層91等を、図14と同じ面で切断して示す断面図である。
Claims (13)
- 軸線に沿って延びる筒状または柱状の基材と、
前記基材の外周面上に形成された磁歪部とを備え、
前記磁歪部は、列状に延びる複数の磁歪列部を有し、
前記複数の磁歪列部のうち少なくとも一部は、該一部を含む磁歪列部をその延伸方向と直交する断面で見て、前記基材の外周面に平行な方向において、最も長い部分の長さが、前記一部を含む磁歪列部と前記基材の外周面との接触部分の長さよりも大きく、且つ、前記接触部分と、前記磁歪列部の隣りの磁歪列部と前記基材の外周面との接触部分との間隔よりも大きい、磁歪式センサ。 - 請求項1に記載の磁歪式センサにおいて、
前記複数の磁歪列部のうち前記少なくとも一部は、該一部を含む前記磁歪列部をその延伸方向と直交する断面で見て、前記最も長い部分の長さが、前記磁歪列部の厚み方向における高さよりも大きい、磁歪式センサ。 - 請求項1または2に記載の磁歪式センサにおいて、
前記複数の磁歪列部のうち前記少なくとも一部は、該一部を含む前記磁歪列部をその延伸方向と直交する断面で見て、前記磁歪列部の厚み方向における高さが、前記基材の外周面から前記基材における前記最も長い部分までの前記厚み方向の高さよりも大きい、磁歪式センサ。 - 請求項3に記載の磁歪式センサにおいて、
前記複数の磁歪列部のうち前記少なくとも一部は、該一部を含む前記磁歪列部をその延伸方向と直交する断面で見て、前記磁歪列部の厚み方向における高さの半分は、前記基材の外周面から前記基材における前記最も長い部分までの前記厚み方向の高さ以上である、磁歪式センサ。 - 請求項1から4のいずれか一つに記載の磁歪式センサにおいて、
前記複数の磁歪列部のうち前記少なくとも一部は、該一部を含む前記磁歪列部をその延伸方向と直交する断面で見て、前記接触部分と、隣りの磁歪列部と前記基材の外表面との接触部分との間隔が、前記基材の外周面に平行な方向において、前記最も長い部分が前記接触部分に対して前記隣りの磁歪列部に向かって突出する長さと、前記隣りの磁歪列部において最も長い部分が該隣りの磁歪列部と前記基材との接触部分に対して前記磁歪列部に向かって突出する長さとの和よりも大きい、磁歪式センサ。 - 請求項1から5のいずれか一つに記載の磁歪式センサにおいて、
前記磁歪部は、前記複数の磁歪列部を連結する連結部を有する、磁歪式センサ。 - 請求項1から6のいずれか一つに記載の磁歪式センサにおいて、
前記磁歪部を囲むように配置されたコイルをさらに備える、磁歪式センサ。 - 請求項7に記載の磁歪式センサにおいて、
前記コイルは、前記軸線に沿って、複数並んで配置されている、磁歪式センサ。 - 請求項1から8のいずれか一つに記載の磁歪式センサにおいて、
前記磁歪部は、強磁性体材料によって構成されている、磁歪式センサ。 - 軸線に沿って延びる筒状または柱状の基材と、
前記基材の外周面上に形成された磁歪部とを備え、
前記磁歪部は、列状に延びる複数の磁歪列部を有し、
前記複数の磁歪列部のうち少なくとも一部は、該一部を含む磁歪列部をその延伸方向と直交する断面で見て、前記基材の外周面に平行な方向において、最も長い部分の長さが、前記一部を含む磁歪列部と前記基材の外周面との接触部分の長さよりも大きく、且つ、前記接触部分と、前記磁歪列部の隣りの磁歪列部と前記基材の外周面との接触部分との間隔よりも大きい、磁性構造体。 - 請求項10に記載の磁性構造体の製造方法であって、
前記基材の外周面上に、所定のパターンを有するレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層が設けられた前記基材の外周面上に、前記磁歪部を形成する工程とを有する、磁性構造体の製造方法。 - 請求項1から9のいずれか一つに記載の磁歪式センサを備えた、モータ駆動ユニット。
- 請求項1から9のいずれか一つに記載の磁歪式センサを備えた、電動アシスト付き自転車。
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