JPWO2016158050A1 - 弾性波装置、通信モジュール機器及び弾性波装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2…弾性波素子
2A…フロントエンド部
2Aa…スイッチ
2B…能動素子
2C…アンテナ
3…実装基板
4a,4b…電極ランド
5A,5B…素子
6…バンプ
7…モールド樹脂
10…通信モジュール機器
13…圧電基板
13a,13b…第1,第2の主面
14a〜14c…IDT電極
15a1,15a2…第1の支持層
15a11,15a12,15a21,15a22…端部
15b…第2の支持層
16…カバー部材
17a,17b…アンダーバンプメタル層
17a11,17b11…第1の端部
17a12,17b12…第2の端部
21…弾性波装置
22…弾性波素子
25…光硬化性樹脂層
25a1,25a2…第1の支持層
25X1,25X2…第1,第2の領域
25Y…第3の領域
32…弾性波素子
35a1,35a2…第1の支持層
36…カバー部材
42…弾性波素子
43…圧電体膜
44A〜44C…励振部
44a,44b…第1,第2の電極
48…基板
49…誘電体膜
49a,49b…第1,第2の部分
52…弾性波素子
55a1,55a2…第1の支持層
62…弾性波素子
65A1,65A2…幅広部
65a1,65a2…第1の支持層
65a11,65a12,65a21,65a22…端部
Claims (8)
- 対向し合っている一対の主面を有する圧電基板と、前記圧電基板の一方主面上に設けられている励振電極と、前記圧電基板の前記一方主面上に設けられている少なくとも1個の第1の支持層と、平面視した場合において、前記励振電極及び前記第1の支持層を囲むように、前記圧電基板の前記一方主面上に設けられている第2の支持層と、前記第1,第2の支持層上に設けられており、前記第2の支持層及び前記圧電基板と共に前記励振電極を封止しているカバー部材と、を有する弾性波素子と、
前記弾性波素子が実装されている実装基板と、
前記実装基板上に設けられており、前記弾性波素子を封止しているモールド樹脂と、を備え、
前記第2の支持層の厚みよりも前記第1の支持層の厚みが薄く、
前記カバー部材が、前記実装基板から遠ざかるように前記圧電基板に向かって凸状に湾曲しており、
前記実装基板と前記カバー部材との間に前記モールド樹脂が充填されている、弾性波装置。 - 前記第1の支持層が、前記第1の支持層を横断する方向としての幅方向を有し、
前記第2の支持層が、前記第2の支持層を横断する方向としての幅方向を有し、
少なくとも1個の前記第1の支持層の幅が、前記第2の支持層の幅よりも狭い、請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記第1の支持層が複数存在し、
前記複数の第1の支持層の内少なくとも1個の第1の支持層の幅が、他の第1の支持層の幅よりも狭く、かつ前記複数の第1の支持層の内少なくとも1個の第1の支持層の厚みが、他の第1の支持層の厚みよりも薄い、請求項2に記載の弾性波装置。 - 前記弾性波装置を平面視した場合に、前記第1の支持層が前記第2の支持層と両端で接している、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1の支持層が一方端部及び他方端部を有し、前記弾性波装置を平面視した場合に、前記第1の支持層の一方端部が前記第2の支持層と接しており、前記第1の支持層の他方端部の形状が、該他方端部以外の形状よりも大きい、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置を含むフロントエンド部と、
前記フロントエンド部に接続されている能動素子と、
を備える、通信モジュール機器。 - 対向し合っている一対の主面を有する圧電基板と、前記圧電基板の一方主面上に設けられている励振電極と、前記圧電基板の前記一方主面上に設けられている少なくとも1個の第1の支持層と、平面視した場合において、前記励振電極及び前記第1の支持層を囲むように、前記圧電基板の前記一方主面上に設けられている第2の支持層と、前記第1,第2の支持層上に設けられており、前記第2の支持層及び前記圧電基板と共に前記励振電極を封止しているカバー部材と、を有する弾性波素子を作製する工程と、
前記弾性波素子を実装基板上に実装する工程と、
前記実装基板上にモールド樹脂を設け、前記弾性波素子を封止する工程と、
を備え、
前記弾性波素子を作製する工程では、前記第2の支持層の厚みよりも前記第1の支持層の厚みが薄くなるように、前記第1,第2の支持層を設け、かつ前記カバー部材を、前記実装基板から遠ざかるように前記圧電基板に向かって凸状に湾曲させ、
前記弾性波素子を封止する工程では、前記実装基板と前記カバー部材との間に前記モールド樹脂が充填されるように、前記モールド樹脂を設ける、弾性波装置の製造方法。 - 前記第1の支持層を複数設け、前記複数の第1の支持層の内少なくとも1個の第1の支持層の幅が、他の第1の支持層の幅よりも小さくなるように前記複数の第1の支持層を設ける、請求項7に記載の弾性波装置の製造方法。
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