JP5856592B2 - 弾性波デバイス内蔵モジュール及び通信装置 - Google Patents
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Description
12 多層配線板
14 絶縁層
16 配線層
18 貫通配線
20 弾性波デバイス
22 圧電基板
24、24a 枠体
26、26a リッド
28、28a 封止部
30 空隙
32 突起電極
36 接合部材
40 電子部品
68 分波器
72 調整層
80 通信装置
Claims (13)
- 絶縁層と配線層とが積層された多層配線板と、
前記多層配線板に内蔵された複数の弾性波デバイスと、
前記多層配線板に設けられ、前記弾性波デバイスと電気的に接続されたアンテナスイッチと、を備え、
前記弾性波デバイスは、基板上に設けられた弾性波を励振する電極と、前記電極を囲んで前記基板上に設けられた金属からなる枠体と前記電極上に空隙を有するように前記枠体上に設けられた金属からなるリッドとを含む封止部と、を有し、
前記リッドは、前記基板側に凹んでいることを特徴とする弾性波デバイス内蔵モジュール。 - 前記空隙内の圧力は、前記リッドが前記基板側に凹まずに平坦であるとした場合における前記電極上の空隙の圧力よりも高いことを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。
- 前記絶縁層は、樹脂により形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。
- 前記複数の弾性波デバイスは、複数の前記絶縁層のうちの1つの絶縁層内に埋め込まれ、
前記複数の弾性波デバイスそれぞれの前記リッドは、前記複数の絶縁層のうちの前記1つの絶縁層に接する他の絶縁層に接することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。 - 前記リッドの凹み量は、前記リッドの厚さの半分よりも小さいことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。
- 前記リッドの凹み量は、前記基板上に設けられた弾性波を励振する電極と前記リッドとの間隔が10μm以上離される凹み量であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。
- 前記リッドと前記絶縁層との間に前記絶縁層とは異なる材質の絶縁物が介在し、
前記複数の弾性波デバイスそれぞれの前記リッドと前記絶縁層との間に介在する前記絶縁物の厚さは互いに異なることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。 - 前記弾性波デバイスは、前記多層配線板の厚さ方向の中央部に内蔵されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。
- 前記弾性波デバイスは、弾性表面波デバイスを含むことを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。
- 前記弾性波デバイスは、バルク波デバイスを含むことを特徴とする請求項1から9のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。
- 前記弾性波デバイスによって分波器が形成されていることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。
- 前記リッドと前記枠体との間に設けられた半田からなる接着層を備えることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュール。
- 請求項1から12のいずれか一項記載の弾性波デバイス内蔵モジュールを有することを特徴とする通信装置。
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