JP4234088B2 - 電子部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
はんだ層厚み:60μm
チップ・パッケージ幅:1.0mm (図は半分の0.5mm)
チップ・パッケージ厚み: 0.2mm
SAWデバイスチップ10の主表面の中心部では107MPa、はんだ封止部内側端部には243MPaもの大きな引っ張り応力がかかっている。セラミックのパッケージ基板20側には中心部で115MPa、はんだ封止部内側端部には214MPaの圧縮応力がかかっている。それぞれの材料における破壊応力値は必ずしも明確ではないが、追加の熱応力などちょっとしたきっかけで特にLiTaO3基板が割れてしまう現象が起こっている。このように、はんだ封止することによってSAWデバイスチップ10に発生する応力は、SAWデバイスの信頼性を低下する一つの要因になる。
ポリイミド厚み: 20μm
はんだ厚み:表裏各20μm
チップ・パッケージ幅:1.0mm (図は半分の0.5mm)
チップ・パッケージ厚み: 0.2mm
はんだめっきフィルム30のベース36を形成する樹脂材料には、耐熱性に優れたポリイミド樹脂を用いた。SAWデバイスチップ10の主表面の中心部では56MPa、はんだ封止部内側端部には144MPaの引っ張り応力がかかっている。パッケージ基板20側には中心部で58MPa、はんだ封止部内側端部には169MPaの圧縮応力がかかっている。これらの値は従来構造において解析した図8における値のおおよそ半分の値である。
10 SAWデバイスチップ
11 電極
12 電極パッド
13 封止部
20 パッケージ基板
22 端子
23 パッド
24 封止部
30 はんだめっきフィルム
36 ベース
38 はんだ層
40 金属バンプ
Claims (8)
- セラミックスで形成されたパッケージ基板と、前記パッケージ基板の上に搭載されるデバイスチップと、前記パッケージ基板と前記デバイスチップとの間に設けられた気密封止用のはんだめっきフィルムとを有し、該はんだめっきフィルムは、樹脂で形成されたベースと、該ベース全体を覆うはんだ層とを有することを特徴とする電子部品。
- 前記はんだめっきフィルムは、前記デバイスチップの外周表面部分と前記パッケージ基板の外周表面部分とに接触していることを特徴とする請求項1記載の電子部品。
- 前記はんだめっきフィルムのヤング率が5MPa以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の電子部品。
- 前記はんだめっきフィルムの厚みが20μm以上であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の電子部品。
- 前記ベースは熱硬化性樹脂で形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の電子部品。
- 前記ベースは熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の電子部品。
- 前記はんだ層は、前記ベース上に形成された下地金属膜上に形成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の電子部品。
- 多面取りが可能なセラミックスのパッケージ基板上に樹脂で形成されたベースと該ベース全体を覆うはんだ層とを有する気密封止用のはんだめっきフィルムを設ける工程と、
デバイスチップの周辺部分と前記パッケージ基板の周辺部分とに接触するように、前記デバイスチップを前記パッケージ基板上に搭載する工程と、
前記はんだめっきフィルムのはんだを加熱溶融させることで、前記デバイスチップと前記パッケージ基板とを密着させる工程と、
前記パッケージ基板と前記はんだめっきフィルムとを同時に切断する工程と
を有することを特徴とする電子部品の製造方法。
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