JPWO2016117108A1 - 多波長レーザ光合波モジュール - Google Patents
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Abstract
多波長レーザ光合波モジュールは、互いに異なる複数の波長を有し且つ各々がFAST軸及びSLOW軸のレーザ光を出力する複数のレーザ光源2a〜2cと、前記複数のレーザ光源に対応して設けられ、前記レーザ光源からのFAST軸のレーザ光を整形する複数の第1の整形レンズ3a〜3cと、前記複数の第1の整形レンズに対応して設けられ、前記第1の整形レンズからのSLOW軸のレーザ光を整形する複数の第2の整形レンズ4a〜4cと、前記複数の第2の整形レンズからの複数のレーザ光を集光して光ファイバへ入射させる集光レンズ5とを備え、前記複数のレーザ光源の内の1つのレーザ光源の基準波長による前記集光レンズの焦点距離を通るように、前記複数のレーザ光源から前記1つのレーザ光源を除く残りの全てのレーザ光源の出射方向を設定する。
Description
本発明は、複数の波長のレーザ素子から出力される光ビームを1本のファイバに結合する多波長レーザ光合波モジュールに関する。
色収差、球面収差を補正する手法として、正レンズと負レンズとを組み合わせた複合レンズが一般的に用いられている(特許文献1)。また、複数のレンズを貼り合わせ、空気と接触する面を非球面とした複合レンズが知られている。
光ピックアップでは、光の書き込み、光の読み出しによる出力の差により微小な波長変化が生じ、この波長変化により色収差、球面収差が生じる。このため、色収差、球面収差による影響を抑制するために、様々な手法が報告されている。
レーザ加工、レーザ治療等に使用される複数の波長のレーザ素子から出力される光ビームを1本のファイバに結合する多波長レーザ光合波モジュールにおいては、球面収差、色収差を補正して光ビームを高効率にファイバに結合する必要がある。
近年、材料の多様化や装置の効率化等により、1つの装置に様々な波長のレーザ素子を搭載し、ユーザが簡易にレーザ素子を交換できるようにした構成が要望されている。複数の波長のレーザ素子を任意に搭載し、1つのファイバへ結合する多波長レーザ光合波モジュールにおいて、各レーザ素子からの出力をファイバへ高効率に結合するためには、球面収差、色収差を考慮する必要がある。
また、搭載されるレーザ素子の波長が広範囲に亘り、且つ波長の組み合わせが多数存在する。また、ユーザがレーザ素子を任意に搭載し、あるいはレーザ素子を交換可能とする場合には、高効率にファイバに結合させることや、装置を安価に構成することは困難である。
本発明の目的は、複数の波長のレーザ素子に容易に交換可能で且つ安価で球面収差、色収差を補正でき、高効率にファイバに結合できる多波長レーザ光合波モジュールを提供する。
上記の課題を解決するために、本発明に係る多波長レーザ光合波モジュールは、互いに異なる複数の波長を有し且つ各々がFAST軸及びSLOW軸のレーザ光を出力する複数のレーザ光源と、前記複数のレーザ光源に対応して設けられ、前記レーザ光源からのFAST軸のレーザ光を整形する複数の第1の整形レンズと、前記複数の第1の整形レンズに対応して設けられ、前記第1の整形レンズからのSLOW軸のレーザ光を整形する複数の第2の整形レンズと、前記複数の第2の整形レンズからの複数のレーザ光を集光して光ファイバへ入射させる集光レンズとを備え、前記複数のレーザ光源の内の1つのレーザ光源の基準波長による前記集光レンズの焦点距離を通るように、前記複数のレーザ光源から前記1つのレーザ光源を除く残りの全てのレーザ光源の出射方向を設定する。
本発明によれば、複数のレーザ光源の内の1つのレーザ光源の基準波長による集光レンズの焦点距離を通るように、複数のレーザ光源から1つのレーザ光源を除く残りの全てのレーザ光源の出射方向を設定するので、複数の波長のレーザ素子に容易に交換可能で且つ安価で球面収差、色収差を補正でき、高効率にファイバに結合できる。
以下、本発明の実施形態に係る多波長レーザ光合波モジュールを図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明の実施例1の多波長レーザ光合波モジュールの構成図である。図2は図1に示す実施例1の多波長レーザ光合波モジュールに対してレンズ1a,1cを上下移動させない場合の多波長レーザ光合波モジュールの構成図である。図2に示す構成は、図1に示す構成の前提となる。このため、図1の説明に先立って、図2に示す構成から説明する。
図2に示す多波長レーザ光合波モジュールは、基台1、複数のレーザ光源2a〜2c、複数の第1の整形レンズ3a〜3cと、複数の第2の整形レンズ4a〜4cと、集光レンズ5とを備えている。
基台1には、段差部1a〜1cが形成され、段差部1aにはレーザ光源2aが載置され、段差部1bにはレーザ光源2bが載置され、段差部1cにはレーザ光源2cが載置されている。
レーザ光源2aは、波長λ1のレーザ光を出射する。波長λ1は、例えば、500nmである。レーザ光源2bは、波長λ2のレーザ光を出射する。波長λ2は、例えば、1000nmである。レーザ光源2cは、波長λ3のレーザ光を出射する。波長λ3は、例えば、1500nmである。レーザ光源2a〜2cの各々は、FAST軸及びSLOW軸のレーザ光を出射する。複数のレーザ光源は、赤外光と可視光との組み合わせからなる光源を用いても良い。
第1の整形レンズ3a〜3cは、複数のレーザ光源2a〜2cに対応して設けられ、複数のレーザ光源2a〜2cからのレーザ光がレンズ中心を通るように配置されている。第1の整形レンズ3a〜3cは、レーザ光源からのFAST軸のレーザ光をコリメートする。
複数の第2の整形レンズ4a〜4cは、複数の第1の整形レンズ3a〜3cに対応して設けられ、複数のレーザ光源2a〜2cからのレーザ光がレンズ中心を通るように配置され、第1の整形レンズ3a〜3cからのSLOW軸のレーザ光をコリメートする。
集光レンズ5は、複数の第2の整形レンズ4a〜4cからの複数のレーザ光を集光して光ファイバ6へ入射させるものであり、球面レンズからなる。集光レンズ5は、レーザ光源2a〜2cのレーザ光の波長λ1,λ2,λ3によって、異なる焦点位置f1,f2,f3となる。即ち、波長が短いと、屈折角が大きくなり、焦点距離が短くなり、波長が長いと、屈折角が小さくなり、焦点距離が長くなる。
このため、レーザ光源2bのレーザ光の波長λ2では、焦点距離f2がファイバ6の入口に位置するが、レーザ光源2aのレーザ光の波長λ1では、焦点距離f1がファイバ6の入口の手前となり、レーザ光源2cのレーザ光の波長λ3では、焦点距離f3がファイバ6の入口の後方となる。このため、球面収差が発生する。
そこで、球面収差を低減するために、複数のレーザ光源2a〜2cの内の1つのレーザ光源2bの基準波長λ2による集光レンズ5の焦点距離f2を通るように、レーザ光源2a,2cの出射方向を設定するようにしている。
図1に示す実施例1の多波長レーザ光合波モジュールでは、レーザ光源2bの基準波長λ2による5の焦点距離f2を通るように、第1の整形レンズ3a,3cが光軸に対して上方向に移動して配置されている。
即ち、第1の整形レンズ3a,3cを光軸に対して上方向にずらすことにより、コリメートビームを偏芯させる。これにより、第2の整形レンズ4a,4cからコリメートビームが集光レンズ5に入射されるが、このコリメートビームは、図2の集光レンズ5に入射される位置5a1,5c1よりも上方向の位置5a2,5c2に入射される。
集光レンズ5に対する波長λ1,λ3の屈折角は、図2に示すものと同じであるので、集光レンズ5の位置5a2,5c2に入射されたコリメートビームは、焦点距離f2を通る。従って、波長λ1,λ2,λ3においても、光ビームをファイバ6の入口に導くことができる。
このように実施例1の多波長レーザ光合波モジュールによれば、複数のレーザ光源2a〜2cの内の1つのレーザ光源2bの基準波長λ2による集光レンズ5の焦点距離f2を通るように、レーザ光源2a,2cの出射方向を設定するので、複数の波長のレーザ素子に容易に交換可能で且つ安価で球面収差、色収差を補正でき、高効率にファイバに結合できる。
また、ユーザが広範囲な波長から所望の波長を選定し、選定されたレーザ光源を搭載することができる。また、基台1には段差部1a,1b,1cが形成されているので、レーザ光源を容易に交換することができる。
図3は本発明の実施例2の多波長レーザ光合波モジュールの構成図である。図3に示す実施例2の多波長レーザ光合波モジュールは、レーザ光源2bの基準波長λ2による集光レンズ5の焦点距離f2を通るように、レーザ光源2a,2cと第1の整形レンズ3a,3cが傾斜されて配置されることを特徴とする。
また、レーザ光源2aと第1の整形レンズ3aとは、一体化されて構成され、レーザ光源2cと第1の整形レンズ3cとは、一体化されて構成されている。
このように、レーザ光源2bの基準波長λ2による集光レンズ5の焦点距離f2を通るように、レーザ光源2a,2cと第1の整形レンズ3a,3cが傾斜されて配置されているので、コリメートビームを偏芯させる。これにより、第2の整形レンズ4a,4cからコリメートビームが集光レンズ5に入射されるが、このコリメートビームは、図2の集光レンズ5に入射される位置5a1,5c1よりも上方向の位置5a2,5c2に入射される。
即ち、図1に示す実施例1と同様に、集光レンズ5の位置5a2,5c2に入射されたコリメートビームは、焦点距離f2を通る。従って、波長λ1,λ2,λ3においても、光ビームをファイバ6の入口に導くことができる。
このように実施例2の多波長レーザ光合波モジュールにおいても、実施例1の多波長レーザ光合波モジュールの効果と同様な効果が得られる。
図4は本発明の実施例3の多波長レーザ光合波モジュールの構成図である。図5は本発明の実施例3の多波長レーザ光合波モジュールにおいて各レーザ素子からの光ビームの各波長が球面レンズを通過したときのビームウェスト位置を示す図である。図5(a)に示すように、波長がλ1である場合には、集光レンズ5の焦点距離はf1となり、ビームウェスト幅はW1となる。
図5(b)に示すように、波長がλ2〜λ10において、実施例1の構成を用いると、集光レンズ5の焦点距離はf1となる。しかしながら、焦点距離f1でのそれぞれのビーム径WnはW1よりも大きくなる。
そこで、図4に示す実施例3の多波長レーザ光合波モジュールは、図1に示す実施例1の多波長レーザ光合波モジュールの構成に、さらに、複数の波長の各波長λ1,λ2,λ3に応じて、第1の整形レンズ3a,3b,3cとレーザ光源2a,2b,2cとの距離を設定したことを特徴とする。
図4に示すように、波長λ1の場合には、第1の整形レンズ3aとレーザ光源2aとの距離をL1に設定する。波長λ2の場合には、第1の整形レンズ3bとレーザ光源2bとの距離をL2に設定する。波長λ3の場合には、第1の整形レンズ3cとレーザ光源2cとの距離をL3に設定する。
図6はレーザ光源とレンズとの距離を波長に応じて変化させた様子を示す図である。図6(a)に示すように、レーザ光源2cとレンズ3cとの距離L3を基準長L2よりも長く設定すると、光ビームは集光する。図6(b)に示すように、レーザ光源2aとレンズ3aとの距離L1を基準長L2よりも短く設定すると、光ビームは発散する。これにより、焦点距離f1でのそれぞれのビーム径を元々のビーム径Wnよりも小さくすることができる。
図7は本発明の実施例4の多波長レーザ光合波モジュールの構成図である。図7に示す本発明の実施例4の多波長レーザ光合波モジュールは、基台1にレーザ光源2a,2c及びレーザ光源2a,2cに対応して設けられた第1の整形レンズ3a,3cを傾斜させる傾斜部1d,1eが形成されている。傾斜部1d,1eは、水平に対して反時計方向に微小角度Δθだけ傾斜している。
このように基台1にレーザ光源2a,2c及びレーザ光源2a,2cに対応して設けられた第1の整形レンズ3a,3cを傾斜させる傾斜部1d,1eが形成されているので、コリメートビームを偏芯させる。これにより、第2の整形レンズ4a,4cからコリメートビームが集光レンズ5に入射されるが、このコリメートビームは、図2の集光レンズ5に入射される位置5a1,5c1よりも上方向の位置5a2,5c2に入射される。
即ち、図1に示す実施例1と同様に、集光レンズ5の位置5a2,5c2に入射されたコリメートビームは、焦点距離f2を通る。従って、波長λ1,λ2,λ3においても、光ビームをファイバ6の入口に導くことができる。
このように実施例4の多波長レーザ光合波モジュールにおいても、実施例1の多波長レーザ光合波モジュールの効果と同様な効果が得られる。
なお、実施例1乃至実施例4では、複数のレーザ光源を3つとしたが、これに限定されることなく、4つ以上でもよい。
本発明は、レーザ加工装置、レーザ照明装置等の多波長レーザ光合波モジュールに適用可能である。
Claims (6)
- 互いに異なる複数の波長を有し且つ各々がFAST軸及びSLOW軸のレーザ光を出力する複数のレーザ光源と、
前記複数のレーザ光源に対応して設けられ、前記レーザ光源からのFAST軸のレーザ光を整形する複数の第1の整形レンズと、
前記複数の第1の整形レンズに対応して設けられ、前記第1の整形レンズからのSLOW軸のレーザ光を整形する複数の第2の整形レンズと、
前記複数の第2の整形レンズからの複数のレーザ光を集光して光ファイバへ入射させる集光レンズとを備え、
前記複数のレーザ光源の内の1つのレーザ光源の基準波長による前記集光レンズの焦点距離を通るように、前記複数のレーザ光源から前記1つのレーザ光源を除く残りの全てのレーザ光源の出射方向を設定する多波長レーザ光合波モジュール。 - 前記複数のレーザ光源の内の1つのレーザ光源の基準波長による前記集光レンズの焦点距離を通るように、前記残りの全てのレーザ光源に対応して設けられた前記複数の第1の整形レンズが光軸に対して上下に移動して配置される請求項1記載の多波長レーザ光合波モジュール。
- 前記複数のレーザ光源の内の1つのレーザ光源の基準波長による前記集光レンズの焦点距離を通るように、前記残りの全てのレーザ光源及び前記残りの全てのレーザ光源に対応して設けられた前記複数の第1の整形レンズが傾斜されて配置される請求項1記載の多波長レーザ光合波モジュール。
- 前記複数の波長の各波長に応じて、前記第1の整形レンズと前記レーザ光源との距離が設定される請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の多波長レーザ光合波モジュール。
- 前記複数の光源を載せる基台を備え、
前記基台には、前記残りの全てのレーザ光源及び前記残りの全てのレーザ光源に対応して設けられた前記複数の第1の整形レンズを傾斜させる傾斜部が形成されている請求項1記載の多波長レーザ光合波モジュール。 - 前記集光レンズは、球面レンズからなる請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の多波長レーザ光合波モジュール。
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