JPWO2023053438A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 光源と、コリメータ光学系と、アキシコン光学素子と、を含む線光源生成手段と、線光源を整形するビーム整形手段と、を有し、
   前記ビーム整形手段は、集光部を有し、
   前記線光源生成手段により生成される前記線光源は、虚像であり、
   前記線光源は、前記集光部の光軸上に配置され、
   前記線光源の前記光軸上の中心位置は、前記集光部の焦点位置よりも、前記集光部から離れた位置に配置される、細径ビーム生成装置。
2. 前記光源と、前記コリメータ光学系と、前記アキシコン光学素子としてのアキシコン面を有するレンズと、を含む前記線光源生成手段を有し、
   前記集光部は、非球面を有するレンズであり、
   前記アキシコン面を有するレンズと、前記非球面を有するレンズとは、一体のレンズである、請求項１に記載の細径ビーム生成装置。
3. 前記光源と、前記コリメータ光学系と、前記アキシコン光学素子としてのアキシコン鏡と、を含む前記線光源生成手段を有し、
   前記集光部は、放物面鏡を有する、請求項１に記載の細径ビーム生成装置。
4. 前記コリメータ光学系は、複数の異なる波長の平行光を出射する、請求項１～３のいずれかに記載の細径ビーム生成装置。
5. 前記コリメータ光学系は、複数の光源から出射される光が入射する複数のコリメータレンズを有し、
   前記複数のコリメータレンズから出射する複数の異なる波長の平行光が入射する前記アキシコン光学素子を有する、請求項４に記載の細径ビーム生成装置。
6. 前記ビーム整形手段は、アパーチャを有する、請求項１～５のいずれかに記載の細径ビーム生成装置。