JPWO2016052493A1 - 感光性樹脂組成物及びその硬化物 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)(A)光塩基発生剤と、(B)アルカリ可溶性エポキシ化合物とを含有してなる感光性樹脂組成物であって、前記(A)光塩基発生剤が下記式(2−1):
で表される化合物を含み、前記(B)アルカリ可溶性エポキシ化合物が、(a)1分子中に少なくとも2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物と(b)1分子中に少なくとも1個以上の水酸基及び1個のカルボキシル基を有する化合物との反応物に、(c)多塩基酸無水物を反応させて得られるエポキシ化合物である感光性樹脂組成物、
(2)式(2−1)におけるXが下記式(3−1):
(3)式(2−1)で表される化合物が下記式(4−1)または(4−2):
(4)(B)アルカリ可溶性エポキシ化合物が式(5−1):
(5)更に、(C)塩基増殖剤として少なくとも1つのウレタン結合を有する化合物を含む前項(1)〜(4)のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物、
(6)少なくとも1つのウレタン結合を有する化合物が下記式(7−1):
(7)前項(1)〜(6)のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物、
(8)前項(1)〜(6)のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布する工程と、塗布により得られる感光性樹脂組成物層を、乾燥する工程と、乾燥後、所定のパターンに露光する工程と、露光後ベークする工程と、前記樹脂組成物層を現像する工程と、得られた樹脂パターンを加熱処理して、硬化樹脂パターンを得る工程とを含む、パターン形成方法、
に関する。
本発明の一態様は、(A)光塩基発生剤(以下、単に「(A)成分」とも記載する)と、(B)アルカリ可溶性エポキシ化合物(以下、単に「(B)成分」とも記載する)とを含む感光性樹脂組成物であって、該(A)成分が上記式(2−1)で表される化合物を含み、該(B)成分が、(a)1分子中に少なくとも2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物と(b)1分子中に少なくとも1個以上の水酸基と1個のカルボキシル基を有する化合物との反応物に、(c)多塩基酸無水物を反応させて得られるエポキシ化合物である感光性樹脂組成物である。
式(2−1)のR1が表す炭素数1〜18のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、iso−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基及びn−ドデシル基等が挙げられ、炭素数2〜6のアルキル基であることが好ましい。
式(2−1)のR1が表す炭素数2〜18のアルキニル基としては、エチニル基、1−プロピニル基及び1−ブチニル基等が挙げられる。
式(2−1)のR1が表す炭素数6〜12のアリール基としては、フェニル基、ナフチル基及びトリル基等が挙げられ、炭素数6〜10のアリール基であることが好ましい。
式(2−1)のR1が表す炭素数7〜18のアロイル基としては、ベンゾイル基、トルオイル基、ナフトイル基及びフタロイル基等が挙げられる。
式(2−1)のR1が表す炭素数1〜18のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、iso−プロポキシ基、n−ブトキシ基、iso−ブトキシ基、sec−ブトキシ基、t−ブトキシ基、n−ペントキシ基、iso−ペントキシ基、neo−ペントキシ基、n−ヘキシルオキシ基及びn−ドデシルオキシ基等が挙げられる。
式(2−1)のR1が表すハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
式(2−1)におけるR1としては炭素数1〜18のアルコキシ基であることが好ましく、炭素数1〜10のアルコキシ基であることがより好ましく、炭素数1〜4のアルコキシ基であることが更に好ましく、メトキシ基であることが特に好ましい。R1が複数ある場合は、少なくとも一つのR1がアルコキシル基であることが好ましく、すべてのR1がアルコキシル基であることがより好ましい。
式(2−1)のR2が表す炭素数1〜18のアルキル基、炭素数2〜18のアルキニル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数1〜18のアシル基、炭素数7〜18のアロイル基、炭素数1〜18のアルコキシ基、炭素数1〜18のアルキルチオ基及びハロゲン原子としては、式(2−1)のR1が表す炭素数1〜18のアルキル基、炭素数2〜18のアルキニル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数1〜18のアシル基、炭素数7〜18のアロイル基、炭素数1〜18のアルコキシ基、炭素数1〜18のアルキルチオ基及びハロゲン原子と同じものが挙げられる。
式(2−1)におけるR2としては、水素原子または炭素数1〜18のアルキル基であることが好ましく、水素原子または炭素数1〜10のアルキル基であることがより好ましく、水素原子または炭素数1〜4のアルキル基であることが更に好ましく、水素原子であることが特に好ましい
式(2−1)におけるXが表すアミノ基は、置換アミノ基及び非置換アミノ基(NH2基)のいずれであってもよく、また該置換アミノ基はモノ置換アミノ基及びジ置換アミノ基の何れであってもよい。
式(2−1)におけるXは、下記式(3−1)で表されるアミノ基であることが好ましい。
式(3−1)のR3およびR4が表す炭素数1〜18のアルキル基としては、式(2−1)のR1が表す炭素数1〜18のアルキル基と同じものが挙げられ、炭素数2〜6のアルキル基であることが好ましい。
式(3−1)のR3およびR4が表す炭素数1〜18のアルキル基は、アミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アシルオキシ基及びヒドロキシ基からなる群より選択される置換基を有していてもよい。
式(2−1)のR3およびR4が表す炭素数1〜12のアルキル基が有していてもよい置換基としてのアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基及びt−ブトキシ基等が挙げられる。
式(3−1)のR3およびR4が表す炭素数1〜18のアルキル基が有していてもよい置換基としてのアシル基としては、例えば炭素数1〜10のアルキルカルボニル基、アリールカルボニル基等が挙げられ、好ましくは炭素数1〜4のアルキルカルボニル基で、具体的にはアセチル基、プロピオニル基、トリフルオロメチルカルボニル基、ペンタフルオロエチルカルボニル基、ベンゾイル基、ナフトイル基等が挙げられる。
式(3−1)のR3およびR4が表す炭素数1〜18のアルキル基が有していてもよい置換基としてのアシルオキシ基としては、式(2−1)のR3およびR4が表す炭素数1〜12のアルキル基が有していてもよい置換基としてのアシル基と酸素原子が結合したアシルオキシ基が挙げられる。
式(3−1)のR3およびR4が表す炭素数5〜10のシクロアルキル基は、アミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アシルオキシ基及びヒドロキシ基からなる群より選択される置換基を有していてもよく、該有していてもよい置換基としてのアミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基及びアシルオキシ基としては、式(2−1)のR3およびR4が表す炭素数1〜18のアルキル基が有していてもよい置換基としてのアミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基及びアシルオキシ基と同じものが挙げられる。
式(3−1)のR3およびR4が表す炭素数6〜12のアリール基は、アミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アシルオキシ基及びヒドロキシ基からなる群より選択される置換基を有していてもよく、該有していてもよい置換基としてのアミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基及びアシルオキシ基としては、式(2−1)のR3およびR4が表す炭素数1〜18のアルキル基が有していてもよい置換基としてのアミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基及びアシルオキシ基と同じものが挙げられる。
式(3−1)のR3およびR4が表す炭素数7〜15のアリールアルキル基は、アミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アシルオキシ基及びヒドロキシ基からなる群より選択される置換基を有していてもよく、該有していてもよい置換基としてのアミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基及びアシルオキシ基としては、式(2−1)のR3およびR4が表す炭素数1〜18のアルキル基が有していてもよい置換基としてのアミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基及びアシルオキシ基と同様のものが挙げられる。
式(3−2)中、R5は水素原子、炭素数1〜18のアルキル基、炭素数1〜18のアルコキシ基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキルオキシ基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数6〜12のアリールオキシ基、炭素数7〜15のアリールアルキル基、炭素数7〜15のアリールアルコキシ基または炭素数1〜18のアシル基を表し、上記式(2−1)で表される化合物から置換基Xが脱離した残基を含んでもよい。
式(3−2)のR5が表す炭素数5〜10のシクロアルキル基及び炭素数7〜15のアリールアルキル基としては、式(2−1)のR3及びR4が表す炭素数5〜10のシクロアルキル基及び炭素数7〜15のアリールアルキル基と同じものが挙げられる。
式(3−2)のR5が表す炭素数6〜12のアリールオキシ基とは、アリール基と酸素原子が結合した炭素数が6〜12の置換基であり、該アリール基の具体例としては、式(2−1)のR1が表す炭素数6〜12のアリール基と同じものが挙げられる。
式(3−2)のR5が表す炭素数7〜15のアリールアルコキシ基とは、アルコキシ基上の水素原子がアリール基で置換された炭素数が7〜15の置換基であり、該アルコキシ基及びアリール基の具体例としては、それぞれ式(2−1)のR1が表す炭素数1〜18のアルコキシ基及び炭素数6〜12のアリール基と同じものが挙げられる。
式(4−1)及び(4−2)中、R2はそれぞれ独立に式(2−1)におけるR2と同じ意味を表す。式(4−1)及び(4−2)におけるR2としては、水素原子であることが好ましい。
式(4−1)及び(4−2)中、nはそれぞれ独立に0〜4の整数を表し、1〜2の整数であることが好ましく、2であることがより好ましい。pは1〜6の整数を表し、2〜4の整数であることが好ましく、3であることがより好ましい。
脂環式エポキシ樹脂としては、例えばセロキサイド2021及びEHPE3150(商品名、ダイセル化学工業株式会社製)、E−1031S(商品名、JER株式会社製)、日本曹達(株)製、EPB−13及びEPB−27(商品名、日本曹達株式会社製)等が挙げられる。
これらの中でも、本発明で用いる原料化合物(a)としては、クレゾールノボラック型のエポキシ樹脂が好ましい。
これらの中でも、本発明で用いる原料化合物(b)としては、ジメチロールプロピオン酸が好ましい。
尚、原料化合物(a)と原料化合物(b)との反応物を、以下「中間体(ab)」と記載する。
更に、反応中の重合を防止するために、例えばハイドロキノン、メチルハイドロキノン、p−メトキシフェノール、カテコール及びピロガロール等の重合禁止剤を併用することも好ましく、その使用量は、反応原料混合物に対して、好ましくは0.01〜1質量%である。
本発明の感光性樹脂組成物に併用し得る(C)成分としては、下記一般式(7−1)で表される塩基増殖基を有する化合物がより好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物における(C)成分の含有量は(B)成分100質量部に対して、通常60質量部以下、好ましくは1〜30質量部である。(C)成分を1質量部以上加えると、(B)成分を迅速に反応させることができる。一方、60質量部以下、好ましくは30質量部以下であれば、(C)成分自体が(B)成分の溶解性に大きな影響を与えることがなく、感光性樹脂組成物のコストを抑えることができる。
攪拌機、還流冷却管及び撹拌装置を備えたフラスコに、4, 5−ジメトキシ−2−ニトロベンジルアルデヒド12.5部、テトラヒドロホウ酸ナトリウム1.5部及びメタノール250部を入れ、室温(23℃)で3時間撹拌した後、飽和塩化アンモニウム溶液38部を加えた。その後、析出した黄色固体をろ過回収し、ろ液にクロロホルム120部を加えて抽出操作を行った後、溶媒を留去して灰色固体を得た。得られた固体を酢酸エチルで再結晶することにより、4, 5−ジメトキシ−2−ニトロベンジルアルコールの黄色固体を8.4部得た。
合成例1で得られた4, 5−ジメトキシ−2−ニトロベンジルアルコール8.9部、トルエン150部及びオクチル酸スズ0.02部をフラスコに入れて均一になるまで還流撹拌を行った。続いて還流下でイソホロンジイソシアネート4.6部を加え、3時間還流を続けた後、冷却してエバポレーターで溶媒を留去した。得られた褐色固体をエタノールで再結晶することにより、光塩基発生剤A−1を6.8部得た。
合成例1で得られた4, 5−ジメトキシ−2−ニトロベンジルアルコール13.0部、トリエチルアミン12.3部及びTHF60部をフラスコに入れて均一に撹拌した後、p−ニトロフェニルクロロホーメートのTHF溶液55部を20分間掛けて滴下した。滴下終了後、室温で3時間撹拌し、反応溶液を水に投入し、ジクロロメタンで抽出した。有機層を5質量%HCl水溶液、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄した後、有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥し、エバポレーターで溶媒を留去した。得られた固体をトルエンで再結晶し、減圧乾燥して2−ニトロ−4, 5−ジメトキシベンジル
4’−ニトロフェニルカーボネートの黄色固体を17.6部得た。
合成例3で得られた2−ニトロ−4, 5−ジメトキシベンジル4’−ニトロフェニルカーボネート1.0部、1−ヒドロキシトリアゾール0.13部及びジクロロメタン60mlをフラスコに入れ、還流しながら1, 3−ジ−4−ピペリジルプロパンのジクロロメタン溶液20mlを30分間掛けて滴下した後、4時間還流撹拌した。反応終了後、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄し、有機層を抽出して無水硫酸マグネシウムで乾燥した後、エバポレーターで溶媒を留去することにより黄色固体を得た。得られた固体を過剰のメタノール中で撹拌した後、ろ過して得られた固体を2−プロパノールで再結晶することにより、光塩基発生剤A−2の黄色固体を0.25部得た。
特許第4,913,143号の段落番号[0058]にある「アルカリ可溶性エポキシ化合物の合成例」の記載に準じて、アルカリ可溶性エポキシ化合物(B−1)を合成した。なお、アルカリ可溶性エポキシ化合物B−1は、式(5−1)で表される化合物であって、D1及びD2がいずれも式(6−1)である化合物である。
クロロギ酸9−フルオレニルメチル10.0部及びTHFをフラスコに入れて均一になるまで撹拌した。この溶液を氷浴で2℃まで冷却した後、冷却しながら1, 3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン9.6部を溶かしたTHF溶液35部を20分間掛けて滴下して3時間撹拌した。得られた溶液にクロロホルム60部を加え、5質量%HCl水溶液、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液及び飽和食塩水で順次洗浄し、有機層を抽出して硫酸マグネシウムで乾燥した後、エバポレーターで溶媒を留去することにより白色固体を得た。得られた固体をエタノールで再結晶することにより、上記式9−4で示される化合物である塩基増殖剤Cの白色固体を10部得た。
(感光性樹脂組成物の調製)
表1に記載の配合量に従って各成分を混合し、感光性樹脂組成物を得た。
(A−2):合成例4で得られた光塩基発生剤
(B−1):合成例5で得られたアルカリ可溶性エポキシ化合物
(B−2):SU−8(日本化薬株式会社製、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物)
(B−3):EOCN−4400H(日本化薬株式会社製、o−クレゾールノボラック型エポキシ化合物)
(B−4):NER−7604(日本化薬株式会社製、ビスフェノールF型エポキシ化合物)
(B−5):EHPE−3150(株式会社ダイセル製、脂環式エポキシ化合物)
(C):合成例6で得られた塩基増殖剤(上記式(9−4)で表される化合物)
(D−1):ED−506(株式会社ADEKA製)
(E):S−510(チッソ株式会社製)
(F):メガファックF−470(DIC株式会社製)
(G):シクロペンタノン
実施例1〜4及び比較例5〜8の各樹脂組成物をSi基板上にスピンコーターで塗布後、ホットプレートにより100℃で2分間プリベークして乾燥し、膜厚10μmの樹脂組成物層を得た。その後、i線露光装置(マスクアライナー:ウシオ電機社製)を用いてパターン露光(ソフトコンタクト、ブロードバンド露光)を行い、900〜3000mJ/cm2のUV光を照射した。次にホットプレートによりベークを行った後、現像液を用いて浸漬法により現像処理を行い、基板上に硬化した樹脂パターンを得た。露光後の加熱温度、加熱時間、現像溶媒及び現像時間を表2に記載した。
上記「感光性樹脂組成物のパターニング」で得られたパターンの膜厚を触針式膜厚測定器で測定し、各露光量における残膜率(露光前の膜厚を1とした場合の、パターニング後に得られたパターンの膜厚)を図1、図2に示す。実施例1〜4の残膜率は約1であり、露光前の膜厚がほぼ維持されているのに対し、比較例の残膜率はかなり低く、光塩基発生剤を用いる系では、実施例の感光性樹脂組成物が極めて優れていることがわかった。
上記「感光性樹脂組成物のパターニング」で得られたパターンの線幅を測定し、各露光量における解像度(基板に密着している最も細いパターンの線幅)を図3、図4に示した。ただし、現像によって流れてしまい基板上パターンが残らなかったものについては解像度を0とした。図3、図4からわかるように、実施例の組成物を使用すると、比較例の組成物を使用した場合に比べて高い解像度であることがわかった。
Claims (8)
- (A)光塩基発生剤と、(B)アルカリ可溶性エポキシ化合物とを含む感光性樹脂組成物であって、前記(A)光塩基発生剤が下記式(2−1):
で表される化合物を含み、前記(B)アルカリ可溶性エポキシ化合物が、(a)1分子中に少なくとも2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物と(b)1分子中に少なくとも1個以上の水酸基及び1個のカルボキシル基を有する化合物との反応物に、(c)多塩基酸無水物を反応させて得られるエポキシ化合物である感光性樹脂組成物。 - 式(2−1)におけるXが下記式(3−1):
- 式(2−1)で表される化合物が下記式(4−1)または(4−2):
- (B)アルカリ可溶性エポキシ化合物が式(5−1):
- 更に、(C)塩基増殖剤として少なくとも1つのウレタン結合を有する化合物を含む請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 少なくとも1つのウレタン結合を有する化合物が下記式(7−1):
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布する工程と、
塗布により得られる感光性樹脂組成物層を乾燥する工程と、
乾燥後、所定のパターンに露光する工程と、
露光後にベークする工程と、
前記樹脂組成物層を現像する工程と、
得られた樹脂パターンを加熱処理して、硬化樹脂パターンを得る工程とを含む、パターン形成方法。
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