JPWO2014034841A1 - 高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明による高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法の第1の実施形態を説明する。
マルチワイヤーソー:タカトリ製マルチワイヤーソー MWS−34
ピアノ線:ジャパンファインスチール製 ピアノ線 Φ0.16
スラリーのベース液:パレス化学製 PS−L−40
ダイヤモンド砥粒: 切断面の必要粗さおよび必要切断速度に応じて粒度、濃度を決定
マルチワイヤーソー:タカトリ製マルチワイヤーソー MWS−34
ワイヤー: アライドマテリアル製 ダイヤモンド電着ワイヤー Φ0.25
切削液: アライドマテリアル製 DKW−2
以下、本発明による単結晶材料のマルチワイヤーソーによる切断方法の第2の実施形態を説明する。本実施形態では、2つ以上のインゴット10をマルチワイヤーソーによって同時にスライスすることができる。
以下、本発明による単結晶材料のマルチワイヤーソーによる切断方法の第3の実施形態を説明する。本実施形態では、2つ以上のインゴットの配置方法が第2の実施形態と異なる。
以下、第1の実施形態の方法によって、炭化珪素のインゴットを切断した結果を説明する。インゴットは直径3インチであり、遊離砥粒方式でインゴットを切断した。使用した機器および材料は以下の通りである。
切断機:タカトリ製マルチワイヤーソー MWS−34
ピアノ線:ジャパンファインスチール製 ピアノ線 φ0.16
スラリのベース液:パレス化学製 PS−L−40
ダイヤモンド砥粒:砥粒径3〜30μmのものを使用し、ダイヤモンドスラリを作製
10a 本体部分
10b 低品質結晶領域
10e 低品質結晶部分
10f 端面
10s 側面
11 種結晶
12 炭化珪素
14 固定用ベース
50 ソーワイヤー
51a、51b、51c ローラー
51r 第1切削領域
51r’ 第2切削領域
53 ステージ
51g、51g1、51g2、51gm、51gn 溝
Claims (11)
- 両端を有する本体部分と、前記本体部分の両端のうちの一方にのみ位置する低品質結晶部分とを有する少なくとも1つのインゴットを用意する工程(A)と、
前記少なくとも1つのインゴットを固定用ベースに固定する工程(B)と、
ソーワイヤーが前記少なくとも1つのインゴットの前記低品質結晶部分とは接触せず、前記本体部分に接触するように、前記少なくとも1つのインゴットを前記ソーワイヤーに対して相対的に移動させることによって、前記インゴットをスライスする工程(C)と
を包含する、高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。 - 前記マルチワイヤーソーは、少なくとも一対のローラー間で前記ソーワイヤーが複数回、巻回され、前記少なくとも一対のローラー間において、等間隔で平行に張られた複数の切削部分を有する切削領域を含み、
前記工程(C)において、前記ソーワイヤーの前記切削領域が前記少なくとも1つのインゴットの前記低品質結晶部分とは接触せず、前記本体部分に接触する請求項1に記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。 - 前記工程(A)において、第1および第2のインゴットを用意し、
前記工程(B)において、前記低品質結晶部分が位置しない端部が互いに対向するように前記第1および第2のインゴットを前記固定用ベースに固定し、
前記工程(C)において、前記ソーワイヤーの前記切削領域が前記第1および第2のインゴットの前記低品質結晶部分とは接触せず、前記本体部分に接触する請求項2に記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。 - 前記工程(B)において、前記第1のインゴットの前記本体部分と前記低品質結晶部分との境界と、前記第2のインゴットの本体部分と前記低品質結晶部分との境界との距離が、前記マルチワイヤーソーの前記切削領域の両端にそれぞれ位置する切削部分の間隔以上となるように、前記第2のインゴットを前記第1のインゴットに対して配置する請求項3に記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。
- 前記ソーワイヤーは、前記少なくとも一対のローラー間において、前記等間隔で平行に張られた複数の切削部分を有し、前記切削領域から所定の間隔を隔てて位置する他の切削領域を含み、
前記工程(A)において、第1および第2のインゴットを用意し、
前記工程(B)において、前記第1のインゴットの前記低品質結晶部分が位置しない端部が前記第2のインゴットの低品質結晶部分と対向するように前記第1および第2のインゴットを前記固定用ベースに固定し、
前記工程(C)において、前記ソーワイヤーの前記切削領域および前記他の切削領域が、前記第1および第2インゴットの前記低品質結晶部分とは接触せず、前記本体部分にそれぞれ接触する請求項2に記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。 - 前記工程(B)において、前記第1のインゴットの前記低品質結晶部分が位置しない端部から、前記第2のインゴットの低品質結晶部分と本体部分との境界までの距離が、前記ソーワイヤーにおける前記所定の間隔と一致するように、前記第2のインゴットを前記第1のインゴットに対して配置する請求項5に記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。
- 前記第1のインゴットの前記低品質結晶部分が位置しない端部から、前記第2のインゴットの低品質結晶部分と本体部分との境界までの距離と一致するように、前記ソーワイヤーにおける前記所定の間隔を決定する請求項5に記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。
- 前記少なくとも一対のローラーは、前記切削領域において、前記ソーワイヤーを受ける複数の溝をそれぞれ有し、
前記切削領域の、前記一対のローラ―の軸方向における中央近傍に位置する前記少なくとも一対のローラーの第1の溝の深さの初期値からの変化量d1と、前記ソーワイヤーの前記切削領域において、前記少なくとも1つのインゴットの低品質結晶部分に最も近接する前記ソーワイヤーの切削部分を受ける前記少なくとも一対のローラーの第2の溝の深さの初期値からの変化量d2とを測定し、前記d2が前記d1の3倍以上である場合、前記第2の溝から前記ソーワイヤーを外して新たな切削領域を構成する工程を更に包含する請求項2に記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。 - 前記切削領域の、前記一対のローラ―の軸方向における中央近傍に位置する前記少なくとも一対のローラーの第1の溝の深さの初期値からの変化量d1と、前記ソーワイヤーの前記切削領域において、前記第1のインゴットの低品質結晶部分に最も近接する前記ソーワイヤーの切削部分を受ける前記少なくとも一対のローラーの第2の溝の深さの初期値からの変化量d2と、前記ソーワイヤーの前記切削領域において、前記第2のインゴットの低品質結晶部分に最も近接する前記ソーワイヤーの切削部分を受ける前記少なくとも一対のローラーの第3の溝の深さの初期値からの変化量d2’とを測定し、前記d2および前記d2’の少なくとも一方が前記d1の3倍以上である場合、前記少なくとも一方に対応する溝から前記ソーワイヤーを外して新たな切削領域を構成する工程を更に包含する請求項3または4のいずれかに記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。
- 前記少なくとも一対のローラーは、前記切削領域および前記他の切削領域において、前記ソーワイヤーを受ける複数の溝をそれぞれ有し、
前記切削領域の、前記一対のローラ―の軸方向における中央近傍に位置する前記少なくとも一対のローラーの第1の溝の深さの初期値からの変化量d1と、前記ソーワイヤーの前記切削領域において、前記第1のインゴットの低品質結晶部分に最も近接する前記ソーワイヤーの切削部分を受ける前記少なくとも一対のローラーの第2の溝の深さの初期値からの変化量d2と、前記ソーワイヤーの前記他の切削領域において、前記第2のインゴットの低品質結晶部分に最も近接する前記ソーワイヤーの切削部分を受ける前記少なくとも一対のローラーの第3の溝の深さの初期値からの変化量d2’とを測定し、前記d2および前記d2’の少なくとも一方が前記d1の3倍以上である場合、前記少なくとも一方に対応する溝から前記ソーワイヤーを外して少なくとも1つの新たな切削領域を構成する工程を更に包含する請求項5から7のいずれかに記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。 - 前記少なくとも一対のローラーの回転振れを50μm以下に調整する請求項2から10のいずれかに記載の高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。
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