JP2007118401A - 半導体インゴットの切断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】鋳型25内部で保持された半導体融液24を一方向に凝固させて形成した半導体インゴット10の切断方法であって、半導体インゴット10の凝固開始端面を支持部材2に接着する工程と、接着された半導体インゴット10の少なくとも凝固開始端部を切断手段1で切断する工程とを有する半導体インゴットの切断方法とする。
【選択図】図2
Description
本発明の半導体インゴットの切断方法の第一の実施形態を、上述のようにして得られたシリコンインゴット10を用いて詳細に説明する。
次に、本発明の半導体インゴットの切断方法の第二の実施形態について詳細に説明する。
1a :プーリー
1b :ブレード
1c :ブレード固定具
2 :支持部材
3 :接着材
4 :固定部材
5 :作業テーブル
6 :治具
10 :半導体インゴット(シリコンインゴット)
11 :切断手段(ワイヤーソー装置)
11a:メインローラー
11b:ワイヤー
11c:ワイヤー供給リール
11d:供給ノズル
12 :支持部材
13 :接着材
14 :固定部材(スライス台)
15 :ディップ槽
21 :坩堝
21a:溶融坩堝
21b:保持坩堝
22 :注湯口
23 :加熱手段
24 :半導体融液(シリコン融液)
25 :鋳型
26 :離型材
41 :側面押さえ
42 :上部押さえ
50 :半導体インゴット
51 :切断手段
52 :支持部材
53 :底面クラック
54 :インゴット底面
56 :治具
Claims (3)
- 鋳型内部で保持された半導体融液を一方向に凝固させて形成した半導体インゴットの切断方法であって、
前記半導体インゴットの凝固開始端面を支持部材に接着する工程と、
接着された前記半導体インゴットの少なくとも凝固開始端部を切断手段で切断する工程と、を有することを特徴とする半導体インゴットの切断方法。 - 前記半導体インゴットは、前記凝固開始端面以外の少なくとも一面が固定部材により固定された状態で切断されることを特徴とする請求項1に記載の半導体インゴットの製造方法。
- 前記支持部材及び前記固定部材が互いに固定されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体インゴットの切断方法。
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