JP2001232548A - ワイヤソー及びその加工用ローラの振動測定方法 - Google Patents
ワイヤソー及びその加工用ローラの振動測定方法Info
- Publication number
- JP2001232548A JP2001232548A JP2000048066A JP2000048066A JP2001232548A JP 2001232548 A JP2001232548 A JP 2001232548A JP 2000048066 A JP2000048066 A JP 2000048066A JP 2000048066 A JP2000048066 A JP 2000048066A JP 2001232548 A JP2001232548 A JP 2001232548A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- roller
- processing
- processing roller
- wire saw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転中の加工用ローラの振動を検出し、これ
により加工用ローラの組み付けの精度を的確に把握し
て、ワークの加工を行う上で過度の振動を与えることな
く、高精度加工をなし得ることのできるワイヤーソー及
びその加工用ローラの測定方法を提供すること。 【解決手段】 加工用ローラ１５に係合するシャフト３
０を回転可能に支持している一方の軸受ユニット２５に
固定される端面板４０のラジアル方向の面に、接触式の
振動ピックアップ５１を設ける。更に、加工用ローラ１
５に係合し他方の軸受ユニット２６に回転可能に支持さ
れているシャフト３２の近傍で、そのラジアル方向の所
定の位置に非接触の振動ピックアップ５２を設ける。回
転時の加工用ローラ１５から発生する振動を振動ピック
アップ５１，５２で拾い、得られた振動により加工用ロ
ーラ１５の回転時の回転ぶれを得るようにする。
により加工用ローラの組み付けの精度を的確に把握し
て、ワークの加工を行う上で過度の振動を与えることな
く、高精度加工をなし得ることのできるワイヤーソー及
びその加工用ローラの測定方法を提供すること。 【解決手段】 加工用ローラ１５に係合するシャフト３
０を回転可能に支持している一方の軸受ユニット２５に
固定される端面板４０のラジアル方向の面に、接触式の
振動ピックアップ５１を設ける。更に、加工用ローラ１
５に係合し他方の軸受ユニット２６に回転可能に支持さ
れているシャフト３２の近傍で、そのラジアル方向の所
定の位置に非接触の振動ピックアップ５２を設ける。回
転時の加工用ローラ１５から発生する振動を振動ピック
アップ５１，５２で拾い、得られた振動により加工用ロ
ーラ１５の回転時の回転ぶれを得るようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤを用いて、
半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よりな
るワークに対し、切断加工を施すようにしたワイヤソ
ー、及びその加工用ローラの振動測定方法に関するもの
である。
半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よりな
るワークに対し、切断加工を施すようにしたワイヤソ
ー、及びその加工用ローラの振動測定方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種のワイヤソーにおいて
は、複数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、そ
れらのローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形
成されている。また、各加工用ローラ間において、環状
溝には１本のワイヤが順に巻回されている。そして、加
工用ローラの回転にともなってワイヤが走行されなが
ら、そのワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリが供給され、
この状態でワイヤに対しワークが押し付け接触されて、
ワークに切断等の加工が施されるようになっている。
は、複数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、そ
れらのローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形
成されている。また、各加工用ローラ間において、環状
溝には１本のワイヤが順に巻回されている。そして、加
工用ローラの回転にともなってワイヤが走行されなが
ら、そのワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリが供給され、
この状態でワイヤに対しワークが押し付け接触されて、
ワークに切断等の加工が施されるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、組み付け精
度等が低下すると、回転時に加工用ローラに回転ぶれが
生じ、高精度加工を達成できなくなるという問題があっ
た。
度等が低下すると、回転時に加工用ローラに回転ぶれが
生じ、高精度加工を達成できなくなるという問題があっ
た。
【０００４】本発明は、このような従来技術に存在する
課題に着目してなされたものである。従って、その目的
とするところは、回転中の加工用ローラの振動を検出
し、これにより加工用ローラの組み付け精度を的確に把
握して、ワークの加工を行う上で過度の振動を与えるこ
となく、高精度加工をなし得ることのできるワイヤーソ
ー及びその加工用ローラの測定方法を提供することにあ
る。
課題に着目してなされたものである。従って、その目的
とするところは、回転中の加工用ローラの振動を検出
し、これにより加工用ローラの組み付け精度を的確に把
握して、ワークの加工を行う上で過度の振動を与えるこ
となく、高精度加工をなし得ることのできるワイヤーソ
ー及びその加工用ローラの測定方法を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、複数の加工用ローラを
その両端にて軸受ユニットを介して支持フレームに回転
可能に支持し、それらの加工用ローラ間に巻回したワイ
ヤに対しワークを接触させて、このワークに加工を施す
ようにしたワイヤソーにおいて、加工用ローラの回転時
に発生する加工用ローラの振動を計測するための振動検
出器を設けたものである。
めに、請求項１に記載の発明は、複数の加工用ローラを
その両端にて軸受ユニットを介して支持フレームに回転
可能に支持し、それらの加工用ローラ間に巻回したワイ
ヤに対しワークを接触させて、このワークに加工を施す
ようにしたワイヤソーにおいて、加工用ローラの回転時
に発生する加工用ローラの振動を計測するための振動検
出器を設けたものである。
【０００６】加工用ローラの組み付け精度が低かった
り、軸受が摩耗したりすると、加工用ローラの回転の際
に、加工用ローラに振動、すなわち回転ぶれが生じる。
従って、この振動検出器から加工用ローラの振動を検出
して、加工用ローラの回転時に実際に生じる回転ぶれを
知ることが容易にでき、この回転ぶれから、組み付け状
態や摩耗状態を知ることが容易にできる。そのため、加
工用ローラの交換や組み付けの修正等をよりよいタイミ
ングで行うことができ、ワークの加工を行う上で過度の
振動を与えることなく、高精度加工を達成できる。
り、軸受が摩耗したりすると、加工用ローラの回転の際
に、加工用ローラに振動、すなわち回転ぶれが生じる。
従って、この振動検出器から加工用ローラの振動を検出
して、加工用ローラの回転時に実際に生じる回転ぶれを
知ることが容易にでき、この回転ぶれから、組み付け状
態や摩耗状態を知ることが容易にできる。そのため、加
工用ローラの交換や組み付けの修正等をよりよいタイミ
ングで行うことができ、ワークの加工を行う上で過度の
振動を与えることなく、高精度加工を達成できる。
【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のワイヤソーにおいて、前記振動検出器が、前記加工用
ローラのラジアル方向の所定の位置に設けられているも
のである。加工用ローラの回転ぶれは、そのラジアル方
向で生じることが多く、このように振動検出器をラジア
ル方向の所定の位置に設ければ、加工用ローラの回転ぶ
れをより確実に測定することができる。
のワイヤソーにおいて、前記振動検出器が、前記加工用
ローラのラジアル方向の所定の位置に設けられているも
のである。加工用ローラの回転ぶれは、そのラジアル方
向で生じることが多く、このように振動検出器をラジア
ル方向の所定の位置に設ければ、加工用ローラの回転ぶ
れをより確実に測定することができる。
【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項１又は請
求項２に記載のワイヤソーにおいて、前記振動検出器
が、加工用ローラとともに回転するシャフトの近傍に設
けられているものである。
求項２に記載のワイヤソーにおいて、前記振動検出器
が、加工用ローラとともに回転するシャフトの近傍に設
けられているものである。
【０００９】従って、このシャフトは、加工用ローラと
一体に回転するから、加工用ローラに発生した回転ぶれ
がそのままシャフトに伝達される。そのため、回転中の
ワイヤソーを構成する部材の組み付け状態や摩耗状態な
どを容易に知ることができる。
一体に回転するから、加工用ローラに発生した回転ぶれ
がそのままシャフトに伝達される。そのため、回転中の
ワイヤソーを構成する部材の組み付け状態や摩耗状態な
どを容易に知ることができる。
【００１０】請求項４に記載の発明は、請求項１又は請
求項２に記載のワイヤソーにおいて、前記振動検出器
が、加工用ローラの回転時に回転しない固定部に接触し
て設けられているものである。従って、振動検出器は、
加工用ローラの回転中であっても回転せず、加工用ロー
ラの回転ぶれが伝達される固定部に接触して設けたの
で、直接的に振動を検出することができる。そのため、
回転中の加工用ローラの振動をより確実に検出すること
ができ、回転時の加工用ローラの回転ぶれをより確実に
知ることができる。
求項２に記載のワイヤソーにおいて、前記振動検出器
が、加工用ローラの回転時に回転しない固定部に接触し
て設けられているものである。従って、振動検出器は、
加工用ローラの回転中であっても回転せず、加工用ロー
ラの回転ぶれが伝達される固定部に接触して設けたの
で、直接的に振動を検出することができる。そのため、
回転中の加工用ローラの振動をより確実に検出すること
ができ、回転時の加工用ローラの回転ぶれをより確実に
知ることができる。
【００１１】請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求
項４の何れかに記載のワイヤソーにおいて、前記振動検
出器が、ワイヤ走行方向におけるワークの両側に位置す
る加工用ローラの少なくとも一方に設けられているもの
である。従って、加工に最も影響を与えるワークの両側
の２つの加工用ローラの回転ぶれを得ることができるの
で、すべての加工用ローラに対応して振動検出器を設け
ずとも、加工精度低下を認識することができる。
項４の何れかに記載のワイヤソーにおいて、前記振動検
出器が、ワイヤ走行方向におけるワークの両側に位置す
る加工用ローラの少なくとも一方に設けられているもの
である。従って、加工に最も影響を与えるワークの両側
の２つの加工用ローラの回転ぶれを得ることができるの
で、すべての加工用ローラに対応して振動検出器を設け
ずとも、加工精度低下を認識することができる。
【００１２】請求項６に記載の発明は、複数の加工用ロ
ーラをその両端にて軸受ユニットを介して支持フレーム
に回転可能に支持し、それらの加工用ローラ間に巻回し
たワイヤに対しワークを接触させて、このワークに加工
を施すようにしたワイヤソーにおいて、加工用ローラの
回転中に発生する前記軸受ユニットの振動から、加工用
ローラの回転ぶれを振動測定するようにしたものであ
る。
ーラをその両端にて軸受ユニットを介して支持フレーム
に回転可能に支持し、それらの加工用ローラ間に巻回し
たワイヤに対しワークを接触させて、このワークに加工
を施すようにしたワイヤソーにおいて、加工用ローラの
回転中に発生する前記軸受ユニットの振動から、加工用
ローラの回転ぶれを振動測定するようにしたものであ
る。
【００１３】従って、軸受ユニットの振動から加工用ロ
ーラの回転ぶれを測定するため、前記のように、この回
転ぶれから、組み付け状態や摩耗状態を知ることが容易
にできる。そのため、加工ローラの交換や組み付けの修
正等をよりよいタイミングで行うことができる。
ーラの回転ぶれを測定するため、前記のように、この回
転ぶれから、組み付け状態や摩耗状態を知ることが容易
にできる。そのため、加工ローラの交換や組み付けの修
正等をよりよいタイミングで行うことができる。
【００１４】請求項７に記載の発明は、請求項６に記載
の加工用ローラの測定方法において、前記振動の周波数
に基づいて前記回転ぶれを振動測定するようにしたもの
である。
の加工用ローラの測定方法において、前記振動の周波数
に基づいて前記回転ぶれを振動測定するようにしたもの
である。
【００１５】軸受ユニットの振動のうち、高周波領域を
解析することによりベアリングの磨耗状態を把握でき
る。また、加工用ローラの組み付け不良や摩耗に起因す
るものは、振動の比較的低周波領域を解析することによ
りその状態が把握できる。従って、加工用ローラの組み
付け不良や摩耗状態、あるいはベアリングやシャフトの
摩耗状態などを的確に知ることができるので、これらを
タイミングよく交換したりすることができる。
解析することによりベアリングの磨耗状態を把握でき
る。また、加工用ローラの組み付け不良や摩耗に起因す
るものは、振動の比較的低周波領域を解析することによ
りその状態が把握できる。従って、加工用ローラの組み
付け不良や摩耗状態、あるいはベアリングやシャフトの
摩耗状態などを的確に知ることができるので、これらを
タイミングよく交換したりすることができる。
【００１６】請求項８に記載の発明は、請求項７に記載
の加工用ローラの測定方法において、前記周波数の低周
波領域に基づいて前記回転ぶれを振動測定するようにし
たものである。
の加工用ローラの測定方法において、前記周波数の低周
波領域に基づいて前記回転ぶれを振動測定するようにし
たものである。
【００１７】低周波領域を解析することにより、加工用
ローラの組み付け不良や磨耗状態等を知ることが容易に
できるので、加工用ローラの交換や組付調節等をより的
確に行うことができる。
ローラの組み付け不良や磨耗状態等を知ることが容易に
できるので、加工用ローラの交換や組付調節等をより的
確に行うことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化したワイヤ
ソーの一実施形態を図１及び図２に従って説明する。
ソーの一実施形態を図１及び図２に従って説明する。
【００１９】図１に示すように、この実施形態のワイヤ
ソーは基台１１を備え、その上面にはコラム１２が立設
されている。コラム１２の前面側には切断機構１３が一
対の支持フレーム１４を介して装設されている。この切
断機構１３は平行に延びる３本の加工用ローラ１５，１
６，１７を備え、それらの外周には多数の環状溝１５
ａ，１６ａ，１７ａが所定のピッチで形成されている。
ソーは基台１１を備え、その上面にはコラム１２が立設
されている。コラム１２の前面側には切断機構１３が一
対の支持フレーム１４を介して装設されている。この切
断機構１３は平行に延びる３本の加工用ローラ１５，１
６，１７を備え、それらの外周には多数の環状溝１５
ａ，１６ａ，１７ａが所定のピッチで形成されている。
【００２０】加工用ローラ１５，１６，１７の環状溝１
５ａ，１６ａ，１７ａには、１本の線材よりなるワイヤ
１８が連続的に巻回されている。支持フレーム１４の前
部には複数のガイドローラ２０よりなるワイヤガイド機
構１９が装設され、加工用ローラ１５，１６，１７に対
するワイヤ１８の供給及び引き出しを案内するようにな
っている。
５ａ，１６ａ，１７ａには、１本の線材よりなるワイヤ
１８が連続的に巻回されている。支持フレーム１４の前
部には複数のガイドローラ２０よりなるワイヤガイド機
構１９が装設され、加工用ローラ１５，１６，１７に対
するワイヤ１８の供給及び引き出しを案内するようにな
っている。
【００２１】基台１１には、正逆回転可能なワイヤ走行
用のモータ４７が配置されており、そのモータ４７の軸
上のプーリ５０と下方に配置されている加工用ローラ１
７のプーリ４６との間に、ベルト４５が介在されてい
る。そして、このプーリ４６及び加工用ローラ１５、１
６のプーリ４９に、ベルト４８が巻回されている。そし
て、モータ４７の回転がプーリ４６及びベルト４５を介
して加工用ローラ１７に伝達されるとともに、ベルト４
８、プーリ４９を介して加工用ローラ１５、１６に伝達
される。従って、モータ４７にて、加工用ローラ１５，
１６，１７の回転とともに、ワイヤ１８が所定の走行速
度で走行される。このワイヤ１８の走行は、モータ４７
の正逆切り換えにより、一定量前進（例えば１０ｍ前
進）及び一定量後退（例えば９ｍ後退）を繰り返し、全
体として歩進的に前進するように行われる。
用のモータ４７が配置されており、そのモータ４７の軸
上のプーリ５０と下方に配置されている加工用ローラ１
７のプーリ４６との間に、ベルト４５が介在されてい
る。そして、このプーリ４６及び加工用ローラ１５、１
６のプーリ４９に、ベルト４８が巻回されている。そし
て、モータ４７の回転がプーリ４６及びベルト４５を介
して加工用ローラ１７に伝達されるとともに、ベルト４
８、プーリ４９を介して加工用ローラ１５、１６に伝達
される。従って、モータ４７にて、加工用ローラ１５，
１６，１７の回転とともに、ワイヤ１８が所定の走行速
度で走行される。このワイヤ１８の走行は、モータ４７
の正逆切り換えにより、一定量前進（例えば１０ｍ前
進）及び一定量後退（例えば９ｍ後退）を繰り返し、全
体として歩進的に前進するように行われる。
【００２２】前記切断機構１３の上方に対向配置される
ように、支持フレーム１４上にはスラリ供給機構２１が
配設され、このスラリ供給機構２１から加工用ローラ１
５，１６間のワイヤ１８上に、遊離砥粒を含む水性また
は油性のスラリが供給される。
ように、支持フレーム１４上にはスラリ供給機構２１が
配設され、このスラリ供給機構２１から加工用ローラ１
５，１６間のワイヤ１８上に、遊離砥粒を含む水性また
は油性のスラリが供給される。
【００２３】スラリ供給機構２１の上方において、コラ
ム１２の前面にはワーク支持機構２２が昇降可能に配設
され、その下部には硬脆材料よりなるワーク２３が着脱
自在にセットされる。
ム１２の前面にはワーク支持機構２２が昇降可能に配設
され、その下部には硬脆材料よりなるワーク２３が着脱
自在にセットされる。
【００２４】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１８が切断機構１３の加工用ローラ１５，１６，１
７間で走行されながら、ワーク支持機構２２が切断機構
１３に向かって下降される。このとき、スラリ供給機構
２１からワイヤ１８上へ遊離砥粒を含むスラリが供給さ
れるとともに、そのワイヤ１８に対しワーク２３が押し
付け接触され、ラッピング作用によってワーク２３がウ
ェーハ状に切断加工される。
イヤ１８が切断機構１３の加工用ローラ１５，１６，１
７間で走行されながら、ワーク支持機構２２が切断機構
１３に向かって下降される。このとき、スラリ供給機構
２１からワイヤ１８上へ遊離砥粒を含むスラリが供給さ
れるとともに、そのワイヤ１８に対しワーク２３が押し
付け接触され、ラッピング作用によってワーク２３がウ
ェーハ状に切断加工される。
【００２５】次に、本実施の形態における加工用ローラ
１５，１６，１７の軸受構造について説明する。図２に
示すように、加工用ローラ１５，１６，１７は両端にて
一対の軸受ユニット２５，２６を介して支持フレーム１
４に回転可能に支持されている。軸受ユニット２５、２
６は支持フレーム１４の軸支筒２７内に軸線方向へ移動
可能に嵌合されている。
１５，１６，１７の軸受構造について説明する。図２に
示すように、加工用ローラ１５，１６，１７は両端にて
一対の軸受ユニット２５，２６を介して支持フレーム１
４に回転可能に支持されている。軸受ユニット２５、２
６は支持フレーム１４の軸支筒２７内に軸線方向へ移動
可能に嵌合されている。
【００２６】一方の軸受ユニット２５は、円筒状の軸受
ハウジング２８と、その軸受ハウジング２８内に複数の
ベアリング２９を介して回転可能に支持されたシャフト
３０とから構成されている。同様に、他方の軸受ユニッ
ト２６は、円筒状の軸受ハウジング２８と、その軸受ハ
ウジング２８内に複数のベアリング２９を介して回転可
能に支持されたシャフト３２とから構成されている。
ハウジング２８と、その軸受ハウジング２８内に複数の
ベアリング２９を介して回転可能に支持されたシャフト
３０とから構成されている。同様に、他方の軸受ユニッ
ト２６は、円筒状の軸受ハウジング２８と、その軸受ハ
ウジング２８内に複数のベアリング２９を介して回転可
能に支持されたシャフト３２とから構成されている。
【００２７】一方の軸受ユニット２５におけるシャフト
３０の内端にはテーパ状凸部３１が形成され、これと対
応するように他方の軸受ユニット２６におけるシャフト
３２の内端にもテーパ状凸部３３が形成されている。加
工用ローラ１５，１６，１７の両端面にはテーパ状凹部
３４，３５が形成され、これらのテーパ状凹部３４，３
５に両シャフト３０，３２のテーパ状凸部３１，３３が
係合されるようになっている。なお、シャフト３２の図
示左端には前記プーリ４６，４９が嵌合されている。
３０の内端にはテーパ状凸部３１が形成され、これと対
応するように他方の軸受ユニット２６におけるシャフト
３２の内端にもテーパ状凸部３３が形成されている。加
工用ローラ１５，１６，１７の両端面にはテーパ状凹部
３４，３５が形成され、これらのテーパ状凹部３４，３
５に両シャフト３０，３２のテーパ状凸部３１，３３が
係合されるようになっている。なお、シャフト３２の図
示左端には前記プーリ４６，４９が嵌合されている。
【００２８】一方の軸受ユニット２５のシャフト３０及
び加工用ローラ１５，１６，１７の中心には挿通孔３
６，３７が形成され、これらと対応するように他方の軸
受ユニット２６のシャフト３２の内端にはねじ孔３８が
形成されている。そして、一方の軸受ユニット２５の軸
端部から、挿通孔３６，３７を介してねじ孔３８に通し
ボルト３９が螺合され、これによって加工用ローラ１
５，１６，１７が両軸受ユニット２５，２６のシャフト
３０，３２間に締め付け固定されている。
び加工用ローラ１５，１６，１７の中心には挿通孔３
６，３７が形成され、これらと対応するように他方の軸
受ユニット２６のシャフト３２の内端にはねじ孔３８が
形成されている。そして、一方の軸受ユニット２５の軸
端部から、挿通孔３６，３７を介してねじ孔３８に通し
ボルト３９が螺合され、これによって加工用ローラ１
５，１６，１７が両軸受ユニット２５，２６のシャフト
３０，３２間に締め付け固定されている。
【００２９】また、一方の軸受ユニット２５における軸
受ハウジング２８の端面には環状の端面板４０がガイド
ボルト４３により固定され、この端面板４０が軸受ハウ
ジング２８の図示右方への抜け止めとなっている。端面
板４０の端部には蓋体４１が複数のボルト４２により取
り付けられ、この蓋体４１により通しボルト３９の頭部
が覆われている。他方の軸受ユニット２６における軸受
ハウジング２８の端面には環状の端面板４４がガイドボ
ルト５３により固定され、この端面板４４にはシャフト
３２のフランジ部３２ａが遊嵌している。
受ハウジング２８の端面には環状の端面板４０がガイド
ボルト４３により固定され、この端面板４０が軸受ハウ
ジング２８の図示右方への抜け止めとなっている。端面
板４０の端部には蓋体４１が複数のボルト４２により取
り付けられ、この蓋体４１により通しボルト３９の頭部
が覆われている。他方の軸受ユニット２６における軸受
ハウジング２８の端面には環状の端面板４４がガイドボ
ルト５３により固定され、この端面板４４にはシャフト
３２のフランジ部３２ａが遊嵌している。
【００３０】更に、本実施の形態では、端面板４０の外
周面、すなわち加工用ローラ１５のラジアル方向におけ
る所定の位置には、接触式の振動ピックアップ５１が設
けられており、プーリ４６と軸受ユニット２６との間の
シャフト３２の段部に対向するように、非接触型の振動
ピックアップ５２（これは、シャフト３２とのギャップ
を測定するギャップセンサである）が設けられている。
なお、これら振動ピックアップ５１，５２の出力信号
は、図示しない振動解析装置に送られる。
周面、すなわち加工用ローラ１５のラジアル方向におけ
る所定の位置には、接触式の振動ピックアップ５１が設
けられており、プーリ４６と軸受ユニット２６との間の
シャフト３２の段部に対向するように、非接触型の振動
ピックアップ５２（これは、シャフト３２とのギャップ
を測定するギャップセンサである）が設けられている。
なお、これら振動ピックアップ５１，５２の出力信号
は、図示しない振動解析装置に送られる。
【００３１】本実施の形態におけるワイヤーソーは以上
のように構成されるが、次に、その加工用ローラ１５の
振動測定方法について述べる。すなわち、加工用ローラ
１５，１６，１７を回転させると、振動ピックアップ５
１、５２が、振動の振幅、速度、加速度を示す信号を、
それぞれからの信号を図示しない振動解析装置に対して
送信する。そして、この振動解析装置では、得られた振
動を解析する。このとき、得られた振動がほとんどない
場合には、回転中に発生する加工用ローラ１５の回転ぶ
れはほとんどなく、組み付け精度が良好で摩耗も生じて
いないと判断される。しかしながら、得られた振動が比
較的低周波領域の振動である場合には、組み付け精度が
不良、あるいはシャフト３０、３２等のローラ軸線の周
りの領域の摩耗があると判断される。また、得られた振
動が高周波領域の振動の場合には、ベアリング２９の玉
あるいはその玉と接するレース内面の摩耗と判断され
る。
のように構成されるが、次に、その加工用ローラ１５の
振動測定方法について述べる。すなわち、加工用ローラ
１５，１６，１７を回転させると、振動ピックアップ５
１、５２が、振動の振幅、速度、加速度を示す信号を、
それぞれからの信号を図示しない振動解析装置に対して
送信する。そして、この振動解析装置では、得られた振
動を解析する。このとき、得られた振動がほとんどない
場合には、回転中に発生する加工用ローラ１５の回転ぶ
れはほとんどなく、組み付け精度が良好で摩耗も生じて
いないと判断される。しかしながら、得られた振動が比
較的低周波領域の振動である場合には、組み付け精度が
不良、あるいはシャフト３０、３２等のローラ軸線の周
りの領域の摩耗があると判断される。また、得られた振
動が高周波領域の振動の場合には、ベアリング２９の玉
あるいはその玉と接するレース内面の摩耗と判断され
る。
【００３２】上記実施形態のワイヤソーによれば、以下
のような特徴を得ることができる。 （ａ） 上記実施の形態では、振動検出器である振動ピ
ックアップ５１、５２を一対の軸受ユニット２５，２６
のそれぞれに設けて、加工用ローラ１５の回転時に発生
する加工用ローラ１５の振動を測定するようにした。従
って、これから加工用ローラ１５の組み付け精度及びベ
アリング２９等の摩耗状態を知ることができる。そのた
め、ベアリング２９等をタイミングよく交換することが
できるので、ほとんど常によりよい状態でワイヤソーを
使用することができ、ワークの加工を行う上で過度の振
動を与えることなく、高精度加工をなし得ることができ
る。
のような特徴を得ることができる。 （ａ） 上記実施の形態では、振動検出器である振動ピ
ックアップ５１、５２を一対の軸受ユニット２５，２６
のそれぞれに設けて、加工用ローラ１５の回転時に発生
する加工用ローラ１５の振動を測定するようにした。従
って、これから加工用ローラ１５の組み付け精度及びベ
アリング２９等の摩耗状態を知ることができる。そのた
め、ベアリング２９等をタイミングよく交換することが
できるので、ほとんど常によりよい状態でワイヤソーを
使用することができ、ワークの加工を行う上で過度の振
動を与えることなく、高精度加工をなし得ることができ
る。
【００３３】（ｂ） 上記実施の形態では、振動ピック
アップ５１を、端面板４０のラジアル方向の位置に配置
して、加工用ローラ１５の回転ぶれと同じ方向の振動を
測定した。また、振動ピックアップ５２をシャフト３２
のラジアル方向の位置に配置して、これらのラジアル方
向に発生する振動を測定するようにした。従って、加工
用ローラ１５の回転ぶれを正確に知ることができる。
アップ５１を、端面板４０のラジアル方向の位置に配置
して、加工用ローラ１５の回転ぶれと同じ方向の振動を
測定した。また、振動ピックアップ５２をシャフト３２
のラジアル方向の位置に配置して、これらのラジアル方
向に発生する振動を測定するようにした。従って、加工
用ローラ１５の回転ぶれを正確に知ることができる。
【００３４】（ｃ） 上記実施の形態では、この振動ピ
ックアップ５１は、加工用ローラ１５とともに回転しな
い端面板４０に設けたので、接触式の振動ピックアップ
５１を使用することができ、振動ピックアップ５１は、
加工用ローラ１５に発生する振動を確実に得ることがで
きる。
ックアップ５１は、加工用ローラ１５とともに回転しな
い端面板４０に設けたので、接触式の振動ピックアップ
５１を使用することができ、振動ピックアップ５１は、
加工用ローラ１５に発生する振動を確実に得ることがで
きる。
【００３５】（ｄ） 上記実施の形態では、振動ピック
アップ５２をシャフト３２の近傍に設け、シャフト３２
とのギャップを測定することにより、シャフト３２の振
動を測定した。この場合、シャフト３２は回転するため
振動ピックアップ５２は非接触式の振動ピックアップで
なければならない。しかし、回転ぶれが生じてもそのま
ま加工用ローラ１５とともに回転されるシャフト３２の
近傍に設けているので、固定部によって加工用ローラ１
５の振動がやや制止された状態の振動を拾うのではな
く、加工用ローラ１５の実際の振動により近い振動を得
ることができる。従って、加工用ローラ１５の取り付け
精度や部材の摩耗状態などを正確に知ることができる。
アップ５２をシャフト３２の近傍に設け、シャフト３２
とのギャップを測定することにより、シャフト３２の振
動を測定した。この場合、シャフト３２は回転するため
振動ピックアップ５２は非接触式の振動ピックアップで
なければならない。しかし、回転ぶれが生じてもそのま
ま加工用ローラ１５とともに回転されるシャフト３２の
近傍に設けているので、固定部によって加工用ローラ１
５の振動がやや制止された状態の振動を拾うのではな
く、加工用ローラ１５の実際の振動により近い振動を得
ることができる。従って、加工用ローラ１５の取り付け
精度や部材の摩耗状態などを正確に知ることができる。
【００３６】（ｅ） 上記実施の形態では、ワイヤ走行
方向におけるワーク２３を加工するワイヤ１８の両側に
位置する加工用ローラ１５，１６の１つである加工用ロ
ーラ１５に振動ピックアップ５１、５２を設けたので、
ワークの加工を行う上で過度の振動を与えることなく、
効果的に高精度の加工をなし得ることができる。
方向におけるワーク２３を加工するワイヤ１８の両側に
位置する加工用ローラ１５，１６の１つである加工用ロ
ーラ１５に振動ピックアップ５１、５２を設けたので、
ワークの加工を行う上で過度の振動を与えることなく、
効果的に高精度の加工をなし得ることができる。
【００３７】（ｆ） 上記実施の形態では、一方の軸受
ユニット２５側に振動ピックアップ５２を設け、他方の
軸受ユニット２６側に振動ピックアップ５１を設けた。
そのため、２つの振動ピックアップ５１、５２から得ら
れる振動から、組み付けの偏りや部材が摩擦したことな
どにより発生するラジアル方向のねじれもわかるので、
左右で異なる組み付け状態や摩擦状態が生じた場合であ
っても、これらを把握することが容易にできる。
ユニット２５側に振動ピックアップ５２を設け、他方の
軸受ユニット２６側に振動ピックアップ５１を設けた。
そのため、２つの振動ピックアップ５１、５２から得ら
れる振動から、組み付けの偏りや部材が摩擦したことな
どにより発生するラジアル方向のねじれもわかるので、
左右で異なる組み付け状態や摩擦状態が生じた場合であ
っても、これらを把握することが容易にできる。
【００３８】なお、上記実施形態は以下のように変更し
てもよい。 ・ 上記実施の形態では、振動ピックアップ５１を端面
板４０に設けて、回転時に発生する加工用ローラ１７の
振動を、シャフト３０、ベアリング２９、軸受ハウジン
グ２８及び端面板４０を介して得るようにしたが、図２
に二点鎖線で示す振動ピックアップ５１のように、蓋体
４１に設けるようにしてもよい。また、加工用ローラ１
５が回転しても回転しない固定部であるベアリング２９
の外輪２９ａに振動検出器を設けるようにしてもよい。
すなわち、固定部とは、加工用ローラの回転中であって
も回転せず、加工用ローラの回転ぶれが伝達される部分
であればよい。
てもよい。 ・ 上記実施の形態では、振動ピックアップ５１を端面
板４０に設けて、回転時に発生する加工用ローラ１７の
振動を、シャフト３０、ベアリング２９、軸受ハウジン
グ２８及び端面板４０を介して得るようにしたが、図２
に二点鎖線で示す振動ピックアップ５１のように、蓋体
４１に設けるようにしてもよい。また、加工用ローラ１
５が回転しても回転しない固定部であるベアリング２９
の外輪２９ａに振動検出器を設けるようにしてもよい。
すなわち、固定部とは、加工用ローラの回転中であって
も回転せず、加工用ローラの回転ぶれが伝達される部分
であればよい。
【００３９】・ 上記実施の形態では、振動検出器であ
る振動ピックアップ５１，５２を、加工用ローラ１５の
ラジアル方向の所定の位置に設けた。しかしながら、振
動解析によって回転中の加工用ローラ１５の回転ぶれが
把握できるのであれば、図２に二点鎖線で示すように加
工用ローラ１５の軸線方向の所定の位置に振動検出器５
６を設けてもよい。
る振動ピックアップ５１，５２を、加工用ローラ１５の
ラジアル方向の所定の位置に設けた。しかしながら、振
動解析によって回転中の加工用ローラ１５の回転ぶれが
把握できるのであれば、図２に二点鎖線で示すように加
工用ローラ１５の軸線方向の所定の位置に振動検出器５
６を設けてもよい。
【００４０】・ 上記実施の形態では、他方の軸受ユニ
ット２６側に振動ピックアップ５２を設けたが、図２に
二点鎖線で示すように端面板４４のラジアル方向の所定
の位置に接触式の振動ピックアップ５７を設けるように
してもよい。
ット２６側に振動ピックアップ５２を設けたが、図２に
二点鎖線で示すように端面板４４のラジアル方向の所定
の位置に接触式の振動ピックアップ５７を設けるように
してもよい。
【００４１】・ 上記実施の形態では、振動検出器であ
る振動ピックアップ５１、５２を加工用ローラ１５に２
つ設けたが、それぞれ１つであってもよいし、加工用ロ
ーラ１５だけでなく、加工用ローラ１６、１７に設ける
ようにしてもよい。
る振動ピックアップ５１、５２を加工用ローラ１５に２
つ設けたが、それぞれ１つであってもよいし、加工用ロ
ーラ１５だけでなく、加工用ローラ１６、１７に設ける
ようにしてもよい。
【００４２】次に、上記実施形態及び別例から把握でき
る請求項に記載した発明以外の技術的思想について、そ
れらの効果とともに以下に記載する。 （１） 複数の加工用ローラをその両端にて軸受ユニッ
トを介して支持フレームに回転可能に支持し、それらの
加工用ローラ間に巻回したワイヤに対しワークを接触さ
せて、このワークに加工を施すようにしたワイヤソーの
管理方法において、加工用ローラの回転中に発生する前
記軸受ユニットの振動から、加工用ローラの回転ぶれを
測定し、この測定結果と設定値とを比較してワイヤソー
の状態を判別するワイヤソーの状態判別方法。
る請求項に記載した発明以外の技術的思想について、そ
れらの効果とともに以下に記載する。 （１） 複数の加工用ローラをその両端にて軸受ユニッ
トを介して支持フレームに回転可能に支持し、それらの
加工用ローラ間に巻回したワイヤに対しワークを接触さ
せて、このワークに加工を施すようにしたワイヤソーの
管理方法において、加工用ローラの回転中に発生する前
記軸受ユニットの振動から、加工用ローラの回転ぶれを
測定し、この測定結果と設定値とを比較してワイヤソー
の状態を判別するワイヤソーの状態判別方法。
【００４３】従って、容易にワイヤソーの磨耗状態や組
み付け状態を把握できるので、ほとんど常によりよい状
態でワイヤソーを運転することができる。
み付け状態を把握できるので、ほとんど常によりよい状
態でワイヤソーを運転することができる。
【図１】 実施の形態のワイヤソーを示す要部側断面
図。
図。
【図２】 ワイヤソーの要部を拡大して示す断面図。
１４…支持フレーム、１５，１６，１７…加工用ロー
ラ、１８…ワイヤ、２３…ワーク、２５，２６…軸受ユ
ニット、２９ａ…固定部である外輪、３０，３２…シャ
フト、４０…固定部である端面板、５１，５２…振動検
出器として振動ピックアップ。
ラ、１８…ワイヤ、２３…ワーク、２５，２６…軸受ユ
ニット、２９ａ…固定部である外輪、３０，３２…シャ
フト、４０…固定部である端面板、５１，５２…振動検
出器として振動ピックアップ。
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C058 AA05 AA07 AC02 BA07 CA04 CA05 CB01 DA03 3C069 AA01 BA06 BB04 CA03 CB03 DA00 DA06 EA02
Claims (8)
- 【請求項１】 複数の加工用ローラをその両端にて軸受
ユニットを介して支持フレームに回転可能に支持し、そ
れらの加工用ローラ間に巻回したワイヤに対しワークを
接触させて、このワークに加工を施すようにしたワイヤ
ソーにおいて、 加工用ローラの回転時に発生する加工用ローラの振動を
計測するための振動検出器を設けたことを特徴とするワ
イヤソー。 - 【請求項２】 前記振動検出器が、前記加工用ローラの
ラジアル方向の所定の位置に設けられている請求項１に
記載のワイヤソー。 - 【請求項３】 前記振動検出器が、加工用ローラととも
に回転するシャフトの近傍に設けられている請求項１又
は請求項２に記載のワイヤソー。 - 【請求項４】 前記振動検出器が、加工用ローラの回転
時に回転しない固定部に接触して設けられている請求項
１又は請求項２に記載のワイヤソー。 - 【請求項５】 前記振動検出器が、ワイヤ走行方向にお
けるワークの両側に位置する加工用ローラの少なくとも
一方に設けられている請求項１〜請求項４の何れかに記
載のワイヤソー。 - 【請求項６】 複数の加工用ローラをその両端にて軸受
ユニットを介して支持フレームに回転可能に支持し、そ
れらの加工用ローラ間に巻回したワイヤに対しワークを
接触させて、このワークに加工を施すようにしたワイヤ
ソーにおいて、 加工用ローラの回転中に発生する前記軸受ユニットの振
動から、加工用ローラの回転ぶれを測定するようにした
加工用ローラの振動測定方法。 - 【請求項７】 前記振動の周波数に基づいて前記回転ぶ
れを測定するようにした請求項６に記載の加工用ローラ
の振動測定方法。 - 【請求項８】 前記周波数の低周波領域に基づいて前記
回転ぶれを測定するようにした請求項７に記載の加工用
ローラの振動測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000048066A JP2001232548A (ja) | 2000-02-24 | 2000-02-24 | ワイヤソー及びその加工用ローラの振動測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000048066A JP2001232548A (ja) | 2000-02-24 | 2000-02-24 | ワイヤソー及びその加工用ローラの振動測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001232548A true JP2001232548A (ja) | 2001-08-28 |
Family
ID=18570207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000048066A Pending JP2001232548A (ja) | 2000-02-24 | 2000-02-24 | ワイヤソー及びその加工用ローラの振動測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001232548A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101607422A (zh) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
| JP2010260130A (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Murata Mfg Co Ltd | ワイヤ鋸装置およびワイヤ鋸装置でワークを切削する方法 |
| CN102039447A (zh) * | 2009-10-13 | 2011-05-04 | 小松Ntc株式会社 | 线材线轴支撑装置以及线状锯的线材送出卷绕装置 |
| WO2014034841A1 (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-06 | 日立金属株式会社 | 高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法 |
| JP2015027728A (ja) * | 2013-07-17 | 2015-02-12 | アプライド マテリアルズ スウィッツァーランド エス アー エール エル | ワイヤソーデバイスおよびその製造方法 |
| CN118268637A (zh) * | 2024-04-09 | 2024-07-02 | 广西安德丰新能源有限公司 | 电池极片分切设备 |
-
2000
- 2000-02-24 JP JP2000048066A patent/JP2001232548A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101607422A (zh) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
| CN101607422B (zh) * | 2008-06-20 | 2014-12-31 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
| JP2010260130A (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Murata Mfg Co Ltd | ワイヤ鋸装置およびワイヤ鋸装置でワークを切削する方法 |
| CN102039447A (zh) * | 2009-10-13 | 2011-05-04 | 小松Ntc株式会社 | 线材线轴支撑装置以及线状锯的线材送出卷绕装置 |
| WO2014034841A1 (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-06 | 日立金属株式会社 | 高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法 |
| CN104603916A (zh) * | 2012-09-03 | 2015-05-06 | 日立金属株式会社 | 利用多线切割机对高硬度材料进行切断的切断方法 |
| US9597819B2 (en) | 2012-09-03 | 2017-03-21 | Hitachi Metals, Ltd. | Method for cutting high-hardness material by multi-wire saw |
| JP2015027728A (ja) * | 2013-07-17 | 2015-02-12 | アプライド マテリアルズ スウィッツァーランド エス アー エール エル | ワイヤソーデバイスおよびその製造方法 |
| CN118268637A (zh) * | 2024-04-09 | 2024-07-02 | 广西安德丰新能源有限公司 | 电池极片分切设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2913913B2 (ja) | 転がり軸受の接触角を測定する方法と装置 | |
| CN101435733B (zh) | 激光平衡调整装置 | |
| KR20090129361A (ko) | 타이어 시험기 및 타이어 시험 방법 | |
| JPH0510835A (ja) | 転がり軸受の予圧を測定する方法と装置 | |
| US4417147A (en) | Method and apparatus for measuring runout in a cylindrical object | |
| US4286467A (en) | Method of selecting rollers for high-speed journal bearings | |
| CN115342973B (zh) | 一种动平衡测试实验系统 | |
| JP3793888B2 (ja) | 玉軸受の検査方法 | |
| CN109465679A (zh) | 一种轨道交通用高精度轴承生产工艺 | |
| JP2001232548A (ja) | ワイヤソー及びその加工用ローラの振動測定方法 | |
| US5618993A (en) | Ultrasonic detection apparatus and method for detecting acoustic emission | |
| US6905393B2 (en) | Method for simultaneous machining and measuring parameters of a surface being subjected to machining | |
| JPH09174383A (ja) | 回転工具の異常検出方法および装置 | |
| JP2007190638A (ja) | 内面研削盤 | |
| JP2011046522A (ja) | エレベータ巻上機のシーブ溝の摩耗測定装置 | |
| JP2004061151A (ja) | 軸受装置の接触角測定方法及び装置 | |
| JPS60213477A (ja) | 研削盤におけるびびり発生防止装置 | |
| RU2036453C1 (ru) | Способ безразборного контроля состояния элементов радиальных подшипников качения | |
| RU2826840C1 (ru) | Оптоэлектронное устройство для измерения крутящего момента, осевой силы и скорости вращения инструмента | |
| JPH10239102A (ja) | エンコーダ付きスピンドル装置 | |
| JPH0788746A (ja) | 歯車加工機械における切削異常検出と非常戻し方法 | |
| JP4129623B2 (ja) | 評価装置 | |
| JP2007322280A (ja) | 車輪用軸受装置の検査装置および検査方法 | |
| JPH042467A (ja) | 研削盤におけるワークの回転数検出装置および研削盤 | |
| JP2004279125A (ja) | 軸受ユニットの予圧測定機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050328 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20061106 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20061114 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070313 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |