JP2015027728A - ワイヤソーデバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 16
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 88
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims abstract description 53
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 claims abstract description 42
- 239000011707 mineral Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000012764 mineral filler Substances 0.000 claims description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 claims description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 36
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 8
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- ZPDRQAVGXHVGTB-UHFFFAOYSA-N gallium;gadolinium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Gd+3] ZPDRQAVGXHVGTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0038—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of frames; of tables
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- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
100 ワイヤソーデバイス
102 開口
103 回転軸
110 フレーム本体
120 温度制御シールド
130 軸受ボックススリーブ
220−1、220−2 温度制御シールド
250 温度センサ
252 制御装置
253 弁
300 インゴット供給システム
305 フレーム
315、352 アクチュエータアセンブリ
317 インゴット
318 鋸切断領域
319 ワイヤの層
321、322 ワイヤガイドシリンダ
323 ワイヤ
324、325 ワイヤ
326 供給スプール
327 巻取りスプール
331 スライス
332 鋸切断ギャップ
Claims (15)
- フレーム本体、および1組のワイヤガイドシリンダを受け取るように構成された少なくとも4つの開口を有する切断ヘッドと、
少なくとも4つの軸受ボックススリーブと、
1つまたは複数の温度制御シールドを有する温度制御シールドアレンジメントと
を備え、
前記フレーム本体が、ミネラルキャスティングから形成され、前記少なくとも4つの軸受ボックススリーブおよび前記1つまたは複数の温度制御シールドと組み合わされ、
前記少なくとも4つの軸受ボックススリーブのうちの各々の1つが、前記少なくとも4つの開口のうちのそれぞれの1つに提供される、ワイヤソーデバイス。 - 前記少なくとも4つの軸受ボックススリーブが、鋼、鋳鉄、セラミック、および炭素繊維強化プラスチックからなる群から選択される材料から形成される、請求項1に記載のデバイス。
- 前記少なくとも4つの軸受ボックススリーブのうちの各々の1つが、前記少なくとも4つの開口のうちのそれぞれの1つに接着および/または圧入される、請求項1または2に記載のデバイス。
- 前記1つまたは複数の温度制御シールドが、1つまたは複数の熱シールド、特に冷却および/または加熱される1つまたは複数のプレートである、請求項1ないし3のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記1つまたは複数のプレートが、流体冷却、特に水冷される、請求項4に記載のデバイス。
- 前記1つまたは複数の温度制御シールドが、鋼、ステンレス鋼、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、プラスチック、およびセラミックからなる群から選択される材料から形成される、請求項1ないし5のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記1つまたは複数の温度制御シールドが、前記フレーム本体の内側部分をカバーする、または前記フレーム本体内に鋳造される請求項1ないし6のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記フレーム本体の温度を測定するための少なくとも1つの温度センサをさらに備え、前記少なくとも1つの温度センサが制御装置に接続され、前記制御装置が、前記1つまたは複数の温度制御シールドを制御して、特に前記少なくとも1つの温度センサと共に閉ループ制御を提供する、請求項1ないし7のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記制御装置が、前記流体の流量および/または温度を変えるように構成される、請求項5に直接または間接的に従属するときの請求項8に記載のデバイス。
- 構造本体を有するインゴット供給システムをさらに備え、前記インゴット供給システムの前記構造本体が、ミネラルキャスティング、鋼、または鋳鉄から形成される、請求項1ないし9のいずれか一項に記載のデバイス。
- 特に前記軸受ボックススリーブ領域内の前記フレーム本体の振動を監視するように構成された1つまたは複数の振動センサをさらに備える、請求項1ないし10のいずれか一項に記載のデバイス。
- プレート、流体パイプ、電気コネクタ、ワイヤハーネス管、空気導管、およびセンサからなる群から選択される少なくとも1つの要素が、前記フレーム本体内に鋳造される、請求項1ないし11のいずれか一項に記載のデバイス。
- 温度制御シールドアレンジメントを鋳型内に提供することと、
前記鋳型内で、少なくとも4つの開口を有する切断ヘッドのフレーム本体を鋳造することであって、前記鋳造材料が、ミネラルフィラーおよびバインダから構成される、鋳造することと、
それぞれの4つの開口内に少なくとも4つの軸受ボックススリーブを接着および/または圧入することとを含む、ワイヤソーデバイスを製造する方法。 - 前記フレーム本体を鋳造する前に、プレート、流体パイプ、電気コネクタ、およびセンサからなる群から選択される少なくとも1つの要素を前記鋳型内に提供することをさらに含む、請求項13に記載の方法。
- 前記軸受ボックススリーブによって支持されるように、ワイヤガイドシリンダ用の軸受ボックスおよびワイヤガイドシリンダを取り付けることをさらに含む、請求項13または14に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP13176898.8A EP2826582B1 (en) | 2013-07-17 | 2013-07-17 | Wire saw device and method of manufacturing thereof |
EP13176898.8 | 2013-07-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015027728A true JP2015027728A (ja) | 2015-02-12 |
JP6353301B2 JP6353301B2 (ja) | 2018-07-04 |
Family
ID=48795462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014142833A Active JP6353301B2 (ja) | 2013-07-17 | 2014-07-11 | ワイヤソーデバイスおよびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2826582B1 (ja) |
JP (1) | JP6353301B2 (ja) |
CN (2) | CN204221987U (ja) |
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CN204221987U (zh) | 2015-03-25 |
JP6353301B2 (ja) | 2018-07-04 |
EP2826582B1 (en) | 2016-04-06 |
EP2826582A1 (en) | 2015-01-21 |
CN104290205B (zh) | 2017-04-26 |
CN104290205A (zh) | 2015-01-21 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |