CN204221987U - 丝锯装置 - Google Patents

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纪尧姆·麦卡
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Abstract

描述一种丝锯装置。所述丝锯装置包括切割头、至少四个轴承箱套筒和温度控制防护罩布置，所述切割头具有框架主体和至少四个开口，所述至少四个开口经配置用于接收一组丝线导向器圆筒，所述温度控制防护罩布置具有一个或多个温度控制防护罩，其中框架主体由矿物铸件制造且与所述至少四个轴承箱套筒和所述一个或多个温度控制防护罩组合，其中所述至少四个轴承箱套筒中的每一个设置在所述至少四个开口中的各自一个中。本实用新型能够使用较薄的丝线和使用较好的晶片总厚度变化以较高的生产率切割较薄的晶片。

Description

丝锯装置
技术领域
本实用新型的实施例大致涉及用于从铸锭形成薄基板的设备。本实用新型也涉及丝锯装置和包括多个丝锯装置的系统。本实用新型尤其对从形成的晶态铸锭制造薄结晶硅太阳能电池基板有用。
背景技术
传统的丝锯装置一般包含多个丝线，所述多个丝线在单个方向中相对于待锯切的铸锭或铸件移动。丝锯装置一般用于电子工业中以锯切铸锭，所述铸锭包括铁氧体、石英和硅石，以获得材料薄片，诸如多晶硅或单晶硅，或甚至新的材料，诸如GaAs、InP、GGG或石英、合成蓝宝石、陶瓷材料。材料的高价使得丝线锯切相比于诸如金刚石圆盘锯切的其他技术更有吸引力。
丝锯用于从一件硬质材料（诸如硅）切割块或砖、薄片，例如，半导体晶片。在这种装置中，丝线从绕线管供给且由丝线导向器圆筒导向和拉紧。用于锯切的丝线一般提供有研磨剂材料。作为一种选择，研磨剂材料可提供为浆料。这种做法可在丝线接触待切割材料之前不久进行。由此，由用于切割材料的丝线将研磨剂运送至切割位置。作为另一选择，研磨剂可提供在具有涂层的丝线上，例如，正如金刚石丝线。举例来说，金刚石颗粒可提供在具有涂层的金属丝线上，其中金刚石颗粒嵌入丝线的涂层中。由此，研磨剂稳固地连接丝线。针对位置在锯切区域（在所述区域中切割铸锭或铸件）以外的丝线，丝线的更新以及丝线张力的控制发生在所谓的管理区域中。
丝线由丝线导向器导向和/或维持张力。这些丝线导向器一般覆盖有一层合成树脂且经机械加工具有凹槽，所述凹槽具有非常精确的几何形状和尺寸。丝线在丝线导向器周围缠绕且形成网或丝线网。在锯切工艺期间，丝线以相当大的速度移动。通常，待锯切的铸件（例如，连接至支撑梁或支撑固持件的铸锭）被推向网。锯切期间，待锯切的铸件移动穿过丝线网，其中这种移动的速度决定切割速度和/或有效切割区，所述有效切割区可在给定时间量内被锯切。
一般来说，存在使用较薄丝线的倾向，以减少片厚度，且由此减少浪费的材料。还存在使用金刚石丝线的期望。这些较薄的丝线和金刚石丝线一般更容易被损坏并且在高应变下丝线可能更容易断裂。进一步来说，存在增加切割速度用于改进丝锯产量的期望。移动铸件穿过网的最大速度以及给定时间量内最大有效切割区受到数个因素的限制，包括丝线速度、待锯切材料的供给速度、待锯切材料的硬度、干扰影响、期望的精确度等等。当速度增加时，丝线上的应变一般也增加。因此，上述丝线的避免损坏、过度磨损、故障或断裂的问题在较高的锯切速度下更为严重。
绝对重要的是，以一方式操作丝锯以避免或减少改变锯切质量、改变锯切宽度、丝线振荡或甚至丝线断裂。在最坏情况下，出现丝线的断裂，这种断裂可引起丝锯损坏且在许多情况下引起切割物（也就是，当前锯切的铸锭）的损失。然而，除了在操作期间的这种故障之外，机器的产量是拥有成本的关键。针对产量考虑的一个主要方面是切割中的质量，尤其对于待切割的较薄丝线和较薄晶片的持续期望。对于许多应用，晶片或片有着相对于铸锭的横截面或直径极其小的厚度。对于某些应用（诸如对于许多太阳能和半导体应用），不规则（甚至数个微米的不规则）足以使得所述片不能使用。
丝线锯切技术在形成光电类型基板的工艺中是有利的。光电(PV)或太阳能电池是将日光转换为直流(DC)电功率的装置。典型的PV电池包括p型硅晶片、基板或片材，尤其小于大约0.185mm厚，具有安置在p型基板顶端上的n型硅材料的薄层。一般来说，基于太阳能技术的硅基板遵循两个主要的策略以减少利用PV太阳能电池的太阳能电力成本。一个方法是提高单个接合装置（也就是，每单位面积的功率输出）的转换效率，而另一方法是降低与制造太阳能电池相关联的成本。由转换效率所带来的有效成本减少受到基本热动力和物理极限的限制，因此可能的增益量取决于基本的技术进步。制造可商业获得的太阳能电池的另一个策略在于减少形成太阳能电池所需要的制造成本。
为了满足这些挑战，一般需要满足以下太阳能电池处理要求：1)需要改进用于基板制造设备的拥有成本(CoO)（例如，高系统产量、高机器正常运行时间、便宜的机器、便宜的自耗成本），2)需要增加每工艺周期处理的区域（例如，减少每Wp的处理）和3)形成的层和膜堆叠形成工艺的质量需要得到好的控制且足够产生高效的太阳能电池。因此，针对太阳能电池应用，存在成本有效形成和制造薄的硅基板的需要。
鉴于上述内容，期望能够使用较薄的丝线和使用较好的晶片总厚度变化以较高的生产率切割较薄的晶片。本文描述的实施例的目的为提供这些期望中的至少一些或改进一个或多个（如果改进的丝锯装置没有提供所有这些方面）。
实用新型内容
鉴于以上内容，提供一种丝锯装置。本实用新型进一步的方面、优点和特征从从属权利要求、说明书和附图显而易见。
根据一个实施例，提供丝锯装置。所述丝锯装置包括切割头、至少四个轴承箱套筒和温度控制防护罩布置，所述切割头具有框架主体和至少四个开口，所述至少四个开口经配置用于接收一组丝线导向器圆筒，所述温度控制防护罩布置具有一个或多个温度控制防护罩，其中框架主体由矿物铸件制造且与所述至少四个轴承箱套筒和所述一个或多个温度控制防护罩组合，其中所述至少四个轴承箱套筒中的每一个设置在所述至少四个开口中的各自一个中。
根据本文描述的对理解实施例有用的示例，描述了制造丝锯装置的方法。所述制造丝锯装置的方法包括以下步骤：在模具中提供温度控制防护罩布置；在所述模具中铸造切割头具有的框架主体和至少四个开口，其中铸造材料由矿物填料和接合剂组成；以及在各自的四个开口中粘合和/或压合至少四个轴承箱套筒。
实施例也针对用于执行所公开方法的设备且包括用于执行每一描述的方法步骤的设备零件。这些方法步骤可由硬件部件、适当软件程序化的计算机、以上二者的任何组合或以任何其他方式执行。
附图说明
可参照实施例，以可详细理解本实用新型上述特征的方式，对上文简要概述的本实用新型作更具体的描述。附图涉及本实用新型的实施例且在以下描述：
图1A示出根据本文描述的实施例的且在矿物铸造框架主体中具有温度控制防护罩和轴承箱套筒的丝锯装置的横截面示意图；
图1B示出根据本文描述的实施例的丝锯装置的横截面示意图，其中示出了穿过包括网的区域的横截面；
图2A和图2B示出根据本文描述的实施例的且在矿物铸造框架主体中具有温度控制防护罩和轴承箱套筒的另一丝锯装置的两个透视图；
图3示出根据本文描述的实施例的且具有铸锭供给系统的丝锯装置的横截面示意图；
图4示出切割铸锭（也就是，工件）的示意图；
图5示出根据本文描述的实施例的且在矿物铸造框架主体中具有铸锭供给系统、温度控制防护罩和轴承箱套筒的又一丝锯装置的透视图；
图6A和图6B示出根据本文描述的实施例的又一个丝锯装置的透视图，所述丝锯装置图示铸锭供给系统；
图7和图8示出丝线导向器圆筒的不同布置的示意图，所述丝线导向器圆筒的布置可在本文描述的实施例中实施；
图9图示根据本文描述的实施例的将铸铁框架主体和矿物铸造框架主体的阻尼性质进行比较的图表；
图10示出根据本文描述的实施例的且在矿物铸造框架主体中具有温度控制防护罩和轴承箱套筒的又一个丝锯装置的透视图；和
图11示出流程图，所述流程图图示制造丝锯装置的实施例。
具体实施方式
现在将详细参阅本实用新型的各种实施例，各种实施例中的一个或多个示例图示在图中。在对附图的以下描述中，相同标号表示相同部件。一般来说，仅描述关于各个实施例的差异。以解释本实用新型的方式提供每一示例，且每一示例不意味着对本实用新型的限制。进一步来说，图示或描述为一个实施例的部分的特征可用于其他实施例上或连同其他实施例一起使用以产生进一步的实施例。预期说明书包括这种修改和变化。
如本文描述地，本文所理解的丝锯装置可为截断器、矩形波形成器或晶片切割丝锯。然而，通常晶片切割丝锯由于对以高产量获得期望的产出率所需要的精确度而具有最多的挑战。
在以下描述中，“铸锭供给系统”或仅“铸锭系统”可理解为控制待锯切铸件（例如，铸锭）的位置的系统。具体来说，这可由铸锭供给系统的控制器来完成。
一般来说，在本案中锯切工艺对应于切割工艺。因此，动词“锯切”连同所有适当的语法动词变化用作具有与动词“切割”连同所有适当的语法动词变化相同的含义。
在本案中，术语“运动学机构结构”定义为至少两个元件的布置，通常连接至少两个主体，其中所述至少两个元件彼此连接，使得所述至少两个元件中的至少一个可相对于所述布置的至少两个元件中的另一个元件或其他多个元件移动，例如，以围绕连接点旋转和/或沿着轴平移的方式。
在本案中，术语“平行运动学机构结构”定义为“运动学机构结构”，其中通常至少两个主体中的至少一个连接至两个或更多个不同位置处的“平行运动学机构结构”。由此，平行运动学机构结构的一个元件的移动通常转化为运动学机构结构的至少一部分（例如，运动学机构结构的另一元件）的移动。
一般来说，但不限于本文描述的任何具体实施例，术语“切割平面”包括切割方向。通常，切割平面的定向在整个切割工艺中保持恒定。通常，切割平面的定向对应于丝锯的丝线的定向。在本案中，术语“切割方向”定义为在切割工艺期间切割前进的方向。通常，切割方向为垂直方向。由此，当提及“切割平面”或“切割方向”时，术语被简化，其含意等同于当硬质材料经推动穿过丝线或丝线网用于切割时丝线网中的丝线通常弯曲。然而，尽管有可能的简化，本领域技术人员应该知道这点且能够清楚理解这类术语。
进一步来说，在本案中，术语“工作区域”定义为丝锯的丝线跨过的区域，通常丝线网也被称为丝线层。通常，工作区域是在切割期间待锯切的单个铸件（通常为铸锭）与丝锯的丝线相互作用的区域。
如本文所使用地，术语“布置”视作一种设备，它具有具体的结构技术特征。
根据本文描述的典型实施例，提供具有切割头的丝锯装置。所述切割头具有框架主体，也就是由矿物铸件制造的结构框架。轴承箱套筒和温度控制防护罩（例如，温度控制的热防护罩）集成在矿物铸件制造的框架主体中。
图1A和图1B示出两个不同横截面中的丝锯装置100的部分作为示意图。提供丝锯装置的切割头的框架主体110。图1A的横截面视图为示出具有两个开口102的框架主体的一部分。为旋转轴103设置的开口沿着轴103延伸地设置用于丝线导向器圆筒。在框架主体中再设置至少两个开口（图1A的横截面中未示出）用于在丝线导向器圆筒的其他轴向位置处的支撑。因此，框架主体110具有至少四个开口，所述至少四个开口经配置用于接收一组丝线导向器圆筒。图1A中示出两个轴承箱套筒130。对应于所述开口，进一步提供轴承箱套筒以对应于丝线导向器圆筒的其他轴向位置。因此，根据本文描述的实施例可提供至少四个轴承箱套筒。根据一些实施例，所述至少四个轴承箱套筒可在至少四个开口中的各自一个中粘合和/或压合。轴承箱套筒具有环状形式且可被提供用于轴承箱的高精确度安装。与矿物铸造框架主体一起，可提供轴承箱套筒以关于丝线导向器圆筒的同心度、平行度和/或垂直度获得高精确度。
图1B示出与图1A相比的不同轴向位置处的相对应的横截面且示出两个丝线导向器圆筒321、322。如图1A所示的框架主体使用虚线在图1B中示出，仅用于说明框架主体在图1B的横截面中可具有不同形状。丝线从丝线导向器圆筒321、322上的第一绕线管9缠绕至第二绕线管9。由此，形成丝线网319。丝线网通常包括实质上彼此平行设置的多个丝线，其中丝线在丝线导向器圆筒321、322的凹槽中被引导。绕线管9和丝线网之间，通常是绕线管和切割头之间，通常设置丝线管理单元。铸锭或另一工件317，例如，硅铸锭，经推动穿过丝线网，如箭头11所指示的，从而切割工件，例如，切割成薄晶片。
如图1A所示并根据本文描述的实施例，设置具有一个或多个温度控制防护罩120的温度控制防护罩布置。所述温度控制防护罩可覆盖框架主体的内部部分或可铸造进框架主体中。如图1A中的虚线125所指示的，根据一些可与本文描述的其他实施例组合的实施例，温度控制防护罩布置可包括一个或多个控制防护罩120、分段温度控制防护罩或超过一个的分段温度控制防护罩。虚线125所指示的分段（例如）以一方式提供，在所述方式中轴103中的一个的上方的部分或轴103中的一个的下方的部分可独立地和/或与其他部分不同地加热或冷却。因此，可补偿或减少潜在发生的温度非均匀性。取决于典型的非均匀性，所述典型的非均匀性可取决于切割头的具体设计和/或应用进行考虑，可提供不同形状和数量的温度控制防护罩和/或不同形状的温度控制防护罩的分段。
根据本文描述的实施例，框架主体由矿物铸件制造。进一步来说，矿物铸造框架主体与至少四个轴承箱套筒和一个或多个温度控制防护罩组合。因此，可提供至少矿物铸造框架主体、一个或多个温度控制防护罩和轴承箱套筒的混合结构作为切割头。由此，例如，所述至少四个轴承箱套筒由从钢、铸铁、陶瓷和碳纤维增强塑料组成的群组中选择的材料制造。
根据可与本文描述的其他实施例组合的进一步的实施例，所述一个或多个温度控制防护罩可为一个或多个热防护罩，特别地为一个或多个板，所述一个或多个板可经冷却和加热。举例来说，所述一个或多个板可为流体冷却的，具体为水冷却的。根据一些实施方式，所述一个或多个温度控制防护罩可由从钢、不锈钢、铜、铜合金、铝、铝合金、塑料和陶瓷组成的群组中选择的材料制造。
如上所述，轴承箱孔可由钢或本文描述的其他材料制造且可粘合至矿物铸件中。对于矿物铸造框架主体，也就是，其中形成混合结构，这可以关于同心度、平行度和/或垂直度有高精确度地进行。根据进一步的实施方式，一个或多个热防护罩可由水冷却的/加热的板（例如，不锈钢板）制造，所述板覆盖处理腔室（切割头）的内部或可铸造进框架主体中。根据一些附加的或替代的修改，至少导管可铸造在框架主体中。
为切割头的框架主体提供矿物铸件允许增强的铸造柔性（例如，更复杂的形状、内部管道和管路）。可以实现冷却结构/装置，可设置所述冷却结构/装置接近于热产生部件，其中（例如）可稳定机器结构中的温度。相比于规则（金属）铸造材料，根据本文描述的示例性实施例的矿物铸造生产及所得到的丝锯装置还允许更高的精确度和更严格的容差。举例来说，可实现轴承箱孔同心度的更高的定位精确度。然而进一步来说，作为矿物铸件的良好阻尼性质的附加或替代的益处，可减少丝线网引发的高频振动。举例来说，这可几乎消除接近于机器的噪声水平。
图2A和图2B为具有框架主体110的切割头的透视图。由此，图2A被示出没有丝线导向器圆筒321、322和一些相对应的部件，而图2B被示出具有丝线导向器圆筒321、322和一些相对应的部件。进一步来说，示出不同视角从而更容易解释本文描述的一些实施例的细节和特征。框架主体110可具有前部分112和后部分111。开口102设置在前部分和后部分中。轴承箱套筒130设置在开口102中，通常以粘合和/或压合方式。后部分111和前部分112（例如）连接至底座部分113且由连接部分114连接。前部分、后部分、底座部分和连接部分由矿物铸件铸造，也就是，整体地形成。连接部分114例如，在顶部留下开口，从而朝向切割头内部设置的处理区域供给铸锭。
根据可与本文描述的其他实施例组合的不同的实施例，框架主体可具有多个开口291和切口292。可设置所述切口用于更容易地进入处理区域，或类似于连接部分114之间的顶部处的开口用于插入丝锯装置的其他部件。可设置开口291用于将切割头连接至丝锯装置的其他部件，例如，以螺钉、螺杆或其他方式，且可用于将各种部件连接至切割头。举例来说，可连接如以下更详细描述的传感器，可连接浆料传送系统的部件（如果没有在铸造中集成）和/或可连接铸锭供给系统，同样如以下更详细描述地。
根据可与本文描述的其他实施例组合的一些实施例，切割头或框架主体110可配备有温度传感器。温度传感器可（例如）分别设置在切割头或框架主体110的各个位置处。温度传感器可测量各个位置处的温度且可经由控制器连接至温度控制防护罩。在图2A中，示出温度控制防护罩120和220-1。在图2B中，也就是，以不同视角，示出了温度控制防护罩220-1和220-2。因此，一个或多个温度传感器可适配地控制并稳定框架主体的温度。结构框架的总体温度变化可得到补偿或被减少。举例来说，通过改变往返于温度控制防护罩（例如，热防护罩）的水的流动和温度进行温度控制和稳定。
根据可与本文描述的其他实施例组合的进一步的实施例，进一步提供的传感器可为振动传感器。即使矿物铸件的阻尼性质为一些实施例的一个示例性益处，监测系统振动仍可有利地用于监测系统情况并（例如）控制丝锯装置的操作。
图2B示出切割头中设置的丝线导向器圆筒321和322。在轴承箱套筒130内部，设置轴承箱230，所述轴承箱230支撑丝线导向器圆筒，使得丝线导向器圆筒可围绕所述丝线导向器圆筒的轴旋转。驱动装置221和222旋转丝线导向器圆筒。
根据可与本文描述的其他实施例组合的不同实施例，温度控制防护罩120、220-1和220-2可设置在框架主体110内部或可铸造进框架主体110中。
根据本文描述的可与本文描述的其他实施例组合的实施例，至少一个温度传感器用于测量框架主体的温度，其中所述至少一个温度传感器连接至控制器，其中所述控制器控制一个或多个温度控制防护罩，从而特别地与所述至少一个温度传感器一起提供封闭回路控制。在图2A中示出温度传感器250。通常，这些传感器可铸造进框架主体中，如虚线所指示地。可替代地，一个或多个传感器可设置在框架主体的表面处。
在图2A中，示例性地，一个传感器250连接至控制器252。将理解，所有的温度传感器可连接至控制器，其中一些或所有传感器也可连接至共用控制器，例如，为了更容易使数个温度传感器的温度测量结果相关。
作为封闭回路控制的一个示例，控制器252控制图2A中的阀253，使得控制冷却流体流至温度控制防护罩220-1。因此，温度传感器250、控制器252、阀253和至少一个温度控制防护罩形成封闭回路。根据进一步的实施例，控制器可控制一个或多个阀。根据一些可与本文描述的其他实施例组合的实施例，控制器可经配置以改变流体的流动和/或温度。
鉴于上述内容，作为对理解本文描述的实施例有用的示例进行描述的操作丝锯装置的方法可包括以下步骤：测量矿物铸造框架主体的区域的温度，尤其是根据本文描述的实施例的丝锯装置的矿物铸造框架主体的区域的温度；以及根据测量的温度改变设置在切割头的框架主体中或切割头的框架主体处的温度控制防护罩中温度控制流体的流动和/或温度。进一步可能的是，根据一个可选的修改，测量振动且根据测量的振动改变至少一个操作条件。
在图3中示出包括铸锭供给系统300的丝锯装置100的实施例的示意性侧视图，所述铸锭供给系统300包括直线运动学机构结构。通常，丝锯装置包括具有丝线导向器圆筒321、322的丝线导向器，所述丝线导向器圆筒321、322用于在丝线移动方向上运输和引导丝线324、325。丝线323可在丝线导向器上缠绕，所述丝线导向器在本文中也被称为导向器圆筒。正常情况下，导向器圆筒以等螺距形成凹槽，从而形成平行丝线的水平网络或丝线网，本文中也被称为丝线层319。驱动装置旋转丝线导向器，所述驱动装置引起整个丝线网以（例如）5m/s或更高的（例如，10至30m/s）相对高速度移动。
如果有需要，数个喷嘴（例如，高流动速率喷嘴）可供给移动的丝线浆料。如本文所理解的浆料是指通常具有悬浮磨损颗粒（例如，碳化硅颗粒）的液体载体。如所提及地，在切割动作期间，可推挤或推动铸锭穿过丝线网。可替代地，在丝线网经推动穿过铸锭的同时，铸锭可为固定的。丝线供给绕线管通常提供所需要的新丝线且丝线卷带绕线管通常储存使用的丝线。
一般来说，如本文描述的丝锯装置的实施例包括铸锭供给系统的框架305，所述框架可连接至（例如）图1A至图2B的框架主体110，在所述框架主体110上安装旋转轴彼此平行安置的丝线导向器圆筒321、322。进一步来说，通常致动器组件315、352用于推动铸锭317抵靠丝线323的层319。
如图3所示地，从供应绕线管326接收丝线323并随后绕着丝线导向器（例如，丝线导向器圆筒321、322）缠绕以在锯切区域中形成平行丝线的至少一个层319，也就是，丝线网。丝线323随后返回到适当的接收装置，诸如卷带绕线管327。通常，至少一个导向器圆筒耦合至驱动马达，所述驱动马达适配于在单个方向上或特别地在往复运动中移动安置在锯切区域318中的一个或多个丝线323。可由一个或多个轴承支撑丝线导向器。丝线可耦合至丝线张紧系统（未图示），所述丝线张紧系统适配于通过相对于一个导向器圆筒移动另一个导向器圆筒来向一个或多个丝线323提供期望的张力。通常，丝锯控制系统可提供对丝线张力的控制。
在图3所示的实施例中，丝锯装置100内每次仅定位并锯切单个铸锭317。然而，本文描述的单个丝锯装置的实施例可形成丝锯系统的部分，所述丝锯系统包括多个丝锯装置。通常，在一个或多个工作区域中同时切割一个、两个、三个或四个铸锭。
丝线路径一圈圈地在工作区域对一个或多个铸锭进行切片并由导向器圆筒运输至进一步的工作区域或运输至相同工作区域。通常，丝线网在上部工作区域对一个或多个铸锭进行切片，随后运输至下部工作区域并在下部工作区域对一个或多个铸锭进行切片。图8中示出具有两个工作区域的典型实施例。此后，丝线被正常地运输回上部工作区域。在锯切期间改变移动方向的情况下，并非被运输至下一个工作区域，丝线可能被运输回丝线到达的工作区域。
应理解，丝线网可包含超过一个的工作区域，所述工作区域被定义为其中执行锯切工艺的区域。因此，根据本文描述的典型实施例，丝线网可具有多个工作区域，所述多个工作区域由一个或数个丝线形成。举例来说，根据本文描述的典型实施例，丝锯可包括两个水平定向的丝线网，例如，包括两个或四个水平定向的工作区域。在此情况下，通过在通常垂直的方向上推动铸锭穿过界定工作区域的丝线网来执行锯切（参见图4）。
图4示出铸锭317的透视图，所述铸锭317由于供给系统300的移动而部分地被锯切，所述供给系统300的移动推动铸锭317抵靠安置于丝锯装置100的锯切区域中的一个或多个丝线323的层319。通常，丝线323的层319的邻近丝线之间的节距由丝线导向器圆筒的周围上雕刻的凹槽界定，所述节距决定锯切片331的厚度。后者彼此由狭槽或锯切缝隙332分离。通常，丝线323可包括具有0.08到0.2mm之间直径的弹簧钢丝以便将硬质材料或更具体来说诸如硅、陶瓷、第III-V和II-VI族元素的化合物、钆镓石榴石(GGG)、蓝宝石等成分的铸锭锯切成期望地大约300μm或更小的片，或通常针对下一代基板为180μm或更小厚度。通常，使用研磨剂，所述研磨剂一般为产品，诸如金刚石、碳化硅、矾土或用于改进铸锭锯切工艺的其他有用的材料。研磨剂可固定至丝线323或处于自由形式，所述自由形式为在诸如浆料的液体（例如，PEG）中悬浮，所述液体充当用于所述研磨颗粒的运输机。
可以在上部工作区域和下部工作区域同时进行锯切。丝锯可进一步包括两个垂直布置的网（未图示）。根据一些实施例，垂直布置的网用于在水平定向的工作区域之间运输丝线。在工作区域之间进行运输期间，丝线可冷却。根据其他实施例，垂直地定向工作区域。
根据本文描述的实施例，丝锯用于以高速度切割硬质材料，诸如半导体材料，例如，硅、石英等等。丝线速度，也就是，丝线移动穿过丝锯的速度，可为（例如）10m/s或甚至更高。通常，丝线速度可在10至15m/s范围内。然而，更高的丝线速度，诸如20m/s、25m/s或30m/s也可为期望的。根据一些实施例，丝线的移动仅为单向的，也就是，总在向前方向中。根据其他实施例，移动可包括向后方向中的移动，具体来说，移动可为丝线的往返移动，在所述往返移动中丝线的移动方向重复更改。
为了以所期望的丝线速度展开丝线，具有未使用的丝线的供给绕线管326以高达每分钟数千个旋转的旋转速度旋转。举例来说，可提供1000至2500rpm用于展开丝线。
在可与本文描述的其他实施例组合的实施例中，丝线可具有不同直径，具体取决于装置类型。在关于矩形波形成器的实施例中，丝线直径可从大约250μm至大约450μm，例如，300μm至350μm。在关于晶片切割丝锯的实施例中，丝线直径可从80μm至180μm，更典型地从100μm至140μm。
根据可与本文描述的其他实施例组合的又一个实施例，为切割所使用的丝线为金刚石丝线。通过使用金刚石丝线，相比于传统的具有浆料作为研磨剂的钢丝线，产量可增加2倍或甚至更大的倍数。待锯切的材料相对于移动的丝线所移动的速度可称为材料供给速率。本文描述的实施例中的材料供给速率可在2μm/s至20μm/s范围中，通常对于晶片切割丝锯大约为6μm/s至10μm/s，分别从10μm/s至50μm/s，通常对于关于矩形波形成器的实施例为28μm/s至36μm/s。可替代地，本文描述的实施例中的材料供给速率对于晶片切割丝锯可为20μm/s之上，对于关于矩形波形成器的实施例分别在50μm/s之上。
正常情况下，在穿过整个丝锯之后，相比于锯切工艺之前丝线的初始直径，丝线在减少的直径处离开丝锯的操作区域。丝线中的磨损取决于工艺。具体来说，切割速率越高，产生的温度越高，丝线磨损越高。此外，丝线在铸锭内部在锯切期间发生磨损的位置（也就是，通常在晶片内部）加热。因此，在切割铸锭的同时，丝线加热。在铸锭外部，丝线通过与丝线的围绕物（诸如，浆料、空气和导向器圆筒或进一步的丝线导向器）交换热来冷却。因此，随着切割丝线的直径和由此切割丝线的机械性质在切割工艺期间应变于时间和温度，丝线作用于铸锭上的切割力和因此丝线的磨损性质在切割工艺期间发生变化，这导致铸锭不期望的非均匀切割表面。
图5示出丝锯装置100的一部分的透视图。提供框架结构110并将铸锭供给系统300安装至框架结构110。供给系统300可包括平行运动学机构结构，在三个臂343处具有第一端和第二端，以及两个或更多个致动器352。臂的第一端能可旋转地连接至支撑台312，例如，经由铰链接合，而臂的第二端可旋转地连接至致动器352，例如，经由铰链接合。根据未图示的实施例，平行运动学机构结构可包括四个臂，其中两个臂布置在支撑台的左侧，而另外两个臂布置在支撑台的右侧。
工件317经由安装板312安装至支撑台312。图5示出的一个臂安装在支撑台的左侧，且一个臂343（例如，图5中具有增加的宽度的臂）安装在支撑台的右侧。还有一个臂343安装在支撑台312的上部或顶部。
通常，致动器经配置实现沿着平移轴（通常为垂直轴）移动。典型地，致动器经由丝锯的铸锭供给系统300的框架305上设置的导轨361而被引导。导轨通常沿着切割方向的轴布置，具体在垂直方向上。进一步来说，致动器经配置使得每一个可独立移动。因此，通过移动致动器352，可例如通过安装板376移动臂343、支撑台312以及由此移动连接至支撑台的铸锭317。铸锭供给系统的移动的进一步细节将关于图6A进行描述。
在图5中且根据可与本文描述的其他实施例组合的本文描述的一些实施例，铸锭供给系统的框架305安装至切割头的框架主体110。可替代地，铸锭供给系统的框架305和框架主体可整体地形成。
根据可与本文描述的其他实施例组合的一些实施例，铸锭供给系统的框架305也可由矿物铸件制造。由此，矿物铸件关于精确度、阻尼性质和/或柔性制造的益处也可提供给铸锭供给系统。这与其中框架305和框架主体110整体地形成或安装在一起的选择无关。
因此，矿物铸件可用于丝锯的一个或多个结构部分。铸锭供给系统（有时称为上部切割头）可附加地包括矿物铸件制造的结构框架305。然而，根据一些实施例，铸锭供给系统框架305可由铸铁制造。尤其对于矿物铸件制造的铸锭供给系统框架，某种程度上也针对铸铁框架，铸锭供给系统的框架可设置有集成的水冷却/加热电路用于温度控制和稳定。框架305和/或电路和管道可与切割头结构框架耦合。
结构部分的温度控制和稳定允许切割期间在具有或多或少的热产生的各种工艺步骤避免热膨胀。此外，温度稳定的结构在切割前不需要预热时间。因此，丝锯装置的非生产时间可减小至最少。
根据各种实施例，铸锭供给系统可包括具有或不具有摇动台的直线铸锭供给（参见，例如，图3）或具有平行运动学机构的供给系统（参见，例如，图5和图6）。
图6A示出包括铸锭供给系统300的进一步实施例的丝锯装置100的透视图。如图6A示例性示出地，供给系统300包括平行运动学机构结构350，在三个臂343处具有第一端和第二端，以及两个或更多个致动器352。如图6A所示出地，臂的第一端可旋转地连接至支撑台312，例如，经由铰链接合，而臂的第二端则可旋转地连接至致动器352，例如，经由铰链接合。根据未图示的实施例，平行运动学机构结构可包括多达四个臂，其中两个臂布置在支撑台的左侧，而另外两个臂布置在支撑台的右侧。
通常，致动器经配置实现沿着平移轴（通常为垂直轴）移动。典型地，致动器经由丝锯铸锭供给系统的框架305上设置的导轨（参见图5中的361）被引导，其中导轨通常沿着切割方向的轴布置，具体在垂直方向上。致动器也可布置在另一方向上，例如，垂直于供给方向。进一步来说，致动器经配置使得每一个可独立移动。因此，通过移动致动器352，可例如通过安装板376移动臂343、支撑台312以及由此移动连接至支撑台的铸锭317。
举例来说，当所有三个致动器在相同方向上以相同速度移动时，在图6A的表示中铸锭被向下推动，具体朝向丝锯的丝线，通常沿着切割方向的轴。在至少一个致动器相比于其他致动器以不同速度和/或在不同方向上移动的情况下，可实现铸锭的旋转移动。因此，致动器彼此的相对运动和致动器与所述轨的相对运动可用于在切割平面中（例如，在图6A的z-x平面中）移动铸锭317和/或也提供铸锭317的倾斜，例如，具有相对于丝线323的层的角度。
此外，如图6A所示地，支撑台通常包括棱柱形部分，其中棱柱形部分的矩形表面形成底座部分，所述底座部分通常包括安装板376和位置与底座部分相对的尖部。通常，三个臂343中的一个可旋转地连接至棱柱形部分的尖部，其中其他两个臂可旋转地连接至棱柱形部分的底座部分，具体在底座部分的相对侧上，如图6A所图示地。通常，可旋转地连接至棱柱形部分的底座部分的两个臂中的一个相比于另一个臂具有更大的宽度。由此，由可旋转连接的旋转轴的方向界定所述宽度。因此，可实现运动学机构结构的较高硬度。
进一步来说，类似于本文描述的供给系统的其他实施例，如图6A所图示的供给系统的实施例包括传感器401、402、403和404，用于测量切割晶片期间作用于运动学机构结构上的力。通常，传感器（诸如图6A中所描绘的传感器401和402）的部分可设置在平行运动学机构结构的每一个臂343上。可替代地，传感器401、402、403和404经配置和布置使得可测量传送至臂343中的力，如F1、F2和F3示例性图示地。在如图6A所示的实施例中，其中可旋转地连接至棱柱形部分的底座部分的两个臂中的一个相比于另一个臂具有更大的宽度。由此，由可旋转连接的旋转轴的方向界定所述宽度。具有较大宽度的臂通常包括两个或更多个传感器。尽管未具体地在图6A中示出，传感器仍然可布置在运动学机构结构的其他位置上，所述传感器适合于测量晶片切割期间作用于运动学机构结构上的力的垂直和水平力分量。举例来说，力传感器可设置在支撑台312和/或安装板376和/或垂直滑板上。
图6B示出包括铸锭供给系统的丝锯装置的透视图，所述铸锭供给系统可在根据本文描述的实施例的丝锯装置中应用。如图6B示例性示出地，供给系统300包括直线运动学机构结构350、充当致动器用于经由运动学机构结构350形成直线运动的马达315和用于测量作用于运动学机构结构上的力的多个传感器401、402、403、404和405。通常，作用于运动学机构结构上的力通过切割期间将作用于铸锭317上的力传输至运动学机构结构中而产生。通过在支撑台312上通过临时支架（诸如，安装板376）安装铸锭，将铸锭耦合至运动学机构结构350。
如图6B所示出地，直线运动学机构结构350基于螺旋原理。具体来说，马达315经布置使得可驱动运动学机构结构的螺旋轴。如图6B所示例性示出地，螺旋轴啮合相对应的螺母，所述螺母连接至运动学机构结构的进一步元件，其中所述进一步元件经布置使得所述进一步元件可在直线方向上移动。通常，如图6B所描绘地，所述进一步元件配置为弯头元件。弯头元件连接至丝锯的框架，使得可实现通常沿着切割方向的轴的平移移动，典型地为垂直移动。通常，弯头元件和框架之间的连接通过使用滑动机构来实现。
一般来说，导轨可附着于丝锯的框架305以及附着于运动学机构结构的进一步元件（例如，弯头元件）的相对应滑动元件（未图示）。根据本文描述的实施例的任一个，丝锯和/或铸锭供给系统的框架由矿物铸件制造。导轨通常用于实现运动学机构结构沿着切割方向的轴的导向移动。通常，使用至少两个导轨和至少两个滑动元件，通常为四个滑动元件。如图6B所示例性地示出，通常导轨在切割方向上平行布置。典型地，螺旋轴和滑动元件设置有传感器401、402、403、404和405用于测量力，特别是作用于运动学机构结构上的力的力分量。通常，滑动元件上设置的传感器的部分经布置和配置用于测量切割期间作用于运动学机构结构上的力的水平力分量，所述水平力分量示例性地由F1和F2图示。相应地，通常至少一个传感器（诸如图6B中图示的传感器405）经布置和配置用于测量切割期间作用于运动学机构结构上的力的垂直力分量，所述垂直力分量示例性地由F3图示。根据如图6B所示的实施例，用于测量垂直力的传感器设置在螺旋轴上。尽管未具体地在图6B中示出，然而传感器仍可布置在运动学机构结构的其他位置上，所述传感器适合于测量切割期间作用于运动学机构结构上的力的垂直和水平力分量。举例来说，力传感器可设置在支撑台312和/或安装板376和/或导轨上。
根据不同的替换例，切割头可包括2个、3个或4个丝线导向器，从而适配于不同的铸锭尺寸（直径或正方形）。这点参考图7和图8可更容易地理解。图7图示具有三个丝线导向器圆筒321、322和821的实施例。丝线从绕线管9供给至绕线管9且由此产生丝线网319。鉴于丝线移动方向可为从一个绕线管至另一个绕线管或甚至往返的这两个方向中的任一个的事实，所述两个绕线管未关于所述绕线管的性质指示为具体的，所述性质将丝线提供至丝线网（也就是，切割区）或从丝线网接收丝线。如图7中可见的，相比于仅由两个丝线导向器圆筒321和322形成的丝线网，丝线网319下方设置的空间801被第三丝线导向器圆筒821扩大了。因此，可锯切较大的铸锭尺寸。
图8示出具有四个丝线导向器圆筒321、322、821和822的实施例。丝线从绕线管9供给至绕线管9且由此产生丝线网319。相比于仅由两个丝线导向器圆筒321和322形成的丝线网，且通常也相比于由三个丝线导向器圆筒形成的丝线网，上部丝线网319下方设置的空间801B被第三和第四丝线导向器圆筒821和822扩大了。因此，可锯切较大的铸锭尺寸。然而，进一步来说，在丝线导向器圆筒821和丝线导向器圆筒822之间设置进一步的丝线网819。由此，可提供进一步的工作区域。因此，铸锭或工件可在上部丝线网319和下部丝线网819处被锯切。
如上所述，矿物铸造框架主体提供丝锯装置的结构部分（尤其是切割头的框架主体）的一个积极效果为改进铸铁的阻尼性质。图9示出用于铸铁的第一图表901和用于矿物铸件的第二图表902，其中几个微米的振动振幅显示为函数时间，以说明框架主体的阻尼。这两个图表都显示相同振幅刻度和相同时间刻度。可见矿物铸件曲线902的阻尼比铸铁曲线901的阻尼引起振动振幅显著更快的减少。减少的振动水平带来切割的更好精确度，且因此带来丝锯装置的改进的产出率，因为（例如）由于减少的振动，被锯切晶片的容差可更容易实现。
根据本文描述的实施例，使用矿物铸造材料的一个或多个益处可提供如下：由于控制机器结构和丝线网的振动水平，可改进切割工艺。这可以通过使用矿物铸件的阻尼性质以减少机器结构部分（像框架主体和供给系统的框架）中的振动水平和/或使用振动监测来实现。举例来说，丝锯装置可包括机器框架中的振动传感器。图10示出框架主体110，在框架主体110中示出振动传感器1050。这种传感器可设置在框架主体110处或可铸造进框架主体110中。根据一些可与本文描述的其他实施例组合的实施例，可提供配置为监测框架主体的振动的一个或多个振动传感器。
图10示出进一步的元件，所述元件可包括在矿物铸造框架主体中。根据各种实施例，可包括这些元件中的一个或多个，所述各种实施例可与本文描述的其他实施例组合。举例来说，可设置各种空气导管1002。附加或替代地，用于线束的管1006可设置在框架主体中。线束可用于将传感器、阀（例如，用于浆料传送系统）或其他部件连接至控制器。然而，进一步来说，附加或替代地可设置水管104用于将水提供至温度控制防护罩。这些水管可具体将水引导至接近于轴承的区域，在所述区域可在丝锯装置操作期间产生进入热。根据一些可与本文描述的其他实施例组合的实施例，从板、流体管、电连接器、线束管、空气导管和传感器组成的群组中选择的至少一个元件被铸造进框架主体内。
因此，实施例可使用矿物铸件的增强铸造柔性（例如，更复杂的形状和内部管道和/或管路）。一些实施例接近于热量产生部件（例如，轴承）实现冷却结构和/或冷却装置并稳定机器结构中的温度。
然而，进一步来说，一些实施例可使用相比于规则（金属）铸造材料具有更高精确度和更严格容差的矿物铸造生产或通过所述矿物铸造生产制造。举例来说，可实现轴承箱孔同心度的更高的定位精确度。
然而，进一步来说，一些实施例可使用矿物铸件的良好阻尼性质，其中可减少丝线网引发的高频振动。同样地，接近于机器的噪声水平可几乎消除。
图11示出图示对理解本文描述的实施例有用的示例的流程图，其中所述示例描述了制造丝锯装置的方法。在步骤501，在模具中设置温度控制防护罩布置。在步骤502中铸造模具中的切割头具有的框架主体和至少四个开口，其中使用矿物填料和接合剂进行铸造。在步骤503中，在各自的四个开口中设置至少四个轴承箱套筒。根据不同的实施例，轴承箱套筒经粘合、压合或经粘合和压合。根据进一步可选的实施方式，从板、流体管、电连接器和传感器组成的群组中选择的至少一个元件可在铸造框架主体前布置在模具中。
本文描述的实施例涉及矿物铸件制造的丝锯装置的结构部分。具体来说，切割头的框架主体、铸锭供给系统的框架或切割头和铸锭供给系统（上部切割头）的整体部件的框架主体可由矿物铸件提供。通常，根据本文描述的实施例可由矿物铸件提供一个或多个结构框架。由此，例如，混合结构可与一个或多个温度控制防护罩和轴承箱套筒组合设置。
根据本文描述的实施例，丝锯装置包括具有矿物铸件制造的框架主体且具有轴承箱套筒的切割头和温度控制防护罩。根据不同实施方式，框架主体中可存在（例如）四个开口。由此，提供配置用于两个丝线导向器圆筒的实施例。可替代地，框架主体中可存在六个开口。由此，提供配置用于三个丝线导向器圆筒的实施例。然而，进一步来说，框架主体中可存在八个开口。由此，提供配置用于四个丝线导向器圆筒的实施例。根据本文描述的实施例，这种框架主体可配备有具有框架的铸锭供给系统。铸锭供给系统的框架和切割头的框架主体可为分离的，或所述框架和框架主体可为整体形成的。特别针对实施例，其中铸锭供给系统的框架为分离的，切割头实施方式的一个实施例可与如本文公开的铸锭供给系统的一个实施例组合。不同的铸锭供给系统（例如）关于图3、图5、图6A和图6B作更详细描述。由此，通过提供不同组合的选择，可提供基于共用部件制造不同丝锯装置的模块性。由此，除丝线导向器圆筒数量的改变之外或替代丝线导向器圆筒数量的改变，作为进一步的实施方式，也可提供具有不同丝线导向器圆筒长度的切割头和/或铸锭供给系统。
尽管上文针对本实用新型的实施例，然而仍然可设计本实用新型的其他及进一步实施例，而不脱离本实用新型的基本范围，且本实用新型的范围由随附的权利要求书决定。

Claims (15)

1.一种丝锯装置，包含： 
切割头，所述切割头具有框架主体和至少四个开口，所述至少四个开口经配置用于接收一组丝线导向器圆筒， 
至少四个轴承箱套筒，和 
温度控制防护罩布置，所述温度控制防护罩布置具有一个或多个温度控制防护罩， 
其中，所述框架主体由矿物铸件制造且与所述至少四个轴承箱套筒和所述一个或多个温度控制防护罩组合， 
其中，所述至少四个轴承箱套筒中的每一个设置在所述至少四个开口中的各自一个中。 
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少四个轴承箱套筒由从钢、铸铁、陶瓷和碳纤维增强塑料组成的群组中选择的材料制造。 
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少四个轴承箱套筒中的每一个被粘合和/或压合在所述至少四个开口中的各自一个中。 
4.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述至少四个轴承箱套筒中的每一个被粘合和/或压合在所述至少四个开口中的各自一个中。 
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述一个或多个温度控制防护罩为一个或多个热防护罩。 
6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述一个或多个温度控制防护罩为一个或多个板，所述板被冷却和/或加热。 
7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述一个或多个板为流体冷却的。 
8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述一个或多个温度控制防护罩由从钢、不锈钢、铜、铜合金、铝、铝合金、塑料和陶瓷组成的群组中选择的材料制造。 
9.如权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，所述一个或多个温度控制防护罩覆盖所述框架主体的内部部分或被铸造进所述框架主体中。 
10.如权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包含： 
至少一个温度传感器，用于测量所述框架主体的温度，其中所述至少一个温度传感器连接至控制器，其中所述控制器控制所述一个或多个温度控制防护罩。 
11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述控制器控制所述一个或多个温度控制防护罩以与所述至少一个温度传感器一起提供封闭回路控制。 
12.如权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包含： 
铸锭供给系统，所述铸锭供给系统具有结构主体，其中所述铸锭供给系统的所述结构主体由矿物铸件、钢或铸铁制造。 
13.如权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包含： 
一个或多个振动传感器，所述一个或多个振动传感器配置为监测所述框架主体的振动。 
14.如权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包含： 
一个或多个振动传感器，所述一个或多个振动传感器配置为监测所述轴承箱套筒区域中所述框架主体的振动。 
15.如权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，从板、流体管、电连接器、线束管、空气导管和传感器组成的群组中选择的至少一个元件被铸造进所述框架主体内。 
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109955398A (zh) * 2017-12-14 2019-07-02 爱思开矽得荣株式会社 锭块夹持装置和具有该装置的对锭块切片的线锯设备
CN111993614A (zh) * 2019-05-27 2020-11-27 硅电子股份公司 在多个切片操作期间借助于线锯从工件切下多个晶圆的方法以及单晶硅半导体晶圆

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3532231A1 (en) * 2016-10-26 2019-09-04 Meyer Burger (Switzerland) AG Wire saw

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02198759A (ja) * 1989-01-24 1990-08-07 Sumitomo Metal Ind Ltd ワイヤソーによる切断方法及びその装置
JPH0429343U (zh) * 1990-07-05 1992-03-09
SG60075A1 (en) * 1996-06-26 1999-02-22 Starrgrasmaschinen Ag Rigid machining centre
JP3658907B2 (ja) * 1997-01-13 2005-06-15 信越半導体株式会社 半導体スライス装置のワイヤ切断時の運転再開方法及びその装置
JP3043465U (ja) * 1997-05-16 1997-11-18 秩父小野田株式会社 ワイヤソー用多溝ローラ
US6743077B2 (en) * 1998-12-24 2004-06-01 Steinemann Technology Ag Wide-wheel grinding machine
JP3386415B2 (ja) * 1999-08-31 2003-03-17 株式会社日平トヤマ ワイヤソー
JP2001232548A (ja) * 2000-02-24 2001-08-28 Nippei Toyama Corp ワイヤソー及びその加工用ローラの振動測定方法
JP2002166361A (ja) * 2000-11-29 2002-06-11 Nippei Toyama Corp ローラ軸支装置
US20030145844A1 (en) * 2002-02-01 2003-08-07 Wacker-Chemie Gmbh Multiwire saw with improved bearing
US20030170948A1 (en) * 2002-03-07 2003-09-11 Memc Electronic Materials, Inc. Method and apparatus for slicing semiconductor wafers
DE50305164D1 (de) * 2002-11-29 2006-11-09 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum Tragen und Befestigen eines Roboters
DE20318240U1 (de) * 2003-11-24 2005-04-07 Lotsch Friedemann Vorrichtung zum Spannen von Gegenständen
JP4596480B2 (ja) * 2006-07-21 2010-12-08 株式会社ソディック 工作機械および同工作機械における熱伝導緩衝体の厚み設定方法
EP2154414A1 (de) * 2008-08-12 2010-02-17 Schneeberger Holding AG Verfahren und Vorrichtung zur Befestigung eines Bauteils
DE102009020368A1 (de) * 2009-05-08 2010-12-09 Noack, Horst-Günther Monoblockgehäuse aus Mineralguss
KR101196937B1 (ko) * 2010-02-01 2012-11-05 정근섭 와이어 쏘 장치
EP2586554A1 (en) * 2011-10-27 2013-05-01 Applied Materials Switzerland Sàrl Wire saw device with two independent wire webs and method thereof
CN202702425U (zh) * 2012-08-20 2013-01-30 上海日进机床有限公司 一种多线切割设备

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109955398A (zh) * 2017-12-14 2019-07-02 爱思开矽得荣株式会社 锭块夹持装置和具有该装置的对锭块切片的线锯设备
US10882214B2 (en) 2017-12-14 2021-01-05 Sksiltron Co., Ltd. Ingot clamping device and wire sawing apparatus for slicing ingot having the same
CN111993614A (zh) * 2019-05-27 2020-11-27 硅电子股份公司 在多个切片操作期间借助于线锯从工件切下多个晶圆的方法以及单晶硅半导体晶圆
CN111993614B (zh) * 2019-05-27 2024-01-12 硅电子股份公司 在多个切片操作期间借助于线锯从工件切下多个晶圆的方法以及单晶硅半导体晶圆

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