JPWO2012050186A1 - 結晶シリコン系太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
膜厚は、断面の透過型電子顕微鏡(TEM)観察により求めた。なお、TEM観察によって、真性シリコン系層と導電型シリコン系層との界面を識別することは困難である。そのため、これらの層の膜厚は、TEM観察から求められた各層の合計厚みと製膜時間の比から算出した。また、テクスチャが形成されたシリコン基板表面に形成された層については、テクスチャの斜面と垂直な方向を膜厚方向とした。光電変換装置の光電変換特性は、ソーラーシミュレータを用いて評価した。
実施例1では、図1に模式的に示す結晶シリコン系光電変換装置が製造された。
入射面の面方位が(100)で、厚みが200μmのn型単結晶シリコン基板がアセトン中で洗浄された。その後、基板が2重量%のHF水溶液に3分間浸漬され、表面の酸化シリコン膜が除去された後、超純水によるリンスが2回行われた。次に70℃に保持された5/15重量%のKOH/イソプロピルアルコール水溶液に、シリコン基板が15分間浸漬され、基板表面がエッチングされて、テクスチャが形成された。その後、超純水によるリンスが2回行われた。原子間力顕微鏡(AFM パシフィックナノテクノロジー社製)により単結晶シリコン基板1の表面観察を行ったところ、基板表面はエッチングが最も進行しており、(111)面が露出したピラミッド型のテクスチャが形成されていた。
加熱処理時の水素含有量および加熱処理時間が表1に示すように変更された以外は、実施例1と同様にして太陽電池セルが作製された。
水素を含む雰囲気下での加熱処理が行われなかったこと以外は、実施例1と同様にして太陽電池セルが作製された。
加熱処理時の温度が表2に示すように変更された以外は、実施例1と同様にして太陽電池セルが作製された。得られた太陽電池セルの光電変換特性を、ソーラーシミュレータを用いて評価した結果を、比較例1および実施例2の結果とともに表2に示す。なお、表2においては、光電変換特性の実測値に加えて、比較例1を基準値として規格化された数値も示されている。
比較例3では、比較例1と同様にして太陽電池セルが作製されたが、加熱処理が150℃の大気下にて行われた点において、比較例1とは製造方法が異なっていた。
実施例7では、実施例1と同様にして太陽電池セルが作製された。実施例7では、第1透明導電層6および第2透明導電層8を形成後、銀ペーストがスクリーン印刷される前に、水素を25%含む雰囲気下で温度170℃にて60分加熱処理が行われ、集電極形成後には、水素を含む雰囲気下での加熱処理が行われなかった。それ以外は、実施例1と同様にして太陽電池セルが作製された。
比較例4では、実施例1と同様にして太陽電池セルが作製されたが、各非晶質シリコン系層を形成後、透明導電層が形成される前に水素を25%含む雰囲気下で、温度170℃にて60分加熱処理が行われた点において、実施例1とは製造方法が異なっていた。また、比較例4において、集電極形成後には水素を含む雰囲気下での加熱処理が行われなかった。
実施例8では、図3に模式的に示す結晶シリコン系光電変換装置が製造された。
実施例1と同様に、エッチングが終了した単結晶シリコン基板1がCVD装置へ導入され、一方の面(入射面側)に、第1真性非晶質シリコン層2が5nmの膜厚で製膜された。第1真性非晶質シリコン層2上にp型非晶質シリコン層3が10nmの膜厚で製膜された。第1真性非晶質シリコン層およびp型非晶質シリコン層の製膜条件は、実施例1と同様とであった。
水素を含む雰囲気下での加熱処理が行われなかったこと以外は、実施例8と同様にして太陽電池セルが作製された。
p型非晶質シリコン層の膜厚が5nmに変更された以外は、実施例8と同様にして太陽電池セルが作製された。
水素を含む雰囲気下での加熱処理が行われなかったこと以外は、実施例8と同様にして太陽電池セルが作製された。
加熱処理時の水素含有量、温度および時間が表5に示すように変更された以外は、実施例9と同様にして太陽電池セルが作製された。
水素を含む雰囲気下での加熱処理が行われなかったこと以外は、実施例9と同様にして太陽電池セルが作製された。
電極形成後に、水素含有雰囲気下で加熱処理が行われる代わりに、温度190℃の大気下で30分加熱処理が行われたこと以外は、実施例9と同様にして太陽電池セルが作製された。
2,4 真性シリコン系層
3 p型シリコン系層
5 n型シリコン系層
51 n型非晶質シリコン系層
52 n型微結晶シリコン系層
6,8 透明導電層
7,9 集電極
10 反射電極
Claims (3)
- 一導電型単結晶シリコン基板の一方の面に第1真性シリコン系層、p型シリコン系層、および第1透明導電層をこの順に有し、前記一導電型単結晶シリコン基板の他方の面に第2真性シリコン系層、n型シリコン系層および第2透明導電層をこの順に有する結晶シリコン系光電変換装置を製造する方法であって、
前記第1透明導電層および前記第2透明導電層の少なくとも一方が形成された後に、加熱処理が行われ、
前記加熱処理が、水素を含む雰囲気下で200℃未満の温度で行われる、結晶シリコン系光電変換装置の製造方法。 - 前記p型シリコン系層が、3nm〜8nmの膜厚で形成される、請求項1に記載の結晶シリコン系光電変換装置の製造方法。
- 前記n型シリコン系層として、n型非晶質シリコン系層およびn型微結晶シリコン系層が、前記第2真性シリコン系層側から順に形成される、請求項1または2に記載の結晶シリコン系光電変換装置の製造方法。
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