JPWO2012049825A1 - 物理量検出装置 - Google Patents
物理量検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2012049825A1 JPWO2012049825A1 JP2012538565A JP2012538565A JPWO2012049825A1 JP WO2012049825 A1 JPWO2012049825 A1 JP WO2012049825A1 JP 2012538565 A JP2012538565 A JP 2012538565A JP 2012538565 A JP2012538565 A JP 2012538565A JP WO2012049825 A1 JPWO2012049825 A1 JP WO2012049825A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- semiconductor chip
- substrate
- detection unit
- sensor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5783—Mountings or housings not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/0032—Packages or encapsulation
- B81B7/0058—Packages or encapsulation for protecting against damages due to external chemical or mechanical influences, e.g. shocks or vibrations
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L24/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
- G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0814—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0845—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration using a plurality of spring-mass systems being arranged on one common planar substrate, the systems not being mechanically coupled and the sensitive direction of each system being different
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05552—Shape in top view
- H01L2224/05554—Shape in top view being square
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
Abstract
Description
101 パッケージ部材
102 半導体チップ
103a 防振部
103b 防振部
104 半導体チップ
105a パッド
105b パッド
106a ワイヤ
106b ワイヤ
107 端子
108 端子
109 リッド
110 パッド
300 センサ装置
301 パッケージ部材
302 半導体チップ
303a 防振部
303b 防振部
303c 防振部
304 半導体チップ
305a パッド
305b パッド
306a パッド
306b パッド
307a 端子
307b 端子
308a ワイヤ
308b ワイヤ
308c ワイヤ
309 リッド
310 端子
Claims (15)
- パッケージ部材と、
基板と、前記基板に対して変位する錘および前記錘の変位を電気信号に変換する検出電極を具備し前記基板上に設けられるセンサ検出部と、を有する第1の半導体チップと、
前記パッケージ部材上に設けられ、前記電気信号に対する演算を行う演算回路を有する第2の半導体チップと、
第1の防振部と、前記第1の防振部よりヤング率の大きい材料からなる第2の防振部とを具備し、前記第1の半導体チップと前記第2の半導体チップの間に設けられる防振構造と、を有し、
前記第1の防振部の周囲は、前記第2の防振部、または前記第2の防振部と前記パッケージ部材との組み合わせによって囲まれることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項1において、
前記第1半導体チップは、前記電気信号を前記第2半導体チップへ伝送するワイヤを接続するボンディングパッドをさらに有し、
前記基板の表面と垂直な方向における前記ボンディングパッドの射影は、前記第2の防振部に重なることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項1において、
前記防振構造は、前記基板の表面に平行な第1の方向における固有振動数と、前記基板の表面に平行かつ前記第1の方向と垂直な第2の方向における固有振動数が、互いに異なる構造であることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項3において、
前記第1の防振部の形状は、前記第1の方向に長辺を有し、前記第2の方向に短辺を有する長方形であることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項1において、
前記第1の防振部は、前記第2の防振部によって複数に分割された形状であることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項1において、
前記第1の防振部の周囲のうち、一辺は前記パッケージ部材と接し、他の部分は前記第2の防振部によって囲まれることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項1において、
前記防振構造および前記センサ検出部からなる構造は、前記基板の表面に平行な第1の方向における固有振動数と、前記基板の表面に平行かつ前記第1の方向と垂直な第2の方向における固有振動数が、互いに異なる構造であることを特徴とする慣性センサ装置。 - パッケージ部材と、
基板と、前記基板に設けられ第1の電気信号を出力する第1のセンサ検出部と、前記基板に設けられ第2の電気信号を出力する第2のセンサ検出部と、を有する第1の半導体チップと、
前記第1の電気信号および前記第2の電気信号に対する演算を行う演算回路を有する第2の半導体チップと、
第1の防振部と、前記第1の防振部よりヤング率の大きい材料からなる第2の防振部とを有し、前記第1の半導体チップと前記第2の半導体チップの間に設けられる防振構造と
、を有し、
前記第1のセンサ検出部は、
前記基板の表面に対して平行な第1の方向に振動する第1の錘と、
前記基板の表面と垂直な第3の方向を中心として前記基板が回転したときの、前記基板の表面に対して平行かつ前記第1の方向と垂直な第2の方向における前記第1の錘の変位を前記第1の電気信号へ変換する第1の検出電極と、を有し、
前記第2のセンサ検出部は、
前記第1の方向に振動する第2の錘と、
前記第1の方向に加速度が印加されたときの前記第1の方向における前記第2の錘の変化を前記第2の電気信号へ変換する第2の検出電極と、を有し、
前記第1の防振部の周囲は、前記第2の防振部、または前記第2の防振部と前記パッケージ基板の組み合わせによって囲まれ、
前記第1の防振部および前記第2の防振部からなる構造は、前記第1の方向における固有振動数または前記第2の方向における固有振動数を、前記第1のセンサ検出部と前記第2のセンサ検出部との間で異ならせる構造であることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項8において、
前記第1の半導体チップは、前記第1の電気信号を前記第2半導体チップへ伝送する第1のワイヤを接続する第1のボンディングパッドと、前記第2の電気信号を前記第2半導体チップへ伝送する第2のワイヤを接続する第2のボンディングパッドと、をさらに有し
、
前記基板の表面と垂直な方向における、前記第1のボンディングパッドの射影、および前記第2のボンディングパッドの射影は、前記第2の防振部と重なることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項8において、
前記第1の半導体チップは、前記基板に設けられ第3の電気信号を出力する第3のセンサ検出部をさらに有し、
前記第3のセンサ検出部は、
前記第2の方向に振動する第3の錘と、
前記第2の方向に加速度が印加されたときの前記第2の方向における前記第3の錘の変化を前記第3の電気信号へ変換する第3の検出電極と、を有することを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項8において、
前記防振構造の振動伝達率が、前記第1の錘の位置と、前記第2の錘の位置で、互いに異なることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項8において、
前記第1の防振部および前記第2の防振部から構成される構造の固有振動数は、前記第1の方向と、前記第2の方向において、互いに異なることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項12において、
前記第1の防振部の形状は、前記第1の方向に長辺を有し、前記第2の方向に短辺を有する長方形であることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項8において、
前記第1の防振部は、前記第2の防振部を介して複数に分割された形状であることを特徴とする慣性センサ装置。 - 請求項8において、
前記第1の防振部の周囲のうち、一辺は前記パッケージ部材と接し、他の部分は前記第2の防振部によって囲まれることを特徴とする慣性センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012538565A JP5643327B2 (ja) | 2010-10-15 | 2011-10-07 | 物理量検出装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010232082 | 2010-10-15 | ||
JP2010232082 | 2010-10-15 | ||
PCT/JP2011/005645 WO2012049825A1 (ja) | 2010-10-15 | 2011-10-07 | 物理量検出装置 |
JP2012538565A JP5643327B2 (ja) | 2010-10-15 | 2011-10-07 | 物理量検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012049825A1 true JPWO2012049825A1 (ja) | 2014-02-24 |
JP5643327B2 JP5643327B2 (ja) | 2014-12-17 |
Family
ID=45938066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012538565A Expired - Fee Related JP5643327B2 (ja) | 2010-10-15 | 2011-10-07 | 物理量検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8659101B2 (ja) |
JP (1) | JP5643327B2 (ja) |
DE (1) | DE112011103465B4 (ja) |
WO (1) | WO2012049825A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015034755A (ja) * | 2013-08-09 | 2015-02-19 | セイコーエプソン株式会社 | センサーユニット、電子機器、および移動体 |
JP2015065206A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 日本電気株式会社 | モジュール部品及びモジュール部品の製造方法 |
US9705069B2 (en) * | 2013-10-31 | 2017-07-11 | Seiko Epson Corporation | Sensor device, force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus, electronic component inspecting apparatus, and component machining apparatus |
JP6311469B2 (ja) * | 2014-06-12 | 2018-04-18 | 株式会社デンソー | 物理量センサ |
JP6641878B2 (ja) | 2015-10-21 | 2020-02-05 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器および移動体 |
US10352960B1 (en) * | 2015-10-30 | 2019-07-16 | Garmin International, Inc. | Free mass MEMS accelerometer |
US10982959B2 (en) * | 2016-09-06 | 2021-04-20 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Fused sensor ensemble for navigation and calibration process therefor |
JP6400795B1 (ja) * | 2017-06-29 | 2018-10-03 | タイコエレクトロニクスジャパン合同会社 | 印刷回路基板 |
JP2019128304A (ja) * | 2018-01-26 | 2019-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、慣性計測ユニット、電子機器、携帯型電子機器、および移動体 |
US10870575B2 (en) * | 2018-06-29 | 2020-12-22 | Infineon Technologies Dresden GmbH & Co. KG | Stressed decoupled micro-electro-mechanical system sensor |
US11302611B2 (en) * | 2018-11-28 | 2022-04-12 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor package with top circuit and an IC with a gap over the IC |
JP2020101484A (ja) * | 2018-12-25 | 2020-07-02 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性センサー、電子機器および移動体 |
JP2021067624A (ja) * | 2019-10-28 | 2021-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性計測装置、電子機器及び移動体 |
CN110987005A (zh) * | 2019-12-02 | 2020-04-10 | 北京自动化控制设备研究所 | 应用超声波灌封光纤环圈的方法及使用其的装置 |
DE102020207799A1 (de) | 2020-06-24 | 2021-12-30 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | MEMS-Modul |
US11834328B2 (en) * | 2020-06-29 | 2023-12-05 | Invensense, Inc. | Semiconductor package with built-in vibration isolation, thermal stability, and connector decoupling |
CN115143995B (zh) * | 2022-09-05 | 2022-11-18 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 | 一种消除光纤环圈局部应力畸变的方法及其装置 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0855938A (ja) * | 1994-08-15 | 1996-02-27 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH08195414A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-07-30 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2003021515A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-24 | Toyota Motor Corp | 物理量検出装置およびその製造方法 |
JP2005033496A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
JP2006023190A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Denso Corp | 角速度検出装置 |
JP2008070230A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Hitachi Ltd | 物理量検出装置 |
JP2008122263A (ja) * | 2006-11-14 | 2008-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2008143936A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Toyota Motor Corp | 接着部構造 |
JP2008281586A (ja) * | 2008-08-29 | 2008-11-20 | Seiko Epson Corp | 振動子の支持機構及び振動子ユニット |
JP2010185739A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Panasonic Corp | 3軸検出角速度センサ |
JP2010204061A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-16 | Panasonic Corp | 電子部品及びその製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2891184B2 (ja) * | 1996-06-13 | 1999-05-17 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003028644A (ja) | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
JP3828000B2 (ja) * | 2001-11-28 | 2006-09-27 | 本田技研工業株式会社 | 金属製電装ケースの防振構造 |
JP2005331258A (ja) | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Denso Corp | 振動型角速度センサ |
JP2006153799A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Denso Corp | 角速度センサ装置およびその製造方法 |
CN101589543B (zh) * | 2005-05-18 | 2012-10-31 | 科隆科技公司 | 微机电换能器 |
JP2008304218A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Mitsubishi Electric Corp | 加速度センサおよびその製造方法 |
-
2011
- 2011-10-07 US US13/878,776 patent/US8659101B2/en active Active
- 2011-10-07 WO PCT/JP2011/005645 patent/WO2012049825A1/ja active Application Filing
- 2011-10-07 DE DE112011103465.2T patent/DE112011103465B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2011-10-07 JP JP2012538565A patent/JP5643327B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0855938A (ja) * | 1994-08-15 | 1996-02-27 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH08195414A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-07-30 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2003021515A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-24 | Toyota Motor Corp | 物理量検出装置およびその製造方法 |
JP2005033496A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
JP2006023190A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Denso Corp | 角速度検出装置 |
JP2008070230A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Hitachi Ltd | 物理量検出装置 |
JP2008122263A (ja) * | 2006-11-14 | 2008-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2008143936A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Toyota Motor Corp | 接着部構造 |
JP2008281586A (ja) * | 2008-08-29 | 2008-11-20 | Seiko Epson Corp | 振動子の支持機構及び振動子ユニット |
JP2010185739A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Panasonic Corp | 3軸検出角速度センサ |
JP2010204061A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-16 | Panasonic Corp | 電子部品及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112011103465T5 (de) | 2013-08-01 |
US8659101B2 (en) | 2014-02-25 |
DE112011103465B4 (de) | 2015-07-09 |
JP5643327B2 (ja) | 2014-12-17 |
US20130241013A1 (en) | 2013-09-19 |
WO2012049825A1 (ja) | 2012-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5643327B2 (ja) | 物理量検出装置 | |
JP5682267B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP5619824B2 (ja) | 微小電気機械システム | |
JP4492432B2 (ja) | 物理量センサ装置の製造方法 | |
JP5070778B2 (ja) | 力学量センサ | |
JP6614157B2 (ja) | センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器 | |
US20140238131A1 (en) | Inertial force sensor | |
WO2013076942A1 (ja) | 角速度センサとそれに用いられる検出素子 | |
TW200529455A (en) | Capacitive sensor for dynamical quantity | |
JP2006242730A (ja) | センサ及び物理量検出装置 | |
JP2017020977A (ja) | センサ装置 | |
JP2005283428A (ja) | 力学量センサ装置 | |
JP2007033393A (ja) | 角速度センサ装置 | |
WO2018131404A1 (ja) | センサデバイス及び電子機器 | |
JP2008241481A (ja) | センサエレメント | |
JP2004132792A (ja) | センサユニットの構造 | |
JP2006153481A (ja) | 力学量センサ | |
JP2010266321A (ja) | 多軸角速度センサ | |
JP2007192792A (ja) | センサエレメント | |
US20220219971A1 (en) | Multiply encapsulated micro electrical mechanical systems device | |
JP2011027708A (ja) | 角速度センサユニット | |
JP5609368B2 (ja) | 慣性力センサの製造方法 | |
JP2008051729A (ja) | 力学量センサ | |
JP2011127942A (ja) | 角速度センサ | |
JP2007199077A (ja) | 振動型角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141009 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141030 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5643327 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |