JPWO2010008030A1 - ピン先端部のクリーニング機構を有する基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の基板を連続的に検査する基板検査を中断することなく、ピン先端部のクリーニングを行う。【解決手段】基板検査装置（１０，７０）は、搬送路上に所定の間隔で設けられた被検査基板保持部（４０）と、被検査基板保持部を搬送路に沿って移動する移動手段（２２ｔ）と、搬送路の途中に設けられていて、被検査基板保持部に保持された被検査基板を順次検査する検査部（３０）と、搬送路上に所定の間隔で設けられた任意の隣り合う被検査基板保持部の間に設けられたクリーニング手段（５０）とを備える。検査部は、複数のピンを被検査基板上の配線の検査点に接触させることによって該配線の電気特性を測定する。クリーニング手段は、移動手段によって移動され、検査部を通過する際に複数のピンのクリーニングを行う。【選択図】 図２

Description

本発明は、被検査基板の配線（又は導体パターン）の検査点にピンを接触させることによってその配線の電気的特性を測定する基板検査装置に関し、詳しくは、電気的特性の測定に影響を与えることなくそのピンの先端部のクリーニングを行うことのできるピン先端部のクリーニング機構を有する基板検査装置に関する。

基板検査装置は、被検査基板の配線の複数の検査点に対して、複数本のピン（「プローブ」ともいう。）を植え込んだ検査治具を接近させて、配線の電気的特性（例えば、電気抵抗値）を測定する。本出願書類で使用する用語「被検査基板」は、半導体パッケージ用のパッケージ基板、フィルムキャリア、プリント配線基板、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板等の複数本の配線が形成され、基板検査時にピンを接触させて電気的特性を測定する全ての基板を含むものとする。

配線上の検査点は、比較的柔らかい金属、例えば、半田、半田ボール、半田ペースト等から形成される場合があり、複数枚の基板を連続的して検査する場合に、そのような比較的柔らかい金属に先端部が尖ったピンを押圧させると、半田の残渣等がピンに付着することがある。半田の残渣等が付着したピンでは、配線の正確な電気的特性が測定できない場合がある。

従って、何枚かの基板を検査した後、ピン先端部の半田の残渣等を除去しなければならない。

そのため、従来は、基板検査装置から検査治具を取り外し、顕微鏡の下で、手作業によりグラスファイバー製ブラシを用いてピン先端部のクリーニングを行っていたため、クリーニング作業の際は、ピンの先端部を曲げないように注意しながらグラスファイバー製ブラシを接触させていた。

具体的には、ピン先端部のクリーニングは、基板検査装置から検査治具を取り外し、顕微鏡の下で、ピン先端部から半田の残渣等をグラスファイバー製ブラシを用いて手作業により行っていた。このクリーニング作業は、グラスファイバー製ブラシを、ピンの先端部を曲げないように接触しながら複数回行う。次に、ピン先端部から落ちた半田残渣等を除去するため、ナイロンブラシで、その周辺部をクリーニングする。このようなクリーニング作業を、5〜10回繰り返す。このとき、半田の残渣、粉塵等を除去するため吸塵機を使用する。

クリーニング手段を有する基板検査装置として、次の特許文献がある。

特開2006-339472「プローブガード触針のクリーニング装置およびクリーニング方法」（公開日：2006年12月14日） 特許文献１は、ステージ上に、個々の素子の電気的検査のための半導体ウエハとクリーニング装置とが別の位置に配置された構成を示す。その構成においては、クリーニングの際には、半導体ウエハ上の検査用のプローブカードがクリーニング装置の位置に移動し、クリーニングブラシを横及び下方からプローブカードの触針に当てることによってそのクリーニングを行っている。

特開2006-153673（公開日：2006年06月15日） 特許文献２は、半導体パッケージのテストのために、その半導体パッケージを試験装置のコンタクトピンまで搬送してそれに接触させる構成を開示する。その構成においては、半導体パッケージに代えて、コンタクトピンにクリーニング部材を吸着させることによってコンタクトピンのクリーニングを行っている。クリーニング部材として粘着部材を使用している。

従来からあるクリーニング作業は、手作業のため多大の時間を要した。そのように、複数枚の基板を検査する場合、クリーニング作業により基板検査が中断されるため、すべての基板検査が終了するまでの合計検査時間は相当長いものとなっていた。また、手作業に伴うピン先端部の清浄化レベルのバラツキ、検査治具の着脱によって生じる問題等があった。

特許文献１及び２で開示する基板検査装置でも、クリーニングの際には基板検査工程の流れを止めて行なう必要がある。

本発明は、複数の基板を連続的に検査する基板検査の流れを中断することなく、ピン先端部のクリーニングを行うことができるクリーニング機構を有する基板検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、基板検査を行うための駆動機構や時間を別途必要とすることなくピン先端部のクリーニングを行うことができるクリーニング機構を有する基板検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、連続的に実施される基板検査の流れを中断することなくピン先端部のクリーニングを行うことができるように配置されたブラシを有する基板検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、連続的に実施される基板検査を行う間清掃を必要としないブラシを有する基板検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、長時間にわたってクリーニング効果を発揮できる特性を備えるブラシを有する基板検査装置を提供することを目的とする。

さらに、本発明は、ピン先端部のクリーニングの達成レベルにバラツキのないクリーニング機構を有する基板検査装置を提供することを目的とする。

上記目的に鑑み、本発明に係る基板検査装置は、搬入部から搬出部までの搬送路と、該搬送路上に所定の間隔で設けられた被検査基板保持部と、該被検査基板保持部を前記搬送路に沿って移動する移動手段とを備える搬送手段と、前記搬送路の途中に設けられていて、前記搬送手段の前記被検査基板保持部に保持された被検査基板を順次検査する検査部であって、検査治具を備え、該検査治具に設けられた複数のピンを被検査基板上の配線の検査点に接触させることによって該配線の電気的特性を測定する検査部と、前記搬送路上に所定の間隔で設けられた任意の隣り合う被検査基板保持部の間に設けられたクリーニング手段であって、前記搬送手段の前記移動手段によって移動され、前記検査部を通過する際に前記複数のピンのクリーニングを行うクリーニング手段とを備えることを特徴とする。

その基板検査装置において、前記任意の隣り合う被検査基板保持部の間に設けられた前記クリーニング手段と隣接する２つの前記被検査基板保持部との各距離は、前記任意の隣り合う被検査基板保持部の間の距離よりも小さくすることができる。

その基板検査装置において、前記クリーニング手段がブラシを備えていて、該ブラシが、前記移動手段によって移動される移動方向に沿った繊維の流れを有し、前記移動方向とは反対の方向に傾斜して保持されてもよい。

その基板検査装置において、前記ブラシが、水平面に対し約３０度から５０度の間の任意の角度に傾斜して保持されてもよい。

その基板検査装置において、前記ブラシは、グラスファイバーから構成することができる。

その基板検査装置において、前記搬送手段は、円形テーブルと該円形テーブルを回転駆動する回転駆動手段とを有する回転テーブル装置を備えており、前記被検査基板保持部が、前記円形テーブル上の円周に沿った位置に所定間隔で設けられており、また、前記クリーニング手段が、前記円形テーブル上に設けられた前記被検査基板保持部の任意の隣り合う２つの被検査基板保持部の間に少なくとも１つ設けられるようにしてもよい。

その基板検査装置において、前記搬送手段が、２つの前記搬送路と、該２つの搬送路の各々に配置された前記被検査基板保持部と、該被検査基板保持を各搬送路に沿って移動する移動手段とを備え、前記２つの搬送路の一部の経路が共通し、該共通する経路上の任意の位置に前記検査部が配置されており、さらに、前記２つの搬送路の少なくとも一方に１つの前記クリーニング手段が設けられており、前記共通する前記経路上の前記検査部を、前記２つの被検査基板保持部が所定の時間間隔をおいて通過する一方、該間隔の間に、前記クリーニング手段が前記共通する前記経路を通過するようにしてもよい。

その基板検査装置において、前記クリーニング手段は、前記検査治具のピン先端部から離れた位置から一方に向けて移動開始し該ピン先端部に接触しながらクリーニングして該ピン先端部から離れた位置まで移動して停止し、その後、元の位置まで反対向きに移動して該ピン先端部をクリーニングし、この往復移動を繰り返すようにしてもよい。

その基板検査装置において、前記搬送手段は、回転駆動軸と円形テーブルとを有する回転テーブルで形成され、前記円形テーブルに円周状に保持された複数枚の被検査基板の間に、前記クリーニング手段が設けられ、該クリーニング手段は、前記回転駆動軸の回転により、前記被検査基板と同一の搬送経路を辿って前記検査部に移動することができる。

また、本発明に係る基板検査装置における複数のピンのクリーニング方法は、検査治具に設けられた複数のピンを被検査基板上の配線の検査点に接触させることによって該配線の電気的特性を測定する検査部に、既定のタイミングで、複数の前記被検査基板を順次搬送する一方、前記既定のタイミングと異なるタイミングで、ブラシを有するクリーニング手段を前記検査部を通過させて前記複数のピンをクリーニングすることを特徴とする。

本発明によれば、複数の基板を連続的に検査する基板検査の流れを中断することなく、ピン先端部のクリーニングを行うことができる。

本発明によると、基板検査を行うための駆動機構や時間を別途必要とすることなくピン先端部のクリーニングを行うことができる。

本発明によると、複数の基板を連続的に検査する基板検査の流れを中断することなくピン先端部のクリーニングを行うことができるように配置されたブラシを提供することができる。

本発明によると、複数の基板を連続的に検査する基板検査を行う間清掃を必要としないブラシを提供することができる。

また、本発明によると、長時間にわたってクリーニング効果を発揮できる特性を備えるブラシを提供することができる。

さらに、本発明によると、ピン先端部のクリーニングの達成レベルにバラツキが生じることがない。

また、ピン先端部清浄化部品を搬送経路上に設置し、この部品を移動する搬送移動方向を利用して、ピンの先端部を清浄化するので、効率良くピンのクリーニングを行うことができる。

図１は、本発明の一実施形態に係る、回転テーブル装置を備える基板検査装置の概略の構成を示す正面図である。 図２は、図１に示す回転テーブル装置を上方から見た拡大平面図である。 図３Ａは、図２に示す回転テーブルのクリーニング機構のブラシ部分の一部を拡大した概略図である。 図３Ｂは、図２に示す回転テーブルのクリーニング機構が、円形テーブルの回転に伴って検査部を通過する状態を説明するための簡略化した概念図である。 図４Ａは、図３Ｂに示すクリーニング機構の斜視図である。 図４Ｂは、図３Ｂに示すクリーニング機構の側面図である。 図４Ｃは、図３Ｂに示すクリーニング機構をリング形状部に取り付けた構成を示す斜視図である。 図４Ｄは、他の実施形態のクリーニング機構を取り付けたリング形状部を、円形テーブルの開口部のある部分の裏面側に取り付けた状態を示す斜視図である。 図５は、他の実施形態に係るクリーニング機構の斜視図である。 図６は、本発明の他の実施形態に係るシャトル型基板検査装置の構成の概略を示す平面図である。 図７は、図１の回転テーブル装置の他の実施形態に係る回転テーブル装置を上方から見た拡大平面図である。 図８は、他の実施形態に係るピン先端部清浄化部品を有する、図７の回転テーブル装置の一部の拡大平面図である。 図９（Ａ）及び図９（Ｂ）は、検査治具とピン先端部清浄化部品との機能を説明するための簡略化した正面図である。 図１０は、本発明の他の実施形態に係るシャトル型の基板検査装置で使用する基板保持部分を説明するための平面図である。

以下、本発明に係るピン先端部のクリーニング機構を有する基板検査装置の実施形態について、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。各添付図において、理解の容易のために、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔等は、誇張・拡大・縮小・変形・簡略化等を行っている点に留意願いたい。また、図面中、同じ要素に対しては同じ参照符号を付して重複した説明を省略する。

［ピン先端部のクリーニング機構を有する基板検査装置］
最初に、基板検査装置全体について、簡単に説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る基板検査装置１０の概略の構成を示す正面図である。その基板検査装置１０は、被検査基板の保持のための回転テーブル装置２２（「インデックステーブル」ともいう。）を備える。回転テーブル２２は、円形テーブル（又はテーブル盤）２２ｔ及び回転駆動軸２２ｓを備え、例えば矢印で示す方向に回転する。

図２に関して後述するように、図１の中央に示す回転テーブル装置２２には、複数枚の被検査基板４２が保持される。また、基板検査装置１０は、上側検査治具２８ｕ、下側検査治具２８ｄ、制御装置１１及びアライメントカメラ２９を備える。アライメントカメラ２９は、上側及び下側カメラ２９ｕ，２９ｄを備えていて、被検査基板４２が回転テーブル装置２２の所定の位置に保持されているか否かを確認する。アライメントカメラ２９からの情報は、画像処理部１６で処理されて制御部１４に送られる。

なお、図２において、被検査基板４２に斜線を付しているが、それは、断面を意味するのではなく、単に他の要素と区別しやすいようにするためである。

検査治具２８の上側検査治具２８ｕ及び下側検査治具２８ｄには、複数のピン（「プローブ」ともいう。）３２が取り付けられている。上側検査治具２８ｕ及び下側検査治具２８ｄは、それぞれ、上側治具駆動部２６ｕ及び下側治具駆動部２６ｄによって上昇及び下降が行われる。

制御装置１１は、操作パネル１２、制御部１４、画像処理部１６、テスターコントローラ１８及びスキャナ２０を備える。

制御部１４は、図示せぬＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等で構成されており、ＲＯＭには基板検査用プログラムが記憶されている。基板検査時に、操作パネル１２からの指示に従って、その基板検査用プログラムがＲＯＭからＲＡＭに読み出されて実行される。

テスターコントローラ１８は、制御部１４からの検査開始命令を受け取ると、スキャナ２０を制御して被検査基板の検査を実行する。図示していないが、スキャナ２０は、被検査基板の配線に電流を流すための電源と、この電源と各ピン３２に接続された信号線を切換接続するスイッチ群と、配線の良否を判定する判定部とを有する。

配線の検査の際には、上側治具駆動部２６ｕ及び下側治具駆動部２６ｄを駆動して、上側検査治具２８ｕ及び下側検査治具２８ｄをそれぞれ下降及び上昇させ、それにより、同時に複数のピンの先端を被検査基板の配線上の所定の検査点に接触させる。

次に、テスターコントローラ１８が、予め設定されているスイッチ群の切換プログラムに従って被検査基板の配線を電源に順次接続し、各配線の抵抗値を測定し、判定部で、その測定抵抗値から該当配線の良否を判定する。判定結果は、逐次、テスターコントローラ１８から制御部１４に送られ、検査終了時に、制御部１４が該当被検査基板の最終的な検査結果を出力する。

［一実施形態の回転テーブル装置の概要］
図２は、図１の回転テーブル装置２２の一実施例に係る回転テーブル装置２２を上方から見た平面図である。回転テーブル装置２２は搬送手段で、移動手段の円形テーブル２２ｔ及び回転駆動軸２２ｓを備えており、基板検査の際に、円形テーブル２２ｔは回転駆動軸２２ｓによって矢印で示すように時計回りに回転する。

説明の便宜上、図２において、円形テーブル２２ｔの円周に沿って、時計の文字盤に対応させて、７時半の位置をＰ１とし、それから時計回りに角度４５度ずつ移動した位置、つまり、９時、１０時半、１２時、１時半、３時、４時半及び６時の位置をそれぞれＰ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６及びＰ８とする。例えば、１２時の位置はＰ４となり、６時の位置はＰ８となる。

円形テーブル２２ｔの上には、円周に沿って等間隔で８個の被検査基板保持部（ワークホルダーともいう）４０が設けられていて、各々に、１枚の被検査基板４２が載置される。図２では、各被検査基板保持部４０が、Ｐ１からＰ８の位置に対応する位置にある。Ｐ４の位置には、被検査基板４２の検査部３０が設けられていて、円形テーブル２２ｔが回転するごとに、載置された被検査基板４２が順次その検査部３０に搬入される。検査部３０には、検査治具２８の上側検査治具２８ｕ及び下側検査治具２８ｄが配置されている。円形テーブル２２ｔが回転駆動軸２２ｓによって回転することによって、複数の被検査基板保持部上の被検査基板４２を検査部３０に搬送する円形状の搬送路が形成される。

Ｐ８に位置する被検査基板保持部４０に示すように、被検査基板保持部４０には、開口４０ｗが形成されている。そのため、被検査基板保持部４０に被検査基板４２を設置したときに、その被検査基板４２の裏面の導体パターンがその開口４０ｗから露出し、それに対し、Ｐ４の検査部３０において、下側検査治具２８ｄ（図１）のピン３２が接触することができる。

基板検査の際には、Ｐ１が被検査基板の搬入口となり、順次、その位置に来た被検査基板保持部４０に被検査基板４２が載置される。円形テーブル２２ｔは４５度ずつ回転され、その回転に応じて、被検査基板保持部４０に保持された被検査基板４２が、順に、Ｐ２，Ｐ３の位置に移動する。被検査基板４２は、Ｐ４の位置で、検査部３０によって電気的特性の測定が行われる。その測定が完了すると、円形テーブル２２ｔが回転して、被検査基板４２が次のＰ５の位置に搬送される。被検査基板４２が順次搬送されてＰ７に達すると、その被検査基板４２は、被検査基板保持部４０から取り外される。この一連の流れに関して、位置Ｐ１〜Ｐ３を上流部、位置Ｐ５〜Ｐ７を下流部という。

Ｐ４の位置では、被検査基板４２に対し、図２の紙面の表面から上側検査治具２８ｕが接近し、さらに、裏面から下側検査治具２８ｄが接近して、それぞれの検査治具２８ｕ，２８ｄのピンが被検査基板４２の表裏のそれぞれの面に形成された配線の検査点に接触する。それにより被検査基板４２の各配線の電気的特性の測定が行われる。それが終了すると、上側検査治具２８ｕ及び上側検査治具２８ｕが、それぞれ被検査基板４２の表面側及び裏面側に離れ、測定が行われた被検査基板４２は、円形テーブル２２ｔの回転に伴って、上記のように、次のＰ５の位置に搬送される。このように、円形テーブル２２ｔが所定のタイミングで４５度ずつ回転して停止するという動きを繰り返す。Ｐ４の検査部には、その所定のタイミングで被検査基板４２が搬入されて検査が行われ、それが終了すると、所定のタイミングで被検査基板４２が次の位置に搬送されることになる。

また、図２に示すように、Ｐ２の位置にある被検査基板保持部４０とＰ３の位置にある被検査基板保持部４０との間の円形テーブル２２ｔ上の位置Ｃ１に、クリーニング機構５０が設けてある。また、Ｐ６の位置にある被検査基板保持部４０とＰ７の位置にある被検査基板保持部４０との間の円形テーブル２２ｔ上の位置Ｃ２にも、もう一つクリーニング機構５０が設けてある。それらのクリーニング機構５０は同じ構造である。

上記のとおり、Ｃ１の位置はＰ２の被検査基板保持部４０とＰ３の被検査基板保持部４０との間にあるが、それら保持部の間の間隔を変更する必要はない。言い換えると、Ｃ１の位置からＰ２の被検査基板保持部４０又はＰ３の被検査基板保持部４０までの距離は、Ｐ２の被検査基板保持部４０からＰ３の被検査基板保持部４０までの距離よりも小さい。同様に、Ｐ６の被検査基板保持部４０とＰ７の被検査基板保持部４０との間のＣ２の位置のクリーニング機構５０も、それらの間隔の大きさに影響を与えない。そのため、Ｃ１及びＣ２の位置にクリーニング機構５０を設けても、被検査基板４２が検査部３０に搬入されるタイミングは変わることはない。それらのクリーニング機構５０は円形テーブル２２ｔの回転とともに移動する。

また、図２では、Ｃ１及びＣ２の位置にクリーニング機構５０を設けたが、クリーニング機構５０は、任意の隣り合う２つの被検査基板保持部４０の間に設けることができる。また、クリーニング機構５０の数は少なくとも１であるが、クリーニング効果を達成する程度の必要性に応じて任意の数にすることができる。

クリーニング機構５０は、ブラシ部分５２とそのブラシ部分を保持する保持部５４とを備える。ブラシ部分５２には細い繊維、例えばグラスファイバー繊維が植え込まれている。ブラシ部分５２のブラシには、比較的大きめの直径を持つ太さの繊維を使用することによってブラシに弾力性を持たせることが望ましい。また、各繊維の先端部を細く形成することによって、クリーニングの際に、その先端部が複数のピン３２の間に入り込むようにしてもよい。また、クリーニングの際に、各繊維が隣り合うピン３２の間に入り込むようにしてもよい。

また、クリーニング機構５０のブラシ部分５２は進行方向とは反対の方向に傾斜（後傾）するように保持されている。また、ブラシ部分５２に植え込まれている繊維の流れ方向はクリーニング機構５０の移動先から後ろに流れる方向である。言い換えると、その繊維の流れ方向は、Ｐ３の位置からＰ２の位置に向かう方向及びＰ７からＰ６に向かう方向である。

図３Ａは、ブラシ部分５２の一部の拡大図である。各繊維は例えばナイロン製又はＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）であり、その直径５２φは約０．１ｍｍで、その図に示すように、各繊維の先端はテーパー状に形成されている。また、ブラシ部分５２の繊維の長さは約２０から３０ｍｍで、ブラシ部分５２の厚みは約２から４ｍｍである。

図３Ｂは、Ｃ１又はＣ２にあるクリーニング機構５０が、円形テーブル２２ｔの回転に伴って、検査部３０を通過する状態を説明するための簡略化した正面図である。ここでは、クリーニング機構５０は、図面上左端のものが円形テーブル２２ｔと伴に右側に順に移動するものとする。検査部３０には、上側検査治具２８ｕのみを示す。下側検査治具２８ｄも同様に機能する。上側検査治具２８ｕは、複数のピン３２を備えており、各ピンは、ピン軸部３２ｓ及びピン先端部３２ｐを備える。ピン軸部３２ｓの後端部はスキャナ２０に電気的に接続されている。上側検査治具２８ｕは、次の被検査基板を検査するために待機位置にある。

図３Ｂに示すように、クリーニング機構５０のブラシ部分５２は、円形テーブル２２ｔの面に対し約４５度の角度で傾斜するようにブラシ保持部５４に保持されている。ブラシ保持部５４は簡略化して示してあるが、ブラシ部５２の傾斜角度を調整できるように円形テーブル２２ｔ上に固定されている。その傾斜角度は円形テーブル２２ｔの面から概略３０度から５０度ぐらいの間の角度が望ましい。

また、図３Ｂに示すように、クリーニング機構５０のブラシ部分５２の繊維は、検査部３０の手前では真っ直ぐであるが、検査部３０を通過するときには、上側検査治具２８ｕのピン先端部３２ｐのガイドプレート３２ｇに沿って湾曲する。その際に、ブラシ部５２の繊維の先端部によってピン先端部３２ｐに付着している半田の残渣や酸化膜の破片等が払い落される。検査部３０を通過すると、クリーニング機構５０のブラシ部５２の繊維は弾性により真っ直ぐにもどる。このように、被検査基板４２が検査部３０に搬入される際、または、検査が終了して被検査基板４２が検査部３０から搬出される際の円形テーブル２２ｔの回転に伴って、Ｃ１及びＣ２に設けられたクリーニング機構５０が検査部３０のピン先端部３２ｐのクリーニングを行うことができる。そのため、クリーニングのための工程を別途必要とせず、また、クリーニングのために、検査作業を中断等する必要がない。

クリーニングの際にピン先端部３２ｐから払い落した半田の残渣や酸化膜の破片等を捕集するために、必要に応じて、吸塵機の取り込み口を円形テーブル２２ｔ上のＣ１及びＣ２の近傍や検査部３０の近くに設けてもよい。

［クリーニング機構の構造］
図４Ａから図４Ｄは、クリーニング機構５０の一実施形態の詳細な構造を説明するための図である。

図４Ａはクリーニング機構５０の斜視図であり、図４Ｂはそのクリーニング機構５０の側面図である。それらの図に示すように、この実施形態では、クリーニング機構５０は、２つのブラシ部分５２及びブラシ保持部５４を備える。図４Ｂにおいて、上方に示すブラシ部分５２は上側検査治具２８ｕのピンの先端部３２ｐのクリーニングを行うためのもので、下方に示すブラシ部分５２は下側検査治具２８ｄのピン３２の先端部３２ｐのクリーニングを行うためのものである。ただし、図４Ａにおいては、簡略化のために、図４Ｂの下方に示すブラシ部分５２は省略してある。

各ブラシ部分５２は、ファイバーグラス等の繊維の束の部分５２ａとその繊維の束の部分５２ａを植え込んだ部分５２ｂとを備える。ブラシ保持部５４は、繊維の束の部分５２ａを植え込んだ２つの部分５２ｂをクランプする。例えば、図示のように各部分５２ｂを３本のボルトによって固定する。

図３Ａの実施態様とは異なり、ブラシ部分５２の各繊維は約５０から８０μｍの直径を持つものを使用してもよい。隣り合うピン３２の距離が例えば４０μｍに、その４０μｍより小さな直径を持つ繊維を用いると、その繊維はそのようなピンの間に入ることができるが、場合によっては、弾力性が足りない場合がある。

また、図４Ｂに示すように、ブラシ保持部５４には、角度調整プレート５４ａがねじによって取り付けられている。そのねじを緩めてそのプレートの位置の固定位置を変えることができる。その固定位置を変えることによって、そのプレートの端部の突出する長さが変わり、それにより、ファイバーグラス等の繊維の束の部分５２ａを押す位置が変わるため、それによって、ファイバーグラス等の繊維の束の部分５２ａの傾斜角度を変えることができる。

図４Ｃは、クリーニング機構５０をリング形状部８０に取り付けた状態を示す斜視図である。そのリング形状部８０の開口部８０ａを跨ぐように、クリーニング機構５０のブラシ保持部５４の２か所がねじ止めされる。それにより、その開口部から、図４Ｂの下側に示すブラシ部分５２が、下方斜め方向に突出することができる。この場合に、下側のブラシ部分５２の幅は図４Ｃに示す上側のブラシ部分５２の幅よりも狭いものを用いてもよい。リング形状部８０が、円形テーブル２２ｔに形成された開口部のある表側の面（上方の面）に固定される場合に、同じ大きさのブラシ部分を用いる場合に、広い開口部８０ａを持つリング形状部８０を使用してもよい。

ブラシの幅は、上側及び下側検査治具２８ｕ，２８ｄのピンの列の長さ、例えば、図３Ｂにおいては、紙面の表側から裏側に並ぶ列の長さより大きくなければならない。それは、ブラシがピンの先端を１度通過することによって全部のピンに対し半田の残渣や酸化膜の破片等の払い落しを行うことができるようにするためである。ただし、例えば、クリーニング機構を複数設けて、クリーニング機構の数に応じてそのブラシ部分がピンを通過する経路を重ならないように分割し、各クリーニングのブラシ部分が分担して、分割したそれぞれの経路にあるピンのクリーニングをするようにしてもよい。

図４Ｄは、図４Ｃに示すリング形状部８０を円形テーブル２２ｔの開口部５６のある部分の裏面に固定した状態を示す斜視図である。その図に示すように、ブラシ部分５２よりも幅の狭いブラシ部分５３がリング形状部８０に取り付けられている。ブラシ部分５３は、ファイバーグラス等の繊維の束の部分５３ａとその繊維の束の部分５３ａを植え込んだ部分５３ｂとを備える。このように、ブラシ部分５３は円形テーブル２２ｔの表面上から突出させなくともその裏面から開口部５６を経由して突出させるようにしてもよい。この場合にも、下側検査治具２８ｄに対しては、幅の広いブラシ部分を持つものを突出させてもよい。

図５は、本発明の他の実施形態に係るクリーニング機構６０の斜視図である。そのクリーニング機構６０は、ブラシ部分６２とブラシ部分６２を保持する保持部６４とを備える。ブラシ部分６２は、細い繊維、例えばグラスファイバー繊維の束の部分６２ａと、その繊維の束が植え込まれた部分６２ｂとを備える。図３Ａに示す繊維を用いてもよい。ブラシ保持部６４は、繊維の束の部分６２ａを植え込んだ部分６２ｂをクランプする。

また、ブラシ保持部６４は、調整ねじ６４ａによって固定部６５に取り付けられている。その調整ねじを緩めてブラシ保持部６４を保持する角度を変更することによって、ブラシ部分６２の傾きを調整することができる。固定部６５は円形テーブル２２ｔの面上に固定される。

［シャトル型基板検査装置の概要］
図６は、シャトル型基板検査装置７０の簡略化した平面図である。シャトル型基板検査装置７０はクリーニング機構９０を備える。図２に示す回転テーブル装置２２は、複数の被検査基板保持部４０を円形状の経路に沿って移動する搬送路を形成するのに対し、図６に示すシャトル型基板検査装置は、２つの搬送路７０Ｌ及び７０Ｒの２つの搬送路を備え、それらの搬送路は、共通の搬送路７０Ｃを持つ。そのような略矩形状の搬送路７０Ｌ及び共通搬送路７０Ｃに沿って被検査基板保持部（トレイ）７４Ｌが移動し、また、略矩形状の搬送路７０Ｒ及び共通搬送路７０Ｃに沿って被検査基板保持部（トレイ）７４Ｒが移動する。

共通搬送路７０Ｃには、検査部３０が設けられている。その検査部３０は１つの検査治具を備えるものでもよく、図２の実施例と同様に、上下方向に検査治具を備え、それにより、被検査基板の両面に形成された導体パターンの測定を同時にするものであってもよい。

説明の便宜上、図６において、搬送路７０Ｌのいくつかの位置を、矢印で示す経路に沿って、左下の位置から左回りに、ＰＬ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４及びＰＬ５と示す。また、搬送路７０Ｒのいくつかの位置を、矢印で示す経路に沿って、右下の位置から右回りに、ＰＲ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４及びＰＲ５と示す。それによると、トレイ７４ＬはＰＬ１の位置にあり、トレイ７４ＲはＰＲ１の位置にあり、クリーニング機構７０はＰ３の位置にあり、検査部３０はＰ４の位置にある。

各トレイの駆動は、例えば、各レーンに設置されたエアーシリンダによって行われる。また、図２に示す回転テーブル装置２２の被検査基板保持部４０に開口４０ｗが形成されているように、各トレイに開口が形成されていて、下側からも被検査基板７２に対し、下側検査治具がアクセスできる。

ＰＬ１は、搬送路７０Ｌにおける被検査基板の搬入部及び搬出部であり、ＰＲ１は、搬送路７０Ｒにおける被検査基板の搬入部及び搬出部である。例えば、搬送路７０Ｌにおいては、トレイ７４ＬがＰＬ１にあるときに被検査基板７２Ｌがそのトレイに載置される。それから、そのトレイは、搬送路７０Ｌに沿って移動して、共通搬送路７０ＣのＰ２、Ｐ３を通ってＰ４にある検査部３０に移動する。その検査部では、複数のピンを備える検査治具によって被検査基板７２の電気的特性が測定される。その測定が完了すると、トレイ７４Ｌは、Ｐ４から移動してＰＬ５を通って、搬出部及び搬入部のＰＬ１に到達する。そこで、検査の終了した被検査基板７２がトレイ７４Ｌから取り去られて次の被検査基板７２が載置される。

トレイ７４Ｌは、搬出部及び搬入部のＰＬ１において、検査済みの被検査基板を取り除いて次の新たな被検査基板を載置する間、そのＰＬ１に静止する。一方、その間、新たな被検査基板７２を載せたトレイ７４Ｒが、搬送路７０Ｒに沿ってＰＲ１から移動して共通搬送路７０ＣのＰ２、Ｐ３を通って検査部３０に移動し、そこでその被検査基板の検査を受ける。このように、各搬送路にある被検査基板が交互に検査を受けるようにしているため、被検査基板の取り出し及び載置のための時間の無駄を無くすことができる。その結果複数の被検査基板の検査の合計の時間を短縮することができる。

クリーニング機構９０は、ブラシ部分９２とそれを保持する保持部９４とを備える。ブラシ部分９２は、細い繊維、例えばグラスファイバー繊維の束の部分９２ａと、その繊維の束が植え込まれた部分９２ｂとを備える。各繊維は、図３Ａの実施形態と同様に、例えばナイロン製であり、その直径５２φは約０．１ｍｍで、その図に示すように、各繊維の先端はテーパー状に形成されていてもよい。また、ブラシ部分５２の繊維の長さは約２０から３０ｍｍで、ブラシ部分５２の厚みは約２から４ｍｍとすることができる。

ブラシ保持部９４は、繊維の束の部分９２ａを植え込んだ部分９２ｂをクランプする。また、ブラシ保持部９４は、例えば、図示せぬ調整ねじによってトレイ９５に取り付けられていて、ブラシ部分９２の取り付け角度を調整することができる。図６においては、ブラシ部分９２は、トレイ９５の進行方向とは反対方向に傾斜している。その傾斜角度は、トレイ９５の面から約４５度である。ただし、３０度から５０度程度の間の任意の角度に設定することができる。

クリーニング機構９０のトレイ９５は、例えば、搬送路７０Ｒ及び共通搬送路７０Ｃを移動するように設けることができる。その場合、トレイ９５は、搬送路７０Ｒにおいては、トレイ７４Ｒと一定の間隔を保持した状態でトレイ７４Ｒの動きと同期して移動する。また、共通搬送路７０Ｃにおいては、トレイ７４Ｌ及び７４Ｌが通過しない間に、トレイ９５が共通搬送路７０Ｃを通過して、それらのトレイの移動を妨げないようにする。そのため、トレイ９５の移動は、トレイ７４Ｌ及び７４Ｌに載置された被検査基板の検査のタイミングにも影響を与えない。

検査ピンのクリーニングを行う際には、トレイ９５が、共通搬送路７０Ｃを通ってＰ４の検査部３０に入り込む。Ｐ４の位置では、クリーニング機構９０の後傾したブラシ部分９２が、図３に示すように、検査治具のピンの先端部を掃きながらピンの列を通過する。それから、ＰＲ５に向かって移動する。

この実施例においても、ブラシ部分９２が、検査治具のピンの先端部を掃きながらピンの列を通過するＰ４の位置に吸塵機の取り込み口を設けて、落下した半田クズ、その他の粉塵等を捕集するようにしてもよい。

また、検査部３０のピンのクリーニングの頻度を高めるために、搬送路７０Ｌにも別のクリーニング機構を配置して、トレイ７４Ｌと７４Ｌとが通過しない１つの期間に、その別のクリーニング機構を移動させ、次の期間にクリーニング機構９０を移動させるというように、それらを検査部３０を交互に通過させてピンのクリーニングを行うようにしてもよい。

次に、クリーニング機構５０又は９０を用いて、検査治具のピン３２をクリーニングする際の留意点について説明する。

一般に、ピン３２は垂直に延びているため、図３Ｂに示すように、ブラシ部分は、進行方向とは反対に傾斜した状態に保持する必要がある。その状態でブラシ部分がピンの先端に接触すると、ブラシ部分の繊維が徐々にピンと接触することができるため、ピンに衝撃を与えずに済む。

また、クリーニング用ブラシとして、ブラシ部分が比較的柔らかめの素材から成るブラシ（例えば、ＰＢＴ：ポリブチレンテレフタレート製ブラシ）を用いて、ピン先端部のクリーニングを実施するよりも、それに代えて、ブラシ部分が比較的硬め素材から成るブラシ（例えば、グラスファイバー製ブラシ）を用いて、ピン先端部をクリーニングする方が望ましい。

上記のように、傾斜したブラシを用いてピン先端部のクリーニングを行う実施形態によると、隣接するピン同士の先端に付着し、ピン同士を導通不良（短絡）状態にする異物（例えば、半田などの導電物質）を取り除くことが可能となり、正確な検査を実施することができる。特に、その実施形態は、四端子測定方法のように、測定ピン同士の離間距離が短く配置されるような検査治具の、測定ピン間の異物を取り除くことに有効に利用することができる。

［他の実施形態の回転テーブル装置の概要］
図７は、図２と異なる他の実施形態に係る回転テーブル装置２２０を上方から見た平面図である。図２の回転テーブル装置２２と同様の要素には同一の符号を付してその説明は省略する。

図２の回転テーブル装置２２と異なり、Ｐ２の位置にある被検査基板保持部４０とＰ３の位置にある被検査基板保持部４０との間の円形テーブル２２ｔ上の位置Ｃ１には、クリーニング機構５０に代えて、上側ピン先端部清浄化部品４４Ｒｕが半径方向に沿って設置されている。そのため、ピン先端部清浄化部品４４Ｒｕは、回転テーブル２２装置と一体となって、前記被検査基板４２が搬送される搬送経路と同一の経路上を移動する。なお、この設置位置は、任意で、位置Ｐ２とＰ３の間に限定されない。

通常、検査部３０にある検査治具２８は、上側ピン先端部清浄化部品４４Ｒｕに接触しない位置に持ち上げられてその位置に保持されている。半径方向に延在する（即ち、円周方向に比べて半径方向に長く形成され、検査治具２８ｕのピン領域をカバーできる）上側ピン先端部清浄化部品４４Ｒｕが位置Ｐ４に来たとき、上側検査治具２８ｕは、ピン先端部３２ｐ（図の９符号３２ｐ参照）がピン先端部清浄化部品４４Ｒｕのファイバー先端に軽く接触する位置まで下降する（図９参照）。この段階で、上側検査治具２８ｕのピン先端部のクリーニング動作が行われる。ピン先端部清浄化部品４４Ｒｕは、図９に関連して詳しく説明するが、概して上方に向かってファイバーが植え込まれたブラシである。

図には示していないが、テーブル盤２２ｔの裏面にも下側ピン先端部清浄化部品４４Ｒｄが設置されている。同様に、下側検査治具２８ｄは、ピン先端部が下側ピン先端部清浄化部品４４Ｒｄのファイバー先端に軽く接触する位置まで上昇して、クリーニング動作が行われる。

クリーニング動作は、回転テーブル装置２２による所定の角度内での時計方向と反時計方向とへの往復回転移動を利用して行われる。これにより、ブラシのファイバーが、上側検査治具２８ｕ及び下側検査治具２８ｄのピン先端部を夫々ぬぐい清める。検査治具２８のピンに対して、ブラシのぬぐい清める方向を特定するため、この方向をＸ方向と規定する。図には示していないが、ピン先端部のクリーニング作業の際には、落下した半田クズ、その他の粉塵等を捕集するため、吸塵機の取り込み口が位置Ｐ４の近傍の適当な場所に設置されている。

また、テーブル盤２２ｔの位置Ｐ６とＰ７の間の位置Ｃ２に、別の上側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕが円周方向に沿って設置されている。そのため、ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕは、回転テーブル装置２２と一体となって、前記被検査基板４２が搬送される搬送経路と同一の経路上を移動する。なお、この設置位置は、位置Ｐ６とＰ７の間に限定されず、任意でよい。上側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕが回転テーブル装置２２の回転に伴って位置Ｐ４に来たとき、ピン先端部のクリーニング動作が行われる。

上側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕが位置Ｐ４に来たとき、上側検査治具２８ｕは、ピン先端部が上側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕのファイバー先端に軽く接触する位置まで下降する。図には示していないが、テーブル盤２２ｔの裏面にも下側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｄが設置されている。同様に、下側検査治具２８ｄは、ピン先端部が下側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｄのファイバー先端に軽く接触する位置まで上昇して、ピン先端部のクリーニング動作が行われる。

クリーニング動作は、例えば、エアーシリンダ３８ｕを利用して行われる。円周方向に延在する（即ち、半径方向に比べて円周方向に長く形成されている）上側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕは、エアーシリンダ３８ｕによりテーブル盤２２ｔの半径方向に所定の長さ往復移動するように駆動される。エアーシリンダ３８ｕは、空気圧を利用して負荷（ピン先端部清浄化部品４４Ｃ）を駆動するアクチュエータ（作動機器）であり、種々のタイプのものが市販されている。例えば、上側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕの移動方向に沿ってレール（図示せず。）を付設し、上側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕをエアーシリンダにより半径方向外向きに駆動し、エアーを止めた段階でバネ駆動により半径方向内向きに駆動する構成により行うことができる。

更に、上側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕの円周方向の長さが、検査治具２８ｕのピン領域をカバーできる長さより短いとき、最初のピン先端部のクリーニング動作が終了した後に、回転テーブル２２を僅かに回転させて上側ピン先端部清浄化部品４４Ｃｕを円周方向に僅かに移動し、引き続きクリーニング動作を行う。ピン先端部清浄化部品４４Ｃの円周方向の長さが、検査治具２８ｕのピン領域をカバーできなくとも、回転テーブル２２の回転を利用することによりクリーニング動作を何回かに分けて行うことができる。

このクリーニング動作により、ブラシのファイバーが、上側検査治具２８ｕ及び下側検査治具２８ｄのピン先端部を、Ｙ方向に夫々ぬぐい清める。

このクリーニング作業は、回転テーブル装置２２が１回転する毎に実行されるのではない。例えば、従来の経験から、所定枚数（例えば、100枚）の基板を検査した後に、クリーニング動作が実行される。或いは、基板検査装置１０で得られた基板検査のデータが、後述する「試作結果」に記載するように、検査しきい値を予め定めた頻度で超えたときに、クリーニング動作が実行される。

（他のピン先端部清浄化部品）
図８は、他のピン先端部清浄化部品を有する回転テーブル装置２２を示す一部拡大図である。

図７では、ピン先端部清浄化部品４４Ｒが半径方向に沿って設置され、ピン先端部清浄化部品４４Ｃが円周方向に沿って設置されている。

それに対し、図８のピン先端部清浄化部品４４ＲＣは、１個のピン先端部清浄化部品が、半径方向及び円周方向に延在する形状となっている。ピン先端部清浄化部品４４ＲＣの形状は、図に示すような十字形状に限定されない。その形状は、ブラシが半径方向及び円周方向に延在すればよく、例えば、Ｔ字形状、Ｌ字形状等であってよい。ピン先端部清浄化部品４４ＲＣも、回転テーブル２２と一体になって、前記被検査基板４２が搬送される搬送経路と同一の経路上を移動する。なお、この設置位置は任意でよい。

このピン先端部清浄化部品４４ＲＣの設置箇所が、図７で説明した回転テーブル２２の位置Ｐ４に移動して来たとき、ピン先端部３２ｐのクリーニング動作が行われる。ピン先端部清浄化部品４４ＲＣは、図７で説明したのと同様に、Ｘ方向の往復移動は回転テーブル装置２２の所定角度の往復回転により駆動され、Ｙ方向の往復移動は例えばエアーシリンダ３８ｕにより所定の長さの往復移動により駆動される。Ｙ方向の往復移動の後、回転テーブルを僅かに回転移動し、更にＹ方向の往復移動することで、Ｙ方向のクリーニングを何回かに分けて行うこともできる。

勿論、図７のピン先端部清浄化部品と同様に、回転テーブル装置２２の上面及び裏面の両方に、上側及び下側ピン先端部清浄化部品４４ＲＣｕ，４４ＲＣｄが夫々設置されている。ピン先端部清浄化部品４４ＲＣにより、検査治具のピン先端部を、１個のピン先端部清浄化部品によりＸ方向及びＹ方向に夫々ぬぐい清めることができる。

（検査治具とピン先端部清浄化部品）
図９（Ａ）及び図９（Ｂ）は、検査治具２８とピン先端部清浄化部品４４の詳細を説明する図である。

検査治具２８には複数本のピン３２が取り付けられている。各々のピン３２は、ピン軸部３２ｓとピン先端部３２ｐから成り、ピン３２の後端には基板検査装置１０のスキャナ２０につながる信号線が接続されているが、図では省略されている。

ピン先端清浄化部品４４は、ブラシ固定部材４４ｈと、これに固定された複数本のブラシ４４ｂからなり、ブラシ４４ｂはブラシ軸部４４ｓとファイバー部４４ｆから成る。ピン先端清浄化部品４４は、例えば、プリント基板の清掃・磨き用として市販されているスティックブラシを利用して、複数本のスティックブラシをブラシ固定部材４４ｈに植え付け固定して形成することが出来る。ファイバー部４４ｆは、例えば、グラスファイバーから成る。ブラシ固定部材４４ｈに固定されたスティックブラシの本数は、任意であるが、試作品では6〜20本程度であった。ピン先端清浄化部品４４は、Ｘ方向又はＹ方向に往復移動したとき、ファイバー部４４ｆがピン先端部３２ｐに平均的に接触するようにするため、ブラシ固定部材４４ｈに正格子状に植え付けるのではなく、隣接するブラシ列は半格子ずらして植え付けたものが好ましい。

次に、ピン先端部清浄化部品４４を使用して、検査治具２８のピン３２をクリーニングする際の留意点に関して説明する。

図９（Ａ）に示すように、検査治具２８が、回転テーブル２２に設置されたピン先端清浄化部品４４に向かって下降するとき、ピン先端清浄化部品４４はその真下に無く、ピン先端部３２ｐに衝突しないようにすることが好ましい。検査治具２８が、ピン先端部３２ｐがファイバー部４４ｂに僅かに接触する高さまで下降して静止した後、ピン先端清浄化部品４４が図面で見て左方から右方に向かって横方向に移動して、ファイバー部４４ｂがピン先端部３２ｐを一方に向かってぬぐい去る（即ち、スクラブする）。ファイバー部４４ｂがピン先端部３２ｐから離れた位置に達したときに静止し、その後、元の位置に向かって横方向に移動して、ファイバー部４４ｂがピン先端部３２ｐを反対向きにぬぐい去る。このようなクリーニング動作を必要回数だけ繰り返す。クリーニング動作が終了したら、検査治具２８は元の位置まで上昇する。

図９（Ｂ）に示すように、検査治具２８が、回転テーブル２２に設置されたピン先端清浄化部品４４に向かって下降するとき、ピン先端清浄化部品４４がその真下にあると、ファイバー部４４ｆの先端がピン先端部３２ｐに衝突して、ピン３２を圧迫した状態になる。この状態で、ピン先端清浄化部品４４の横方向の往復移動が開始されると、ファイバー部４４ｆからピン３２に対して過大な荷重が加わり、幾つかのピン３２に変形が生じる現象が発生した。従って、図９（Ａ）に関連して説明した状態でクリーニング動作を行うことが好ましい。

（シャトル型基板検査装置）
本実施形態のクリーニング機構は、回転テーブル装置２２０を利用した基板検査装置１０に限定されない。例えば、図１０は、シャトル型基板検査装置１５０で使用される基板保持部分を説明する図である。シャトル型基板検査装置１５０の基板保持部分以外は、図７で説明した基板試験装置と同じである。また、基本的な構成は図６のシャトル型基板検査装置７０の構成と同じである。符号２９はアライメントカメラである。

図１０のシャトル型基板検査装置１５０では、概して、板状の矩形テーブル２２−１の上を、被検査基板７２を載せたトレイ７４Ｌ又は７４Ｒが所定のレーンに沿って移動する構造である。

つまり、被検査基板７２が位置Ｐ１にある左側トレイ７４Ｌに載置されると、その左側トレイ７４Ｌは、左側レーン７０Ｌを通って位置Ｐ３を経由して、中央レーン７０Ｃを通って位置Ｐ５まで移動し、位置Ｐ５で静止して基板検査が実施される。基板検査終了後、左側レーン７０Ｌを通って位置Ｐ６を経由して、位置Ｐ１に戻る。

位置Ｐ２にある右側トレイ７４Ｒに設置された被検査基板７２は、右側レーン７０Ｒを通って位置Ｐ３を経由して、先行する左側の基板の検査が終了した時点で、中央レーン７０Ｃを位置Ｐ５まで移動し、位置Ｐ５で基板検査が実施される。基板検査後に、右側レーン７０Ｌを通って位置Ｐ７を経由して、位置Ｐ２に戻る。

左側トレイ７４Ｌの辿るルートでは、位置Ｐ１，Ｐ３，Ｐ４は上流部であり、位置Ｐ５は検査部であり、位置Ｐ６，Ｐ１は下流部である。一方、右側トレイ７４Ｒの辿るルートでは、位置Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４は上流部であり、位置Ｐ５は検査部であり、位置Ｐ７，Ｐ２は下流部である。

片側の被検査基板７２の基板検査が行われている時間に、反対側の被検査基板７２をトレイ７４Ｌ又は７４Ｒに位置決め設置作業を行うことで、複数枚の基板検査の合計時間を短縮している。

シャトル型基板検査装置１５０に対しても、クリーニング機構を備えることができる。

例えば、右側トレイ７４Ｒに対して、被検査基板の代わりに、図９で説明したピン先端部清浄化部品４４を設置する。ピン先端部清浄化部品４４は、半径方向延在ピン先端部清浄化部品４４Ｒ、円周方向延在ピン先端部清浄化部品４４Ｃ及び半径方向及び円周方向延在ピン先端部清浄化部品４４ＲＣのいずれのタイプでもよい。

右側トレイ７４Ｒに設置されたピン先端部清浄化部品４４は、位置Ｐ５でエアーシリンダ（図示せず。）により、Ｘ方向に所定の長さ往復移動して、検査治具２８のピン先端部３２ｐのクリーニング動作を行う。更に、必要に応じて、Ｙ方向に所定の長さ往復移動して、検査治具２８のピン先端部３２ｐのクリーニング動作を行う。従って、ピン先端部清浄化部品４４は、トレイ７４Ｒと一体になって、前記被検査基板７２が搬送される搬送経路と同一の経路上を移動する。図には示していないが、ピン先端部のクリーニング作業の際には、落下した半田クズ、その他の粉塵等を捕集するため、吸塵機の取り込み口が位置Ｐ５の近傍の適当な場所に設置されている。

このクリーニング作業は、例えば、所定枚数（例えば、100枚）の基板を検査した後に実行される。或いは、基板検査装置１５０で得られた基板検査のデータが、後述する「試作結果」に記載するように、所定のしきい値を超えたときに、クリーニング動作が実行される。

（試作結果）
例えば、基板検査装置１０，１５０では、導体パターンの電気抵抗値を測定して、その良否を判定している。例えば、良否の判定基準は、導体パターンの測定抵抗値が、次式の検査しきい値以下であれば良品と判定し、検査しきい値を超えると不良品と判定する。

検査しきい値＝Ｌ＋ｋ （Ω）
Ｌ：良品基板の導体パターン抵抗値
ｋ：ピンと導体パターンの接触抵抗、ピン先端部の半田付着等の抵抗
一例で説明すると、100枚程度の基板検査を実施すると、基板導体の測定抵抗値が検査しきい値を超えてしまう場合があった。この場合、背景技術で説明したように、手作業にてピン先端部のクリーニングを行って、基板導体の測定抵抗値が検査しきい値以下に回復するようにしていた。

上記実施形態で説明したクリーニング機構を用いて、検査しきい値を超えた基板に対してクリーニング動作を実施した。

クリーニング用ブラシとして、ブラシ部分が比較的柔らかめの素材から成るブラシ（例えば、ＰＢＴ：ポリブチレンテレフタレート製ブラシ）を用いて、ピン先端部をＸ方向に最大200回のクリーニングを実施した。しかし、測定抵抗値は、検査しきい値を越えるものがあった。

ＰＢＴ製ブラシに代えて、ブラシ部分が比較的硬め素材から成るブラシ（例えば、グラスファイバー製ブラシ）を用いて、ピン先端部をＸ方向に数十回程度クリーニングを実施した。この結果、測定抵抗値は、ほぼ検査しきい値以下となった。

次に、ピン先端部を、Ｘ方向に数十回程度のクリーニングを実施し、その後、Ｙ方向に数十回程度クリーニングを実施した。この結果、全ての測定抵抗値は、検査しきい値以下となったことを確認した。基板の導体パターンの測定抵抗値の変動値の幅は1Ω以下に収まっていた。

これらの試作結果より、使用するブラシの材料は、柔らかめの素材（ＰＢＴ）より硬めの素材（グラスファイバー）が好ましいことが分かる。ピン先端部を一方向（例えば、Ｘ方向）に数十回程度クリーニングを実施することで、ピン先端部はほぼクリーニングされることが分かる。更に、ピン先端部を二方向（例えば、Ｘ方向及びＹ方向）に夫々数十回程度クリーニングを実施することで、ピン先端部は完全にクリーニングされることが分かる。

クリーニング作業を一方向にするか二方向にするかは、基板検査中に得られた被検査基板の導体パターンの測定抵抗値が検査しきい値を超える頻度等によって決定される。

図７から図１０までに示す実施形態は、図２の実施形態に比べて、ピン先端部の周面をより念入りにクリーニングすることができる。そのため、この実施形態は、特に、ピンの先端部と検査点との間に半田くず等が残存することによって、それらの接触抵抗値が変動し、その結果測定値に影響が生じる二端子測定法を用いて基板検査を実施する際のピンのクリーニングに適する。

［実施形態の利点・効果］
以上説明したように、基板検査装置にクリーニング機構を備えることにより、次のような利点・効果が生じる。

(1) ピン先端部のクリーニング機構を有する基板検査装置の実現
本実施形態により、ピン先端部のクリーニング機構を有する基板検査装置を実現することが出来た。

(2) クリーニング作業の機械化
背景技術で説明したように、従来は、基板検査装置から検査治具を取り外して、手作業にて検査治具のピンをブラシによりクリーニングしていた。

本実施形態により、クリーニング作業の機械化を図ることが出来た。手作業では清浄化の品質レベルを管理することが困難であった。しかし、クリーニング動作を機械化することにより、ピン先端部の清浄化の品質レベルを一定に管理することが出来た。

(3) クリーニング作業の自動化
基板検査装置にクリーニング機構を備えることにより、クリーニング作業の自動化を図ることが出来た。

手作業では、基板検査作業とピン先端のクリーニング作業とは別個の作業となっていた。更に、特許文献１及び２で開示する基板検査装置は、クリーニングの際に、複数枚の被検査基板の流れとは別個に設けられたクリーニング手段をコンタクト部、コンタクトピン等の場所まで移動してクリーニングを実行している。

しかし、基板検査装置に、被検査基板が搬送される搬送経路と同一の経路上を移動するクリーニング機構を備えることにより、基板検査作業を実質的に中断することなく、ピン先端のクリーニング作業を基板検査作業と一連の工程で実施することが出来る。

即ち、複数枚（例えば、100枚）の基板を順次連続的に基板検査する際に、検査治具から見て、被検査基板の位置に被検査基板と同じ搬送経路を辿って移動するクリーニング機構を設けることにより、順次実施される基板検査の流れを実質的に中断せずに、必要時に短時間でピン先端部のクリーニングを行い、直ちに基板検査に戻ることが可能となる。

(4)基板検査時間の短縮
基板検査装置にクリーニング機構を備えることにより、検査治具の取り外し及び再取り付けが不要になった。被検査基板の配線が極度に高密度化され、これに対応する検査治具のピン配列も極度に高密度化されている。そのため、検査治具を基板検査装置に再取り付けする際に、位置補正をしながら位置を決定するために多大の時間を要していた。基板検査装置にクリーニング機構を備えることにより、検査治具の着脱自体が不要となり、ピン先端部のクリーニングに要する時間を大幅に短縮することが出来た。結果的に、一定の枚数の基板を検査に要する合計基板検査時間を大幅に短縮することが出来た。

(5)検査治具の位置ズレの解消
従来、清浄化作業後に検査治具を基板検査装置に再取り付けする際、少しずつ設置位置の補正を繰り返しながら最終的な位置を決定して取り付けるような位置設定を行っていた。しかし、このような取り付け位置設定作業では、どうしても検査治具着脱の前後で位置ズレを起こす不具合があった。しかし、ピン先端部のクリーニング機構を、基板検査装置に組み込むことにより、ピン先端部のクリーニングの際の検査治具の着脱自体が不要になり、着脱の前後で生じる位置ズレの問題が解消した。

［代替例等］
以上、本発明に係るクリーニング機構を備える基板検査装置の望ましい実施態様について説明したが、本発明はその実施態様に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれるものであり、また、本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められることを承知されたい。

１０・・・基板検査装置
１１・・・制御装置
２２・・・回転テーブル装置
２２ｔ・・・円形テーブル
２２ｓ・・・回転駆動軸
２８ｕ・・・上側検査治具
２８ｄ・・・下側検査治具
３２・・・ピン
３０・・・検査部
４０・・・被検査基板保持部
４２・・・被検査基板
４４・・・ピン先端部清浄化部品
４４Ｒ・・・半径方向延在ピン先端部清浄化部品
４４Ｃ・・・円周方向延在ピン先端部清浄化部品
４４ＲＣ・・・半径方向及び円周方向延在ピン先端部清浄化部品
４４ｕ・・・上側ピン先端部清浄化部品
４４ｄ・・・下側ピン先端部清浄化部品
４４Ｒｕ・・・上側半径方向延在ピン先端部清浄化部品
４４Ｃｕ・・・上側円周方向延在ピン先端部清浄化部品
４４ＲＣｕ・・・上側半径方向及び円周方向延在ピン先端部清浄化部品
４４Ｒｄ・・・下側半径方向延在ピン先端部清浄化部品
４４Ｃｄ・・・下側円周方向延在ピン先端部清浄化部品
４４ＲＣｄ・・・下側半径方向及び円周方向延在ピン先端部清浄化部品
４４ｂ・・・ブラシ
４４ｆ・・・ファイバー部
４４ｈ・・・ブラシ固定部材
４８・・・トレイ
５０，７０，９０・・・クリーニング機構
５２，７２，９２・・・ブラシ部分
５４，７４，９４・・・ブラシ保持部
５４ａ・・・調整プレート
６４ａ・・・調整ねじ
７０Ｌ，７０Ｒ・・・搬送路
７０Ｃ・・・共通搬送路

Claims (10)

1. 搬入部から搬出部までの搬送路と、該搬送路上に所定の間隔で設けられた被検査基板保持部と、該被検査基板保持部を前記搬送路に沿って移動する移動手段とを備える搬送手段と、
   前記搬送路の途中に設けられていて、前記搬送手段の前記被検査基板保持部に保持された被検査基板を順次検査する検査部であって、検査治具を備え、該検査治具に設けられた複数のピンを被検査基板上の配線の検査点に接触させることによって該配線の電気的特性を測定する検査部と、
   前記搬送路上に所定の間隔で設けられた任意の隣り合う被検査基板保持部の間に設けられたクリーニング手段であって、前記搬送手段の前記移動手段によって移動され、前記検査部を通過する際に前記複数のピンのクリーニングを行うクリーニング手段とを備える、基板検査装置。
2. 請求項１の基板検査装置において、前記任意の隣り合う被検査基板保持部の間に設けられた前記クリーニング手段と隣接する２つの前記被検査基板保持部との各距離は、前記任意の隣り合う被検査基板保持部の間の距離よりも小さい、基板検査装置。
3. 請求項２の基板検査装置において、前記クリーニング手段がブラシを備えていて、該ブラシが、前記移動手段によって移動される移動方向に沿った繊維の流れを有し、前記移動方向とは反対の方向に傾斜して保持されている、基板検査装置。
4. 請求項３の基板検査装置において、前記ブラシが、水平面に対し約３０度から５０度の間の任意の角度に傾斜して保持されている、基板検査装置。
5. 請求項３の基板検査装置において、
   前記ブラシは、グラスファイバーからなる、基板検査装置。
6. 請求項１の基板検査装置において、
   前記搬送手段は、円形テーブルと該円形テーブルを回転駆動する回転駆動手段とを有する回転テーブル装置を備えており、前記被検査基板保持部が、前記円形テーブル上の円周に沿った位置に所定間隔で設けられており、また、前記クリーニング手段が、前記円形テーブル上に設けられた前記被検査基板保持部の任意の隣り合う２つの被検査基板保持部の間に少なくとも１つ設けられた、基板検査装置。
7. 請求項１の基板検査装置において、
   前記搬送手段が、２つの前記搬送路と、該２つの搬送路の各々に配置された前記被検査基板保持部と、該被検査基板保持を各搬送路に沿って移動する移動手段とを備え、
   前記２つの搬送路の一部の経路が共通し、該共通する経路上の任意の位置に前記検査部が配置されており、さらに、前記２つの搬送路の少なくとも一方に１つの前記クリーニング手段が設けられており、
   前記共通する前記経路上の前記検査部を、前記２つの被検査基板保持部が所定の時間間隔をおいて通過する一方、該間隔の間に、前記クリーニング手段が前記共通する前記経路を通過する、基板検査装置。
8. 請求項１の基板検査装置において、
   前記クリーニング手段は、前記検査治具のピン先端部から離れた位置から一方に向けて移動開始し該ピン先端部に接触しながらクリーニングして該ピン先端部から離れた位置まで移動して停止し、その後、元の位置まで反対向きに移動して該ピン先端部をクリーニングし、この往復移動を繰り返す、基板検査装置。
9. 請求項１の基板検査装置において、
   前記搬送手段は、回転駆動軸と円形テーブルとを有する回転テーブルで形成され、
   前記円形テーブルに円周状に保持された複数枚の被検査基板の間に、前記クリーニング手段が設けられ、該クリーニング手段は、前記回転駆動軸の回転により、前記被検査基板と同一の搬送経路を辿って前記検査部に移動する、基板検査装置。
10. 検査治具に設けられた複数のピンを被検査基板上の配線の検査点に接触させる
    ことによって該配線の電気的特性を測定する検査部に、既定のタイミングで、複数の前記被検査基板を順次搬送する一方、
    前記既定のタイミングと異なるタイミングで、ブラシを有するクリーニング手段を前記検査部を通過させて前記複数のピンをクリーニングする、基板検査装置における複数のピンのクリーニング方法。

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