JP2006173195A - 微小粒子の配置方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ボールマウンタ1は、充填用ヘッドにより大量の半田ボールを移動させるステップS8と、除去用ヘッドにより、マスクに残った半田ボールを除去するステップS9とを行なう。ステップS8においては、残ボールが発生しても良いので、十分な量の半田ボールを移動できる。また、ステップS9においては、残ボールを除去すると共に、マスクの開口パターンに充填された半田ボールをフラックスに押し付けて密着させることができる。
【選択図】 図3
Description
10 ウェハ(ワーク)
41、71 充填用ヘッド(第1の粒子移動手段)
42、72 除去用ヘッド(第2の粒子移動手段)
45 充填用マスク
46 開口パターン
48 半田ボール
49 半田ボールの集合
80 クリーニング用ヘッド
Claims (14)
- 微小粒子をワークの所定の位置に配置するための開口パターンを備えたマスクを用いて、前記ワークの上に前記微小粒子を配置する方法であって、
大量の前記微小粒子を移動するのに適した第1の粒子移動手段により、前記マスクに沿って前記微小粒子を移動する第1の工程と、
少量の前記微小粒子を移動するのに適した第2の粒子移動手段により、前記マスクに沿って前記微小粒子を移動する第2の工程とを有する、微小粒子の配置方法。 - 微小粒子をワークの所定の位置に配置するための開口パターンを備えたマスクを用いて、前記ワークの上に前記微小粒子を配置する方法であって、
第1の粒子移動手段により、前記マスクに沿って前記開口パターンに充填するのに十分な量の前記微小粒子の集合を一括して移動する第1の工程と、
第2の粒子移動手段により、前記マスクに沿って、散逸している前記微小粒子を移動する第2の工程とを有する、微小粒子の配置方法。 - 請求項1または2において、前記第1の工程は、前記微小粒子を前記開口パターンに充填することを目的とし、前記第2の工程は、前記微小粒子を前記マスクの外に移動することを目的とする、微小粒子の配置方法。
- 請求項1または2において、前記第1の粒子移動手段は、前記微小粒子に対して前記マスクの表面に沿った水平方向の力を主として加え、
前記第2の粒子移動手段は、前記第1の粒子移動手段よりも、前記微小粒子に対して前記マスクの表面に垂直な方向の比率が高い力を加える、微小粒子の配置方法。 - 請求項1または2において、前記第1の粒子移動手段および前記第2の粒子移動手段は機械的に前記微小粒子に接して前記微小粒子を移動するスウィープ部材を備えており、
前記第2の粒子移動手段のスウィープ部材は、前記第1の粒子移動手段のスウィープ部材よりも柔軟である、微小粒子の配置方法。 - 請求項1または2において、前記第1の粒子移動手段および前記第2の粒子移動手段は気体を吹き出して前記微小粒子を移動するものであり、
前記第1の工程および前記第2の工程における気体の吹き出し角度が異なる、微小粒子の配置方法。 - 請求項1または2において、前記マスクを前記ワークから退避させ、退避させた前記マスクの少なくとも裏面をクリーニングする工程を有する、微小粒子の配置方法。
- 請求項7において、前記クリーニングする工程では、前記マスクの裏面を吸引することによりクリーニングする、微小粒子の配置方法。
- 微小粒子をワークの所定の位置に配置するための開口パターンを備えたマスクを用いて、前記ワークの上に前記微小粒子を配置する装置であって、
前記マスクに沿って前記開口パターンに充填するのに十分な量の前記微小粒子の集合を一括して移動する第1の粒子移動手段と、
前記マスクに沿って、散逸している前記微小粒子を移動する第2の粒子移動手段とを有する、微小粒子の配置装置。 - 請求項9において、前記第1の粒子移動手段は、前記微小粒子に対して前記マスクの表面に沿った水平方向の力を主として加え、
前記第2の粒子移動手段は、前記第1の粒子移動手段よりも、前記微小粒子に対して前記マスクの表面に垂直な方向の比率が高い力を加える、微小粒子の配置装置。 - 請求項9において、前記第1の粒子移動手段および前記第2の粒子移動手段は機械的に前記微小粒子に接して前記微小粒子を移動する移動部材を備えており、
前記第2の粒子移動手段の移動部材は、前記第1の粒子移動手段の移動部材よりも柔軟である、微小粒子の配置装置。 - 請求項9において、前記第1の粒子移動手段および前記第2の粒子移動手段は気体を吹き出して前記微小粒子を移動し、前記第2の粒子移動手段は、前記第1の粒子移動手段とは異なる角度で気体を吹き出す、微小粒子の配置装置。
- 請求項9において、前記ワークに対して前記マスクを着脱する手段と、前記ワークから離れた前記マスクの少なくとも裏面をクリーニングする手段とを有する、微小粒子の配置装置。
- 請求項13において、前記クリーニングする手段は、前記マスクの裏面を吸引する手段を備えている、微小粒子の配置装置。
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