JP2013032971A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転テーブル13を備える基板搬送機構12と、回転テーブル13に配設される複数の基板保持機構22と、各基板保持機構22に保持させた被検査基板29に順次ピンブロック34側を接触させて検査する検査治具機構32と、ピンブロック34に接触させるブラシ体49を備えピンクリーニング機構42とで構成され、ピンクリーニング機構42には、回転テーブル13に固定される基台部43と、該基台部43側から回動可能に突出させてブラシ体49を支持するブラシ支持杆46と、ブラシ支持杆46を弾性的に回動規制してブラシ体49をピンブロック34側に摺接させた際の接触圧を緩和するバネ部片とを少なくとも具備させた。
【選択図】図1
Description
12 基板搬送機構
13 回転テーブル
13a一側平面
13b他側平面
14 回転軸
15 縁辺
16 側縁部
22 基板保持機構
23 基部
24 拡開突出部
25 着脱手段
29 被検査基板
32 検査治具機構
33 検査治具部
34 ピンブロック
35 ピン
42 ピンクリーニング機構
43 基台部
44 外側垂直面
45 回動片部
46 ブラシ支持杆
47 凹陥平坦面
48 着脱片
49 ブラシ体
50 ブラシ部
50a 接触端部
50b 基端部
51 ブラシ保持部
52 引っ張り用コイルバネ(バネ部片)
53 ストッパー
54 異物吸引部材
55 吸塵部
56 吸塵口
57 吸引管部
Claims (5)
- 回転軸に回転制御可能に軸支された回転テーブルを備えて装置本体側に配置される基板搬送機構と、前記回転テーブルの回転方向での複数箇所に所定間隔をおいて配設される基板保持機構と、前記回転テーブルの回転方向での所定位置にて個々の前記基板保持機構に保持させた被検査基板の検査ポイントに順次ピンブロック側を接触させてその検査を可能に前記装置本体側に配置される検査治具機構と、前記ピンブロック側への接触が可能なブラシ体を備えて前記回転テーブルにおける前記基板保持機構の位置とは異なる位置に配設されるピンクリーニング機構とで構成され、
該ピンクリーニング機構には、前記回転テーブルの周縁部に固定配置される基台部と、該基台部の外側垂直面に対しその面方向とは略直交する方向に突出させ、かつ、回動可能となって前記ブラシ体を支持するブラシ支持杆と、前記ブラシ支持杆の回動方向での弾性的な支持を可能に配置して前記ブラシ体を前記ピンブロック側に摺接させた際の接触圧を緩和するバネ部片とを少なくとも具備させたことを特徴とする基板検査装置。 - 前記検査治具機構は、前記被検査基板を両面方向から各別に検査可能な一対となって対面配置され、
前記ピンクリーニング機構は、一方の前記検査治具機構と他方の前記検査治具機構との別に対応させるべく前記回転テーブルの少なくとも2カ所に配設した請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記ピンクリーニング機構は、前記ブラシ体近傍に異物吸引部材を具備させた請求項1または2に記載の基板検査装置。
- 前記ブラシ体は、前記ピンブロック側のピン長さ方向を個々の毛足の長さ方向とする位置関係で前記ブラシ支持杆に支持させた請求項1ないし3のいずれかに記載の基板検査装置。
- 前記ブラシ体部は、個々の毛足の長さ方向が後傾する位置関係でブラシ支持杆に支持させた請求項1ないし3のいずれかに記載の基板検査装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2011
- 2011-08-02 JP JP2011169184A patent/JP2013032971A/ja active Pending
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