JP4835939B2 - Icテスタ及びテストボードの着脱方法 - Google Patents

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Description

本発明は、テストボードをテストヘッドから水平方向に着脱するICテスタ及びテストボードの着脱方法に関し、テストボードの着脱スペースを抑えられるICテスタ及びテストボードの着脱方法に関するものである。
ICテスタは、例えば、IC、LSI等の被試験対象を試験するものである。そして、ICテスタは、ピンエレクトロニクスボードと呼ばれるプリント基板が多数搭載されるテストヘッドを有し、このテストヘッドに、被試験対象のパッケージを取り付けるソケットが多数設けられるテストボードを取り付けている。テストボードは、被試験対象の種類に応じて取替えやピンエレクトロニクスボードのメンテナンスのために、テストヘッドから着脱可能になっている。このような装置は例えば特許文献1〜3等に記載されている。
特開平9−288147号公報 特開平10−300816号公報 特開2003−160299号公報
このような装置では、テストボードを水平移動させ、テストヘッドから分離しているので、テストボードの着脱スペースが大きく必要である。ICテスタは、クリーンルームに多数設置されるので、着脱スペースがとられることにより、ICテスタの設置台数が少なくなってしまうという問題点があった。
そこで、本発明の目的は、テストボードの着脱スペースを抑えられるICテスタ及びテストボードの着脱方法を実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち第1の手段は、
水平方向にスライドレールが取り付けられたテストヘッドと、
このテストヘッドの上面に取り付けられ、前記スライドレールに沿って前記テストヘッドから水平方向にスライドするテストボードと、
このテストボードの対向する側面に設けられる軸と、
前記テストヘッドに回転可能に取り付けられ、前記軸が挿入される溝を有する回転プレートと、
この回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダと、
を備え、
前記軸を前記回転プレートの溝に挿入させ、前記シリンダを用いて前記回転プレートを回転させることにより、前記テストボードを前記テストヘッド上から水平またはほぼ直立に回転させることを特徴とするICテスタである。
第2の手段は、第1の手段であって
転プレートが回転し、テストボードがほぼ直立したとき、テストボードを保持する設置台を設けたことを特徴とするものである。
の手段は、
テストヘッドに水平方向に取り付けられたスライドレールに沿って前記テストヘッドの上面に取り付けられたテストボードを水平にスライドさせ、このテストボードの対向する側面に設けられた軸を前記テストヘッドに回転可能に取り付けられた回転プレートの溝に挿入するステップと、
前記回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダを用いて、前記回転プレートを回転させ、前記テストボードをほぼ直立させるステップと、
を備えたことを特徴とするテストボードの着脱方法である。
の手段は、
ほぼ直立状態のテストボードの対向する側面に設けられた軸をテストヘッドに回転可能に取り付けられた回転プレートの溝に挿入するステップと、
前記回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダを用いて、前記回転プレートを回転させ、前記テストボードを水平にさせるステップと、
前記テストボードを前記テストヘッドに水平方向に取り付けられたスライドレールに沿って水平にスライドさせ、前記テストボードを前記テストヘッドに取り付けるステップと、
を備えたことを特徴とするテストボードの着脱方法である。
本発明によれば以下のような効果がある。
の手段は、テストボードを回転プレートによりシリンダを用いて回転させ、テストボードを水平またはほぼ直立にさせるので、テストボードの着脱スペースを抑えることができる。
また、第の手段は、回転プレートが回転し、テストボードがほぼ直立したとき、テストボードを保持する設置台を設けたので、テストボードをテストヘッドから取り外すことができる。
3,4の手段は、テストボードを回転プレートによりシリンダを用いて回転させ、テストボードを水平またはほぼ直立にさせるので、テストボードの着脱スペースを抑えることができる。

以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。
図1において、テストヘッド本体1は、ピンエレクトロニクスボードが複数内部に設けられ、スライドレール11が取り付けられる。テストボード2は、被試験対象が取り付けられるソケット(図示せず)が上面に多数設けられ、テストヘッド本体1の上面に取り付けられ、テストヘッド本体1から、スライドレール11に沿って水平方向に着脱する。軸21,22は、テストボード2の対向する側面に上下斜めに設けられる。マニピュレータ3は、テストヘッド本体1を回転させる。マニピュレータ3の回転機構は本発明の主要部でないので説明を省略する。2つの回転プレート4は、略長方形に形成され、軸21,22が挿入される溝41,42を有し、マニピュレータ3に設けられる回転軸31に取り付けられる。シリンダ5は、回転プレート4に一端が取り付けられ、マニピュレータ3に他端が取り付けられ、回転プレート4を支える。
このような装置の動作を、図2を用いて説明する。テストボード2を取り外す場合、図2(a)に示す状態から、テストボード2をテストヘッド本体1上でスライドさせ、軸21,22が回転プレート4の溝41,42に挿入される(図2(b))。そして、回転プレート4を、シリンダ5を用いて回転させることにより、テストボード2を回転させ、ほぼ直立させる(図2(c))。
テストボード2を取り付ける場合、図2(c)に示す場合、シリンダ5を用いて、回転プレート4を回転させることにより、ほぼ直立状態のテストボード2を水平にさせる(図2(b))。そして、テストボード2をテストヘッド本体1上でスライドさせ、テストボード2をテストヘッド本体1に取り付ける(図2(a))。
このように、テストボード2を回転プレート4によりシリンダ5を用いて回転させ、テストボード2を水平またはほぼ直立にさせるので、テストボード2の着脱スペースを抑えることができる。
次に、第2の実施例を、図3を用いて説明する。図3において、台車6は設置台で、図示しない車輪が下部に設けられる。そして、台車6は、底プレート61、支持プレート62、昇降プレート63、昇降部64からなる。底プレート61は、長方形で、図示しない車輪が下部に設けられる。支持プレート62は、長方形で、底プレート60の短手の両端に垂直に設けられ、長手方向のほぼ中央にスリット621を有する。昇降プレート63は、略長方形で、支持プレート62より内側に平行に設けられ、軸21を保持する溝631、軸22を支える切欠き部632を有する。昇降部64は、台形ネジ641、ナット642を有する。台形ネジ641は、支持プレート62の長手方向にスリット621に沿って取り付けられる。ナット642は、台形ネジ641に嵌め合わされ、スリット621に挿入され、昇降プレート63に取り付けられる。
このような装置の動作を説明する。図3(a)は、図2(b)に示す状態にした図である。そして、回転プレート4を、シリンダ5を用いて回転させることにより、テストボード2を回転させ、ほぼ直立にさせる(図3(b))。台形ネジ641を図示しないハンドルにより回転させ、昇降プレート63を上昇させる。これにより、溝631に軸21が嵌り、切欠き部632に軸22が載り、溝41,42から軸21,22が外れ、テストボード2が上昇する。そして、回転プレート4を、シリンダ5を用いて回転させ、元の位置に戻す(図3(c))。テストボード2をテストヘッド本体1に取り付ける場合は、上記と逆の動作をさせる。
このように、回転プレート4が回転したとき、テストボード2を保持すると共に、昇降可能な昇降プレート63を有する台車6を設けたので、テストボード2をテストヘッド本体1から取り外すことができる。
なお、マニピュレータ3に回転プレート4、シリンダ5を取り付ける構成を示したが、テストヘッド本体1に取り付ける構成にしてもよい。また、テストヘッド本体1とマニピュレータ3とが別々の構成を示したが、テストヘッドとしてもよい。
また、軸21,22は、1つでもよい。これに対応して、溝41,42も1つでもよい。同様に、切欠き部632がなくともよい。
本発明の一実施例を示した構成図である。 図1に示す装置の動作を説明する図である。 本発明の第2の実施例を示した構成図である。
符号の説明
1 テストヘッド本体
2 テストボード
21,22 軸
3 マニピュレータ
4 回転プレート
5 シリンダ
6 台車
63 昇降プレート

Claims (4)

  1. スライドレールが取り付けられたテストヘッドと、
    このテストヘッドの上面に取り付けられ、前記スライドレールに沿って前記テストヘッドから水平方向にスライドするテストボードと、
    このテストボードの対向する側面に設けられる軸と、
    前記テストヘッドに回転可能に取り付けられ、前記軸が挿入される溝を有する回転プレートと、
    この回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダと、
    を備え、
    前記軸を前記回転プレートの溝に挿入させ、前記シリンダを用いて前記回転プレートを回転させることにより、前記テストボードを前記テストヘッド上から水平またはほぼ直立に回転させることを特徴とするICテスタ。
  2. 回転プレートが回転し、テストボードがほぼ直立したとき、テストボードを保持する設置台を設けたことを特徴とする請求項1に記載のICテスタ。
  3. テストヘッドに取り付けられたスライドレールに沿って前記テストヘッドの上面に取り付けられたテストボードを水平にスライドさせ、このテストボードの対向する側面に設けられた軸を前記テストヘッドに回転可能に取り付けられた回転プレートの溝に挿入するステップと、
    前記回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダを用いて、前記回転プレートを回転させ、前記テストボードをほぼ直立させるステップと、
    を備えたことを特徴とするテストボードの着脱方法。
  4. ほぼ直立状態のテストボードの対向する側面に設けられた軸をテストヘッドに回転可能に取り付けられた回転プレートの溝に挿入するステップと、
    前記回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダを用いて、前記回転プレートを回転させ、前記テストボードを水平にさせるステップと、
    前記テストボードを前記テストヘッドに取り付けられたスライドレールに沿って水平にスライドさせ、前記テストボードを前記テストヘッドに取り付けるステップと、
    を備えたことを特徴とするテストボードの着脱方法。
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