WO2010032299A1 - テスト部ユニット脱着装置およびテストヘッド移動装置 - Google Patents

テスト部ユニット脱着装置およびテストヘッド移動装置 Download PDF

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正行 福士
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株式会社アドバンテスト
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers

Definitions

  • the present invention relates to a test part unit detaching apparatus that can attach and detach a test part unit provided in a test head, and a test head that can move a test head installed in an electronic part handling apparatus to the outside of the electronic part handling apparatus
  • the present invention relates to a mobile device.
  • a test apparatus for testing the finally manufactured electronic parts is required.
  • an IC device is transported by an electronic component handling apparatus called a handler, and an external terminal of the IC device is brought into electrical contact with a connection terminal of a socket provided on the test head, whereby a test main apparatus Have the tester perform the test.
  • IC devices are tested and classified into categories such as at least good products and defective products.
  • test unit (sometimes referred to as Hi-Fix or motherboard) is generally provided on the test head.
  • This test unit includes a performance board having a function as an adapter, and a socket board electrically connected to the performance board and provided with one or more sockets.
  • the test unit is provided to be replaceable with respect to the test head body.
  • a plurality of substrates are provided inside the test head body. For example, when a problem occurs on the substrate or when changing the type of IC device under test, the test unit is removed from the test head body. The test head body may need to be maintained.
  • test unit 5 Since the test unit is as heavy as about 60 kg, conventionally, the test unit 5 has been removed from the test head body 4 using a lifter 7 as shown in FIG.
  • test head 3 provided at the lower part of the handler 1 is slid out of the handler 1 by the test head moving device 6 (FIG. 7A), and the test unit on the test head 3 is placed.
  • 5 is lifted by the lifter 7 and removed from the test head main body 4 (FIG. 7B), and the lifter 7 is moved so that the test unit 5 is placed at a position that does not interfere (FIG. 7C).
  • the test head main body 4 is maintained, and when the maintenance is completed, the test unit 5 is again lifted by the lifter 7 and attached to the test head main body 4, and the test head moving device 6 returns the test head 3 to its original position. .
  • the present invention has been made in view of such a situation, and a test section unit detaching apparatus, a test head moving apparatus, and a test head capable of maintaining the main body of the test head without using a conventional lifter
  • An object of the present invention is to provide a test head unit, an electronic component handling apparatus, and a test head main body maintenance method.
  • the present invention provides a test unit provided in a test head moving device or an electronic component handling device, the test unit provided in the test head of the electronic component test device from the main body of the test head.
  • a test part unit detaching apparatus is provided that supports the removed test part unit and attaches the removed test part unit to the main body of the test head again (Invention 1).
  • test unit can be detached by the test unit unit detaching device provided in the test head moving device or the electronic component handling device, it is not necessary to use a conventional lifter. One worker is enough.
  • invention 1 it is preferable to provide the support part which can support the to-be-supported part provided in the said test part unit, and the drive part which can move the said support part ( Invention 2).
  • the drive unit has a cylinder device (Invention 3).
  • the present invention is a test head moving device capable of holding and moving a test head of an electronic component testing apparatus, a moving mechanism capable of moving a main body of the test head, and a test head
  • a test section unit detaching apparatus that can remove the provided test section unit from the main body of the test head, support the removed test section unit, and reattach the removed test section unit to the main body of the test head
  • a test head moving device is provided (Invention 5).
  • the present invention is a test head moving device capable of holding and moving a test head of an electronic component testing device, wherein the holding portion for holding a main body portion of the test head, and the holding portion in a horizontal direction.
  • a slide mechanism that can be slid, and a test unit provided in the test head is detached from the main body of the test head, the removed test unit is supported, and the removed test unit is reattached to the test head
  • test unit can be detached by the test unit unit detaching device provided in the test head moving device, it is not necessary to use a conventional lifter, and the operator can One person is enough.
  • the test section unit detaching apparatus includes a support section that can support a supported section provided in the test section unit, and a drive that can move the support section in a vertical direction. It is preferable to include a portion (Invention 7).
  • the drive unit has a cylinder device (Invention 8).
  • the drive unit is connected when the test head is not at a predetermined position (for example, the innermost part) of the test head moving device or when the test unit unit is connected to the main body of the test head. When it is not released, it is preferable not to drive (Invention 10).
  • the slide mechanism is preferably configured such that the slide is locked when the test part unit or the support part of the test part unit detaching device is not located at the moving end (invention 11). .
  • the test head moving device further includes a Z-axis moving device that moves the main body of the test head in a vertical direction, and the Z-axis moving device includes the test unit unit. The movement is preferably locked when removed (Invention 12).
  • this invention removes the test part unit provided in the test head from the main body part of the test head, supports the removed test part unit, and removes the removed test part unit again from the main part of the test head. And a supported part supported by a supporting part of a test part unit attaching / detaching device that can be attached to the test part unit, wherein the supported part protrudes outside the main body part of the test part unit in a plan view.
  • a test unit unit is provided (Invention 13).
  • the support unit can be simply moved linearly by simply moving the support unit of the test unit unit detaching apparatus. Can support the supported portion of the test unit and detach the test unit. Therefore, the test part unit detaching apparatus can be configured with a simple structure.
  • the present invention provides a test head comprising the test unit (Invention 13) and a test head body (Invention 14).
  • the present invention includes the test head unit comprising the test head (invention 14) and the test head moving device (inventions 5 and 6) capable of holding and moving the test head. (Invention 15).
  • the present invention provides an electronic component handling apparatus capable of handling an electronic component and mounting it on a test portion of a test head and subjecting the electronic component to a test, the test portion unit provided on the test head And a test unit unit detaching device that can remove the test unit from the main body of the test head, support the removed test unit, and reattach the removed test unit to the main body of the test head.
  • An electronic component handling apparatus is provided (Invention 16).
  • test unit can be attached / detached by the test part unit attaching / detaching device provided in the electronic component handling device, it is not necessary to use a conventional lifter and one worker is also used. Is enough.
  • the present invention is a method for maintaining a main body of a test head installed in an electronic component handling apparatus, the test section unit detaching device (Invention 1), the test head moving device (Inventions 5 and 6).
  • the test head unit (invention 15) or the electronic component handling apparatus (invention 16) the test unit provided on the test head is removed from the main body of the test head, and the removed test unit is removed.
  • the unit is supported, and in this state, the main body of the test head is taken out of the electronic component handling apparatus to maintain the main body of the test head, and then the main body of the test head is returned to the original position. Returning, and attaching the removed test unit to the main body of the test head again It provides a maintenance method for Sutoheddo body (invention 17).
  • the test unit can be removed by one operator and the main body of the test head can be maintained without using a conventional lifter.
  • an area for storing, moving, and using a conventional lifter and an area for mounting the removed test unit are not required, space can be saved, and the flexibility of floor layout is increased.
  • FIG. 1 is a side view of a test head moving device and a handler according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a side view of the test head moving device according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a side view of the test head moving device according to the embodiment.
  • FIG. 4 is a side view of the test head moving device according to the embodiment.
  • FIG. 5 is a front view of the test head moving device according to the embodiment.
  • FIG. 6 is a plan view (a), a side view (b), and a front view (c) of the test unit unit detaching apparatus according to the embodiment.
  • FIGS. 7A to 7C are side views of a conventional handler, a test head moving device, and a lifter.
  • Test unit detaching device 22 Air cylinder (drive unit; cylinder device) 23 ... support part 3 ... test head 4 ... test head body (main part of test head) 5 ... Test unit 51 ... Supported portion 6 ... Test head moving device 7 ... Lifter
  • FIG. 1 is a side view of a test head moving device and a handler according to an embodiment of the present invention
  • FIGS. 2 to 4 are side views of the test head moving device according to the embodiment
  • FIG. FIG. 6 is a front view of the test head moving device according to the embodiment
  • FIG. 6 is a plan view (a), a side view (b), and a front view (c) of the test unit unit detaching device according to the embodiment.
  • the IC device test apparatus has a handler 1, a test head 3, and a test main apparatus (not shown).
  • the handler 1 sequentially transports IC devices (an example of electronic components) to be tested to a socket provided in the test head 3, sorts the IC devices that have been tested according to the test results, and stores them in a predetermined tray. Execute.
  • a control device that mainly controls the handler 1 is built in the lower part of the handler 1, but a space portion 10 is provided in part.
  • the test head 3 is replaceably disposed in the space portion 10, and an IC device can be attached to a socket on the test head 3 through a through hole formed in the handler 1.
  • the test head 3 includes a test head main body 4 incorporating a plurality of substrates, and a test unit 5 provided on the test head main body 4, and is installed in the test head moving device 6.
  • the test head 3 and the test head moving device 6 are collectively referred to as a test head unit.
  • test unit 5 includes a performance board and a socket board electrically connected to the performance board and provided with one or more sockets.
  • the test unit 5 is provided to be replaceable with respect to the test head body 4 via a connector.
  • the socket of the test unit 5 is electrically connected to the test main device through a substrate in the test head body 4 and an external cable (not shown).
  • the IC device mounted in the socket is connected to the test main device, and is tested by a test electric signal from the test main device.
  • the test head moving device 6 includes a main body portion 61 and a holding portion 62 that holds the test head main body 4.
  • the holding part 62 is attached to the main body part 61 via a slide mechanism, and is slidable in the horizontal direction, in this embodiment, the front direction (left side in FIGS. 2 to 4).
  • the slide mechanism includes a caster 63 provided at the lower end of the holding portion 62, a slidable rail (not shown), a driving device, and the like.
  • the test head moving device 6 in the present embodiment includes a Z-axis moving device that can move the test head main body 4 held by the holding unit 62 up and down.
  • the Z-axis moving device is shown in FIGS.
  • the handle 64 shown in FIG. The height of the test head 3 relative to the handler 1 can be adjusted by this Z-axis moving device.
  • Test unit unit detaching devices 2 are provided on both sides of the upper portion of the main body 61 of the test head moving device 6, respectively. As shown in FIGS. 2 to 6, each test unit detaching device 2 includes a frame 21, two air cylinders 22 provided on the frame 21, and one support attached to the upper end of each air cylinder 22. Part 23.
  • the air cylinder 22 moves the support portion 23 up and down by driving.
  • the driving of the air cylinder 22 is turned on / off by two switches 611 and 612 provided in the main body 61 of the test head moving device 6.
  • supported portions 51 that can be supported by the support portion 23 of the test unit detaching apparatus 2 are provided on both sides of the upper surface of the test unit 5.
  • the supported portion 51 in this embodiment includes two L-shaped brackets 511 and a bar 512 that is interposed between the brackets 511.
  • the bar 512 of the supported portion 51 is located outside the main body portion of the test unit 5 in plan view.
  • the supported part 51 has the above-described structure, the supported part 51 of the test part unit 5 is supported by the support part 23 by simply moving the support part 23 of the test part unit detaching apparatus 2 linearly.
  • the unit 5 can be detached. Therefore, the test unit unit detaching apparatus 2 can be configured with a simple structure.
  • the support portion 23 of the test unit detaching apparatus 2 has a plate portion 231 that can lift the bar 512 of the supported portion 51 from below, and the plate portion 231 includes a bar portion 231. A groove 232 into which 512 is fitted is formed.
  • the drive of the air cylinder 22 of the test unit detaching device 2 can be locked by an interlock mechanism from the viewpoint of safety. That is, when the test unit 5 is attached to the test head main body 4 (see FIG. 2), the test head 3 is not at the innermost part of the main body 61 of the test head moving device 6, or the test unit 5 When the connection to the test head main body 4 is not released, the air cylinder 22 does not drive in the up direction (the direction in which the test unit 5 is removed from the test head main body 4).
  • test unit 5 when the test unit 5 is removed from the test head main body 4, when the holding unit 62 of the test head moving device 6 is out of the main body 61 of the test head moving device 6 (in the innermost part).
  • the air cylinder 22 is not driven in the down direction (the direction in which the test unit 5 is attached to the test head body 4).
  • the holding unit 62 of the test head moving device 6 is used when the test head main body 4 is not at the lowered end by the Z-axis moving device of the test head moving device 6 or when the support portion 23 of the test unit unit detaching device 2 is at the raised end or the lowered end. When not in position, the slide is locked. Thereby, destruction of the test unit 5 based on the slide of the test head moving device 6 can be prevented.
  • the Z-axis moving device of the test head moving device 6 is configured such that when the test unit 5 is detached from the test head body 4 (see FIGS. 3 and 4), the operation of the handle 64 is locked, and the test head body 4 Cannot be moved up or down. Thereby, it is possible to prevent the test head body 4 from colliding with the test unit 5.
  • the test unit 5 is disconnected from the test head main body 4 and the two switches 611 and 612 of the test unit detaching device 2 are turned on in the up direction to drive the air cylinder 22, as shown in FIG.
  • the air cylinder 22 moves the support portion 23 upward.
  • the support portion 23 abuts on the bar 512 of the supported portion 51 of the test unit 5 in the groove 232 of the plate portion 231 and lifts the bar 512 from below.
  • test head moving device 6 is driven, and the holding portion 62 holding the test head main body 4 is slid and pulled out from the main body portion 61 of the test head moving device 6 as shown in FIG.
  • the test head body 4 is taken out of the handler 1. As a result, the upper surface of the test head body 4 is exposed, so that the test head body 4 can be maintained.
  • the slide mechanism of the test head moving device 6 is driven to slide the holding portion 62 holding the test head main body 4 as shown in FIG. Return to the original position (innermost part).
  • the air cylinder 22 moves the support portion 23 downward.
  • the test section unit 5 is attached to the test head main body 4 and the support section 23 reaches the descending end, the driving of the air cylinder 22 is stopped.
  • the test unit 5 can be removed and the test head main body 4 can be maintained by one operator without using the conventional lifter 7. Further, since an area for storing, moving, and using the conventional lifter 7 and an area for placing the removed test unit 5 are not required, space can be saved, and the flexibility of the floor layout is increased.
  • test unit detaching device 2 may be attached to the handler 1 side instead of the test head moving device 6 side.
  • the handler 1 may be a vertical type.
  • the present invention is useful for efficient maintenance of the test head main body and space saving regarding the maintenance of the test head main body.

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Abstract

　本体部６１と、本体部６１に対しスライド機構を介して取り付けられた、テストヘッド本体４を保持する保持部６２と、本体部６１の上部両側部に設けられたテスト部ユニット脱着装置２とを備えたテストヘッド移動装置６であり、テスト部ユニット脱着装置２は、フレーム２１と、フレーム２１に設けられた２つのエアシリンダ２２と、各エアシリンダ２２の上端部に取り付けられた１つの支持部２３とを備えている。このテスト部ユニット脱着装置２により、テストヘッド本体４上に設けられたテスト部ユニット５を取り外し、支持し、再度取り付けることができる。

Description

テスト部ユニット脱着装置およびテストヘッド移動装置
　本発明は、テストヘッドに設けられるテスト部ユニットを着脱することのできるテスト部ユニット脱着装置、および電子部品ハンドリング装置に設置されたテストヘッドを電子部品ハンドリング装置の外に移動させることのできるテストヘッド移動装置に関するものである。
　ＩＣデバイス等の電子部品の製造課程においては、最終的に製造された電子部品を試験する試験装置が必要となる。かかる試験装置においては、ハンドラと称される電子部品ハンドリング装置によりＩＣデバイスを搬送し、ＩＣデバイスの外部端子をテストヘッド上に設けられたソケットの接続端子に電気的に接触させ、試験用メイン装置（テスタ）に試験を行わせる。このようにしてＩＣデバイスは試験され、少なくとも良品や不良品といったカテゴリに分類される。
　テストヘッド上には、一般的にテスト部ユニット（Ｈｉ－Ｆｉｘまたはマザーボードと称される場合がある。）が設けられている。このテスト部ユニットは、アダプタとしての機能を有するパフォーマンスボードと、当該パフォーマンスボードに電気的に接続され、一または複数のソケットが設けられたソケットボードとを備えている。このテスト部ユニットは、テストヘッド本体に対して交換可能に設けられる。
　ここで、テストヘッド本体の内部には複数の基板が設けられているが、例えば、基板に不具合が生じたとき、あるいは被試験ＩＣデバイスの品種交換のときには、テストヘッド本体からテスト部ユニットを取り外して、テストヘッド本体をメンテナンスしなくてはならないことがある。
　テスト部ユニットは約６０ｋｇと重いため、従来は、図７に示すようなリフター７を使用して、テスト部ユニット５をテストヘッド本体４から取り外していた。
　具体的には、ハンドラ１の下部に設けられたテストヘッド３を、テストヘッド移動装置６によってスライドさせてハンドラ１の外に出し（図７（ａ））、そのテストヘッド３上のテスト部ユニット５をリフター７によって吊り上げて、テストヘッド本体４から取り外し（図７（ｂ））、そしてリフター７を移動させて、テスト部ユニット５を邪魔にならない位置に載置する（図７（ｃ））。その状態でテストヘッド本体４をメンテナンスし、メンテナンスが終了したら、再度テスト部ユニット５をリフター７によって吊り上げて、テストヘッド本体４に取り付け、テストヘッド移動装置６によってテストヘッド３を元の位置に戻す。
　しかしながら、上記のような方法では、作業者として、少なくともリフター７を操作する者とテスト部ユニット５を支える者の２名が必要である。また、リフター７を保管するスペースの他、リフター７を使用・移動するエリアおよびテスト部ユニット５を載置するエリアを加味したフロアレイアウトが必要であり、試験装置以外に相当なスペースを要するという問題がある。
　本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、従来のリフターを使用することなく、テストヘッドの本体部をメンテナンスすることのできるテスト部ユニット脱着装置、テストヘッド移動装置、テストヘッド、テストヘッドユニット、電子部品ハンドリング装置およびテストヘッド本体部のメンテナンス方法を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、第１に本発明は、テストヘッド移動装置または電子部品ハンドリング装置に設けられ、電子部品試験装置のテストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付ける、テスト部ユニット脱着装置を提供する（発明１）。
　上記発明（発明１）によれば、テストヘッド移動装置または電子部品ハンドリング装置に設けられるテスト部ユニット脱着装置によって、テスト部ユニットを脱着することができるため、従来のリフターを使用する必要がなく、作業者も１名で足りる。
　上記発明（発明１）においては、前記テスト部ユニットに設けられた被支持部を支持することのできる支持部と、前記支持部を移動させることのできる駆動部とを備えていることが好ましい（発明２）。
　上記発明（発明２）において、前記駆動部は、シリンダ装置を有することが好ましい（発明３）。
　上記発明（発明２）において、前記駆動部は、インターロック機構により駆動がロックされることが好ましい（発明４）。
　第２に本発明は、電子部品試験装置のテストヘッドを保持・移動させることのできるテストヘッド移動装置であって、前記テストヘッドの本体部を移動させることのできる移動機構と、前記テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付けることのできるテスト部ユニット脱着装置とを備えたことをことを特徴とするテストヘッド移動装置を提供する（発明５）。
　第３に本発明は、電子部品試験装置のテストヘッドを保持・移動させることのできるテストヘッド移動装置であって、前記テストヘッドの本体部を保持する保持部と、前記保持部を水平方向にスライドさせることのできるスライド機構と、前記テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付けることのできるテスト部ユニット脱着装置とを備えたことをことを特徴とするテストヘッド移動装置を提供する（発明６）。
　上記発明（発明５，６）によれば、テストヘッド移動装置に設けられたテスト部ユニット脱着装置によってテスト部ユニットを脱着することができるため、従来のリフターを使用する必要がなく、作業者も１名で足りる。
　上記発明（発明６）において、前記テスト部ユニット脱着装置は、前記テスト部ユニットに設けられた被支持部を支持することのできる支持部と、前記支持部を垂直方向に移動させることのできる駆動部とを備えたことが好ましい（発明７）。
　上記発明（発明７）において、前記駆動部は、シリンダ装置を有することが好ましい（発明８）。
　上記発明（発明７）において、前記駆動部は、インターロック機構により駆動がロックされることが好ましい（発明９）。
　上記発明（発明９）において、前記駆動部は、前記テストヘッドが前記テストヘッド移動装置の所定位置（例えば最奥部）にないとき、または前記テスト部ユニットの前記テストヘッドの本体部に対する接続が解除されていないときには、駆動しないことが好ましい（発明１０）。
　上記発明（発明７）において、前記スライド機構は、前記テスト部ユニットまたは前記テスト部ユニット脱着装置の支持部がその移動端に位置していないときには、スライドがロックされることが好ましい（発明１１）。
　上記発明（発明６）において、前記テストヘッド移動装置は、さらに、前記テストヘッドの本体部を垂直方向に移動させるＺ軸移動装置を備えており、前記Ｚ軸移動装置は、前記テスト部ユニットが取り外されているときには、移動がロックされることが好ましい（発明１２）。
　第４に本発明は、テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付けることのできるテスト部ユニット脱着装置が有する支持部によって支持される被支持部を備え、前記被支持部は、平面視において前記テスト部ユニットの本体部よりも外側に出ていることを特徴とするテスト部ユニットを提供する（発明１３）。
　上記発明（発明１３）によれば、被支持部が平面視においてテスト部ユニットの本体部よりも外側に出ているため、テスト部ユニット脱着装置の支持部を直線移動させるだけで、当該支持部によってテスト部ユニットの被支持部を支持し、テスト部ユニットを脱着することができる。したがって、テスト部ユニット脱着装置を簡易な構造で構成することができる。
　第５に本発明は、前記テスト部ユニット（発明１３）と、テストヘッド本体とを備えたことを特徴とするテストヘッドを提供する（発明１４）。
　第６に本発明は、前記テストヘッド（発明１４）と、前記テストヘッドを保持・移動させることのできる前記テストヘッド移動装置（発明５，６）とを備えたことを特徴とするテストヘッドユニットを提供する（発明１５）。
　第７に本発明は、電子部品を取り廻してテストヘッドのテスト部に装着し、前記電子部品を試験に付すことのできる電子部品ハンドリング装置であって、前記テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付けることのできるテスト部ユニット脱着装置を備えたことを特徴とする電子部品ハンドリング装置を提供する（発明１６）。
　上記発明（発明１６）によれば、電子部品ハンドリング装置に設けられたテスト部ユニット脱着装置によってテスト部ユニットを脱着することができるため、従来のリフターを使用する必要がなく、作業者も１名で足りる。
　第８に本発明は、電子部品ハンドリング装置に設置されたテストヘッドの本体部をメンテナンスする方法であって、前記テスト部ユニット脱着装置（発明１）、前記テストヘッド移動装置（発明５，６）、前記テストヘッドユニット（発明１５）、または前記電子部品ハンドリング装置（発明１６）を使用して、前記テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、その状態で、前記テストヘッドの本体部を前記電子部品ハンドリング装置の外に出して、前記テストヘッドの本体部をメンテナンスし、その後、前記テストヘッドの本体部を元の位置に戻し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付けることを特徴とするテストヘッド本体部のメンテナンス方法を提供する（発明１７）。
　本発明によれば、従来のリフターを使用することなく、１名の作業者によってテスト部ユニットを取り外し、テストヘッドの本体部をメンテナンスすることができる。また、従来のリフターを保管・移動・使用するエリアも、取り外したテスト部ユニットを載置するエリアも不要であるため、省スペース化を図ることができ、フロアレイアウトの自由度も高まる。
図１は、本発明の一実施形態に係るテストヘッド移動装置およびハンドラの側面図である。 図２は、同実施形態に係るテストヘッド移動装置の側面図である。 図３は、同実施形態に係るテストヘッド移動装置の側面図である。 図４は、同実施形態に係るテストヘッド移動装置の側面図である。 図５は、同実施形態に係るテストヘッド移動装置の正面図である。 図６は、同実施形態に係るテスト部ユニット脱着装置の平面図（ａ）、側面図（ｂ）および正面図（ｃ）である。 図７（ａ）～（ｃ）は、従来のハンドラ、テストヘッド移動装置およびリフターの側面図である。
符号の説明
１…ハンドラ（電子部品ハンドリング装置）
２…テスト部ユニット脱着装置
２２…エアシリンダ（駆動部；シリンダ装置）
２３…支持部
３…テストヘッド
４…テストヘッド本体（テストヘッドの本体部）
５…テスト部ユニット
５１…被支持部
６…テストヘッド移動装置
７…リフター
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
　図１は、本発明の一実施形態に係るテストヘッド移動装置およびハンドラの側面図であり、図２～４は、同実施形態に係るテストヘッド移動装置の側面図であり、図５は、同実施形態に係るテストヘッド移動装置の正面図であり、図６は、同実施形態に係るテスト部ユニット脱着装置の平面図（ａ）、側面図（ｂ）および正面図（ｃ）である。
　図１に示すように、ＩＣデバイス試験装置は、ハンドラ１と、テストヘッド３と、図示しない試験用メイン装置とを有する。ハンドラ１は、試験すべきＩＣデバイス（電子部品の一例）をテストヘッド３に設けられたソケットに順次搬送し、試験が終了したＩＣデバイスをテスト結果に従って分類して所定のトレイに格納するという動作を実行する。
　ハンドラ１の下部には、主としてハンドラ１を制御する制御装置が内蔵されているが、一部に空間部分１０が設けられている。この空間部分１０に、テストヘッド３が交換自在に配置されており、ハンドラ１に形成した貫通孔を通してＩＣデバイスをテストヘッド３上のソケットに装着することが可能になっている。
　テストヘッド３は、複数の基板を内蔵したテストヘッド本体４と、テストヘッド本体４の上に設けられたテスト部ユニット５とを備えており、テストヘッド移動装置６に設置されている。なお、本明細書では、テストヘッド３およびテストヘッド移動装置６を合わせて、テストヘッドユニットという。
　図示しないが、テスト部ユニット５は、パフォーマンスボードと、パフォーマンスボードに電気的に接続され、一または複数のソケットが設けられたソケットボードとを備えている。このテスト部ユニット５は、コネクタを介して、テストヘッド本体４に対して交換可能に設けられる。
　テスト部ユニット５が有するソケットは、テストヘッド本体４内の基板および図示しない外部ケーブルを通じて試験用メイン装置に電気的に接続されている。ソケットに装着されたＩＣデバイスは、試験用メイン装置に接続され、試験用メイン装置からの試験用電気信号によりテストされる。
　図２～図５に示すように、テストヘッド移動装置６は、本体部６１と、テストヘッド本体４を保持する保持部６２とを備えている。保持部６２は、本体部６１に対しスライド機構を介して取り付けられており、水平方向、本実施形態では正面方向（図２～図４中左側）にスライド可能となっている。なお、スライド機構は、保持部６２の下端に設けられたキャスター６３、図示しない摺動可能なレール、駆動装置等によって構成される。
　本実施形態におけるテストヘッド移動装置６は、保持部６２が保持しているテストヘッド本体４を上下動させることのできるＺ軸移動装置を備えており、Ｚ軸移動装置は、図２～図５に示すハンドル６４によって操作可能となっている。このＺ軸移動装置によって、ハンドラ１に対するテストヘッド３の高さを調整することができる。
　テストヘッド移動装置６の本体部６１の上部両側部には、それぞれテスト部ユニット脱着装置２が設けられている。図２～図６に示すように、各テスト部ユニット脱着装置２は、フレーム２１と、フレーム２１に設けられた２つのエアシリンダ２２と、各エアシリンダ２２の上端部に取り付けられた１つの支持部２３とを備えている。
　エアシリンダ２２は、その駆動により支持部２３を上下動させる。なお、エアシリンダ２２の駆動は、テストヘッド移動装置６の本体部６１に設けられた２つのスイッチ６１１，６１２によりオン／オフされる。
　一方、図２～図５に示すように、テスト部ユニット５の上面両側部には、上記テスト部ユニット脱着装置２の支持部２３に支持され得る被支持部５１が設けられている。本実施形態における被支持部５１は、２つのＬ字型のブラケット５１１と、それらブラケット５１１間に差し渡されたバー５１２とから構成される。この被支持部５１のバー５１２は、平面視においてテスト部ユニット５の本体部よりも外側に位置している。
　被支持部５１が上記のような構造を有することで、テスト部ユニット脱着装置２の支持部２３を直線移動させるだけで、支持部２３によってテスト部ユニット５の被支持部５１を支持し、テスト部ユニット５を脱着することができる。したがって、テスト部ユニット脱着装置２を簡易な構造で構成することができる。
　図６に示すように、テスト部ユニット脱着装置２の支持部２３は、上記被支持部５１のバー５１２を下から持ち上げることができるプレート部２３１を有しており、そのプレート部２３１にはバー５１２が嵌まる溝２３２が形成されている。
　ここで、テスト部ユニット脱着装置２のエアシリンダ２２は、安全面から、インターロック機構により駆動がロックされ得る。すなわち、テスト部ユニット５がテストヘッド本体４に装着されている場合において（図２参照）、テストヘッド３がテストヘッド移動装置６の本体部６１の最奥部にないとき、またはテスト部ユニット５のテストヘッド本体４に対する接続が解除されていないときには、エアシリンダ２２は、アップ方向（テスト部ユニット５をテストヘッド本体４から取り外す方向）に駆動しない。
　また、テスト部ユニット５がテストヘッド本体４から外されている場合において、テストヘッド移動装置６の保持部６２がテストヘッド移動装置６の本体部６１の外に出ているとき（最奥部にないとき）には（図４参照）、エアシリンダ２２は、ダウン方向（テスト部ユニット５をテストヘッド本体４に取り付ける方向）に駆動しない。これらのインターロック機構により、テスト部ユニット脱着装置２の動作に基づくテスト部ユニット５の破壊を防止することができる。上記インターロック機構は、エア経路に設けられた機械的スイッチのオン／オフにより実行することができる。
　なお、支持部２３が上昇端に達したら、エアシリンダ２２に対するエアが遮断されるが、ロックシリンダによりエアシリンダ２２のロッドがロックされるため、支持部２３によって上昇端で支持したテスト部ユニット５の落下が防止される。
　その他の安全機構としては、以下のものが挙げられる。
　テストヘッド移動装置６の保持部６２は、テストヘッド移動装置６のＺ軸移動装置によってテストヘッド本体４が下降端にないとき、またはテスト部ユニット脱着装置２の支持部２３が上昇端または下降端に位置していないときには、スライドがロックされる。これにより、テストヘッド移動装置６のスライドに基づくテスト部ユニット５の破壊を防止することができる。
　また、テストヘッド移動装置６のＺ軸移動装置は、テスト部ユニット５がテストヘッド本体４から外されているときには（図３，図４参照）、ハンドル６４の操作がロックされ、テストヘッド本体４を上下させることができないようになっている。これにより、テストヘッド本体４がテスト部ユニット５に衝突することを防止することができる。
　次に、上記テストヘッドユニットを使用したテストヘッド本体部４のメンテナンス方法について説明する。
　最初に、テスト部ユニット５のテストヘッド本体４に対する接続を解除し、テスト部ユニット脱着装置２の２つのスイッチ６１１，６１２をアップ方向にオンにしてエアシリンダ２２を駆動すると、図３に示すように、エアシリンダ２２は支持部２３を上方向に移動させる。支持部２３は、プレート部２３１の溝２３２において、テスト部ユニット５の被支持部５１のバー５１２に当接し、そのバー５１２を下から持ち上げる。
　テスト部ユニット５がテストヘッド本体４から取り外され、テスト部ユニット５が上昇端まで達したら、エアシリンダ２２の駆動が停止し、エアシリンダ２２のロッドがロックされる。
　次に、テストヘッド移動装置６のスライド機構を駆動し、図４に示すように、テストヘッド本体４を保持している保持部６２をスライドさせて、テストヘッド移動装置６の本体部６１から引き出し、テストヘッド本体４をハンドラ１の外に出す。これにより、テストヘッド本体４の上面が露出するため、テストヘッド本体４のメンテナンスが可能となる。
　メンテナンスが完了したら、テストヘッド移動装置６のスライド機構を駆動し、図３に示すように、テストヘッド本体４を保持している保持部６２をスライドさせて、テストヘッド移動装置６の本体部６１内の元の位置（最奥部）に戻す。
　そして、テスト部ユニット脱着装置２の２つのスイッチ６１１，６１２をダウン方向にオンにしてエアシリンダ２２を駆動すると、エアシリンダ２２は支持部２３を下方向に移動させる。テスト部ユニット５がテストヘッド本体４に取り付けられ、支持部２３が下降端まで達したら、エアシリンダ２２の駆動が停止する。
　上記テストヘッドユニットによれば、従来のリフター７を使用することなく、１名の作業者によってテスト部ユニット５を取り外し、テストヘッド本体４をメンテナンスすることができる。また、従来のリフター７を保管・移動・使用するエリアも、取り外したテスト部ユニット５を載置するエリアも不要であるため、省スペース化を図ることができ、フロアレイアウトの自由度も高まる。
　以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
　例えば、テスト部ユニット脱着装置２は、テストヘッド移動装置６側ではなく、ハンドラ１側に取り付けられてもよい。また、ハンドラ１は縦型のものであってもよい。
　本発明は、テストヘッド本体の効率の良いメンテナンス、およびテストヘッド本体のメンテナンスに関する省スペース化に有用である。

Claims (17)

  1. 　テストヘッド移動装置または電子部品ハンドリング装置に設けられ、
    　電子部品試験装置のテストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付ける、テスト部ユニット脱着装置。
  2. 　前記テスト部ユニットに設けられた被支持部を支持することのできる支持部と、
    　前記支持部を移動させることのできる駆動部と
    を備えたことを特徴とする請求項１に記載のテスト部ユニット脱着装置。
  3. 　前記駆動部は、シリンダ装置を有することを特徴とする請求項２に記載のテスト部ユニット脱着装置。
  4. 　前記駆動部は、インターロック機構により駆動がロックされることを特徴とする請求項２に記載のテスト部ユニット脱着装置。
  5. 　電子部品試験装置のテストヘッドを保持・移動させることのできるテストヘッド移動装置であって、
    　前記テストヘッドの本体部を移動させることのできる移動機構と、
    　前記テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付けることのできるテスト部ユニット脱着装置と
    を備えたことをことを特徴とするテストヘッド移動装置。
  6. 　電子部品試験装置のテストヘッドを保持・移動させることのできるテストヘッド移動装置であって、
    　前記テストヘッドの本体部を保持する保持部と、
    　前記保持部を水平方向にスライドさせることのできるスライド機構と、
    　前記テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付けることのできるテスト部ユニット脱着装置と
    を備えたことをことを特徴とするテストヘッド移動装置。
  7. 　前記テスト部ユニット脱着装置は、
    　前記テスト部ユニットに設けられた被支持部を支持することのできる支持部と、
    　前記支持部を垂直方向に移動させることのできる駆動部と
    を備えたことを特徴とする請求項６に記載のテストヘッド移動装置。
  8. 　前記駆動部は、シリンダ装置を有することを特徴とする請求項７に記載のテストヘッド移動装置。
  9. 　前記駆動部は、インターロック機構により駆動がロックされることを特徴とする請求項７に記載のテストヘッド移動装置。
  10. 　前記駆動部は、前記テストヘッドが前記テストヘッド移動装置の所定位置にないとき、または前記テスト部ユニットの前記テストヘッドの本体部に対する接続が解除されていないときには、駆動しないことを特徴とする請求項９に記載のテストヘッド移動装置。
  11. 　前記スライド機構は、前記テスト部ユニットまたは前記テスト部ユニット脱着装置の支持部がその移動端に位置していないときには、スライドがロックされることを特徴とする請求項７に記載のテストヘッド移動装置。
  12. 　前記テストヘッド移動装置は、さらに、前記テストヘッドの本体部を垂直方向に移動させるＺ軸移動装置を備えており、
    　前記Ｚ軸移動装置は、前記テスト部ユニットが取り外されているときには、移動がロックされることを特徴とする請求項６に記載のテストヘッド移動装置。
  13. 　テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付けることのできるテスト部ユニット脱着装置が有する支持部によって支持される被支持部を備え、
    　前記被支持部は、平面視において前記テスト部ユニットの本体部よりも外側に出ている
    ことを特徴とするテスト部ユニット。
  14. 　請求項１３に記載のテスト部ユニットと、
    　テストヘッド本体と
    を備えたことを特徴とするテストヘッド。
  15. 　請求項１４に記載のテストヘッドと、
    　前記テストヘッドを保持・移動させることのできる、請求項５または６に記載のテストヘッド移動装置と
    を備えたことを特徴とするテストヘッドユニット。
  16. 　電子部品を取り廻してテストヘッドのテスト部に装着し、前記電子部品を試験に付すことのできる電子部品ハンドリング装置であって、
    　前記テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付けることのできるテスト部ユニット脱着装置を備えたことを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
  17. 　電子部品ハンドリング装置に設置されたテストヘッドの本体部をメンテナンスする方法であって、
    　請求項１に記載のテスト部ユニット脱着装置、請求項５もしくは６に記載のテストヘッド移動装置、請求項１５に記載のテストヘッドユニット、または請求項１６に記載の電子部品ハンドリング装置を使用して、
    　前記テストヘッドに設けられたテスト部ユニットを前記テストヘッドの本体部から取り外し、前記取り外したテスト部ユニットを支持し、
    　その状態で、前記テストヘッドの本体部を前記電子部品ハンドリング装置の外に出して、前記テストヘッドの本体部をメンテナンスし、
    　その後、前記テストヘッドの本体部を元の位置に戻し、
    　前記取り外したテスト部ユニットを再度前記テストヘッドの本体部に取り付ける
    ことを特徴とするテストヘッド本体部のメンテナンス方法。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09127192A (ja) * 1995-10-30 1997-05-16 Advantest Corp Ｉｃ試験装置
JP2003098224A (ja) * 2001-09-25 2003-04-03 Santo Technology Kk 半導体試験装置
JP2008003073A (ja) * 2006-05-25 2008-01-10 Yokogawa Electric Corp Ｉｃテスタ及びテストボードの着脱方法
JP2008051724A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Yokogawa Electric Corp 半導体テスタ装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09127192A (ja) * 1995-10-30 1997-05-16 Advantest Corp Ｉｃ試験装置
JP2003098224A (ja) * 2001-09-25 2003-04-03 Santo Technology Kk 半導体試験装置
JP2008003073A (ja) * 2006-05-25 2008-01-10 Yokogawa Electric Corp Ｉｃテスタ及びテストボードの着脱方法
JP2008051724A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Yokogawa Electric Corp 半導体テスタ装置

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