CN102099699B - 具有销顶端部的清洁机构的基板检查装置 - Google Patents

Abstract

进行销顶端部的清洁而不会中断连续地检查多个基板的基板检查。基板检查装置（10、70）具有在运送路上以既定的间隔设置的被检查基板保持部（40）、沿运送路移动被检查基板保持部的移动机构（22t）、设置在运送路的中途而顺次检查保持在被检查基板保持部上的被检查基板的检查部（30）、在运送路上以既定的间隔设置的任意的相邻的被检查基板保持部之间设置的清洁机构（50）。检查部通过令多个销与被检查基板上的配线的检查点接触而测定该配线的电气特性。清洁机构利用移动机构而移动，在通过检查部时进行多个销的清洁。

Description

具有销顶端部的清洁机构的基板检查装置

技术领域

本发明涉及一种基板检查装置，通过令销与被检查基板的配线（或者导体图案）的检查点接触而测定该配线的电气特性，详细而言，涉及一种具有销顶端部的清洁机构的基板检查装置，所述销顶端部的清洁机构能够在不对电气特性的测定产生影响的情况下对该销的顶端部进行清洁。

背景技术

基板检查装置中，令植入有多根销（也称作“测头”）的检查夹具接近被检查基板的配线的多个检查点，测定配线的电气特性（例如电阻值）。本申请文件中使用的用语“被检查基板”包含半导体封装用的封装基板、载膜、印刷配线基板、柔性基板、多层配线基板、液晶显示器及等离子显示器用的电极板等的、形成有多根配线、在基板检查时令销接触而测定电气特性的全部基板。

配线上的检查点有时由比较柔软的金属例如焊锡、焊锡珠、焊锡膏等形成，在连续地进行多张基板的检查时，若顶端部尖的销按压这样的比较柔软的金属，则有时焊锡的残渣等附着在销上。由焊锡的残渣等附着在其上的销，有时无法进行配线的正确的电气特性测定。

因此，在检查了几张基板后，必须除去销顶端部的焊锡的残渣等。

为此，以往以来，从基板检查装置取下检查夹具，在显微镜下通过手工作业使用玻璃纤维制的刷子来进行销顶端部的清洁，所以在清洁作业时，要令玻璃纤维制的刷子与销的顶端部接触而注意不使销顶端部弯曲。

具体而言，销顶端部的清洁如下地通过手工作业来进行：从基板检查装置取下检查夹具，并在显微镜下使用玻璃纤维制的刷子从销顶端部清洁焊锡的残渣等。该清洁作业中，在不使销的顶端部弯曲的情况下使玻璃纤维制的刷子与销的顶端部接触而进行数次。接着，为了除去从销顶端部落下的焊锡残渣等，利用尼龙刷子清洁其周边部。这样的清洁操作重复5~10次。此时，为了将焊锡的残渣、粉尘等除去而使用吸尘器。

作为具有清洁机构的基板检查装置，有下述专利文件。

专利文件1：日本特开2006-339472“测头导向件触针的清洁装置以及清洁方法”（公开日：2006年12月14日）。

专利文件1表示了下述构成：在载置台上，将为了检测各个元件的电气特性的半导体晶片和清洁装置分别配置在不同的位置。在该构成中，在进行清洁时，半导体晶片上的检查用的测头导向件向清洁装置的位置移动，令清洁刷从横侧以及下方与测头导向件的触针接触，从而进行其清洁。

专利文件2：日本特开2006-153673（公开日：2006年6月15日）。

专利文件2中公开了下述构成：为了半导体封装件的检测，将该半导体封装件运送到试验装置的接触销处而使其接触。在该构成中，取代半导体封装件而令清洁部件吸附在接触销上，从而进行接触销的清洁。作为清洁部件使用粘结部件。

以往以来的清洁作业由于是手工作业所以需要很多时间。这样一来，在检查多张基板时，由于基板检查要因清洁作业而中断，所以直到全部的基板检查结束的总计时间变得非常长。此外，还存在与手工作业相伴的销顶端部的清洁化水平的不均、及由检查夹具的拆装导致的问题等。

在专利文件1以及2中公开的基板检查装置中，在清洁时也需要停止基板检查工序的流程而进行清洁。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有清洁机构的基板检查装置，所述清洁机构能够进行销顶端部的清洁而无需中断连续地检查多个基板的基板检查流程。

本发明的目的在于提供一种具有清洁机构的基板检查装置，所述清洁机构能够进行销顶端部的清洁而无需另外地用于基板检查的驱动机构及时间。

本发明的目的在于提供一种具有刷子的基板检查装置，所述刷子配置为能够进行销顶端部的清洁而无需中断连续地实施的基板检查的流程。

本发明的目的在于提供一种具有刷子的基板检查装置，所述刷子在进行连续地实施的基板检查期间无需清扫。

本发明的目的在于提供一种具有刷子的基板检查装置，所述刷子具有能够在时间内发挥清洁效果的特性。

进而，本发明的目的在于提供一种具有清洁机构的基板检查装置，对于销顶端部的清洁的实现水平而言没有不均。

鉴于上述目的，本发明的基板检查装置的特征为，具有：运送机构，具有从运入部到运出部的运送路、在该运送路上以既定间隔设置的被检查基板保持部、沿上述运送路移动该被检查基板保持部的移动机构；检查部，设置在上述运送路的中途，对被保持在上述运送机构的上述被检查基板保持部上的被检查基板顺次地进行检查，具有检查夹具，令设置在该检查夹具上的多个销与被检查基板上的配线的检查点接触，从而测定该配线的电气特性；清洁机构，在上述运送路上设置在以既定的间隔设置的任意的相邻的被检查基板保持部之间，被上述运送机构的上述移动机构移动，在通过上述检查部时进行上述多个销的清洁。

在该基板检查装置中，设置在上述任意的相邻的被检查基板保持部之间的上述清洁机构与相邻的两个上述被检查基板保持部的各距离可以比上述任意的相邻的被检查基板保持部之间的距离小。

在该基板检查装置中，上述清洁机构可以具有刷子，该刷子具有沿着被上述移动机构移动的移动方向的纤维流，向与上述移动方向相反的方向倾斜地被保持。

在该基板检查装置中，上述刷子可以以相对于水平面为大约30度到50度之间的任意的角度倾斜地被保持。

在该基板检查装置中，上述刷子可以由玻璃纤维构成。

在该基板检查装置中，上述运送机构可以具有旋转台装置，该旋转台装置具有圆形台和驱动该圆形台旋转的旋转驱动机构，上述被检查基板保持部在沿着上述圆形台上的圆周的位置上以既定间隔设置，此外，上述清洁机构在设置在上述圆形台上的上述被检查基板保持部的任意相邻的两个被检查基板保持部之间至少设置一个。

在该基板检查装置中，上述运送机构可以具有两个上述运送路、分别配置在该两个运送路上的上述被检查基板保持部、沿各运送路移动该被检查基板保持部的移动机构，上述两个运送路的一部分路径共用，在该共用的路径上的任意位置上配置上述检查部，进而，在上述两个运送路的至少一方上设置一个的上述清洁机构，上述两个被检查基板保持部间隔既定时间通过上述共用的上述路径上的上述检查部，另一方面，在该间隔之间，上述清洁机构通过上述共用的上述路径。

在该基板检查装置中，上述清洁机构可以从距上述检查夹具的销顶端部分离的位置朝向一方向开始移动，一边与该销顶端部接触一边清洁，移动到从该销顶端部分离的位置而停止，之后，向相反方向移动到原始位置而对该销顶端部进行清洁，并重复进行该往复移动。

在该基板检查装置中，上述运送机构可以由具有旋转驱动轴和圆形台的旋转台形成，在圆周状地保持在上述圆形台上的多张被检查基板之间设置上述清洁机构，该清洁机构利用上述旋转驱动轴的旋转而沿着与上述被检查基板相同的运送路径而向上述检查部移动。

此外，本发明为一种基板检查装置的多个的销的清洁方法，其特征在于，以既定的时机将多个被检查基板向检查部顺次运送，所述检查部令设置在检查夹具上的多个销与上述被检查基板上的配线的检查点接触从而测定该配线的电气特性，另一方面，在与上述既定的时机不同的时机，令具有刷子的清洁机构通过上述检查部而对上述多个销进行清洁。

根据本发明，能够进行销顶端部的清洁而不会中断对多个基板连续地进行检查的基板检查的流程。

根据本发明，能够进行销顶端部的清洁而无需另外地用于基板检查的驱动机构及时间。

根据本发明，能够提供一种刷子，所述刷子配置为能够进行销顶端部的清洁而无需中断连续地检查多个基板的基板检查的流程。

根据本发明，能够提供一种刷子，所述刷子在进行连续地检查基板的基板检查期间无需清扫。

此外，根据本发明，能够提供一种刷子，所述刷子具有能够在长时间内发挥清洁效果的特性。

进而，根据本发明，对于销顶端部的清洁的实现水平而言没有不均。

此外，将销顶端部净化部件设置在运送路径上，利用移动该部件的运送移动方向而清洁销的顶端部，所以能够效率良好地进行清洁。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的具有旋转台装置的基板检查装置的概要构成的主视图。

图2是从上方看图1所示的旋转台装置的放大俯视图。

图3A是将图2所示的旋转台的清洁机构的刷子部分的一部分放大的概要图。

图3B是用于说明图2所示的旋转台的清洁机构随着圆形台的旋转而通过检查部的状态的简化概念图。

图4A是图3B所示的清洁机构的立体图。

图4B是图3B所示的清洁机构的侧视图。

图4C是表示将图3B所示的清洁机构安装在环状部上的构成的立体图。

图4D是表示其他实施方式的将安装有清洁机构环状部安装在圆形台的具有开口部的部分的背面侧的状态的立体图。

图5是其他实施方式的清洁机构的立体图。

图6是表示本发明的其他实施方式的梭型基板检查装置的构成的概要的俯视图。

图7是从上方看图1的旋转台装置的其他实施方式的旋转台装置的放大俯视图。

图8是具有其他实施方式的销顶端部净化部件的、图7的旋转台装置的一部分的放大俯视图。

图9（A）以及图9（B）是用于说明检查夹具与销顶端部净化部件的功能的简化的主视图。

图10是用于说明在本发明的其他实施方式的梭型基板检查装置中使用的基板保持部分的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的具有销顶端部的清洁机构的基板检查装置的实施方式。各附图中，为了便于理解，各部件的厚度、长度、形状、部件彼此的间隔等进行了夸张、放大、缩小、变形、简化等。此外，附图中，对于相同部件标注相同的附图标记而省略重复的说明。

[具有销顶端部的清洁机构的基板检查装置]

首先，简单说明基板检查装置整体。

图1是表示本发明的一实施方式的基板检查装置10的概略构成的主视图。该基板检查装置10具有用于保持被检查基板的旋转台装置22（也称作“分度台”）。旋转台22具有圆形台（或者台盘）22t以及旋转驱动轴22s，向例如箭头所示的方向旋转。

关于图2如后述所述，在图1的中央表示的旋转台装置22上保持多张被检查基板42。此外，基板检查装置10具有上侧检查夹具28u、下侧检查夹具28d、控制装置11以及校准照相机29。校准照相机29具有上侧以及下侧照相机29u、29d，确认被检查基板42是否被保持于旋转台装置22的既定位置。自校准照相机29的信息由图像处理部16处理而被发送到控制部14。

另外，在图2中，对被检查基板42标注了斜线，但这不表示截面，只是为了便于与其他部件进行区别。

在检查夹具28的上侧检查夹具28u以及下侧检查夹具28d上，安装多个销（也称作“测头”）32。上侧检查夹具28u以及下侧检查夹具28d分别在上侧夹具驱动部 26u以及下侧夹具驱动部26d的作用下上升以及下降。

控制装置11具有操作面板12、控制部14、图像处理部16、测试控制器18以及扫描器20。

控制部14由未图示的CPU、ROM、RAM等构成，在ROM中存储基板检查用程序。在基板检查时，按照来自操作面板12的指示，该基板检查用程序被从ROM读取到RAM而被执行。

测试控制器18若收到来自控制部14的检查开始命令，则控制扫描器20而进行被检查基板的检查。虽未图示，但扫描器20具有用于向被检查基板的配线提供电流的电源、将连接于该电源和各销32的信号线切换连接的开关组、判定配线的好坏的判定部。

在检查配线时，驱动上侧夹具驱动部26u以及下侧夹具驱动部26d，令上侧检查夹具28u和下侧检查夹具28d分别下降以及上升，由此，令多个销的顶端部同时与被检查基板的配线上的既定的检查点接触。

接着，测试控制器按照预先设定的开关组的切换程序而将被检查基板的配线与电源顺次连接，测定各配线的阻力值，在判定部中从该测定阻力值判定该配线是否良好。判定结果被顺次从测试控制器18送至控制部14，在检查结束时，控制部14输出该被检查基板的最终的检查结果。

[一实施方式的旋转台装置的概要]

图2是从上方看图1的旋转台装置22的一实施例的旋转台装置22的俯视图。旋转台装置22是运送机构，具有移动机构的圆形台22t以及旋转驱动轴22s，在基板检查时，圆形台22t在旋转驱动轴22s的作用下如箭头所示地顺时针旋转。

为了方便说明，在图2中，沿圆形台22t的圆周与时钟的文字盘对应地，令7点半的位置为P1，从此顺时针地每移动角度45度的位置即9点位置、10点半位置、12点位置、1点半位置、3点位置、4点半位置、6点位置分别为P2、P3、P4、P5、P6以及P8。例如，12点的位置为P4，6点的位置为P8。

在圆形台22t上，沿圆周等间隔地设置8个被检查基板保持部（也称作工件保持架）40，在各自上载置一张被检查基板42。图2中，各被检查基板保持部40位于从P1至P8的位置对应的位置上。在P4的位置上，设置被检查基板42的检查部30，随着圆形台22t旋转，载置的被检查基板42顺次地被运入该检查部30。在检查部30中，配置检查夹具28的上侧检查夹具28u以及下侧检查夹具28d。圆形台22t在旋转驱动轴22s的作用下旋转，从而形成将多个检查基板保持部上的被检查基板42运送至检查部30的圆形状的运送路。

如位于P8的被检查基板保持部40所示，在被检查基板保持部40上形成开口40w。因此，在将被检查基板42设置在被检查基板保持部40上时，该被检查基板42的背面的导体图案从该开口40w露出，与此相对，在P4的检查部30中，下侧检查夹具28d（图1）的销32能够接触。

在基板检查时，P1成为被检查基板的运入口，顺次地来到该位置的被检查基板保持部40上载置被检查基板42。圆形台22t每次旋转45度，与该旋转对应，保持在被检查基板保持部40上的被检查基板42顺次地移动到P2、P3的位置。被检查基板42在P4的位置利用检查部30而进行电气特性的测定。若该测定完成，则圆形台22t旋转，被检查基板42被运送到接下来的P5的位置。若被检查基板42被顺次运送而到达P7，则该被检查基板42被从被检查基板保持部40取出。关于这样的一连串的流程，将位置P1~P3称为上游部，将位置P5~P7称为下游部。

在P4的位置处，上侧检查夹具28u从图2的纸面的表面向被检查基板42接近，进而下侧检查夹具28d从背面接近，各个检查夹具28u、28d的销与被检查基板42的表背面的各自上所形成的配线的检查点接触。由此，进行被检查基板42的各配线的电气特性的测定。若该测定结束，则上侧检查夹具28u以及上侧检查夹具28u分别从被检查基板42的表面侧以及背面侧离开，进行过测定的被检查基板42随着圆形台22t的旋转如上所述地被运送到接下来的P5的位置。这样，圆形台22t以既定的时机反复进行每旋转45度而停止的动作。在P4的检查部，在该既定的时机被检查基板42被运入而进行检查，若其结束，则以既定的时机将被检查基板42运送到下一个位置。

此外，如图2所示，位于P2的位置的被检查基板保持部40和位于P3的位置的被检查基板保持部40之间的、圆形台22t上的位置C1处，设置清洁机构50。此外，在位于P6的位置的被检查基板保持部40和位于P7的位置的被检查基板保持部40之间的、圆形台22t上的位置C2处，也设置一个清洁机构50。这些清洁机构50为相同构造。

如上所述，C1的位置位于P2的被检查基板保持部40与P3的被检查基板保持部40之间，但无需改变这些保持部之间的间隔。换言之，从C1的位置到P2的被检查基板保持部40或P3的被检查基板保持部40的距离比从P2的被检查基板保持部40到P3的被检查基板保持部40的距离小。同样地，P6的被检查基板保持部40与P7的被检查基板保持部40之间的C2的位置的清洁机构50也对P6的被检查基板保持部40与P7的被检查基板保持部40的间隔的大小没有影响。因此，即便在C1以及C2的位置设置清洁机构50，被检查基板42运入检查部30的时机也不会变化。这些清洁机构50与圆形台22t的旋转一起移动。

此外，在图2中，在C1以及C2的位置设置清洁机构50，但清洁机构50能够设置在任意的相邻的两个被检查基板保持部40之间。此外，清洁机构50的个数至少为一个，但根据所要实现的清洁效果程序的需要性可以为任意个数。

清洁机构50具有刷子部分52和保持该刷子部分的保持部54。在刷子部分52上植入微细纤维例如玻璃纤维。在刷子部分52的刷子上，期望使用具有较大直径的粗纤维从而使刷子具有弹性。此外，也可以通过将各纤维的顶端部形成得较细，在清洁时，令其顶端部能够进入多个销32之间。此外，在清洁时，各纤维也可以进入相邻的销32之间。

此外，清洁机构50的刷子部分52以向行进方向相反的方向倾斜（后倾）的方式被保持。此外，植入刷子部分52的纤维的流向为从清洁机构50的移动前方向后方流动的方向。换言之，该纤维的流动方向是从P3的位置朝向P2的位置的方向以及从P7朝向P6的方向。

图3A是刷子部分52的局部的放大图。各纤维是例如尼龙制或者PBT（聚丁烯对酞酸盐），其直径52φ为约0.1mm，如该图所示，各纤维的顶端形成为锥状。此外，刷子部分52的纤维的长度约为从20到30mm，刷子部分52的厚度约为从2至4mm。

图3B是用于说明位于C1或C2的清洁机构50随着圆形台22t的旋转而通过检查部30的状态的简化主视图。在此，清洁机构50在图中上左端但随着圆形台22t向右侧顺次移动。检查部30中仅示出上侧检查夹具28u。下侧检查夹具28d也同样地作用。上侧检查夹具28u具有多个销32，各销具有销轴部32s以及销顶端部32p。销轴部32s的后端部与扫描器20电气连接。上侧检查夹具28u为了检查下一个被检查基板而位于待机位置。

如图3B所示，清洁机构50的刷子部分52以相对于圆形台22t的面以大约45度的角度倾斜的方式被刷子保持部54保持。刷子保持部54简化地表示，以能够调整刷子部件52的倾斜角度的方式固定在圆形台22t上。其倾斜角度期望是与圆形台22t的面为大致30度至50度左右之间的角度。

此外，如图3B所示，清洁机构50的刷子部分52的纤维在检查部30的近前处为笔直，但在通过检查部30时沿上侧检查夹具28u的销顶端部32p的导向板32g而弯曲。此时，利用刷子部分52的纤维的顶端部扫落附着在销顶端部32p的焊锡的残渣及氧化膜的碎片等。若通过检查部30，则清洁机构50的刷子部分52的纤维在弹性的作用下恢复为笔直。这样，随着被检查基板42被运入检查部30时，或者检查结束而被检查基板42从检查部30被运出时的圆形台22t的旋转，设置在C1以及C2处的清洁机构50能够对检查部30的销顶端部32p进行清洁。因此，无需另外设置用于清洁的工序，此外，无需为了进行清洁而中断检查作业等。

为了收集清洁时从销顶端部32p落下的焊锡的残渣及氧化破的碎片等，可以根据需要在圆形台22t上的C1以及C2的附近及检查部30的附近设置吸尘器的取入口。

[清洁机构的构造]

从图4A至图4D是用于说明清洁机构50的一实施方式的详细构造的图。

图4A是清洁机构50的立体图，图4B是该清洁机构50的侧视图。如这些图所示，在本实施方式中，清洁机构50具有两个刷子部分52以及刷子保持部54。在图4B中，上方所示的刷子部分52用于进行上侧检查夹具28u的销顶端部32p的清洁，下方所示的刷子部分52用于进行下侧检查夹具28d的销32的顶端部32p的清洁。其中，在图4A中，为了简化而省略了图4B下方所示的刷子部分52。

各刷子部分52具有玻璃纤维等的纤维束的部分52a、和植入该纤维束的部分52a的部分52b。刷子保持部54夹持植入纤维束52a的两个部分52b。例如，如图所示地利用三根螺栓固定各部分52b。

与图3A的实施方式不同，刷子部分52的各纤维可以使用大约从50至80μm的直径的纤维。相邻的销32的距离为例如40μm，若使用比该40μm小的直径的纤维，则该纤维能够进入这样的销之间，但根据情况有时会出现弹性不足的情况。

此外，如图4B所示，在刷子保持部54上，利用螺纹件安装有角度调节板54a。能够松动该螺纹件而改变该板的位置的固定位置。通过改变该固定位置，该板的端部的突出长度变化，从而按压纤维玻璃等的纤维束的部分52a的位置变化，因此能够改变纤维玻璃等的纤维束的部分52a的倾斜角度。

图4C是表示将清洁机构50安装在环状部80上的状态的立体图。以跨过该环状部80的开口部80a的方式将清洁机构50的刷子保持部54的两个位置螺纹固定。由此，图4B的下侧所示的刷子部分52能够从该开口部向斜下方突出。此时，下侧的刷子部分52的宽度可以用比图4C所示的上侧的刷子部分52的宽度窄的。环状部80固定在形成在圆形台22t上的具有开口部的表侧的面（上方的面）时，在使用相同大小的刷子部分时，也可以使用具有大的开口部80a的环状部80。

刷子的宽度必须比上侧以及下侧检查夹具28u、28d的销的列的长度，例如图3B中从纸面的表侧向背面侧并列的列的长度大。这是为了能够借助刷子从销的顶端通过一次而对全部的销进行焊锡的残渣以及氧化膜的碎片等的扫落。但是也可以例如设置多个清洁机构，与清洁机构的个数对应而将该刷子部分通过销的路径分隔为不相重合，各清洁的刷子部分分别承担作用，对分隔的各自的路径上的销进行清洁。

图4D是表示将图4C所示的环状部80固定在圆形台22t的具有开口部56的部分的背面的状态的立体图。如该图所示，比刷子部分52宽度窄的刷子部分53安装在环状部80上。刷子部分53具有纤维玻璃等的纤维束的部分53a和植入该纤维束部分53a的植入部分53b。这样，也可以令刷子部分53不从圆形台22t的表面上突出而从其背面经过开口部56而突出。此时，对于下侧检查夹具28d，也可以使具有宽度大的刷子部分突出。

图5是本发明的其他实施方式的清洁机构60的立体图。该清洁机构60具有刷子部分62和保持刷子部分62的保持部64。刷子部分62具有细纤维例如玻璃纤维的纤维束的部分62a、和植入该纤维束的部分62b。也可以使用图3A所示的纤维。刷子保持部64夹持植入纤维束的部分62a的部分62b。

此外，刷子保持部64利用调节螺纹件64a而安装在固定部65上。通过松动该调节螺纹件而改变保持刷子保持部64的角度，能够调节刷子部分62的倾斜。固定部65固定在圆形台22t的表面上。

[梭型基板检查装置的概要]

图6是梭型基板检查装置70的简化俯视图。梭型基板检查装置70具有清洁机构90。图2所示的旋转台装置22形成有将多个被检查基板保持部40沿圆形状的路径移动的运送路，与之相对，图6所示的梭型基板检查装置中，具有两个运送路70L以及70R这两个运送路，这些运送路具有共用的运送路70C。被检查基板保持部（托盘）74L沿着这样的大致矩形的运送路70L以及共用运送路70C移动，此外，被检查基板保持部（托盘）74沿着大致矩形的运送路70R以及共用运送路70C移动。

在共用运送路70C上设置有检查部30。该检查部30可以具有一个检查夹具，也可以与图2的实施例相同，在上下方向上具有检查夹具，由此，同时进行形成在被检查基板的两面的导体图案的测定。

为了方便说明，在图6中，沿着箭头所示的路径从左下方的位置向左旋地将运送路70L的几个位置表示为PL1、P2、P3、P4、以及PL5。此外，沿着箭头所示的路径从右下方的位置向右旋地将运送路70R的几个位置表示为PR1、P2、P3、P4、以及PR5。若这样，则托盘74L位于PL1的位置，托盘74R位于PR1的位置，清洁机构70位于P3的位置，检查部30位于P4的位置。

各托盘的驱动利用例如设置在各轨道上的气体压力缸进行。此外，在各托盘上形成开口，使得在图2所示的旋转台装置22的被检查基板保持部40上形成开口40w，对于被检查基板72，下侧检查夹具也能够从下侧进行处理。

PL1是运送路70L上的被检查基板的运入部以及运出部，PR1是运送路70R上的被检查基板的运入部以及运出部。例如在运送路70L上托盘74L位于PL1时被检查基板72L载置在该托盘上。此后，该托盘沿着运送路70L移动，通过共用运送路70C的P2、P3而移动到位于P4的检查部30。在该检查部，利用具有多个销的检查夹具测定被检查基板72的电气特性。若该测定完成，则托盘74L从P4移动而通过PL5，到达作为运出部以及运入部的PL1。在此，检查结束了的被检查基板72被从托盘74L取走而载置接下来的被检查基板72。

在运出部以及运入部PL1处，在取出检查完的被检查基板而载置接下来的新的被检查基板期间，托盘74L静止在该PL1处。另一方面，在该期间，载置了新的被检查基板72的托盘74R沿着运送路70R而从PR1移动而通过共用运送路70C的P2、P3而移动到检查部30，在此接受该被检查基板的检查。这样，各运送路上的被检查基板交互地接受检查，所以无需浪费被检查基板的取出以及载置用的时间。其结果，能够缩短多个被检查基板的检查的总计时间。

清洁机构90具有刷子部分92和保持其的保持部94。刷子部分92具有细纤维例如玻璃纤维束的部分92a和植入该纤维束的部分92b。各纤维束与图3A的实施方式相同，由例如尼龙制，其直径52φ约为0.1mm，如该图所示，各纤维的顶端也可形成为锥状。此外，刷子部分52的纤维的长度为约20至30mm，刷子部分52的厚度能够从约2mm到4mm。

刷子保持部94夹持植入纤维束的部分92a的部分92b。此外，刷子保持部94利用未图示的调节螺纹件而安装在托盘95上，能够调节刷子部分92的安装角度。在图6中，刷子部分92向与托盘95的行进方向相反的方向倾斜。该倾斜角度为从托盘95的面为大约45度。其中，能够设定为从30度到50度左右之间的任意的角度。

清洁机构90的托盘95能够设置为能够在例如运送路70R以及共用运送路70C上移动。此时，托盘95在运送路70R上在与托盘74R保持一定的间隔的状态下与托盘74R的动作同步地移动。此外，在共用运送路70C上，在托盘74L以及74L不通过期间，托盘95通过共用运送路70C，不会妨碍这些托盘的移动。因此，托盘95的移动不会对载置在托盘74L以及74L上的被检查基板的检查的时机产生影响。

在进行检查销的清洁时，托盘95通过共用运送路70C而进入P4的检查部30。在P4的位置处，清洁机构90的后倾的刷子部分92如图3所示地一边清扫检查夹具的销的顶端部一边通过销的列。之后，朝向PR5移动。

在本实施例中，在刷子部分92一边清扫检查夹具的销的顶端部一边通过销的列的P4位置处可以设置吸尘器的取入口，用于收集落下的焊锡碎块、其他的粉尘等。

此外，为了提高检查部30的销的清洁的频率，也可以在运送路70L上配置另外的清洁机构，以在托盘74L和74L不通过的一个期间内令该另外的清洁机构移动，在下一个期间内令清洁机构90移动的方式令这些交互地通过检查部30而进行销的清洁。

接着，对使用清洁机构50或90清洁检查夹具的销32时的注意点进行说明。

一般而言，销32垂直地延伸，所以如图3B所示，刷子部分需要保持向与行进方向相反的方向倾斜的状态。若在该状态下刷子部分与销的顶端部接触，则刷子部分的纤维能够慢慢地与销接触，所以不会对销产生冲击。

此外，作为清洁用刷子，与使用刷子部分由比较柔软的材料构成的刷子（例如PBT：聚丁烯对酞酸盐制刷子）来进行销顶端部的清洁相比，优选取代之而使用刷子部分由比较硬的材料构成刷子（例如玻璃纤维制刷子）清洁销顶端部。

根据如上所述的使用倾斜的刷子进行销顶端部的清洁的实施方式，则能够将邻接的销彼此的顶端上附着的、令销彼此为导通不良（短路）状态的异物（例如焊锡等的导电物质）去除，能够进行正确的检查。特别是在本实施方式中，能够有效地应用于四端子测定方法这样的测定销彼此的间隔距离配置为较短的检查夹具的、测定销之之间的异物的去除。

[其他实施方式的旋转台装置的概要]

图7是从上方看与图2不同的其他实施方式的旋转台装置220的俯视图。对于与图2的旋转台装置22相同的要素标注相同的附图标记而省略说明。

与图2的旋转台装置22不同，在位于P2的位置的被检查基板保持部40和位于P3的位置的被检查基板保持部40之间的圆形台22t上的位置C1处，取代清洁机构50而沿半径方向设置上侧销顶端部净化部件44Ru。因此，销顶端部净化部件44Ru与旋转台22装置一体地在与上述被检查基板42被运送的运送路径相同的路径上移动。另外，该设置位置是任意的，不限定于在位置P2与P3之间。

通常，位于检查部30的检查夹具28被提升到不与上侧销顶端部净化部件44Ru接触的位置而被保持在该位置。在半径方向上延伸（即与圆周方向相比在半径方向上形成得长，能够罩住检查夹具28u的销区域）的上侧销顶端部净化部件44Ru来到位置P4时，上侧检查夹具28u下降到销顶端部32p（参考图9中附图标记32p）与销顶端部净化部件44Ru的纤维顶端轻轻接触的位置（参照图9）。在该阶段中，进行上侧检查夹具28u的销顶端部的清洁动作。销顶端部净化部件44Ru与图9关联而详细说明，是大致朝向上方而植入有纤维的刷子。

虽未图示，在台盘22t的背面也设置有下侧销顶端部净化部件44Rd。同样地，下侧检查夹具28d上升到销顶端部与下侧销顶端部净化部件44Rd的纤维顶端轻轻接触的位置，进行清洁动作。

清洁动作利用基于旋转台装置22的既定角度内的向顺时针方向和逆时针方向的往复旋转移动而进行。由此，刷子的纤维分别清扫上侧检查夹具28u以及下侧检查夹具28d的销顶端部。对于检查夹具28的销，刷子的清扫方向特定，所以将该方向规定为X方向。虽未图示，但是在销顶端部的清洁作业时，为了收集落下的焊锡碎块、其他粉尘等，在位置P4的附近的适当的位置设置吸尘器的取入口。

此外，在台盘22t的位置P6与P7之间的位置C2处，沿着圆周方向设置另外的上侧销顶端部净化部件44Cu。因此，销顶端部净化部件44Cu与旋转台装置22一体地在与上述被检查基板42被运送的运送路径相同的路径上移动。另外，该设置位置不限定于位置P6与P7之间，可以是任意的。在上侧销顶端部净化部件44Cu随着旋转台装置22的旋转而来到位置P4时，进行销顶端部的清洁动作。

在上侧销顶端部净化部件44Cu来到位置P4时，上侧检查夹具28u下降到销顶端部与上侧销顶端部净化部件44Cu的纤维顶端轻轻接触的位置。虽未图示，但在台盘22t的背面也设置下侧销顶端部净化部件44Cd。同样地，下侧检查夹具28d上升到销顶端部与下侧销顶端部净化部件44Cd的纤维顶端轻轻接触的位置，进行销顶端部的清洁动作。

清洁动作例如利用气体压力缸38u进行。在圆周方向上延伸（即，与半径方向相比在圆周方向上形成得长）的上侧销顶端部净化部件44Cu被气体压力缸38u沿台盘22t的半径方向驱动以既定的长度往复移动。气体压力缸38u是利用空气压而驱动负荷（销顶端部净化部件44C）的促动器（动作设备），市场上销售有各种类型。例如，可以利用下述构成来进行：沿上侧销顶端部净化部件44Cu的移动方向设置轨道（未图示），利用气体压力缸向半径方向外外向驱动上侧销顶端部净化部件44Cu，在停止气体的阶段利用弹簧驱动向半径方向内向进行驱动。

进而，上侧销顶端部净化部件44Cu的圆周方向的长度比能够覆盖检查夹具28u的销区域的长度短时，在最初的销顶端部的清洁动作结束后，令旋转台22稍微旋转而令上侧销顶端部净化部件44Cu在圆周方向上稍微移动，接着进行清洁动作。销顶端部净化部件44C的圆周方向的长度即便不能覆盖检查夹具28u的销区域，也能够通过利用旋转台22的旋转而几次分开进行清洁动作。

利用这样的清洁动作，刷子的纤维在Y方向上分别清扫上侧检查夹具28u以及下侧检查夹具28d的销顶端部。

该清洁作业并不是旋转台装置22每旋转一周进行一次。例如从以往的经验来看，可以在进行了既定张数（例如100张）的基板检查后进行清洁动作。或者，在由基板检查装置10得到的基板检查的数据如后述的“试验结果”所述地以预定频度超过检查阈值时，进行清洁动作。

（其他的销顶端部净化部件）

图8是表示具有其他的销顶端部净化部件的旋转台装置22的局部放大图。

图7中，沿半径方向设置销顶端部净化部件44R，沿圆周方向设置销顶端部净化部件44C。

与之相对，图8的销顶端部净化部件44RC中，一个的销顶端部净化部件呈沿半径方向以及圆周方向延伸的形状。销顶端部净化部件44RC的形状不限定于图示的十字形状。其形状只要刷子沿半径方向以及圆周方向延伸即可，例如也可以是T字形，L字形等。销顶端部净化部件44RC也与旋转台22一体地在与上述被检查基板42被运送的运送路径相同的路径上移动。另外，其设置位置可以是任意的。

该销顶端部净化部件44RC的设置位置移动到图7中说明的旋转台22的位置P4时，进行销顶端部32p的清洁动作。销顶端部净化部件44RC与图7中说明的相同，借助旋转台装置22的既定角度的往复旋转而驱动X方向的往复移动，利用例如气体压力缸38u借助既定的长度的往复移动驱动Y方向的往复移动。Y方向的往复移动后，令旋转台稍微旋转移动，进行进行Y方向的往复移动，从而能够将Y方向的清洁分为几次。

当然，也与图7的销顶端部净化部件同样地，在旋转台装置22的上表面以及背面的双方上分别设置上侧以及下侧销顶端部净化部件44RCu、44RCd。利用销顶端部净化部件44RC，利用一个的销顶端部净化部件分别在X方向以及Y方向上清扫检查夹具的销顶端部。

（检查夹具和销顶端部净化部件）

图9（A）以及图9（B）是详细说明检查夹具28和销顶端部净化部件44的图。

在检查夹具28上安装多根销32。各销32由销轴部32s和销顶端部32p构成，在销32的后端连接与基板检查装置10的扫描器20连接的信号线，但省略图示。

销顶端部净化部件44具有刷子固定部件44h、和固定于其上的多根刷子44b，刷子44b由刷子轴部44s和纤维部44f构成。销顶端部净化部件44能够例如如下地形成：利用作为印刷基板清扫、摩擦用而市面上销售的摩擦刷子，将多个摩擦刷子插装在刷子固定部件44h上而形成。

纤维部44f例如由玻璃纤维构成。固定在刷子固定部件44h上的摩擦刷子的个数可以是任意的，试验品中为6~20根左右。为了令销顶端部净化部件44沿X方向或者Y方向往复移动时，纤维部44f与销顶端部32p平均地接触，优选并不是正格子状地插装在刷子固定部件44h上，而是令邻接的刷子列错开半个格子地插装。

接着，说明使用销顶端部净化部件44而清洁检查夹具28的销32时的注意点。

如图9（A）所示，优选检查夹具28向设置在旋转台22上的销顶端部净化部件44下降时，销顶端部净化部件44不在其正下方，不会与销顶端部32p冲击。检查夹具28下降到销顶端部32p与纤维部44b稍微接触的高度而静止后，销顶端部净化部件44从图中看左方向右方横向地移动，纤维部44b朝向一方向清扫销顶端部32p（即擦刷）。纤维部44b在到达从销顶端部32p分离的位置时静止，其后朝向原来的位置向横向移动，纤维部44b反向地清扫销顶端部32p。将这样的清洁动作反复进行必要次数。若清洁动作结束，则检查夹具28上升到原来的位置。

如图9（B）所示，若检查夹具28朝向设置在旋转台22上的销顶端部净化部件44下降时销顶端部净化部件44位于其正下方，则纤维部44f的顶端与销顶端部32p冲突，成为压迫销32的状态。在该状态下，若开始销顶端部净化部件44的横向的往复移动，则从纤维部44f对销32施加过大的载荷，一些销32上发生变形的现象。因此，优选以图9（A）所说明的状态进行清洁动作。

（梭型基板检查装置）

本实施方式的清洁机构不限定为利用旋转台装置220的基板检查装置10。例如，图10是说明在梭型基板检查装置150中使用的基板保持部分的图。梭型基板检查装置150的基板保持部分以外与图7中说明的基板试验装置相同。此外，基本的结构与图6的梭型基板检查装置70的结构相同。附图标记29是校准照相机。

图10的梭型基板检查装置150中，概括地说，是载置被检查基板72的托盘74L或74R沿既定的轨道在板状的矩形台22-1上移动的结构。

即，若被检查基板72载置在位于位置P1的左侧托盘74L上，而该左侧托盘74L通过左侧轨道70L而经由位置P3、通过中央轨道70C而移动到位置P5，在位置P5处静止而进行基板检查。在基板检查结束后，通过左侧轨道70L而经由位置P6而回到位置P1。

在位于位置P2的右侧托盘74R上设置的被检查基板72，通过右侧轨道70R而经由位置P3，在之前的左侧的基板的检查结束的时刻，在中央轨道70上移动到位置P5，在位置P5处进行基板检查。在基板检查结束后，通过右侧轨道70L而经由位置P7而回到位置P2。

在左侧托盘74L的行进路线中，位置P1、P3、P4为上游部，位置P5为检查部，位置P6、P1为下游部。另一方面，在右侧托盘74R的行进路线中，位置P2、P3、P4为上游部，位置P5为检查部，位置P7、P2为下游部。

在进行单侧的被检查基板72的基板检查时，相反侧的被检查基板72在托盘74L或74R上进行定位设置作业，缩短多张基板检查的总计时间。

对于梭型基板检查装置150，也能够具有清洁机构。

例如，对于右侧托盘74R，取代被检查基板而设置图9中说明的销顶端部净化部件44。销顶端部净化部件44可以是半径方向延伸的销顶端部净化部件44R、圆周方向延伸的销顶端部净化部件44C、以及半径方向以及圆周方向延伸的销顶端部净化部件44RC的任意一种类型。

设置在右侧托盘74R上的销顶端部净化部件44在位置P5利用气体压力缸（未图示）沿X方向以既定的长度往复移动，进行检查夹具28的销顶端部32p的清洁动作。进而，根据需要，沿Y方向以既定的长度往复移动而进行检查夹具28的销顶端部32p的清洁动作。因此，销顶端部净化部件44与托盘74R一体地在与上述被检查基板72被运送的运送路径相同的路径上移动。虽未图示，但是在销顶端部的清洁作业时，为了收集落下的焊锡碎块、其他的粉尘等，在位置P5的附近的适当位置设置吸尘器的取入口。

该清洁作业在检查了例如既定张数（例如100张）的基板后进行。或者在由基板检查装置150得到的基板检查的数据如后述的“试验结果”所述地超过既定的阈值时，进行清洁动作。

（试验结果）

例如在基板检查装置10、150中，测定导体图案的电阻值，判定其是否良好。例如良好的判定基准如下：导体图案的测定电阻为下式的检查阈值以下则判定为良品，若超过检查阈值则判定为不良品。

检查阈值=L+k （Ω）

L：良品基板的导体图案电阻值

k：销与导体图案的接触电阻、销顶端部的焊锡附着等的电阻

若以一例进行说明，则若进行100张左右的基板检查，则有时基板导体的测定电阻超过检查阈值。此时，如背景技术中说明的那样，利用手工作业进行销顶端部的清洁，令基板导体的测定电阻回到检查阈值以下。

使用上述实施方式中说明的清洁机构对超过检查阈值的基板进行清洁动作。

作为清洁用刷子，使用刷子部分由比较柔软的材料构成的刷子（例如PBT：聚丁烯对酞酸盐制刷子）对销顶端部在X方向上进行最大200次的清洁。但是，测定电阻值有超过检查阈值的。

取代PBT制刷子而使用刷子部分由比较硬的材料构成刷子（例如玻璃纤维制刷子），对销顶端部在X方向上进行数十次左右的清洁。其结果，测定电阻基本为检查阈值以下。

接着，对销顶端部在X方向上进行数十次左右的清洁，之后在Y方向上进行数十次左右的清洁。其结果，全部的测定电阻值确认为检查阈值以下。基板的导体图案的测定电阻值的变动值的幅度控制在1Ω以下。

从这些试验结果可知，使用的刷子的材料中与柔软的材料（PBT）相比优选较硬的材料（玻璃纤维）。通过对销顶端部向一方向（例如X方向）进行数十次左右的清洁，销顶端部大致能够被清洁。进而，通过对销顶端部向两个方向（例如X方向以及Y方向）分别进行数十次左右的清洁，能够完全地清洁销顶端部。

清洁作业沿一个方向进行还是沿两个方向进行，这由基板检查中得到的被检查基板的导体图案的测定电阻值超过检查阈值的频率等决定。

从图7到图10所示的实施方式与图2的实施方式相比，能够更加细致地清洁销顶端部的周面。因此，该实施方式特别适合于使用二端子测定法而进行基板检查时的销的清洁，所述二端子测定法由于在销顶端部和检查点之间残存焊锡碎块等而其接触电阻值变动、对其结果测定值产生影响。

[实施方式的优点、效果]

如以上说明的那样，基板检查装置通过具有清洁机构而实现以下的优点、效果。

（1）具有销顶端部的清洁机构的基板检查装置的实现

根据本实施方式，能够实现具有销顶端部清洁机构的基板检查装置。

（2）清洁作业的机械化

如背景技术中说明的那样，以往从基板检查装置取下检查夹具而利用手工作业利用刷子来清洁检查夹具的销。

根据本实施方式，能够实现清洁作业的机械化。手工作业时净化的品质水平的管理困难。但是通过令清洁动作机械化，能够将销顶端部的净化的水平管理为一定。

（3）清洁作业的自动化

通过令基板检查装置具有清洁机构，能够实现清洁作业的自动化。

在手工作业时，基板检查作业与销顶端的清洁作业为分别的作业。进而，专利文件1以及2公开的基板检查装置在清洁时将与多张被检查基板的流程分别地设置的清洁机构移动到接触部、接触销等的位置而进行清洁。

但是，在基板检查装置中，通过具有在与被检查基板被运送的运送路径相同的路径上移动的清洁机构，能够将销顶端的清洁作业与基板检查作业以连续的工序实施，而实质上不会中断基板检查作业。

即，在对多张（例如100张）基板顺次连续地进行基板检查时，从检查夹具看，与被检查基板沿相同的运送路径移动的清洁机构设置在被检查基板的位置，从而能够以必要的短时间进行销顶端部的清洁而不会中断顺次进行的基板检查的流程，能很快返回到基板检查中。

（4）基板检查时间的缩短

通过在基板检查装置中具有清洁机构，不需要检查夹具的取下以及再次安装。被检查基板的配线被极度地高密度化，与此对应的检查夹具的销配列也极度地高密度化。因此，在将检查夹具再次安装在基板检查装置上时，一边进行位置修正一边定位，所以需要很多时间。通过令基板检查装置具有清洁机构，检查夹具的拆装自身已经不需要了，能够大幅地缩短销顶端部的清洁所需要的时间。结果，能够大幅地缩短检查一定张数的基板所需要的总计基板检查时间。

（5）检查夹具的位置错位的消除

以往，在净化作业后将检查夹具再次安装在基板检查装置上时进行位置设定，即一边一点点地反复进行设置位置修正一边决定最终的位置而进行安装。但是，在这样的安装位置设定作业中，无论怎样都存在检查夹具拆装前后的位置错位的不良情况。但是，通过将销顶端部的清洁机构组装入基板检查装置，销顶端部的清洁时的检查夹具的拆装自身都不需要了，拆装前后产生的位置错位的问题也消除了。

[代替例等]

以上，对于具有本发明的清洁机构的基板检查装置的优选实施方式进行了说明，但是本发明并不限定于该实施方式，本领域技术人员能够容易地进行的增加、删除、改变等也包含在本发明中，此外，本发明的技术范围由权利要求书限定。

附图标记说明

10 基板检查装置

11 控制装置

22 旋转台装置

22t 圆形台

22s 旋转驱动轴

28u 上侧检查夹具

28d 下侧检查夹具

32 销

30 检查部

40 被检查基板保持部

42 被检查基板

44 销顶端部净化部件

44R 半径方向延伸的销顶端部净化部件

44C 圆周方向延伸的销顶端部净化部件

44RC 沿半径方向以及圆周方向延伸的销顶端部净化部件

44u 上侧销顶端部净化部件

44d 下侧销顶端部净化部件

44Ru 上侧半径方向延伸的销顶端部净化部件

44Cu 上侧圆周方向延伸的销顶端部净化部件

44RCu 上侧沿半径方向以及圆周方向延伸的销顶端部净化部件

44Rd 下侧半径方向延伸的销顶端部净化部件

44Cd 下侧圆周方向延伸的销顶端部净化部件

44RCd 下侧半径方向以及圆周方向延伸的销顶端部净化部件

44b 刷子

44f 纤维部

44h 刷子固定部件

48 托盘

50、70、90 清洁机构

52、72、92 刷子部分

54、74、94 刷子保持部

54a 调节板

64a 调节螺纹件

70L、70R 运送路

70C 共用运送路

Claims (9)

1.一种基板检查装置，具有：

运送机构，具有从运入部到运出部的运送路、保持被检查基板的被检查基板保持部、沿上述运送路移动该被检查基板保持部的移动机构；

检查部，设置在上述运送路的中途，对被保持在上述运送机构的上述被检查基板保持部上的被检查基板顺次地进行检查，具有检查夹具，令设置在该检查夹具上的多个销与被检查基板上的配线的检查点接触，从而测定该配线的电气特性；

清洁机构，在上述运送路上设置在以既定的间隔设置的任意的相邻的被检查基板保持部之间，被上述运送机构的上述移动机构沿上述运送路移动，在通过上述检查部时进行上述多个销的清洁，

上述清洁机构具有刷子，该刷子具有沿着被上述移动机构移动的移动方向的纤维流，向与上述移动方向相反的方向倾斜而被保持。

2.一种基板检查装置，具有：

运送机构，具有从运入部到运出部的运送路、保持被检查基板的被检查基板保持部、沿上述运送路移动该被检查基板保持部的移动机构；

检查部，设置在上述运送路的中途，对被保持在上述运送机构的上述被检查基板保持部上的被检查基板顺次地进行检查，具有检查夹具，令设置在该检查夹具上的多个销与被检查基板上的配线的检查点接触，从而测定该配线的电气特性；

清洁机构，在上述运送路上设置在以既定的间隔设置的任意的相邻的被检查基板保持部之间，被上述运送机构的上述移动机构沿上述运送路移动，在通过上述检查部时进行上述多个销的清洁，

上述清洁机构从距上述检查夹具的销顶端部分离的位置朝向一方向开始移动，一边与该销顶端部接触一边清洁，移动到从该销顶端部分离的位置而停止，之后，向相反方向移动到原始位置而对该销顶端部进行清洁，并重复进行该往复移动。

3.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

上述刷子相对于水平面以大约从30度到50度之间的任意的角度倾斜地被保持。

4.如权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，

上述清洁机构具有沿相互垂直的方向配列的刷子的列。

5.如权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

上述运送机构具有旋转台装置，该旋转台装置具有圆形台和驱动该圆形台旋转的旋转驱动机构，上述被检查基板保持部在沿着上述圆形台上的圆周的位置上以既定间隔设置，此外，上述清洁机构在设置在上述圆形台上的上述被检查基板保持部的任意相邻的两个被检查基板保持部之间至少设置一个。

6.如权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于，

设置在上述任意的相邻的被检查基板保持部之间的上述清洁机构与相邻的两个上述被检查基板保持部的各距离比上述任意的相邻的被检查基板保持部之间的距离小。

7.如权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

上述运送机构由具有旋转驱动轴和圆形台的旋转台形成，

在圆周状地保持在上述圆形台上的多张被检查基板之间设置上述清洁机构，该清洁机构利用上述旋转驱动轴的旋转而沿着与上述被检查基板相同的运送路径而向上述检查部移动。

8.如权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

上述刷子由玻璃纤维构成。

9.一种权利要求1或2所述的基板检查装置中的多个的销的清洁方法，以既定的时机将多个被检查基板向检查部顺次运送，所述检查部令设置在检查夹具上的多个销与上述被检查基板上的配线的检查点接触，从而测定该配线的电气特性，

另一方面，在与上述既定的时机不同的时机，令具有刷子的清洁机构通过上述检查部而对上述多个销进行清洁。

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