JPWO2009119205A1 - 圧電体膜を用いた振動ジャイロ - Google Patents
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Abstract
Description
(1)Nを2以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、その基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の検出電極とを有している。
さらに、前述の各々の駆動電極は、前述の平面内であって、前述のリング状振動体の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前述の各々の検出電極は、その第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置されている。
(1)Nを2以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、その基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極とを備える一群の検出電極を有している。
さらに、前述の各々の駆動電極は、前述の平面内であって、前述のリング状振動体の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前述の各々の検出電極は、その第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置される。
(1)Nを3以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N−2(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、その基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の検出電極とを有している。
さらに、前述の各々の駆動電極は、前述の平面内であって、前述のリング状振動体の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前述の各々の検出電極は、その第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置されている。
(1)Nを3以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N−2(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、その基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の検出電極とを有している。
さらに、前述の各々の駆動電極は、前述の平面内であって、前述のリング状振動体の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前述の各々の検出電極は、その第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置されている。
(1)Nを2以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、その基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第1検出電極と、
(3)その二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の二次振動を検出し、且つ前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第2検出電極とを有している。
さらに、前述の各々の駆動電極は、前述の平面内であって、前述のリング状振動体の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前述の各々の第1検出電極及び前述の各々の第2検出電極は、前述の第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置されている。
(改訂2又は改訂3)上述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの二次振動を検出し、且つM=0,1,・・・,N−1(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、上述の基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の検出電極
(4)上述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの二次振動を検出し、且つM=0,1,・・・,N−1(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、上述の基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第3検出電極
(1)Nを3以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N−2(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、その基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第1検出電極と、
(3)その二次振動に対して{90/(N−1)}°離れた角度の振動軸の二次振動を検出し、且つ前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第2検出電極とを有している。
さらに、前述の各々の駆動電極は、前述の平面内であって、前述のリング状振動体の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前述の各々の第1検出電極及び第2検出電極は、前述の第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置されている。
(改訂2又は改訂3)上述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの二次振動を検出し、且つM=0,1,・・・,N−1(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、その駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の検出電極
(4)上述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの二次振動を検出し、且つM=0,1,・・・,N−1(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、上述の基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又はその基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第3検出電極
(5)M=0,1,・・・,N−1(以下、本パラグラフ内において同じ)とした場合に、上述の基準駆動電極から円周方向に〔(360/N)×{M+(1/2)}〕°離れた角度に配置された一群のモニタ電極
図1は、本実施形態における3軸の角速度を測定するリング状振動ジャイロ100の中心的役割を果たす構造体の正面図である。図2は、図1のA−A断面図である。なお、説明の便宜上、図1には、X軸及びY軸が表記されている。
図4は、第1の実施形態の一部を変形したリング状振動ジャイロ200の中心的役割を果たす構造体の正面図である。
図5は、第1の実施形態の一部を変形したリング状振動ジャイロ300の中心的役割を果たす構造体の正面図である。
図6は、第1の実施形態の一部を変形したリング状振動ジャイロ400の中心的役割を果たす構造体の図2に相当する断面図である。
上述の第1の実施形態及びその変形例(1)乃至(3)では、3軸の角速度を検出し得る振動ジャイロの構造が説明されているが、2軸又は1軸の角速度検出のための各検出電極の配置も第1の実施形態から導き出される。
図7は、第1の実施形態の一部を変形したリング状振動ジャイロ500の中心的役割を果たす構造体の正面図である。また、図8は、図7のB−B断面図である。
図10は、本実施形態におけるもう一つの3軸の角速度を測定するリング状振動ジャイロ600の中心的役割を果たす構造体の正面図である。
第2の実施形態は、上述の第1の実施形態の各変形例と同様の変形例が適用され得る。従って、それぞれの構成による有利な効果が奏される。
Claims (21)
- 平面を一様に備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部と、
固定電位電極、及び前記平面上に形成されるとともに上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極とを備え、
前記複数の電極は、次の(1)及び(2)、すなわち、
(1)Nを2以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の検出電極
を有し、
前記各々の駆動電極は、前記平面内であって、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前記各々の検出電極は、前記第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置される
振動ジャイロ。 - 平面を一様に備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部と、
固定電位電極、及び前記平面上に形成されるとともに上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極とを備え、
前記複数の電極は、次の(1)及び(2)、すなわち、
(1)Nを2以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の検出電極
を有し、
前記各々の駆動電極は、前記平面内であって、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前記各々の検出電極は、前記第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置される
振動ジャイロ。 - 平面を一様に備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部と、
固定電位電極、及び前記平面上に形成されるとともに上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極とを備え、
前記複数の電極は、次の(1)乃至(3)、すなわち、
(1)Nを2以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第1検出電極
(3)前記二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の二次振動を検出し、且つ前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第2検出電極
を有し、
前記各々の駆動電極は、前記平面内であって、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前記各々の第1検出電極及び前記各々の第2検出電極は、前記第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置される
振動ジャイロ。 - 前記検出電極を第1検出電極としたときに、前記複数の電極が、次の(3)、すなわち、
(3)前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの二次振動を検出し、且つM=0,1,・・・,N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第2検出電極
をさらに有し、
前記各々の第2検出電極が、前記第1電極配置領域上に配置される
請求項1又は請求項2に記載の振動ジャイロ。 - 前記検出電極を第1検出電極としたときに、前記複数の電極が、次の(3)及び(4)、すなわち、
(3)前記二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の二次振動を検出し、且つ前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第2検出電極
(4)前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの二次振動を検出し、且つM=0,1,・・・,N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第3検出電極
をさらに有し、
前記各々の第2検出電極が、前記第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記各々の第3検出電極が、前記第1電極配置領域上に配置される
請求項1に記載の振動ジャイロ。 - 平面を一様に備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部と、
固定電位電極、及び前記平面上に形成されるとともに上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極とを備え、
前記複数の電極は、次の(1)及び(2)、すなわち、
(1)Nを3以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N−2(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の検出電極
を有し、
前記各々の駆動電極は、前記平面内であって、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前記各々の検出電極は、前記第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置される
振動ジャイロ。 - 平面を一様に備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部と、
固定電位電極、及び前記平面上に形成されるとともに上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極とを備え、
前記複数の電極は、次の(1)及び(2)、すなわち、
(1)Nを3以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N−2(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の検出電極
を有し、
前記各々の駆動電極は、前記平面内であって、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前記各々の検出電極は、前記第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置される
振動ジャイロ。 - 平面を一様に備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部と、
固定電位電極、及び前記平面上に形成されるとともに上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極とを備え、
前記複数の電極は、次の(1)乃至(3)、すなわち、
(1)Nを3以上の自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された一群の駆動電極
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とした場合であって、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、且つS=0,1,・・・,N−2(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第1検出電極
(3)前記二次振動に対して{90/(N−1)}°離れた角度の振動軸の二次振動を検出し、且つ前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第2検出電極
を有し、
前記各々の駆動電極は、前記平面内であって、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又はその内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域を含む第1電極配置領域上に配置され、前記各々の第1検出電極及び前記各々の第2検出電極は、前記第1電極配置領域と電気的に接しない第2電極配置領域上に配置される
振動ジャイロ。 - 前記検出電極を第1検出電極としたときに、前記複数の電極が、次の(3)、すなわち、
(3)前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの二次振動を検出し、且つM=0,1,・・・,N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第2検出電極
をさらに有し、
前記各々の第2検出電極が、前記第1電極配置領域上に配置される
請求項6又は請求項7に記載の振動ジャイロ。 - 前記検出電極を第1検出電極としたときに、前記複数の電極が、次の(3)及び(4)、すなわち、
(3)前記二次振動に対して{90/(N−1)}°離れた角度の振動軸の二次振動を検出し、且つ前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第2検出電極
(4)前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの二次振動を検出し、且つM=0,1,・・・,N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度に配置された電極及び/又は前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度に配置された電極を備える一群の第3検出電極
をさらに有し、
前記各々の第2検出電極が、前記第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記各々の第3検出電極が、前記第1電極配置領域上に配置される
請求項6に記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、さらに、
(5)L=0,1,・・・,2N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から円周方向に(180/N)×{L+(1/2)}°離れた角度以外の角度に配置された一群のモニタ電極と
を有する
請求項1乃至請求項3、請求項5乃至請求項8、及び請求項10のいずれかに記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、さらに、
(5)L=0,1,・・・,2N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から円周方向に(180/N)×{L+(1/2)}°離れた角度以外の角度に配置された一群のモニタ電極と
を有する
請求項4に記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、さらに、
(5)L=0,1,・・・,2N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から円周方向に(180/N)×{L+(1/2)}°離れた角度以外の角度に配置された一群のモニタ電極と
を有する
請求項9に記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、さらに、
(5)M=0,1,・・・,N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から円周方向に〔(360/N)×{M+(1/2)}〕°離れた角度に配置された一群のモニタ電極と
を有する
請求項1乃至請求項3、請求項5乃至請求項8、及び請求項10のいずれかに記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、さらに、
(5)M=0,1,・・・,N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から円周方向に〔(360/N)×{M+(1/2)}〕°離れた角度に配置された一群のモニタ電極と
を有する
請求項4に記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、さらに、
(5)M=0,1,・・・,N−1(以下、同じ)とした場合に、前記基準駆動電極から円周方向に〔(360/N)×{M+(1/2)}〕°離れた角度に配置された一群のモニタ電極と
を有する
請求項9に記載の振動ジャイロ。 - 前記第2電極配置領域が、前記外周縁から前記内周縁までの幅の中央を結ぶ中央線を含む
請求項1乃至請求項3、請求項5乃至請求項8、及び請求項10のいずれかに記載の振動ジャイロ。 - 前記第2電極配置領域が、前記外周縁から前記内周縁までの幅の中央を結ぶ中央線を含む
請求項4に記載の振動ジャイロ。 - 前記第2電極配置領域が、前記外周縁から前記内周縁までの幅の中央を結ぶ中央線を含む
請求項9に記載の振動ジャイロ。 - 前記リング状振動体がシリコン基板から形成され、
平面視で実質的に前記上層金属膜、前記圧電体膜、及び前記下層金属膜のみが観察される
請求項1乃至請求項3、請求項5乃至請求項8、及び請求項10のいずれかに記載の振動ジャイロ。 - 前記リング状振動体がシリコン基板から形成され、
平面視で実質的に前記上層金属膜及び前記下層金属膜のみが観察される
請求項1乃至請求項3、請求項5乃至請求項8、及び請求項10のいずれかに記載の振動ジャイロ。
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