JP5630267B2 - 振動ジャイロ素子及びその製造方法 - Google Patents
振動ジャイロ素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5630267B2 JP5630267B2 JP2010542104A JP2010542104A JP5630267B2 JP 5630267 B2 JP5630267 B2 JP 5630267B2 JP 2010542104 A JP2010542104 A JP 2010542104A JP 2010542104 A JP2010542104 A JP 2010542104A JP 5630267 B2 JP5630267 B2 JP 5630267B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- frame
- piezoelectric body
- gyro element
- main surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 9
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 55
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 51
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
2…上主面電極
2A…駆動検出電極
2B…回路接続電極
2C…基準電位接続電極
2D…配線
2E…絶縁層
3…圧電基板
31…内側開放孔
32…内側梁部
33…外側開放孔
34…外側梁部
3A…内側領域
3B…枠状領域
3C…外側領域
4…下主面電極
5…支持基板
5A…内側領域
5B…振動領域
5C…外側領域
6…励振信号発生回路
7A,7B…差動回路
8A,8B…平滑回路
Claims (12)
- 圧電体の主面に平行な面内の回転軸での回転を検出する振動ジャイロ素子であって、
前記圧電体の主面における枠状領域の内側面を露出させる内側開放部と前記枠状領域の外側面を露出させる外側開放部とを設け、前記枠状領域よりも内側に内側領域を備え、前記枠状領域よりも外側に外側領域を備え、前記回転軸から45°ずらした位置に設けられ、前記内側領域または外側領域と前記枠状領域とを繋ぐ梁部とを備えた圧電体と、
前記枠状領域の前記圧電体の主面に垂直な方向の変位と前記圧電体の主面に平行な方向の変位とに電気機械的に結合する、前記枠状領域の主面表裏に接合された主面電極対と、
前記枠状領域への他部材の干渉を防ぐとともに前記内側開放部および前記外側開放部に連通する前記枠状領域の振動空間を確保して、前記圧電体を支持する支持体と、
を備え、
前記圧電体の主面に垂直な方向の変位を前記枠状領域に励起させた状態で、前記回転軸回りの角速度によるコリオリの力の大きさに応じた出力を得る、振動ジャイロ素子。 - 圧電体の主面に平行な面内で互いに直交する2つの回転軸それぞれでの回転を検出する振動ジャイロ素子であって、
前記圧電体の主面における枠状領域の内側面を露出させる内側開放部と前記枠状領域の外側面を露出させる外側開放部とを、前記2つの回転軸それぞれを対称軸として線対称形に設け、前記枠状領域よりも内側に内側領域を備え、前記枠状領域よりも外側に外側領域を備え、前記内側領域または外側領域と前記枠状領域とを繋ぎ、前記2つの回転軸から45°ずらした位置に設けられた梁部とを備えた圧電体と、
それぞれ前記枠状領域の前記圧電体の主面に垂直な方向の変位と前記圧電体の主面に平行な方向の変位とに電気機械的に結合する、前記2つの回転軸それぞれを対称軸として線対称な配列で前記枠状領域の主面表裏に接合された複数の主面電極対と、
前記枠状領域への他部材の干渉を防ぐとともに前記内側開放部および前記外側開放部に連通する前記枠状領域の振動空間を確保して、前記圧電体を支持する支持体と、
を備え、
前記圧電体の主面に垂直な方向の変位を前記枠状領域に励起させた状態で、前記圧電体の主面に平行な軸回りの角速度によるコリオリの力の大きさに応じた出力を得る、振動ジャイロ素子。 - 前記主面電極対に電気的に接続され、前記梁部を介して前記支持体まで引き出される配線と、前記梁部と前記配線との間に設けられる絶縁体と、を備える、請求項1または2に記載の振動ジャイロ素子。
- 前記内側領域は前記支持体によって支持されるとともに前記枠状領域を支持する、請求項1〜3のいずれかに記載の振動ジャイロ素子。
- 前記圧電体は前記枠状領域よりも外側の全体が前記外側開放部である、請求項4に記載の振動ジャイロ素子。
- 前記外側領域は前記支持体によって支持されるとともに前記枠状領域を支持する、請求項1〜4のいずれかに記載の振動ジャイロ素子。
- 前記圧電体は前記枠状領域よりも内側の全体が前記内側開放部である、請求項6に記載の振動ジャイロ素子。
- 前記枠状領域は円形枠状または矩形枠状である、請求項1〜7に記載の振動ジャイロ素子。
- 前記圧電体は、ニオブ酸リチウム、または、タンタル酸リチウム、あるいは、水晶からなる単結晶である、請求項1〜8のいずれかに記載の振動ジャイロ素子。
- 請求項1〜9に記載の振動ジャイロ素子の製造方法であって、
前記支持体に前記振動空間となる犠牲層を設ける工程と、
前記支持体および前記犠牲層の上に前記圧電体を接合する工程と、
前記圧電体の前記内側開放部または前記外側開放部からエッチャントを前記犠牲層に到達させて、前記犠牲層を除去する工程と、を含む、振動ジャイロ素子の製造方法。 - 圧電単結晶体にイオンを注入する工程と、
前記イオンが注入された前記圧電単結晶体を加熱することにより、前記圧電体を剥離形成する工程と、を含む、請求項10に記載の振動ジャイロ素子の製造方法。 - 前記圧電体に、前記内側開放部および前記外側開放部となる位置に開口を設けたマスクを形成する工程と、
前記マスクを設けた前記圧電体にエッチングを施して前記内側開放部および前記外側開放部を設け、前記マスクを除去する工程と、を含む、請求項11に記載の振動ジャイロ素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010542104A JP5630267B2 (ja) | 2008-12-09 | 2009-12-08 | 振動ジャイロ素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008313623 | 2008-12-09 | ||
JP2008313623 | 2008-12-09 | ||
PCT/JP2009/070534 WO2010067793A1 (ja) | 2008-12-09 | 2009-12-08 | 振動ジャイロ素子及びその製造方法 |
JP2010542104A JP5630267B2 (ja) | 2008-12-09 | 2009-12-08 | 振動ジャイロ素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010067793A1 JPWO2010067793A1 (ja) | 2012-05-17 |
JP5630267B2 true JP5630267B2 (ja) | 2014-11-26 |
Family
ID=42242782
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010542104A Expired - Fee Related JP5630267B2 (ja) | 2008-12-09 | 2009-12-08 | 振動ジャイロ素子及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8756994B2 (ja) |
JP (1) | JP5630267B2 (ja) |
CN (1) | CN102246003B (ja) |
WO (1) | WO2010067793A1 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5523755B2 (ja) * | 2009-02-11 | 2014-06-18 | 住友精密工業株式会社 | 圧電体膜を用いた振動ジャイロ及びその製造方法 |
US9517966B2 (en) * | 2011-10-25 | 2016-12-13 | Corning Incorporated | Glass compositions with improved chemical and mechanical durability |
WO2013063290A1 (en) | 2011-10-25 | 2013-05-02 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
WO2013067023A1 (en) * | 2011-10-31 | 2013-05-10 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Mems hemispherical resonator gyroscope |
US9713572B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-07-25 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9849066B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-12-26 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9707153B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-07-18 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9717649B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-08-01 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9700485B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-07-11 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9839579B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-12-12 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9707155B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-07-18 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9707154B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-07-18 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9717648B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-08-01 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9603775B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-03-28 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
US9700486B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-07-11 | Corning Incorporated | Delamination resistant pharmaceutical glass containers containing active pharmaceutical ingredients |
CN103575262B (zh) * | 2013-10-11 | 2016-03-02 | 上海交通大学 | 摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺 |
WO2016006433A1 (ja) * | 2014-07-10 | 2016-01-14 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
WO2016088291A1 (ja) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | ソニー株式会社 | センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器 |
JP6370832B2 (ja) * | 2016-05-06 | 2018-08-08 | 矢崎総業株式会社 | 電圧センサ |
GB2565298B (en) * | 2017-08-07 | 2022-03-16 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Angular rate sensors |
CN110044346A (zh) * | 2019-04-08 | 2019-07-23 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 陀螺仪 |
CN110058041A (zh) * | 2019-04-08 | 2019-07-26 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 陀螺仪 |
CN109900262B (zh) * | 2019-04-08 | 2021-08-10 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 陀螺仪 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0642971A (ja) * | 1990-05-18 | 1994-02-18 | British Aerospace Plc <Baf> | センサー |
JPH0868638A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電振動ジャイロ,その支持構造,多次元ジャイロ |
JPH08278147A (ja) * | 1995-04-05 | 1996-10-22 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
JP2001508537A (ja) * | 1996-10-21 | 2001-06-26 | ビーティージー・インターナショナル・リミテッド | ソリッドステート多軸ジャイロスコープ |
JP2002510398A (ja) * | 1998-03-14 | 2002-04-02 | ビーエイイー システムズ パブリック リミテッド カンパニー | 2軸ジャイロスコープ |
JP2003509670A (ja) * | 1999-09-17 | 2003-03-11 | キオニックス インク | 電気分離式マイクロ機械ジャイロスコープ |
JP2005195574A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-07-21 | Sony Corp | 角速度検出装置、角速度検出装置による角速度検出方法および角速度検出装置の製造方法 |
JP2005529306A (ja) * | 2001-09-14 | 2005-09-29 | ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ− | 振動ジャイロスコープレートセンサ |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3218702B2 (ja) | 1992-06-22 | 2001-10-15 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
US6151964A (en) * | 1998-05-25 | 2000-11-28 | Citizen Watch Co., Ltd. | Angular velocity sensing device |
JP2000009473A (ja) * | 1998-06-22 | 2000-01-14 | Tokai Rika Co Ltd | 2軸ヨーレートセンサ及びその製造方法 |
GB9817347D0 (en) * | 1998-08-11 | 1998-10-07 | British Aerospace | An angular rate sensor |
US6009751A (en) * | 1998-10-27 | 2000-01-04 | Ljung; Bo Hans Gunnar | Coriolis gyro sensor |
GB0001775D0 (en) * | 2000-01-27 | 2000-03-22 | British Aerospace | Improvements relating to angular rate sensor devices |
GB0122258D0 (en) * | 2001-09-14 | 2001-11-07 | Bae Systems Plc | Vibratory gyroscopic rate sensor |
JP4352975B2 (ja) * | 2003-07-25 | 2009-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の支持構造、圧電振動子及び振動型圧電ジャイロスコープ |
JP2005342808A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | Memsデバイスの製造方法 |
US7637156B2 (en) * | 2004-07-12 | 2009-12-29 | Sumitomo Precision Products | Angular velocity sensor with vibrator having ring portion and electrodes positioned inside and outside the ring portion |
JP5145637B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2013-02-20 | ソニー株式会社 | 振動型ジャイロセンサ |
WO2008072008A1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Atlantic Inertial Systems Limited | Improvements in or relating to a gyroscope |
EP2239541B1 (en) * | 2008-01-29 | 2013-10-23 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | Vibrating gyroscope using piezoelectric film |
WO2009119205A1 (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 住友精密工業株式会社 | 圧電体膜を用いた振動ジャイロ |
WO2009119204A1 (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 住友精密工業株式会社 | 圧電体膜を用いた振動ジャイロ |
JP5523755B2 (ja) * | 2009-02-11 | 2014-06-18 | 住友精密工業株式会社 | 圧電体膜を用いた振動ジャイロ及びその製造方法 |
-
2009
- 2009-12-08 JP JP2010542104A patent/JP5630267B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-12-08 CN CN200980150142.3A patent/CN102246003B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-12-08 WO PCT/JP2009/070534 patent/WO2010067793A1/ja active Application Filing
-
2011
- 2011-06-01 US US13/150,349 patent/US8756994B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0642971A (ja) * | 1990-05-18 | 1994-02-18 | British Aerospace Plc <Baf> | センサー |
JPH0868638A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電振動ジャイロ,その支持構造,多次元ジャイロ |
JPH08278147A (ja) * | 1995-04-05 | 1996-10-22 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
JP2001508537A (ja) * | 1996-10-21 | 2001-06-26 | ビーティージー・インターナショナル・リミテッド | ソリッドステート多軸ジャイロスコープ |
JP2002510398A (ja) * | 1998-03-14 | 2002-04-02 | ビーエイイー システムズ パブリック リミテッド カンパニー | 2軸ジャイロスコープ |
JP2003509670A (ja) * | 1999-09-17 | 2003-03-11 | キオニックス インク | 電気分離式マイクロ機械ジャイロスコープ |
JP2005529306A (ja) * | 2001-09-14 | 2005-09-29 | ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ− | 振動ジャイロスコープレートセンサ |
JP2005195574A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-07-21 | Sony Corp | 角速度検出装置、角速度検出装置による角速度検出方法および角速度検出装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110226058A1 (en) | 2011-09-22 |
US8756994B2 (en) | 2014-06-24 |
CN102246003A (zh) | 2011-11-16 |
WO2010067793A1 (ja) | 2010-06-17 |
CN102246003B (zh) | 2015-09-09 |
JPWO2010067793A1 (ja) | 2012-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5630267B2 (ja) | 振動ジャイロ素子及びその製造方法 | |
US5488863A (en) | Angular velocity sensor making use of tuning fork vibration | |
US7188525B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP2007258918A (ja) | 圧電デバイス | |
TW201333426A (zh) | 振動片、感測器單元及電子機器 | |
JP2006201053A (ja) | 圧電振動ジャイロ素子、圧電振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ | |
JP2019128211A (ja) | 振動素子、振動素子の製造方法、物理量センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体 | |
JP5970690B2 (ja) | センサー素子、センサーユニット、電子機器及びセンサーユニットの製造方法 | |
JP2006201118A (ja) | 圧電振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ | |
JP2013186029A (ja) | 振動片、センサーユニットおよび電子機器 | |
JP2012257141A (ja) | 水晶振動片、ジャイロセンサー、電子機器、水晶振動片の製造方法 | |
JP5987426B2 (ja) | 振動片、振動片の製造方法、センサーユニット、電子機器 | |
JP2010014575A (ja) | 角速度センサ及びその製造方法 | |
JP5682361B2 (ja) | 振動デバイス、振動デバイスの製造方法、モーションセンサー、および電子機器 | |
JP2016176892A (ja) | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 | |
JP2009074996A (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
JP6210345B2 (ja) | ジャイロセンサー素子、ジャイロセンサーユニット、電子機器及びジャイロセンサーユニットの製造方法 | |
JP5716557B2 (ja) | 振動片、ジャイロセンサー、電子機器、振動片の製造方法 | |
JP2011018959A (ja) | 圧電振動子 | |
JP2015076688A (ja) | 振動子、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP2010145122A (ja) | 圧電振動子および振動ジャイロ装置 | |
JP2010145121A (ja) | 圧電振動子および振動ジャイロ装置 | |
JP2017207283A (ja) | 振動素子の製造方法 | |
JP3355998B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP5533349B2 (ja) | 屈曲振動片、屈曲振動子、発振器、および電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120522 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130510 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140909 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140922 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5630267 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |