JP2015076688A - 振動子、発振器、電子機器及び移動体 - Google Patents
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Abstract
【課題】信頼性品質が高く、振動特性が安定で、高いQ値を有する振動子を提供する。【解決手段】MEMS振動子100は、基部21と、基部21から放射状に延びている複数の振動片22と、基部21の振動の節部から延びている支持部25と、支持部25と接続している固定部23と、固定部23を主面上に配置している基板1と、を備え、複数の振動片22が、基板1から遊離している。【選択図】図1
Description
本発明は、振動子、振動子を備えた発振器、電子機器及び移動体に関する。
一般に、半導体微細加工技術を利用して形成されたMEMS(Micro Electro Mechanical System)デバイスと呼ばれる機械的に可動な構造体を備えた電気機械系構造体(例えば、振動子、フィルター、センサー、モーターなど)が知られている。この中で、MEMS振動子は、これまでの水晶や誘電体を使用した振動子・共振子と比較して、半導体回路を組み込んで製造することが容易であり、微細化、高機能化に対し有利であることから、その利用範囲が広まっている。
従来のMEMS振動子の代表例としては、振動子が設けられた基板面と平行な方向に振動する櫛型振動子と、基板の厚さ方向に振動する梁型振動子とが知られている。梁型振動子は、基板上に形成された固定電極や基板に遊離して配置された可動電極などからなる振動子であり、可動電極の支持の方法により、片持ち梁型(clamped‐free beam)、両持ち梁型(clamped‐clamped beam)、両端自由梁型(free‐free beam)などが知られている。
特許文献1の片持ち梁型のMEMS振動子では、基板の主面上に設けられた第1電極の側面部において、可動する第2電極の支持部側に設けられた側面部の角部が略垂直に形成されているため、電極形状のばらつきに起因する振動特性のばらつきの影響を低減でき、安定した振動特性を得ることができると記載されている。
しかしながら、特許文献1に記載のMEMS振動子は、支持部が一つのため小型化には有利であるが、基板の厚さ方向に振動する片持ち梁を固定する支持部の質量が小さいため、可動する第2電極の梁の屈曲振動を減衰することができなく、梁の振動が支持部を伝わり基板全体に漏れてしまい、高いQ値が得られず、安定した振動特性や所望の振動特性が得られなくなってしまうという問題があった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例又は形態として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る振動子は、基部と、前記基部から放射状に延びている振動片と、前記基部の振動の節部から延びている支持部と、前記支持部と接続している固定部と、前記固定部が主面上に設けられた基板と、を備え、前記基部と前記振動片とが、前記支持部によって前記基板から遊離していることを特徴とする。
本適用例によれば、基部と振動片とが支持部により基板から遊離し、且つ、基部と振動片とが一体となって生じる振動が基部と振動片とが接合する部分で振動の節部となり、その振動の節部を支持部で支え基板に固定している構造のため、容易に振動させることができ、且つ、振動の節部からの振動漏れを抑制することができる。特に、振動子を基板の厚さ方向に振動する梁型振動子として構成する場合に、互いに隣り合う振動片の振動変位を互いに反対方向とすることにより、振動の節部における振動変位を極めて小さくすることができるため、支持部に支えられた振動の節部から発生する振動漏れを抑制することができる。
従って、本適用例によれば、振動効率の低下が抑制され、また振動漏れが抑制された高いQ値を有する振動子を提供することができる。
従って、本適用例によれば、振動効率の低下が抑制され、また振動漏れが抑制された高いQ値を有する振動子を提供することができる。
[適用例2]上記適用例に記載の振動子において、前記基板の平面視で、複数の前記支持部の間に前記基部があることを特徴とする。
本適用例によれば、振動の節部を支える支持部が基部を挟み対向するように配置することで、一体化された基部と振動片とをバランス良く支持することができるので、耐衝撃性が向上し、高い信頼性品質を有する振動子を提供することができる。
[適用例3]上記適用例に記載の振動子において、少なくとも1つの前記支持部は、応力緩和部を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、支持部に応力緩和部を備えることで、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が、支持部を介して一体化された基部と振動片とに伝わることを緩和することができる。また、振動の節部から支持部を介して伝わる振動漏れを抑制することができる。
従って、本適用例によれば、安定した振動特性を有し、振動漏れが抑制された高いQ値を有する振動子を提供することができる。
従って、本適用例によれば、安定した振動特性を有し、振動漏れが抑制された高いQ値を有する振動子を提供することができる。
[適用例4]上記適用例に係る振動子において、前記応力緩和部は、前記基板の平面視で、前記基部の中心に対して同じ回転方向に曲がっていることを特徴とする。
本適用例によれば、支持部に設けられた応力緩和部が基部の中心に対して同じ回転方向に延出している。つまり、応力緩和部が支持部の基部から延出する方向と異なる方向に曲がっているため、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が固定部を介して伝わったとしても、応力緩和部がばねのように変形し易いため、応力を緩和し基部と振動片とに伝わることを抑制することができる。また、振動の節部から支持部を介して伝わる振動漏れについても応力緩和部が振動漏れを減衰し、基板へ伝わることを抑制することができる。
[適用例5]上記適用例に係る振動子において、前記応力緩和部は、前記基部から前記支持部が延出する方向と交わる方向に曲がっている複数の部位を有していることを特徴とする。
本適用例によれば、基部から支持部が延出する方向と交わる方向に曲がっているため、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が固定部を介して伝わったとしても、応力緩和部がコイルばねのように変形し易いため、応力を緩和し基部と振動片とに伝わることを抑制することができる。また、振動の節部から支持部を介して伝わる振動漏れについても応力緩和部が振動漏れを減衰し、基板へ伝わることを抑制することができる。
[適用例6]上記適用例に係る振動子において、前記応力緩和部は、曲線部を有することを特徴とする。
本適用例によれば、応力緩和部が曲線部を有しているため、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が固定部を介して伝わったとしても、応力緩和部がコイルばねのように変形するため、基部や振動片に伝わることを抑制することができる。また、振動の節部から支持部を介して伝わる振動漏れについても応力緩和部が振動漏れを減衰し、基板へ伝わることを抑制することができる。更に、応力緩和部が曲線であるため、外部から衝撃が加わった際に応力緩和部発生する応力は、局所的に発生しないので、衝撃に強い構造とすることができる。
[適用例7]上記適用例に係る振動子において、前記応力緩和部は、円環部を有することを特徴とする。
本適用例によれば、応力緩和部が円環部を有しているため、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が固定部を介して伝わったとしても、支持部が延出する方向に応力緩和部が圧縮又は伸長し変形するため、基部や振動片に伝わることを抑制することができる。また、振動の節部から支持部を介して伝わる振動漏れについても応力緩和部が振動漏れを減衰し、基板へ伝わることを抑制することができる。
[適用例8]上記適用例に係る振動子において、前記基部を挟み対向するように配置されている2つの前記支持部の前記応力緩和部は、互いに沿う方向に曲がっていることを特徴とする。
本適用例によれば、2つの支持部の応力緩和部が互いに沿う方向に曲がっているため、隣接する振動片に加わる外部応力が同等となり、各振動片に加わる外部応力の違いから生じる歪を低減できるため、振動漏れが抑制された高いQ値を有する振動子を提供することができる。
[適用例9]上記適用例に係る振動子において、前記基板の平面視で、隣り合う2つの前記振動片は、振動の位相が互いに異なっていることを特徴とする。
本適用例によれば、振動子を基板の厚さ方向に振動する梁型振動子として構成する場合に、互いに隣り合う振動片の振動の位相を逆にすることにより、振動変位を互いに反対方向とすることができるため、振動の節部における振動変位を極めて小さくすることができ、支持部に支えられた振動の節部から発生する振動漏れを抑制することができ、高いQ値を有する振動子を提供することができる。
[適用例10]上記適用例に係る振動子において、幅方向の長さが互いに異なっている複数の前記振動片を有していることを特徴とする。
本適用例によれば、振動片の幅方向の長さ(基部から延出する方向と交わる方向の長さ)を互いに異ならせることにより、振動片が奇数であっても、例えば、1つの振動片の幅方向の長さを基部を挟んで対向する2つの振動片の幅方向の長さよりも大きくすることで、振動の節部において基部と振動片とが一体化した全体の振動が釣り合うため、振動漏れを抑制することができ、高いQ値を有する振動子を提供することができる。
[適用例11]本適用例に係る発振器は、上記適用例に係る振動子を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、高いQ値を有する振動子を備えていることにより、より高性能の発振器を提供することができる。
[適用例12]本適用例に係る電子機器は、上記適用例に係る振動子を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、電子機器として、高いQ値を有する振動子を備えていることにより、より高性能の電子機器を提供することができる。
[適用例13]本適用例に係る移動体は、上記適用例に係る振動子を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、移動体として、高いQ値を有する振動子が活用されることにより、より高性能の移動体を提供することができる。
以下に本発明を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。以下は、本発明の一実施形態であって、本発明を限定するものではない。なお、以下の各図においては、説明を分かりやすくするため、実際とは異なる尺度で記載している場合がある。
(実施形態)
[振動子]
先ず、本実施形態に係る振動子としてのMEMS振動子100について説明する。
図1(a)は、MEMS振動子100の平面図、図1(b)は、図1(a)のA−A断面図、図1(c)は、図1(a)のB−B断面図、図1(d)は、図1(a)のC−C断面図である。
MEMS振動子100は、基板1上に形成された固定電極(下部電極10)と、基板1及び固定電極から遊離して形成される可動電極(上部電極20)が備えられた静電型の梁型振動子である。可動電極は、基板1の主面及び固定電極に積層された犠牲層がエッチングされることにより基板1及び固定電極から遊離して形成される。
なお、犠牲層とは、酸化膜などで一旦形成される層であり、その上下や周囲に必要な層を形成した後にエッチングにより除去される。犠牲層が除去されることによって、上下や周囲の各層間に必要な間隙や空洞が形成されたり、必要な構造体が遊離して形成されたりする。
[振動子]
先ず、本実施形態に係る振動子としてのMEMS振動子100について説明する。
図1(a)は、MEMS振動子100の平面図、図1(b)は、図1(a)のA−A断面図、図1(c)は、図1(a)のB−B断面図、図1(d)は、図1(a)のC−C断面図である。
MEMS振動子100は、基板1上に形成された固定電極(下部電極10)と、基板1及び固定電極から遊離して形成される可動電極(上部電極20)が備えられた静電型の梁型振動子である。可動電極は、基板1の主面及び固定電極に積層された犠牲層がエッチングされることにより基板1及び固定電極から遊離して形成される。
なお、犠牲層とは、酸化膜などで一旦形成される層であり、その上下や周囲に必要な層を形成した後にエッチングにより除去される。犠牲層が除去されることによって、上下や周囲の各層間に必要な間隙や空洞が形成されたり、必要な構造体が遊離して形成されたりする。
MEMS振動子100の構成について以下に説明する。MEMS振動子100の製造方法については、後述する実施形態で説明する。
MEMS振動子100は、基板1と、基板1の主面上に設けられた下部電極10(第1下部電極11、第2下部電極12)及び固定部23と、上部電極20の基部21から延出し応力緩和部27を有する支持部25と、支持部25によって基板1から遊離して支えられた可動電極としての上部電極20(基部21と振動片22とが一体化したもの)などを含み構成されている。
MEMS振動子100は、基板1と、基板1の主面上に設けられた下部電極10(第1下部電極11、第2下部電極12)及び固定部23と、上部電極20の基部21から延出し応力緩和部27を有する支持部25と、支持部25によって基板1から遊離して支えられた可動電極としての上部電極20(基部21と振動片22とが一体化したもの)などを含み構成されている。
基板1には、好適例としてシリコン基板を用いている。基板1には、酸化膜2、窒化膜3が順に積層されており、基板1の主面(窒化膜3の表面)の上部に、下部電極10(第1下部電極11、第2下部電極12)、上部電極20、固定部23、支持部25などが形成されている。
なお、ここでは、基板1の厚み方向において、基板1の主面に順に酸化膜2及び窒化膜3が積層される方向を上方向として説明している。
なお、ここでは、基板1の厚み方向において、基板1の主面に順に酸化膜2及び窒化膜3が積層される方向を上方向として説明している。
下部電極10の内、第2下部電極12は、固定部23を基板1の上に固定し、また、固定部23及び支持部25を介して上部電極20に電位を与える固定電極であり、窒化膜3に積層された第1導電体層4がフォトリソグラフィー(エッチング加工を含む。以下同様。)によりパターニングされることで図1(a)に示すように、H形状に形成されている。また、第2下部電極12は、配線12aによって外部回路(図示省略)と接続されている。
固定部23は、H形状の第2下部電極12の4つの端部にそれぞれ設けられている。固定部23は、第1導電体層4の上層に積層された犠牲層を介して積層された第2導電体層5が、フォトリソグラフィーによりパターニングされることで形成されている。なお、固定部23の一部は、犠牲層に設けられた開口部により、第2下部電極12に直接積層されている。
第1導電体層4及び第2導電体層5は、それぞれ好適例として導電性のポリシリコンを用いているが、これに限定するものではない。
第1導電体層4及び第2導電体層5は、それぞれ好適例として導電性のポリシリコンを用いているが、これに限定するものではない。
上部電極20は、基部21と、基部21から放射状に延出する複数の振動片22と、を含み構成されている。ここで「放射状に延出する」とは、互いに異なる方向に向かって延出していることを意味する。具体的には、図1(a)に示すように、上部電極20の基部21から延出する4つの振動片22によって十字形状を呈する可動電極であり、上部電極20が周囲に設けられた4つの固定部23から延出する4本の支持部25によって支えられている。
上部電極20は、第1導電体層4の上層に積層された犠牲層を介して積層された第2導電体層5が、フォトリソグラフィーによりパターニングされることで形成されている。つまり、4つの固定部23、4本の支持部25及び上部電極20は、一体に形成されている。また、H形状の第2下部電極12と、十字形状の上部電極20とは、基板1を平面視したときにそれぞれの中心部が略一致するように重なり、上部電極20の基部21から横方向(B―B方向)に延在する2つの振動片22が、H形状の第2下部電極12(後述するスリットS2の部分を除く)と重なるように配置されている。
複数の支持部25は、基部21を挟みそれぞれ対向するように配置され、基部21と固定部23との間に応力緩和部27を有している。応力緩和部27は、支持部25の基部21とは反対側の端部に、基部21から延出する方向と交わる方向に延出する部位の一方の端部が接続され、部位の他方の端部が固定部23に接続されている。また、4つの支持部25に設けられた応力緩和部27の部位は、平面視で基部21の中心に対して同じ回転方向に延出している。すなわち、基部21から延出している支持部25が途中で曲がっており、この曲がっている部位が応力緩和部27として機能する。同じ回転方向に延出するとは、同じ方向に向かって曲がっていることになる。
このような構成により、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力が固定部23を介して伝わったとしても、応力緩和部27が板ばねのように変形するため、基部21や振動片22に伝わることを緩和させることができる。なお、応力緩和部27は総ての支持部25に設けられていなくても良く、少なくとも1つの支持部25に設けられていれば良い。
下部電極10の内、第1下部電極11は、基板1を平面視したときに重なる上部電極20との間に交流電圧が印加される固定電極であり、窒化膜3に積層された第1導電体層4がフォトリソグラフィーによりパターニングされることで形成されている。第1下部電極11は、図1(a)を正面視したとき、上部電極20の基部21から縦方向(A−A方向)に延在する2つの振動片22に重なるように2箇所に設けられ、配線11aによって外部回路と接続されている。
第1下部電極11は、第2下部電極12と同じ層の第1導電体層4により形成されている。従って、第1下部電極11は、上部電極20に電位を与える固定電極としての第2下部電極12との間で電気的に絶縁される必要があり、それぞれのパターン(第1下部電極11と第2下部電極12と)が分離されている。この分離するための隙間の段差(凹凸)は、第1導電体層4の上層に積層された犠牲層を介して積層された第2導電体層5によって形成される上部電極20に凹凸形状として転写される。具体的には、図1(a),(b)に示すように、パターンの分離部(スリットS1)の部分において、上部電極20に凹凸形状が形成される。
MEMS振動子100では、上部電極20の基部21から縦方向(A−A方向)に延出する振動片22と、横方向(B−B方向)に延出する振動片22とで、スティフネスに違いが発生しないように、第2下部電極12にダミーのスリットパターンを設けている。具体的には、スリットS1が上部電極20の縦方向(A−A方向)に延在する2つの振動片22に反映させている凹凸形状と同じように、上部電極20の横方向(B−B方向)に延在する2つの振動片22に凹凸形状を生じさせるようなダミーのスリットS2を、上部電極20が重なる領域における横方向(B−B方向)に延在する第2下部電極12に設けている。すなわち、スリットS2の幅(B−B方向の長さ)は、スリットS1の幅(A−A方向の長さ)と略同じであり、平面視したときに、上部電極20の中心点からスリットS2までの距離が、上部電極20の中心点からスリットS1までの距離と略同じとなるように、スリットS2を形成している。
このようにダミーのスリットS2を設けることにより、凹凸部も含めて、上部電極20が構成される。なお、スリットS2は、電気的に第2下部電極12を絶縁する目的で形成するものではないため、平面視したときに、上部電極20と重ならないスリットS2の両端部の領域においては、第2下部電極12が連続している。
このような構成において、MEMS振動子100は静電振動子として構成され、外部回路から配線11a,12aを介して第1下部電極11と上部電極20との間に印加される交流電圧によって、上部電極20の4つの振動片22の先端領域が振動の腹として振動する。図1(a)において、(+/−)の記号は振動の腹として上下方向(基板1の厚み方向)に振動する部分を、その振動の位相の関係を含めて示し、隣り合う振動片22の位相が異なっている。例えば、+の振動片22が上方向(基板1から離れる方向)への動きの場合に、隣の振動片22が−の下方向(基板1に近づく方向)への動きになっていることを示している。
ここで、基部21を挟み対向する2つの振動片22は、基部21を含む略矩形状の梁と見做される。そのため、2つの振動片22の先端が上方向に振動すると、基部21は下方向に振動する。よって、振動片22の厚み方向に変位を有する屈曲振動が生じる。また、隣の振動片22、基部21及び基部21を挟み対向する振動片22で構成される梁については、2つの振動片22の先端が下方向に振動すると基部21は上方向に振動する屈曲振動を生じることとなる。そのため、2つの梁が同時に振動すると、基部21は上下方向の変位が相殺され振動が抑制され、基部21と振動片22とが接続する領域が振動の節部となる。よって、振動の節部において上部電極20全体の振動が釣り合うこととなり、この部分を支持することで、振動効率がより高く、振動漏れの抑制された静電型の梁型振動子をより簡便に提供することができる。
<製造方法>
次に、本実施形態に係る振動子(MEMS振動子100)の製造方法について説明する。なお、説明にあたり、前述した同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
図2(a)〜(g)は、MEMS振動子100の製造工程を順に示す工程図である。それぞれの工程におけるMEMS振動子100の態様を、図1(a)のA−A断面図、及びC−C断面図で示している。
次に、本実施形態に係る振動子(MEMS振動子100)の製造方法について説明する。なお、説明にあたり、前述した同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
図2(a)〜(g)は、MEMS振動子100の製造工程を順に示す工程図である。それぞれの工程におけるMEMS振動子100の態様を、図1(a)のA−A断面図、及びC−C断面図で示している。
図2(a):基板1を準備し、主面の上部に酸化膜2を積層する。酸化膜2は、好適例として、半導体プロセスの素子分離層として一般的なLOCOS(Local Oxidation of Silicon)で形成しているが、半導体プロセスの世代によって、例えば、STI(Shallow Trench Isolation)法による酸化膜であっても良い。
次に絶縁層としての窒化膜3を積層する。窒化膜3としては、窒化シリコン(Si3N4)をLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)により成膜している。窒化膜3は、犠牲層7をリリースエッチングする際に使用するエッチング液としてのバッファードフッ酸に対して耐性があり、エッチングストッパーとして機能する。
次に絶縁層としての窒化膜3を積層する。窒化膜3としては、窒化シリコン(Si3N4)をLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)により成膜している。窒化膜3は、犠牲層7をリリースエッチングする際に使用するエッチング液としてのバッファードフッ酸に対して耐性があり、エッチングストッパーとして機能する。
図2(b),(c):次に、第1層形成工程として、先ず、窒化膜3に第1導電体層4を積層する。第1導電体層4は、下部電極10(第1下部電極11、第2下部電極12)、配線11a,12a(図1(a)参照)などを構成するポリシリコン層であり、積層後にボロン(B)やリン(P)等のイオンを注入して所定の導電性を持たせる。次に、第1導電体層4にレジスト6を塗布し、フォトリソグラフィーによりパターニングして、第1下部電極11、第2下部電極12、配線11a,12aを形成する。第1層形成工程では、第2層形成工程の後に基板1を平面視したときに、上部電極20と重なるように予め下部電極10、つまり第1下部電極11及び第2下部電極12を形成しておく。
図2(d):次に、下部電極10、配線11a,12aを覆うように犠牲層7を積層する。犠牲層7は、第1下部電極11及び第2下部電極12と上部電極20との間隙を形成し、上部電極20を遊離させるための犠牲層であり、CVD(Chemical Vapor Deposition)法により成膜している。積層された犠牲層7には、パターニングされた第1下部電極11と第2下部電極12などの段差による凹凸が現れている。
図2(e):次に、犠牲層7をフォトリソグラフィーによりパターニングし、第2下部電極12の一部が露出する開口部30を形成する。開口部30には、固定部23が第2下部電極12と接合し固定される接合領域が形成される。接合領域は、上部電極20が支持部25を介して基板1に支えられる領域であるため、必要なスティフネスが得られる面積を開口している。
図2(f):次に、第2層形成工程として、先ず、犠牲層7及び開口部30を覆うように第2導電体層5を積層する。第2導電体層5は、第1導電体層4と同じポリシリコン層であり、積層後にフォトリソグラフィーによりパターニングして、上部電極20、固定部23、支持部25を形成する。上部電極20は、図1(a)に示すように、基板1を平面視したときに第1下部電極11及び第2下部電極12と重なる領域を有する電極として、上部電極20の形状を上部電極20の中央の基部21から振動片22が放射状に延出するように形成する。また、積層後に固定部23と支持部25とを除く上部電極20領域にボロン(B)やリン(P)等のイオンを注入して所定の導電性を持たせる。
図2(g):次に、基板1をエッチング液(バッファードフッ酸)に晒し、犠牲層7をエッチング除去(リリースエッチング)することで、第1下部電極11及び第2下部電極12と上部電極20との間隙を形成し、上部電極20を遊離させる。
以上によりMEMS振動子100が形成される。
以上によりMEMS振動子100が形成される。
なお、MEMS振動子100は、減圧状態に封止された空洞部に設置されることが好ましい。そのため、MEMS振動子100の製造に当たっては、空洞部を形成するための犠牲層や、この犠牲層を囲む側壁部、空洞部の蓋を形成する封止層などを合わせて形成しているが、ここでは説明を省略している。
以上述べたように、本実施形態によるMEMS振動子100によれば、以下の効果を得ることができる。
上部電極20は、基部21の振動の節部を支持部25によって支えられているため、上部電極20全体の振動が振動の節部で釣り合い、振動効率がより高く、振動漏れの抑制された高いQ値を有する静電型の梁型振動子を提供することができる。
また、支持部25に応力緩和部27が設けられているため、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力が固定部23を介して伝わっても、応力緩和部27がばねのように変形し、基部21と振動片22とが一体化した上部電極20の全体に伝わることを緩和することができるので、外部温度変化に対して振動特性が安定で、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
上部電極20は、基部21の振動の節部を支持部25によって支えられているため、上部電極20全体の振動が振動の節部で釣り合い、振動効率がより高く、振動漏れの抑制された高いQ値を有する静電型の梁型振動子を提供することができる。
また、支持部25に応力緩和部27が設けられているため、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力が固定部23を介して伝わっても、応力緩和部27がばねのように変形し、基部21と振動片22とが一体化した上部電極20の全体に伝わることを緩和することができるので、外部温度変化に対して振動特性が安定で、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
[発振器]
次いで、本発明の一実施形態に係る発振器としてのMEMS振動子100を適用した発振器200について、図3に基づき説明する。
次いで、本発明の一実施形態に係る発振器としてのMEMS振動子100を適用した発振器200について、図3に基づき説明する。
図3は、本発明の一実施形態に係るMEMS振動子100を備える発振器の構成の例を示す概略図である。発振器200は、MEMS振動子100、バイアス回路70、アンプ71,72などから構成されている。
バイアス回路70は、MEMS振動子100の配線11a,12aに接続され、MEMS振動子100に所定の電位がバイアスされた交流電圧を印加する回路である。
アンプ71は、バイアス回路70と並列に、MEMS振動子100の配線11a,12aに接続される帰還増幅器である。帰還増幅することで、MEMS振動子100を発振器200として構成している。
アンプ72は、発振波形を出力するバッファー増幅器である。
バイアス回路70は、MEMS振動子100の配線11a,12aに接続され、MEMS振動子100に所定の電位がバイアスされた交流電圧を印加する回路である。
アンプ71は、バイアス回路70と並列に、MEMS振動子100の配線11a,12aに接続される帰還増幅器である。帰還増幅することで、MEMS振動子100を発振器200として構成している。
アンプ72は、発振波形を出力するバッファー増幅器である。
本実施形態によれば、発振器として、高いQ値を有する振動子を備えていることにより、より高性能の発振器を提供することができる。
[電子機器]
次いで、本発明の一実施形態に係る電子部品としてのMEMS振動子100を適用した電子機器について、図4(a),(b)、図5に基づき説明する。
次いで、本発明の一実施形態に係る電子部品としてのMEMS振動子100を適用した電子機器について、図4(a),(b)、図5に基づき説明する。
図4(a)は、本発明の一実施形態に係る電子部品を備える電子機器としてのモバイル型(又はノート型)のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1000を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する電子部品としてのMEMS振動子100が内蔵されている。
図4(b)は、本発明の一実施形態に係る電子部品を備える電子機器としての携帯電話機(PHSも含む)の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204及び送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1000が配置されている。このような携帯電話機1200には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子部品(タイミングデバイス)としてのMEMS振動子100が内蔵されている。
図5は、本発明の一実施形態に係る電子部品を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。デジタルスチールカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)等の撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
デジタルスチールカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部1000が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行なう構成になっており、表示部1000は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCD等を含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部1000に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ1300には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子部品としてのMEMS振動子100が内蔵されている。
デジタルスチールカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部1000が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行なう構成になっており、表示部1000は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCD等を含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部1000に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ1300には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子部品としてのMEMS振動子100が内蔵されている。
上述したように、電子部品として、高いQ値を有する振動子が用いられることにより、より高性能の電子機器を提供することができる。
なお、本発明の一実施形態に係る電子部品としてのMEMS振動子100は、図4(a)のパーソナルコンピューター1100(モバイル型パーソナルコンピューター)、図4(b)の携帯電話機1200、図5のデジタルスチールカメラ1300の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
[移動体]
次いで、本発明の一実施形態に係る振動子としてのMEMS振動子100を適用した移動体について、図6に基づき説明する。
図6は、MEMS振動子100を備える移動体としての自動車1400を概略的に示す斜視図である。自動車1400には本発明に係るMEMS振動子100を含んで構成されたジャイロセンサーが搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車1400には、タイヤ1401を制御する該ジャイロセンサーを内蔵した電子制御ユニット1402が搭載されている。また、他の例としては、MEMS振動子100は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
次いで、本発明の一実施形態に係る振動子としてのMEMS振動子100を適用した移動体について、図6に基づき説明する。
図6は、MEMS振動子100を備える移動体としての自動車1400を概略的に示す斜視図である。自動車1400には本発明に係るMEMS振動子100を含んで構成されたジャイロセンサーが搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車1400には、タイヤ1401を制御する該ジャイロセンサーを内蔵した電子制御ユニット1402が搭載されている。また、他の例としては、MEMS振動子100は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
上述したように、移動体として、高いQ値を有する振動子が活用されることにより、より高性能の移動体を提供することができる。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。ここで、上述した実施形態と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略している。
(変形例1)
図7(a)〜(d)は、変形例1に係る振動子であり、上部電極のバリエーションの例を示す平面図である。
本実施形態では、図1(a)に示すように、上部電極20は、基部21から延出する4つの振動片22によって十字形状を呈する上部電極20であるとして説明したが、この構成に限定するものではない。振動片22の数は、偶数や奇数であっても構わず、4つ以上となるように上部電極20が形成されていれば良い。
図7(a)〜(d)は、変形例1に係る振動子であり、上部電極のバリエーションの例を示す平面図である。
本実施形態では、図1(a)に示すように、上部電極20は、基部21から延出する4つの振動片22によって十字形状を呈する上部電極20であるとして説明したが、この構成に限定するものではない。振動片22の数は、偶数や奇数であっても構わず、4つ以上となるように上部電極20が形成されていれば良い。
図7(a)は、円板状に構成した上部電極20aを示す図である。互いに隣り合う振動片22aの振動の位相が逆になるように振動する場合において、振動効率の低下が抑制され、また振動漏れが抑制された、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
図7(b)は、6つの振動片22bを有する上部電極20bを示す図である。互いに隣り合う振動片22bの振動の位相が逆になるように振動する場合において、振動効率の低下が抑制され、また振動漏れが抑制された、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
図7(c)は、8つの振動片22cを有する上部電極20cを示す図である。互いに隣り合う振動片22cの振動の位相が逆になるように振動する場合や、図7(c)に示すように互いに隣り合う2つの振動片22cが1つの組として同相で振動し、また隣り合う組の振動の位相が逆になるように振動する場合において、振動効率の低下が抑制され、また振動漏れが抑制された、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
図7(d)は、5つの振動片22dを有する上部電極20dを示す図である。振動片22d2と基部21を挟み対向する2つの振動片22d3は、基部21から延出する方向と交わる方向の長さ(幅方向の長さ)が異なっており、振動片d2の幅方向の長さは、2つの振動片22d3の幅方向の長さに比べ大きい。これは、振動の節部において基部21と振動片22d1,22d2,22d3とが一体化した上部電極20bの全体の振動が釣り合うようにするためである。このような構成とすることで、振動片22d1,22d2,22d3の合計の数が奇数であっても、振動効率の低下が抑制され、また振動漏れが抑制された、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
(変形例2)
図8(a)〜(c)は、変形例2に係る振動子であり、応力緩和部のバリエーションの例を示す平面図である。
本実施形態では、図1(a)に示すように、応力緩和部27は、支持部25が延出する方向と交わる方向に延出している部位を有して構成されているが、この構成に限定するものではない。また、4つの支持部25の総てに応力緩和部27が設けられているが、これに限定されることはなく、少なくとも1つの支持部25に設けられていれば良い。そのため、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力を抑制することができる構造であれば良い。
図8(a)〜(c)は、変形例2に係る振動子であり、応力緩和部のバリエーションの例を示す平面図である。
本実施形態では、図1(a)に示すように、応力緩和部27は、支持部25が延出する方向と交わる方向に延出している部位を有して構成されているが、この構成に限定するものではない。また、4つの支持部25の総てに応力緩和部27が設けられているが、これに限定されることはなく、少なくとも1つの支持部25に設けられていれば良い。そのため、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力を抑制することができる構造であれば良い。
図8(a)は、振動の節部と固定部23aとの間に設けられた応力緩和部27aの形状を示す図である。応力緩和部27aは、支持部25aの延出する方向と交わる方向に延出する部位を有している。その部位は支持部25aの延出する方向と交わる方向を長手方向とする略矩形であり、部位の略中央部が支持部25aと接続されており、部位の長手方向の両端に固定部23aがそれぞれ接続されている。
このような形状により、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が固定部23aを介して伝わっても、応力緩和部27aの部位が板ばねのように変形し、基部21と振動片22が一体化した上部電極120aの全体に伝わることを緩和することができるので、外部温度変化に対して安定な振動特性を有し、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
図8(b)は、振動の節部と固定部23との間に設けられた応力緩和部27bの形状を示す図である。応力緩和部27bは、支持部25bの延出する方向と交わる方向に曲がっている複数の部位を有している。その部位は支持部25bの延出する方向と交わる方向を長手方向とする略矩形の部位を3つ有しており、それぞれの部位は、その長手方向の両端が支持部25bの延出する方向の部位とそれぞれ接続されている。
このような形状により、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が固定部23を介して伝わっても、応力緩和部27bがコイルばねのように変形し、基部21と振動片22とが一体化した上部電極120bの全体に伝わることを緩和することができるので、外部温度変化に対して安定な振動特性を有し、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
図8(c)は、振動の節部と固定部23との間に設けられた応力緩和部27cの形状を示す図である。応力緩和部27cは、支持部25cの延出する方向と交わる方向に曲がっている複数の部位を有している。その部位は支持部25cの延出する方向と交わる方向を長手方向とする略矩形の部位を2つ有しており、それぞれの部位は、その長手方向の両端が支持部25cの延出する方向の部位とそれぞれ接続され、つまり、略矩形の形状の中央部に略矩形の貫通部を有する形状である。
このような形状により、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が固定部23を介して伝わっても、応力緩和部27cの2つの部位が板ばねのように変形し、基部21と振動片22とが一体化した上部電極120cの全体に伝わることを緩和することができるので、外部温度変化に対して安定な振動特性を有し、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。なお、応力緩和部27cの形状は、支持部25が延出する方向が短手方向となる略矩形であるが、支持部25が延出する方向が長手方向となる略矩形であっても構わない。
(変形例3)
図9(a)〜(b)は、変形例3に係る振動子であり、応力緩和部のバリエーションの例を示す平面図である。
本実施形態では、図1(a)に示すように、応力緩和部27は、支持部25が延出する方向と交わる方向に延出している部位が略直線状の形状で構成されているが、この構成に限定するものではない。また、4つの支持部25の総てに応力緩和部27が設けられているが、これに限定されることはなく、少なくとも1つの支持部25に設けられていれば良い。そのため、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力を抑制することができる構造であれば良い。
図9(a)〜(b)は、変形例3に係る振動子であり、応力緩和部のバリエーションの例を示す平面図である。
本実施形態では、図1(a)に示すように、応力緩和部27は、支持部25が延出する方向と交わる方向に延出している部位が略直線状の形状で構成されているが、この構成に限定するものではない。また、4つの支持部25の総てに応力緩和部27が設けられているが、これに限定されることはなく、少なくとも1つの支持部25に設けられていれば良い。そのため、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力を抑制することができる構造であれば良い。
図9(a)は、振動の節部と固定部23との間に設けられた応力緩和部27dの形状を示す図である。応力緩和部27dは、支持部25dが延出する方向に曲線状に延出する形状の曲線部の部位を有している。このような形状により、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が固定部23を介して伝わっても、応力緩和部27dの部位がコイルばねのように変形し、基部21と振動片22とが一体化した上部電極220aの全体に伝わることを緩和することができるので、外部温度変化に対して安定な振動特性を有し、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
図9(b)は、振動の節部と固定部23との間に設けられた応力緩和部27eの形状を示す図である。応力緩和部27eは、円環状の円環部の部位を有している。このような形状により、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力が固定部23を介して伝わっても、応力緩和部27eの部位が変形し、基部21と振動片22とが一体化した上部電極220bの全体に伝わることを緩和することができるので、外部温度変化に対して安定な振動特性を有し、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。なお、円環状の形状は、支持部25eの延出する方向に短い楕円形状であるが、支持部25eの延出する方向に長い楕円形状であっても構わない。
(変形例4)
図10(a)〜(b)は、変形例4に係る振動子であり、2つの支持部を有する応力緩和部のバリエーションの例を示す平面図である。
本実施形態では、図1(a)に示すように、応力緩和部27を有する4つの支持部25が設けられているが、支持部25は4つに限定するものではない。少なくとも2つ以上の支持部25が基部21を挟み対向するように配置されていれば構わない。そのため、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力を抑制することができる構造であれば良い。
図10(a)〜(b)は、変形例4に係る振動子であり、2つの支持部を有する応力緩和部のバリエーションの例を示す平面図である。
本実施形態では、図1(a)に示すように、応力緩和部27を有する4つの支持部25が設けられているが、支持部25は4つに限定するものではない。少なくとも2つ以上の支持部25が基部21を挟み対向するように配置されていれば構わない。そのため、外部の温度変化に伴う基板1の伸縮によって生じる応力を抑制することができる構造であれば良い。
図10(a)は、2つの支持部25を有し、振動の節部と固定部23との間に設けられた応力緩和部27の形状を示す図である。応力緩和部27は、図1(a)に示す実施形態の形状と同等である。支持部25が2つのため、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が一方向のみとなり、基部21と振動片22とが一体化した上部電極320aの全体に伝わる応力が小さく、且つ、応力緩和部27の部位がばねのように変形し、応力を緩和することができるので、外部温度変化に対してより安定な振動特性を有し、より高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
図10(b)は、2つの支持部25を有し、一方の支持部25の振動の節部と固定部23との間に設けられた応力緩和部27fの形状を示す図である。他方の支持部25に設けられた応力緩和部27の形状は、図1(a)に示す実施形態の形状と同等である。一方の支持部25に設けられた応力緩和部27fの形状は、支持部25の延出する方向と交わる方向が他方の支持部25に設けられた応力緩和部27と同じ方向に延出している。
このような形状により、隣接する振動片22に加わる外部応力が同等となり、各振動片22に加わる外部応力の違いから生じる歪を低減できるため、振動漏れをより抑制することができる。また、外部の温度変化に伴う基板の伸縮によって生じる応力が固定部23を介して伝わっても、応力緩和部27,27fがばねのように変形し、基部21と振動片22とが一体化した上部電極320bの全体に伝わることを緩和することができる。よって、外部温度変化に対して安定な振動特性を有し、より高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
1…基板、2…酸化膜、3…窒化膜、4…第1導電体層、5…第2導電体層、6…レジスト、7…犠牲層、10…下部電極、11…第1下部電極、11a,12a…配線、12…第2下部電極、20…上部電極、21…基部、22…振動片、23…固定部、25…支持部、27…応力緩和部、30…開口部、70…バイアス回路、71,72…アンプ、100…MEMS振動子、1000…表示部、1100…パーソナルコンピューター、1102…キーボード、1104…本体部、1106…表示ユニット、1200…携帯電話機、1202…操作ボタン、1204…受話口、1206…送話口、1300…デジタルスチールカメラ、1302…ケース、1304…受光ユニット、1306…シャッターボタン、1308…メモリー、1312…ビデオ信号出力端子、1314…入出力端子、1400…自動車、1401…タイヤ、1402…電子制御ユニット、1430…テレビモニター、1440…パーソナルコンピューター。
本適用例によれば、応力緩和部が曲線部を有しているため、外部の温度変化に伴う基板
の伸縮によって生じる応力が固定部を介して伝わったとしても、応力緩和部がコイルばね
のように変形するため、基部や振動片に伝わることを抑制することができる。また、振動
の節部から支持部を介して伝わる振動漏れについても応力緩和部が振動漏れを減衰し、基
板へ伝わることを抑制することができる。更に、応力緩和部が曲線であるため、外部から
衝撃が加わった際に発生する応力は、局所的に発生しないので、衝撃に強い構造とすることができる。
の伸縮によって生じる応力が固定部を介して伝わったとしても、応力緩和部がコイルばね
のように変形するため、基部や振動片に伝わることを抑制することができる。また、振動
の節部から支持部を介して伝わる振動漏れについても応力緩和部が振動漏れを減衰し、基
板へ伝わることを抑制することができる。更に、応力緩和部が曲線であるため、外部から
衝撃が加わった際に発生する応力は、局所的に発生しないので、衝撃に強い構造とすることができる。
図7(d)は、5つの振動片22dを有する上部電極20dを示す図である。振動片2
2d2と基部21を挟み対向する2つの振動片22d3は、基部21から延出する方向と
交わる方向の長さ(幅方向の長さ)が異なっており、振動片22d2の幅方向の長さは、2つの振動片22d3の幅方向の長さに比べ大きい。これは、振動の節部において基部21と振動片22d1,22d2,22d3とが一体化した上部電極20bの全体の振動が釣り合うようにするためである。このような構成とすることで、振動片22d1,22d2,22d3の合計の数が奇数であっても、振動効率の低下が抑制され、また振動漏れが抑制された、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
2d2と基部21を挟み対向する2つの振動片22d3は、基部21から延出する方向と
交わる方向の長さ(幅方向の長さ)が異なっており、振動片22d2の幅方向の長さは、2つの振動片22d3の幅方向の長さに比べ大きい。これは、振動の節部において基部21と振動片22d1,22d2,22d3とが一体化した上部電極20bの全体の振動が釣り合うようにするためである。このような構成とすることで、振動片22d1,22d2,22d3の合計の数が奇数であっても、振動効率の低下が抑制され、また振動漏れが抑制された、高いQ値を有する梁型振動子を提供することができる。
Claims (13)
- 基部と、
前記基部から放射状に延びている複数の振動片と、
前記基部の振動の節部から延びている支持部と、
前記支持部と接続している固定部と、
前記固定部を主面上に配置している基板と、を備え、
複数の前記振動片が、前記基板から遊離していることを特徴とする振動子。 - 前記基板の平面視で、複数の前記支持部の間に前記基部があることを特徴とする請求項1に記載の振動子。
- 少なくとも1つの前記支持部は、応力緩和部を備えていることを特徴とする請求項2に記載の振動子。
- 前記応力緩和部は、前記基板の平面視で、前記基部の中心に対して同じ回転方向に曲がっていることを特徴とする請求項3に記載の振動子。
- 前記応力緩和部は、前記基部から前記支持部が延出する方向と交わる方向に曲がっている複数の部位を有していることを特徴とする請求項3に記載の振動子。
- 前記応力緩和部は、曲線部を有することを特徴とする請求項3に記載の振動子。
- 前記応力緩和部は、円環部を有することを特徴とする請求項3に記載の振動子。
- 前記基部を挟み対向するように配置されている2つの前記支持部の前記応力緩和部は、互いに沿う方向に曲がっていることを特徴とする請求項3に記載の振動子。
- 前記基板の平面視で、隣り合う2つの前記振動片は、振動の位相が互いに異なっていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の振動子。
- 幅方向の長さが互いに異なっている複数の前記振動片を有していることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の振動子。
- 請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とする発振器。
- 請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とする移動体。
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