JP5988494B2 - 角速度センサ及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 84
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 66
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 50
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 42
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 23
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 10
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 204
- 238000013461 design Methods 0.000 description 33
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 16
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 11
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005381 potential energy Methods 0.000 description 2
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- YPQJHZKJHIBJAP-UHFFFAOYSA-N [K].[Bi] Chemical compound [K].[Bi] YPQJHZKJHIBJAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOIHABYNKOEWFG-UHFFFAOYSA-N [Sr].[Ba] Chemical compound [Sr].[Ba] WOIHABYNKOEWFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N bismuth sodium Chemical compound [Na].[Bi] FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N lead zinc Chemical compound [Zn].[Pb] JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QNZFKUWECYSYPS-UHFFFAOYSA-N lead zirconium Chemical compound [Zr].[Pb] QNZFKUWECYSYPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
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- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
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- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
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- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
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Description
式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
Aサイト元素とBサイト元素と酸素元素のモル比は1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。
式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
Mが、V,Nb,Ta,及びSbからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素である。
0<x<b、0<y<b、0≦b−x−y。
a:b:c=1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。
図1は本発明の実施形態に係る角速度センサの構成を示す平面図、図2は図1の2−2線に沿った断面図である。
図5は、本実施形態による角速度センサの製造方法の説明図である。
比較のために、SOI基板を用いた角速度センサの製造プロセスについて説明する。図6はSOI基板を用いた角速度センサの製造プロセスの説明図である。
図1〜図4に例示したような振動ジャイロ方式の角速度センサ10における錘部14の駆動及び角速度の検出は共振振動を利用するため、共振周波数の設計は非常に重要となる。このため、構造体の寸法と、構造体を構成する材料の弾性パラメータから、有限要素法(FEM;finite element method)などのシミュレーション手法を用いて、ジャイロ駆動、検出のいずれかに用いる共振振動モードの共振周波数を計算し、これを元にデバイス設計を行うのが一般的である。
膜の残留応力と、設計上の共振周波数のずれとの関係について、次のように考察される。
[数7] U+N=K ・・・式(1)
が成り立つ。ここで、最大変位量をx、共振周波数をf、バネ定数をk、錘部の質量m、ダイヤフラム部にかかる張力をTとすると、
図8に示す第1のケースは、例えば、単結晶シリコンウエハを基板210として用いる場合である。図8(a)に示すように、基板210の板厚をtsとする。この基板210上に、図8(b)に示すように、第1振動板層221、第2振動板層222、圧電体層230がこの順で成膜される。
図9に示す第2のケースは、最終的に振動板として構成されない膜層を有している場合である。図9(a)に示すように、ベースとなる基材250を用い、この基材250に対し、図9(b)に示すように、基材250の片側面若しくは両面に、最終的に振動板とならない膜層251、252が付加される(図9(b))。図9(b)では、基材250の下面と上面に膜層251、252が設けられている例が示されているが、いずれか一方の面(片側面)のみに膜層が形成される形態も可能である。
本実施形態では、可撓性を持つダイヤフラム部に錘部が支持された構造の角速度センサにおいて、シリコン基板上に気相成膜などの薄膜形成技術によって1層以上成膜された振動板層を備える構造とする。また、後述する実験の結果から、式(6)の右辺第二項の成分がTeffと概ね比例関係にあることが見出され、Teffが特定の条件([数2]の式)を満たすような範囲に収まるように、各層の応力、膜厚を設定することで、共振周波数の設計値からのシフト量を許容範囲(±20%)以内に収めることができることが見出された。
図10は、試作した実験例に係る角速度センサの構造を示す平面図、図11は図10中の11−11線に沿う断面図である。図10、図11は、それぞれ図1、図2で説明した構造と同様であり、以下に述べる各実験例のデバイスの寸法の定義について、図10、図11に示すように、ダイヤフラム部12の外径(楕円の場合は長径)をφd、錘部14の外径(楕円の場合は長径)をφm、錘部14の厚みをhとした。なお、平面視で円形のダイヤフラム部の場合、周長rはπ×φdで表される。
・熱酸化SiO2:熱酸化法
・TEOS-SiO2:TEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate)-CVD法
・Ti:スパッタリング法
・TiW:スパッタリング法
・Poly-Si:LP(Low Pressure)-CVD法
・Ir:スパッタリング法
また、これらの各実験例について、デバイス構造体の寸法と、構造体を構成する材料の弾性パラメータから有限要素法を用いて、ジャイロの駆動、検出のいずれかに用いる共振振動モードの共振周波数(設計値)を計算し、その設計値と、実際の駆動実験で得られた共振周波数の値のずれ量を図13の表に記録した。なお、ここでいう「設計値」は、式(6)の右辺の第一項に相当するものである。
例えば、SOIウエハを基板として用いる場合、振動板の主要部となるデバイス層(Si活性層)は原理的に無応力であるが、その上に成膜される圧電体膜の残留応力が大きい場合は、共振周波数の値が設計値に比べてシフトし、デバイスとしての仕様値を満たさないことが起こりうる。
本実施形態に好適な圧電体としては、下記式で表される1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物(P)を含むものが挙げられる。
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
B:Bサイトの元素であり、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Sb,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,及びNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素。
O:酸素元素。
上記一般式で表されるペロブスカイト型酸化物としては、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ジルコニウム酸鉛、チタン酸鉛ランタン、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛、ニッケルニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛、亜鉛ニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛等の鉛含有化合物、及びこれらの混晶系;チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウムバリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム、ニオブ酸ナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、ビスマスフェライト等の非鉛含有化合物、及びこれらの混晶系が挙げられる。
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
Mが、V、Nb、Ta、及びSbからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素である。
0<x<b、0<y<b、0≦b−x−y。
a:b:c=1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。)
ペロブスカイト型酸化物(PX)は、真性PZT、あるいはPZTのBサイトの一部がMで置換されたものである。被置換イオンの価数よりも高い価数を有する各種ドナーイオンを添加したPZTでは、真性PZTよりも圧電性能等の特性が向上することが知られている。Mは、4価のZr,Tiよりも価数の大きい1種又は2種以上のドナーイオンであることが好ましい。かかるドナーイオンとしては、V5+,Nb5+,Ta5+,Sb 5+ ,Mo6+,及びW6+等が挙げられる。
圧電体の成膜方法としては気相成長法が好ましい。例えば、スパッタリング法の他、イオンプレーティング法、MOCVD法(有機金属気相成長法)、PLD法(パルスレーザー堆積法)など、各種の方法を適用し得る。また、気相成長法以外の方法(例えば、ゾルゲル法など)を用いることも考えられる。
これによって、歩留まりが大幅に向上するとともにデバイスのさらなる小型化に対応することができる。
図1では、平面視で円形のダイヤフラム部を説明したが、円形に限らず、平面視で楕円形のダイヤフラム部や平面視で多角形のダイヤフラム部とする構成も可能である。
Claims (10)
- 駆動電極部と検出電極部とがパターン配置された上部電極と、圧電体層と、下部電極と、1層以上の振動板層と、が積層されて成る積層構造を有する可撓性のあるダイヤフラム部と、
前記ダイヤフラム部の外周を支持する台座部と、
前記ダイヤフラム部の中心部に接合されている錘部と、を備え、
前記駆動電極部を介して前記圧電体層に電界を印加することによって圧電体の逆圧電効果を利用して前記錘部を振動させ、コリオリ力に基づいて前記錘部に生じた変位を圧電効果によって前記検出電極部から検出する角速度センサであって、
前記振動板層は、薄膜形成技術によって成膜されたものであり、
前記角速度センサの構造体の寸法と、前記構造体を構成する材料の弾性パラメータから計算される共振振動モードの共振周波数をf (単位はキロヘルツ[kHz])、前記錘部の質量
をM(単位はミリグラム[mg])、前記ダイヤフラム部の周長をr(単位はメートル[m])、前記圧電体層にかかる応力をσp(単位はパスカル[Pa])、前記圧電体層の膜厚をtp (単位はメートル[m])、前記下部電極と前記1層以上の振動板層とを含む複数層で構成される振動板部分における前記錘部の側から数えて第n番目の層にかかる応力をσn(単位はパスカル[Pa])、前記第n番目の層の膜厚をtn (単位はメートル[m])としたとき(nは自然数)、
で表されるTeffが、
を満たす角速度センサ。 - 前記振動板層の膜厚が5マイクロメートル(μm)以下である請求項1から3のいずれか1項に記載の角速度センサ。
- 前記共振周波数fを持つ振動モードが、前記錘部が膜厚方向に並進運動する振動形態で
ある請求項1から4のいずれか1項に記載の角速度センサ。 - 前記圧電体層は、下記式(P)で表される1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物である請求項1から5のいずれか1項に記載の角速度センサ。
一般式ABO3・・・(P)
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
B:Bサイトの元素であり、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Sb,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,及びNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素。
O:酸素元素。
Aサイト元素とBサイト元素と酸素元素のモル比は1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。) - 前記圧電体層は、下記式(PX)で表される1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物である請求項1から5のいずれか1項に記載の角速度センサ。
Aa(Zrx,Tiy,Mb−x−y)bOc・・・(PX)
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
Mが、V,Nb,Ta,及びSbからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素である。0<x<b、0<y<b、0≦b−x−y。
a:b:c=1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。) - 前記振動板層はシリコン基板の上に成膜されて得られたものであり、
前記錘部と前記台座部とは、前記振動板層が形成された前記シリコン基板の一部を除去加工することによって残る前記シリコン基板の残部によって構成されたものである請求項1から7のいずれか1項に記載の角速度センサ。 - 前記ダイヤフラム部は、平面視で円又は楕円の外周形状を有し、
前記錘部は、前記ダイヤフラム部と中心軸を共通にする前記円又は前記楕円の同心位置に配置されている請求項1から8のいずれか1項に記載の角速度センサ。 - 駆動電極部と検出電極部とがパターン配置された上部電極と、圧電体層と、下部電極と、1層以上の振動板層と、が積層されて成る積層構造を有する可撓性のあるダイヤフラム部と、
前記ダイヤフラム部の外周を支持する台座部と、
前記ダイヤフラム部の中心部に接合されている錘部と、を備え、
前記駆動電極部を介して前記圧電体層に電界を印加することによって圧電体の逆圧電効果を利用して前記錘部を振動させ、コリオリ力に基づいて前記錘部に生じた変位を圧電効果によって前記検出電極部から検出する角速度センサの製造方法であって、
薄膜形成技術を用いて前記1層以上の前記振動板層を形成するものとし、
前記角速度センサの構造体の寸法と、前記構造体を構成する材料の弾性パラメータから計算される共振振動モードの共振周波数をf (単位はキロヘルツ[kHz])、前記錘部の質量をM(単位はミリグラム[mg])、前記ダイヤフラム部の周長をr(単位はメートル[m])、前記圧電体層にかかる応力をσp(単位はパスカル[Pa])、前記圧電体層の膜厚をtp (単位はメートル[m])、前記下部電極と前記1層以上の振動板層とを含む複数層で構成される振動板部分における前記錘部の側から数えて第n番目の層にかかる応力をσn(単位はパスカル[Pa])、前記第n番目の層の膜厚をtn (単位はメートル[m])としたとき(nは自然数)、
で表されるTeffが、
を満たすようにσp、σn、tn およびtp を調節する角速度センサの製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013019736A JP5988494B2 (ja) | 2013-02-04 | 2013-02-04 | 角速度センサ及びその製造方法 |
CN201480007198.4A CN104995484B (zh) | 2013-02-04 | 2014-01-29 | 角速度传感器及其制造方法 |
PCT/JP2014/051929 WO2014119609A1 (ja) | 2013-02-04 | 2014-01-29 | 角速度センサ及びその製造方法 |
EP14746045.5A EP2952853B1 (en) | 2013-02-04 | 2014-01-29 | Angular velocity sensor and manufacturing method therefor |
TW103103326A TW201432221A (zh) | 2013-02-04 | 2014-01-29 | 角速度感測器及其製造方法 |
US14/809,941 US9702698B2 (en) | 2013-02-04 | 2015-07-27 | Angular velocity sensor and manufacturing method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013019736A JP5988494B2 (ja) | 2013-02-04 | 2013-02-04 | 角速度センサ及びその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014149278A JP2014149278A (ja) | 2014-08-21 |
JP2014149278A5 JP2014149278A5 (ja) | 2015-07-02 |
JP5988494B2 true JP5988494B2 (ja) | 2016-09-07 |
Family
ID=51262322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013019736A Expired - Fee Related JP5988494B2 (ja) | 2013-02-04 | 2013-02-04 | 角速度センサ及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9702698B2 (ja) |
EP (1) | EP2952853B1 (ja) |
JP (1) | JP5988494B2 (ja) |
CN (1) | CN104995484B (ja) |
TW (1) | TW201432221A (ja) |
WO (1) | WO2014119609A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10999684B1 (en) | 2020-01-17 | 2021-05-04 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | MEMS microphone and method of manufacturing the MEMS microphone |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6067102B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-01-25 | 旭化成株式会社 | 角速度センサ |
WO2014178172A1 (ja) * | 2013-04-30 | 2014-11-06 | 旭化成株式会社 | 角速度センサ |
KR101516112B1 (ko) * | 2014-01-29 | 2015-04-29 | 삼성전기주식회사 | Mems 센서 |
US9970831B2 (en) | 2014-02-10 | 2018-05-15 | Texas Instruments Incorporated | Piezoelectric thin-film sensor |
US10353503B2 (en) * | 2015-10-29 | 2019-07-16 | Texas Instruments Incorporated | Integrated force sensing element |
US9879996B2 (en) * | 2015-11-30 | 2018-01-30 | General Electric Company | System and method of electrostatic carouseling for gyrocompassing |
CN106441260B (zh) * | 2016-08-23 | 2020-12-01 | 上海交通大学 | 硅上压电薄膜多支撑梁mems陀螺及其制备方法 |
EP3665437B1 (en) * | 2017-08-08 | 2023-05-03 | HRL Laboratories, LLC | High quality factor mems silicon flower-of-life vibratory gyroscope |
JP2021067624A (ja) * | 2019-10-28 | 2021-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性計測装置、電子機器及び移動体 |
CN114666717B (zh) * | 2022-05-24 | 2022-08-26 | 武汉敏声新技术有限公司 | 压电mems麦克风芯片及压电mems麦克风 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6147277A (ja) | 1984-08-11 | 1986-03-07 | Erumu:Kk | インクジエツト式記録装置 |
JPH0412232A (ja) | 1990-04-28 | 1992-01-16 | Pentel Kk | 手持型電子計算機端末 |
US6282956B1 (en) * | 1994-12-29 | 2001-09-04 | Kazuhiro Okada | Multi-axial angular velocity sensor |
US6747393B2 (en) * | 1996-11-26 | 2004-06-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Vibrator, vibratory gyroscope, and vibration adjusting method |
WO2005116580A1 (en) * | 2003-05-08 | 2005-12-08 | Triad Sensors, Inc. | Force balanced piezoelectric rate sensor |
JP2005345245A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Seiko Instruments Inc | 容量型力学量センサ及びその製造方法 |
JP2006153481A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Seiko Instruments Inc | 力学量センサ |
US7617727B2 (en) * | 2006-04-18 | 2009-11-17 | Watson Industries, Inc. | Vibrating inertial rate sensor utilizing split or skewed operational elements |
JP4012232B2 (ja) | 2006-04-21 | 2007-11-21 | 株式会社ワコー | 角速度センサ |
US7493814B2 (en) * | 2006-12-22 | 2009-02-24 | The Boeing Company | Vibratory gyroscope with parasitic mode damping |
JP4276276B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2009-06-10 | 富士フイルム株式会社 | 圧電素子の製造方法 |
WO2009119205A1 (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 住友精密工業株式会社 | 圧電体膜を用いた振動ジャイロ |
US20100058861A1 (en) * | 2008-09-11 | 2010-03-11 | Analog Devices, Inc. | Piezoelectric Transducers and Inertial Sensors using Piezoelectric Transducers |
JP2010071793A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Toshiba Corp | 多軸加速度センサ及び角速度センサ |
JP2010145122A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子および振動ジャイロ装置 |
JP5227199B2 (ja) | 2009-01-09 | 2013-07-03 | 株式会社ワコー | 角速度センサ |
KR101843185B1 (ko) * | 2011-06-20 | 2018-03-29 | 삼성전기주식회사 | 관성센서 |
CN102844900B (zh) * | 2010-06-30 | 2014-10-29 | 松下电器产业株式会社 | 喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用压电发电元件的发电方法 |
JP5146625B2 (ja) * | 2010-08-27 | 2013-02-20 | パナソニック株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
-
2013
- 2013-02-04 JP JP2013019736A patent/JP5988494B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-01-29 TW TW103103326A patent/TW201432221A/zh unknown
- 2014-01-29 WO PCT/JP2014/051929 patent/WO2014119609A1/ja active Application Filing
- 2014-01-29 EP EP14746045.5A patent/EP2952853B1/en not_active Not-in-force
- 2014-01-29 CN CN201480007198.4A patent/CN104995484B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-07-27 US US14/809,941 patent/US9702698B2/en active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10999684B1 (en) | 2020-01-17 | 2021-05-04 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | MEMS microphone and method of manufacturing the MEMS microphone |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014149278A (ja) | 2014-08-21 |
US9702698B2 (en) | 2017-07-11 |
EP2952853A1 (en) | 2015-12-09 |
EP2952853A4 (en) | 2016-02-10 |
US20150330785A1 (en) | 2015-11-19 |
CN104995484B (zh) | 2017-07-28 |
EP2952853B1 (en) | 2018-04-04 |
CN104995484A (zh) | 2015-10-21 |
TW201432221A (zh) | 2014-08-16 |
WO2014119609A1 (ja) | 2014-08-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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