JPH10115526A - 振動ジャイロ・センサ及び振動ジャイロ・センサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】振動子の特性が周囲の磁場による影響を受け難
く、しかも、加工が容易であって、電気的及び機械的な
特性の調整を容易に行えるようにする。 【解決手段】外形が平面ほぼ正方形状を有し、中央に平
面ほぼ円形状の開口１０を有する環状枠部１２と、該環
状枠部１２の開口１０内に配され、かつ振動子を構成す
る外形が平面ほぼ円形状の環状部１４と、前記環状枠部
１２の内周と環状部１４の外周との間に架設された複数
の弾性部１６（１６ａ〜１６ｈ）とをセラミックスの一
体焼成体にて構成し、更に、各弾性部１６（１６ａ〜１
６ｈ）の上面に圧電／電歪素子１８（駆動用圧電／電歪
素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪素子１８Ｂ）を形成し
て構成する。各弾性部１６（１６ａ〜１６ｈ）の高さ方
向の厚みを、環状部１４の厚みよりも小に設定し、圧電
／電歪素子１８の振動方向に対する剛性を低下させて環
状部１４（振動子）での振動振幅が大となるように薄肉
とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動ジャイロ・セ
ンサ及びその製造方法に関し、特に、駆動用の圧電／電
歪素子にて振動を与えられたリング体（振動子）が振動
しながら回転したときに発生するコリオリ力を利用し
て、回転角速度を検出するようにした振動ジャイロ・セ
ンサ（スコープ）に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、回転角速度を検出するセンサ
であるジャイロ・センサ（スコープ）は、航空機や船舶
の慣性航法システム等に用いられているが、近年になっ
て、車載用ナビゲーションシステムやロボット無人走行
車の姿勢制御、さらにはＶＴＲカメラの画面振れ防止装
置等にも用いられるようになってきている。そして、そ
れら各種の分野での使用に適するジャイロ・センサとし
ては、小型のものが必要になっており、そこで、振動ジ
ャイロ・センサが注目されてきている。

【０００３】ところで、この種の振動ジャイロ・センサ
（スコープ）は、よく知られているように、エリンバ合
金にて代表される恒弾性金属により形成された振動子
に、駆動用の圧電素子と検出用の圧電素子が粘着されて
なる基本構造を有しており、Ｘ、Ｙ、Ｚの直角座標軸系
において、その駆動用の圧電素子にて振動子にｘ軸方向
への曲げ振動を与えながら、振動子をｚ軸を中心として
回転させると、かかる振動子に対してｙ軸方向へコリオ
リ力が作用することとなり、そしてこのコリオリ力によ
る振動子のｙ軸方向の曲げ振動により生じる検出用圧電
素子の歪みが電圧（或いは電荷）として検出され、その
検出電圧から、角速度が求められるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、そのよ
うな従来の振動ジャイロ・センサにあっては、駆動用の
圧電素子にて惹起される振動に基づくところの振動子の
変位量が小さく、そのために、検出用圧電素子にて検出
される電圧（起電力）が小さい結果、感度が低いという
問題を内在するものであった。

【０００５】加えて、駆動用の圧電素子や検出用の圧電
素子は、振動子に対して接着剤にて接着固定されている
ことから、それら圧電素子と振動子との間に接着剤が存
在することとなり、そしてこの接着剤にて応力の吸収が
生じること等により、検出感度が低くなるという問題も
あった。

【０００６】また、振動子がエリンバ合金にて形成され
た音片や音叉からなる部材にて構成される場合において
は、エリンバ合金が強磁性体であるために、振動子の特
性は周囲の磁場による影響を受けやすい問題があり、さ
らには、そのような振動子の形状や材質のために、振動
子の共振周波数を調整するに際しての加工が困難である
という問題も内在している。

【０００７】本発明はこのような課題を考慮してなされ
たものであり、振動子の特性が周囲の磁場による影響を
受け難く、しかも、加工が容易であって、電気的な特性
及び機械的な特性の調整も有利に行い得るセラミックス
製の振動ジャイロ・センサ及び振動ジャイロ・センサの
製造方法を提供することを目的とする。

【０００８】また、本発明の他の目的は、前記に加えて
感度に優れた振動ジャイロ・センサ及び振動ジャイロ・
センサの製造方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る振動ジャイ
ロ・センサは、振動子を構成する環状部位と、該環状部
位を弾性的に支持する支持体と、前記支持体と前記環状
部位間に設けられた複数の弾性部位と、前記環状部位上
に形成された圧電／電歪素子とを具備し、前記環状部
位、前記支持体及び前記複数の弾性部位を共に、セラミ
ックスの一体焼成体にて構成し、前記環状部位のうち、
前記圧電／電歪素子が形成されている部分を、その高さ
方向について薄肉とされた板状部にて構成する。

【００１０】これにより、まず、環状部位に形成されて
いる複数の圧電／電歪素子のうち、駆動用の圧電／電歪
素子に対する通電によって振動子（環状部位）を振動さ
せた状態において、該環状部位の軸周りに角速度が印加
されると、前記振動子に一方向の力（コリオリ力）が振
動に伴って交番的に発生し、その結果、環状部位のう
ち、検出用の圧電／電歪素子が形成されている部位（以
下、検出部位と記す）に対して上記一方向に力が作用
し、この力によって検出部位が振動する。この振動によ
り前記検出部位の圧電／電歪素子に歪みが生じ、電圧
（或いは電荷）として検出される。

【００１１】この場合、振動子（環状部位）、支持体及
び弾性部位が共に、セラミックスの一体焼成体にて構成
されているため、その構成材料に、従来のエリンバ合金
のような磁性体は存在しない。その結果、センサとして
の特性において、周囲の磁場による影響を受けることが
ない。

【００１２】また、前記環状部位のうち、前記圧電／電
歪素子が形成されている部分が、その高さ方向について
薄肉とされた板状部にて構成されて、剛性の低い構造と
されているため、前記検出部位において大きな歪みが得
られ、前記圧電／電歪素子での検出感度が大幅に向上す
る。

【００１３】また、振動子を構成する環状部位の軸周り
の角速度を測定する構造であるため、振動子（環状部
位）、支持体及び弾性部位をその高さ方向において薄く
することができ、センサの小型軽量化を促進させること
ができる。

【００１４】そして、前記環状部位における前記複数の
弾性部位の形成位置とは反対の位置に、前記環状部位の
軸方向と直交する面に平行な主面が圧電／電歪素子の取
り付け面とされた素子取付部位を一体に設け、該素子取
付部位のうち、圧電／電歪素子が形成されている部分
を、その高さ方向において薄肉とされた板状部とするよ
うにしてもよい（請求項２記載の発明）。

【００１５】また、複数の弾性部位を、それぞれ等間隔
で、かつ点対称の位置に配し、前記圧電／電歪素子を、
前記環状部位における前記弾性部位の配置位置に対応し
た位置に形成するようにしてもよい（請求項３記載の発
明）。

【００１６】また、前記隣接する２つの圧電／電歪素子
のうち、一方を、前記環状部位を振動させるための駆動
用圧電／電歪素子とし、他方を、前記環状部位の軸を中
心に回転したときに前記環状部位の振動方向に対して４
５°の方向に生じる振動に起因する歪みを検出する検出
用圧電／電歪素子とすることができる（請求項４記載の
発明）。

【００１７】次に、請求項５記載の本発明に係る振動ジ
ャイロ・センサは、振動子を構成する環状部位と、該環
状部位を弾性的に支持する支持体と、前記支持体と前記
環状部位間に設けられた弾性部位と、前記弾性部位上に
形成された圧電／電歪素子とを具備し、前記環状部位、
支持体及び弾性部位を共に、セラミックスの一体焼成体
にて構成し、前記弾性部位のうち、前記圧電／電歪素子
が形成されている部分を、その高さ方向について薄肉と
された板状部にて構成する。

【００１８】これにより、まず、弾性部位に形成されて
いる複数の圧電／電歪素子のうち、駆動用の圧電／電歪
素子に対する通電によって振動子（環状部位）を振動さ
せた状態において、該環状部位の軸周りに角速度が印加
されると、前記振動子に一方向の力（コリオリ力）が振
動に伴って交番的に発生し、その結果、弾性部位のう
ち、検出用の圧電／電歪素子が形成されている部位（検
出部位）に対して上記一方向に力が作用し、この力によ
って検出部位が振動する。この振動により前記検出部位
の圧電／電歪素子に歪みが生じ、電圧（或いは電荷）と
して検出される。

【００１９】この場合、振動子（環状部位）、支持体及
び弾性部位が共に、セラミックスの一体焼成体にて構成
されているため、その構成材料に、従来のエリンバ合金
のような磁性体は存在しない。その結果、センサとして
の特性において、周囲の磁場による影響を受けることが
ない。

【００２０】また、前記弾性部位のうち、前記圧電／電
歪素子が形成されている部分が、その高さ方向について
薄肉とされた板状部にて構成されて、剛性の低い構造と
されているため、前記検出部位において大きな歪みが得
られ、前記圧電／電歪素子での検出感度が大幅に向上す
る。

【００２１】この請求項５記載の発明も振動子を構成す
る環状部位の軸周りの角速度を測定する構造であるた
め、振動子（環状部位）、支持体及び弾性部位をその高
さ方向において薄くすることができ、センサの小型軽量
化を促進させることができる。

【００２２】そして、前記複数の弾性部位を、それぞれ
等間隔で、かつ点対称の位置に配するようにしてもよい
（請求項６記載の発明）。

【００２３】また、前記隣接する２つの圧電／電歪素子
のうち、一方を、前記弾性部位を振動させるための駆動
用圧電／電歪素子とし、他方を、前記環状部位の軸を中
心に回転したときに前記弾性部位の振動方向に対して４
５゜の方向に生じる変位を検出する検出用圧電／電歪素
子とすることができる（請求項７記載の発明）。

【００２４】また、前記弾性部位がリング部にて構成さ
れている場合に、前記駆動用圧電／電歪素子を、前記リ
ング部における前記環状部位の中心を基準とした放射方
向と直交する方向に架設された板状部上に形成し、検出
用圧電／電歪素子を、前記リング部における前記環状部
位の中心を基準とした放射方向に架設された板状部上に
形成するようにしてもよい（請求項８記載の発明）。

【００２５】また、前記支持体としては、外径が前記環
状部位の内径よりも小とされた平面ほぼ円形状に形成す
るようにしてもよいし（請求項９記載の発明）、内径が
前記環状部位の外径よりも大とされた平面ほぼ円形状の
開口を設け、該開口内に前記環状部位が前記複数の弾性
部位を通じて支持するようにしてもよい（請求項１０記
載の発明）。

【００２６】また、前記弾性部位としては、その外形
が、環状部位の中心を基準とした放射方向を短軸とする
平面ほぼ楕円形状のリング部にて構成するようにしても
よいし（請求項１１記載の発明）、環状部位の中心を基
準とした放射方向を長軸とする平面ほぼ楕円形状のリン
グ部にて構成するようにしてもよい（請求項１２記載の
発明）。

【００２７】次に、請求項１３記載の本発明に係る振動
ジャイロ・センサは、振動子を構成する環状部位と、該
環状部位をその外側において弾性的に支持する外側支持
体と、前記環状部位をその内側において弾性的に支持す
る内側支持体と、前記外側支持体と前記環状部位間に設
けられた外側弾性部位と、前記内側支持体と前記環状部
位間に設けられた内側弾性部位と、前記外側弾性部位及
び内側弾性部位上に形成された圧電／電歪素子とを具備
し、前記環状部位、外側支持体、内側支持体、外側弾性
部位及び内側弾性部位を共に、セラミックスの一体焼成
体にて構成し、前記外側弾性部位及び内側弾性部位のう
ち、前記圧電／電歪素子が形成されている部分を、その
高さ方向について薄肉とされた板状部にて構成する。

【００２８】これにより、まず、内側弾性部位及び外側
弾性部位に形成されている複数の圧電／電歪素子のう
ち、駆動用の圧電／電歪素子に対する通電によって振動
子（環状部位）を振動させた状態において、該環状部位
の軸周りに角速度が印加されると、前記振動子に前記一
方向の力（コリオリ力）が振動に伴って交番的に発生
し、その結果、内側弾性部位及び外側弾性部位のうち、
検出用の圧電／電歪素子が形成されている部位（検出部
位）に対して上記一方向に力が作用し、この力によって
検出部位が振動する。この振動により前記検出部位の圧
電／電歪素子に歪みが生じ、電圧（或いは電荷）として
検出される。

【００２９】この場合、振動子（環状部位）、支持体及
び弾性部位が共に、セラミックスの一体焼成体にて構成
されているため、その構成材料に、従来のエリンバ合金
のような磁性体は存在しない。その結果、センサとして
の特性において、周囲の磁場による影響を受けることが
ない。

【００３０】また、前記弾性部位のうち、前記圧電／電
歪素子が形成されている部分が、その高さ方向について
薄肉とされた前記板状部位にて構成されて、剛性の低い
構造とされているため、前記検出部位において大きな歪
みが得られ、前記圧電／電歪素子での検出感度が大幅に
向上する。

【００３１】この請求項１３記載の発明も振動子を構成
する環状部位の軸周りの角速度を測定する構造であるた
め、振動子（環状部位）、支持体及び弾性部位をその高
さ方向において薄くすることができ、センサの小型軽量
化を促進させることができる。

【００３２】そして、本発明に係る振動ジャイロ・セン
サにおいて、前記内側支持体を、外径が前記環状部位の
内径よりも小とされた平面ほぼ円形状に形成し、前記外
側支持体に、内径が前記環状部位の外径よりも大とされ
た平面ほぼ円形状の開口を設け、前記開口内に前記環状
部位を前記複数の弾性部位を通じて支持させるようにし
てもよい（請求項１４記載の発明）。

【００３３】また、前記内側弾性部位及び外側弾性部位
のうち、いずれかの弾性部位を、その外形が、環状部位
の中心を基準とした放射方向を短軸とする平面ほぼ楕円
形状のリング部にて構成するようにしてもよいし（請求
項１５記載の発明）、環状部位の中心を基準とした放射
方向を長軸とする平面ほぼ楕円形状のリング部にて構成
するようにしてもよい（請求項１６記載の発明）。

【００３４】また、前記複数の内側及び外側弾性部位
を、それぞれ等間隔で、かつ点対称の位置に配するよう
にしてもよい（請求項１７記載の発明）。

【００３５】また、前記内側弾性部位及び外側弾性部位
のうち、いずれか一方の弾性部位に形成される圧電／電
歪素子を、前記弾性部位を振動させるための駆動用圧電
／電歪素子とし、他方の弾性部位に形成される圧電／電
歪素子を、前記環状部位の軸を中心に回転したときに前
記弾性部位の振動方向に対して４５°の方向に生じる振
動に起因する歪みを検出する検出用圧電／電歪素子とす
ることができる（請求項１８記載の発明）。

【００３６】次に、請求項１９記載の本発明に係る振動
ジャイロ・センサの製造方法は、グリーンシートからな
るスペーサ層、基板層及び薄板層をそれぞれ成形する工
程と、前記スペーサ層、基板層及び薄板層をそれぞれ積
層一体化させた後、焼成して、環状部位と、該環状部位
を弾性的に支持する支持体と、前記支持体と前記環状部
位間に設けられた複数の弾性部位とを一体的に有する焼
成体を作製する工程と、前記薄板層の所定部位に少なく
とも圧電／電歪素子を膜形成法にて形成する工程と、前
記圧電／電歪素子の電極をトリミング処理して電気的特
性の調整を行う工程と、少なくとも前記環状部位及び弾
性部位をトリミング処理して機械的特性の調整を行う工
程を有することを特徴とする。

【００３７】即ち、まず、グリーンシートからなるスペ
ーサ層、基板層及び薄板層をそれぞれ所望の形状に成形
する。その後、前記成形後のスペーサ層、基板層及び薄
板層をそれぞれ積層一体化させた後、焼成して、該環状
部位を弾性的に支持する支持体と、前記支持体と前記環
状部位間に設けられた複数の弾性部位とを一体的に有す
る焼成体を作製する。

【００３８】その後、前記薄板層の所定部位に少なくと
も圧電／電歪素子を膜形成法にて形成した後、前記圧電
／電歪素子の電極をトリミング処理して電気的特性の調
整を行い、更に、少なくとも前記環状部位及び弾性部位
をトリミング処理して機械的特性の調整を行う。

【００３９】この方法によれば、振動子を構成する環状
部位と、該環状部位を弾性的に支持する支持体と、前記
支持体と前記環状部位間に設けられた複数の弾性部位
と、前記環状部位上に形成された圧電／電歪素子とを具
備し、前記環状部位のうち、前記圧電／電歪素子が形成
されている部分が、その高さ方向について薄肉とされた
板状部にて構成された振動ジャイロ・センサ、あるい
は、振動子を構成する環状部位と、該環状部位を弾性的
に支持する支持体と、前記支持体と前記環状部位間に設
けられた弾性部位と、前記弾性部位上に形成された圧電
／電歪素子とを具備し、前記弾性部位のうち、前記圧電
／電歪素子が形成されている部分が、その高さ方向につ
いて薄肉とされた板状部にて構成された振動ジャイロ・
センサ、又は振動子を構成する環状部位と、該環状部位
をその外側において弾性的に支持する外側支持体と、前
記環状部位をその内側において弾性的に支持する内側支
持体と、前記外側支持体と前記環状部位間に設けられた
外側弾性部位と、前記内側支持体と前記環状部位間に設
けられた内側弾性部位と、前記外側弾性部位及び内側弾
性部位上に形成された圧電／電歪素子とを具備し、前記
外側弾性部位及び内側弾性部位のうち、前記圧電／電歪
素子が形成されている部分が、その高さ方向について薄
肉とされた板状部にて構成された振動ジャイロ・センサ
を容易に、かつ高い信頼性をもって作製することができ
る。

【００４０】また、圧電／電歪素子の電極をトリミング
処理することにより、簡単に圧電／電歪素子の電気的特
性を調整することができ、しかも、少なくとも前記環状
部位及び弾性部位をそれぞれトリミング処理することに
より、簡単に振動子等の機械的特性を調整することがで
きるため、工数の削減化において有利になる。

【００４１】振動ジャイロ・センサの製造方法として
は、前記請求項１９記載の発明のほかに、グリーンシー
トからなる基板層及びスペーサ層を成形する工程と、前
記成形後の基板層及びスペーサ層を未成形の薄板層と共
に積層一体化させた後、焼成する工程と、前記薄板層を
成形して、環状部位と、該環状部位を弾性的に支持する
支持体と、前記支持体と前記環状部位間に設けられた複
数の弾性部位とを一体的に有する焼成体を作製する工程
と、前記薄板層の所定部位に少なくとも圧電／電歪素子
を膜形成法にて形成する工程と、前記圧電／電歪素子の
電極をトリミング処理して電気的特性の調整を行う工程
と、少なくとも前記環状部位及び弾性部位をトリミング
処理して機械的特性の調整を行う工程を有する請求項２
０記載の製造方法や、グリーンシートからなる基板層及
びスペーサ層を成形する工程と、前記成形後の基板層及
びスペーサ層を未成形の薄板層と共に積層一体化させた
後、焼成する工程と、前記薄板層の所定部位に少なくと
も圧電／電歪素子を膜形成法にて形成する工程と、前記
圧電／電歪素子の電極をトリミング処理して電気的特性
の調整を行う工程と、前記薄板層を成形して、環状部位
と、該環状部位を弾性的に支持する支持体と、前記支持
体と前記環状部位間に設けられた複数の弾性部位とを一
体的に有する焼成体を作製する工程と、少なくとも前記
環状部位及び弾性部位をトリミング処理して機械的特性
の調整を行う工程を有する請求項２１記載の製造方法を
採用することができる。

【００４２】前記請求項２０記載の製造方法は、前記請
求項１９記載の製造方法と異なり、最初に、スペーサ層
と基板層を所望の形状に成形し、未成形の薄板層と積層
させて一体焼成した後に薄板層を所望の形状に成形する
ものである。

【００４３】また、請求項２１記載の製造方法は、最初
に、スペーサ層と基板層を所望の形状に成形し、未成形
の薄板層と積層させて一体焼成した後に、圧電／電歪素
子の形成処理及び電極に対するトリミング処理が終了し
た後に薄板層を所望の形状に成形するものである。

【００４４】いずれの製造方法も前記請求項１９記載の
発明と同様に、上述した各種振動ジャイロ・センサを容
易に、かつ高い信頼性をもって作製することができ、ま
た、簡単に圧電／電歪素子の電気的特性及び振動子等の
機械的特性を調整することができるため、工数の削減化
において有利になる。

【００４５】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る振動ジャイロ
・センサのいくつかの実施の形態例を図１〜図３０を参
照しながら説明する。

【００４６】まず、第１の実施の形態に係る振動ジャイ
ロ・センサは、図１に示すように、外形が平面ほぼ正方
形状を有し、中央に平面ほぼ円形状の開口１０を有する
環状枠部１２と、該環状枠部１２の開口１０内に配さ
れ、かつ振動子を構成する外形が平面ほぼ円形状の環状
部１４と、前記環状枠部１２の内周と環状部１４の外周
との間に架設された複数の弾性部１６（１６ａ〜１６
ｈ）とがセラミックスの一体焼成体にて構成され、更
に、各弾性部（１６ａ〜１６ｈ）の上面に圧電／電歪素
子１８（駆動用圧電／電歪素子１８Ａ及び検出用圧電／
電歪素子１８Ｂ）が形成されて構成されている。なお、
弾性部（１６ａ〜１６ｈ）を一括していう場合は、単に
弾性部１６と記す。

【００４７】各弾性部１６は、それぞれ平面長方形状に
形成され、その高さ方向の厚みは、振動子を構成する環
状部１４の厚みよりも小に設定されている。即ち、各弾
性部１６は、圧電／電歪素子１８の振動方向に対する剛
性が低下されて環状部１４（振動子）での振動振幅が大
となるように薄肉とされている。

【００４８】図１の例では、弾性部１６全体を薄肉とし
ているが、圧電／電歪素子１８が形成される部分のみ薄
肉とし、それ以外の部分を環状部１４と同じ厚みにして
もよい。従って、以下の説明では、弾性部１６全体を指
す場合は、「弾性部」と記し、弾性部１６のうち、圧電
／電歪素子１８が形成される部分を指す場合は、「薄肉
部位」として記す。

【００４９】そして、前記複数の弾性部１６（図１の例
では、８個の弾性部（１６ａ〜１６ｈ））は、それぞれ
等間隔（中心角４５°の間隔）で、かつ互いに点対称と
なる位置に配されている。

【００５０】これら弾性部１６上に形成される圧電／電
歪素子１８としては、振動子である環状部１４を振動さ
せるための駆動用圧電／電歪素子１８Ａと、前記環状部
１４の軸を中心に回転したときに前記環状部１４の振動
方向に対して４５°の方向に生じる振動に起因する歪み
を検出する検出用圧電／電歪素子１８Ｂがある。この第
１の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサにおいて
は、互いに隣接する弾性部１６のうち、一方の弾性部１
６上に例えば駆動用圧電／電歪素子１８Ａが形成され、
他方の弾性部１６上に検出用圧電／電歪素子１８Ｂが形
成される。図１の例では、Ｘ軸及びＹ軸に沿う方向に配
された４つの弾性部（１６ａ、１６ｃ、１６ｅ、１６
ｇ）上にそれぞれ駆動用圧電／電歪素子１８Ａが形成さ
れ、その他の４つの弾性部（１６ｂ、１６ｄ、１６ｆ、
１６ｈ）上にそれぞれ検出用圧電／電歪素子１８Ｂが形
成された例を示す。

【００５１】なお、環状枠部１２の内周のうち、互いに
隣接する弾性部１６間に内方に突出する張出し部２０が
一体に設けられている。これは、後述するように、振動
ジャイロ・センサの製造段階において、環状枠部１２の
開口１０内の規定の位置に環状部１４を位置決めするた
めの連結部を環状部１４の外周部分にて切除した結果形
成されたものであるため、振動ジャイロ・センサとされ
た段階では、前記張出し部２０は無くてもよい。

【００５２】前記のように、セラミックスの一体焼成体
にて構成される振動ジャイロ・センサは、図２に示すよ
うに、最下層であるスペーサ層２２と中間層である基板
層２４と最上層である薄板層２６の一体積層体として把
握することができる。つまり、薄肉の弾性部１６が薄板
層２６にて与えられ、環状部１４及び張出し部２０が薄
板層２６と基板層２４の一体積層化によって与えられ、
環状枠部１２が薄板層２６と基板層２４とスペーサ層２
２の一体積層化によって与えられる。

【００５３】圧電／電歪素子１８は、図３に示すよう
に、薄膜の下部電極１８ａと圧電／電歪膜１８ｂと上部
電極１８ｃが積層一体化された状態で、弾性部１６（薄
板層２６）上に直接形成される。

【００５４】このような構成を有する第１の実施の形態
に係る振動ジャイロ・センサにおいて、駆動用圧電／電
歪素子１８Ａに対し、通電を行って該駆動用圧電／電歪
素子１８Ａを駆動させると、その駆動によって環状部１
４が例えば長軸がＸ軸に平行となる長円と長軸がＹ軸に
平行となる長円に交番的に変形振動することとなる。

【００５５】環状部１４が前記のように振動している状
態において、該環状部１４の軸周りに角速度が印加され
ると、前記環状部１４に一方向の力（コリオリ力）が振
動に伴って交番的に発生し、その結果、弾性部（１６ａ
〜１６ｈ）のうち、検出用圧電／電歪素子１８Ｂが形成
されている部位（１６ｂ、１６ｄ、１６ｆ、１６ｈ：検
出部位）に対して一方向に力が作用し、この力によって
検出部位（１６ｂ、１６ｄ、１６ｆ、１６ｈ）が振動す
る。この振動が前記検出部位（１６ｂ、１６ｄ、１６
ｆ、１６ｈ）での検出用圧電／電歪素子１８Ｂにより、
起電力（電圧）として検出されることとなる。

【００５６】このように、前記第１の実施の形態に係る
振動ジャイロ・センサにおいては、環状枠部１２、環状
部１４（振動子）及び弾性部１６が共に、セラミックス
の一体焼成体にて構成されているため、その構成材料
に、従来のエリンバ合金のような磁性体は存在しない。
その結果、センサとしての特性において、周囲の磁場に
よる影響を受けることがない。

【００５７】また、圧電／電歪素子１８Ａ及び１８Ｂが
形成されている部分が、その高さ方向について薄肉とさ
れた薄肉部位１６にて構成されて、剛性の低い構造とさ
れているため、前記検出部位（１６ｂ、１６ｄ、１６
ｆ、１６ｈ）において大きな歪みが得られ、前記検出用
圧電／電歪素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上する。

【００５８】また、振動子を構成する環状部１４の軸周
りの角速度を測定する構造であるため、環状部１４（振
動子）、環状枠部１２及び弾性部１６をその高さ方向に
おいて薄くすることができ、センサの小型軽量化を促進
させることができる。

【００５９】次に、前記第１の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサの変形例について図４を参照しながら説
明する。なお、図１と対応するものについては同符号を
付してその重複説明を省略する。

【００６０】この変形例に係る振動ジャイロ・センサ
は、図４に示すように、前記第１の実施の形態に係る振
動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有するが、環状
枠部１２の外形が平面ほぼ円形状である点で異なり、弾
性部１６の形状が以下の点で異なる。

【００６１】即ち、各弾性部（１６ａ〜１６ｈ）は、圧
電／電歪素子１８が形成される素子形成部位３０と、該
素子形成部位３０と環状枠部１２とを連結するための外
側連結部位３２と、前記素子形成部位３０と環状部１４
とを連結させるための内側連結部位３４が一体に形成さ
れて構成されている。

【００６２】外側連結部位３２と内側連結部位３４の幅
は互いに同じとされ、かつ素子形成部位３０の幅よりも
小に設定されて、剛性が低い構造とされている。また、
前記素子形成部位３０のうち、圧電／電歪素子１８が形
成される部分は、その高さ方向の厚みが他の部分よりも
小に設定されて薄肉部位３６とされている。

【００６３】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいては、前記第１の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、センサとしての特性において、周囲の
磁場による影響を受けることがなく、また、検出用圧電
／電歪素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、しか
も、センサの小型軽量化を促進させることができる。

【００６４】次に、第２の実施の形態に係る振動ジャイ
ロ・センサについて、図５及び図６を参照しながら説明
する。なお、図１及び図２と対応するものについては同
符号を付してその重複説明を省略する。

【００６５】この第２の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサは、図５に示すように、前記第１の実施の形態
に係る振動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有する
が、以下の点で異なる。

【００６６】即ち、各弾性部（１６ａ〜１６ｈ）が、環
状部１４の中心を基準とした放射方向を短軸とする平面
ほぼ楕円形状のリング部にて構成されている点と、各弾
性部（１６ａ〜１６ｈ）の高さ方向の厚みが、環状部１
４の厚みとほぼ同じに設定されている点と、環状部１４
上の所定箇所に圧電／電歪素子１８が形成されている点
で異なる。

【００６７】各弾性部（１６ａ〜１６ｈ）は、前記第１
の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサと同様に、そ
れぞれ等間隔（中心角４５°の間隔）で、かつ互いに点
対称となる位置に配されている。図５の例では８個の弾
性部（１６ａ〜１６ｈ）が等間隔で配置された例が示さ
れている。

【００６８】環状部１４は、その内周に接する所定の部
分が圧電／電歪素子１８が形成される部位とされてお
り、該部位は、その高さ方向の厚みが環状部１４の厚み
よりも小に設定された薄肉部位３６（３６ａ〜３６ｈ）
とされている。即ち、環状部１４のうち、圧電／電歪素
子１８が形成される部分は、圧電／電歪素子１８の振動
方向に対する剛性が低下されるように薄肉とされてい
る。この薄肉部位３６（３６ａ〜３６ｈ）は、弾性部
（１６ａ〜１６ｈ）に対応して８個設けられ、それぞれ
等間隔（中心角４５°の間隔）で、かつ互いに点対称と
なる位置に設けられている。なお、薄肉部位（３６ａ〜
３６ｈ）を一括していう場合は、単に薄肉部位３６と記
す。

【００６９】各薄肉部位３６上に形成される圧電／電歪
素子１８としては、前記第１の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサと同様に、環状部１４を振動させるため
の駆動用圧電／電歪素子１８Ａと、前記環状部１４の軸
を中心に回転したときに前記環状部１４の振動方向に対
して４５°の方向に生じる振動に起因する歪みを検出す
る検出用圧電／電歪素子１８Ｂがあり、互いに隣接する
薄肉部位３６のうち、一方の薄肉部位３６上に例えば駆
動用圧電／電歪素子１８Ａが形成され、他方の薄肉部位
３６上に検出用圧電／電歪素子１８Ｂが形成される。

【００７０】図５の例では、Ｘ軸及びＹ軸に沿う方向に
配された４つの薄肉部位（３６ａ、３６ｃ、３６ｅ、３
６ｇ）上にそれぞれ駆動用圧電／電歪素子１８Ａが形成
され、その他の４つの薄肉部位（３６ｂ、３６ｄ、３６
ｆ、３６ｈ）上にそれぞれ検出用圧電／電歪素子１８Ｂ
が形成された例を示す。

【００７１】この第２の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサにおいても、前記第１の実施の形態に係る振動
ジャイロ・センサと同様に、図６に示すように、最下層
であるスペーサ層２２と中間層である基板層２４と最上
層である薄板層２６の一体積層体として把握することが
でき、環状部１４の薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）が薄板
層２６にて与えられ、環状部１４（薄肉部位（３６ａ〜
３６ｈ）を除く）と弾性部（１６ａ〜１６ｈ）が薄板層
２６と基板層２４の一体積層化によって与えられ、環状
枠部１２が薄板層２６と基板層２４とスペーサ層２２の
一体積層化によって与えられる。

【００７２】各圧電／電歪素子１８は、前記第１の実施
の形態に係る振動ジャイロ・センサと同様に、薄膜の下
部電極１８ａと圧電／電歪膜１８ｂと上部電極１８ｃが
積層一体化された状態で、環状部１４の薄肉部位３６
（薄板層２６）上に直接形成される。

【００７３】このような構成を有する第２の実施の形態
に係る振動ジャイロ・センサにおいて、薄肉部位（３６
ａ、３６ｃ、３６ｅ、３６ｇ）上の駆動用圧電／電歪素
子１８Ａに対し、通電を行って該駆動用圧電／電歪素子
１８Ａを駆動させると、その駆動によって環状部１４が
例えば長軸がＸ軸に平行となる長円と長軸がＹ軸に平行
となる長円に交番的に変形振動することとなる。

【００７４】環状部１４が前記のように振動している状
態において、該環状部１４の軸周りに角速度が印加され
ると、前記環状部１４に一方向の力（コリオリ力）が振
動に伴って交番的に発生し、その結果、環状部１４の薄
肉部位（３６ａ〜３６ｈ）のうち、検出用圧電／電歪素
子１８Ｂが形成されている部位（３６ｂ、３６ｄ、３６
ｆ、３６ｈ：検出部位）に対して一方向に力が作用し、
この力によって検出部位（３６ｂ、３６ｄ、３６ｆ、３
６ｈ）が振動する。この振動が前記検出部位（３６ｂ、
３６ｄ、３６ｆ、３６ｈ）での検出用圧電／電歪素子１
８Ｂにより、起電力（電圧）として検出されることとな
る。

【００７５】このように、前記第２の実施の形態に係る
振動ジャイロ・センサにおいては、環状枠部１２、環状
部１４（振動子）及び弾性部（１６ａ〜１６ｈ）が共
に、セラミックスの一体焼成体にて構成されているた
め、その構成材料に、従来のエリンバ合金のような磁性
体は存在せず、その結果、センサとしての特性におい
て、周囲の磁場による影響を受けることがない。

【００７６】また、前記環状部１４のうち、前記圧電／
電歪素子１８が形成されている部分が、その高さ方向に
ついて薄肉とされた薄肉部位３６にて構成されて、剛性
の低い構造とされているため、前記検出部位（３６ｂ、
３６ｄ、３６ｆ、３６ｈ）において大きな歪みが得ら
れ、前記検出用圧電／電歪素子１８Ｂでの検出感度が大
幅に向上する。

【００７７】また、振動子を構成する環状部１４の軸周
りの角速度を測定する構造であるため、環状部１４（振
動子）、環状枠部１２及び弾性部（１６ａ〜１６ｈ）を
その高さ方向において薄くすることができ、センサの小
型軽量化を促進させることができる。

【００７８】特に、この第２の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサにおいては、弾性部（１６ａ〜１６ｈ）
の構成を外形が平面ほぼ楕円形状のリング部としている
ため、環状部１４の薄肉部位（３６ａ、３６ｃ、３６
ｅ、３６ｇ）に生じる微小な振動を高い追従性をもって
環状部１４全体に伝達させることができ、駆動用圧電／
電歪素子１８Ａの駆動による環状部１４の振動振幅を大
幅に向上させることができる。

【００７９】次に、前記第２の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサの変形例について、図７及び図８を参照
しながら説明する。なお、図５及び図６と対応するもの
については同符号を付してその重複説明を省略する。

【００８０】この変形例に係る振動ジャイロ・センサ
は、図７に示すように、前記第２の実施の形態に係る振
動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有するが、環状
枠部１２の代わりに、外径が環状部１４の内径よりも小
で、かつ中心に孔４０を有する支持部４２が前記弾性部
（１６ａ〜１６ｈ）及び環状部１４と共にセラミックス
の一体焼成体にて構成されている点と、環状部１４の内
周と支持部４２の外周との間に８個の弾性部（１６ａ〜
１６ｈ）が均等に配置されている点で異なる。

【００８１】そして、前記環状部１４のうち、外周に接
する所定の部分が圧電／電歪素子１８が形成される部位
とされており、該部位は、前記第２の実施の形態と同様
に、その高さ方向の厚みが環状部１４の厚みよりも小に
設定されて薄肉部位３６（３６ａ〜３６ｈ）とされてい
る。

【００８２】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいても、前記第２の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、図８に示すように、最下層であるスペ
ーサ層２２と中間層である基板層２４と最上層である薄
板層２６の一体積層体として把握することができ、環状
部１４の薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）が薄板層２６にて
与えられ、環状部１４（薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）を
除く）並びに弾性部（１６ａ〜１６ｈ）が薄板層２６と
基板層２４の一体積層化によって与えられ、支持部４２
が薄板層２６と基板層２４とスペーサ層２２の一体積層
化によって与えられる。

【００８３】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいては、前記第２の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、センサとしての特性において、周囲の
磁場による影響を受けることがなく、検出用圧電／電歪
素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、しかも、セン
サの小型軽量化を促進させることができる。

【００８４】また、弾性部（１６ａ〜１６ｈ）の構成を
外形が平面ほぼ楕円形状のリング部としているため、環
状部１４の薄肉部位（３６ａ、３６ｃ、３６ｅ、３６
ｇ）に生じる微小な振動を高い追従性をもって環状部１
４全体に伝達させることができ、駆動用圧電／電歪素子
１８Ａの駆動による環状部１４の振動振幅を大幅に向上
させることができる。

【００８５】次に、第３の実施の形態に係る振動ジャイ
ロ・センサについて、図９及び図１０を参照しながら説
明する。なお、図５及び図６と対応するものについては
同符号を付してその重複説明を省略する。

【００８６】この第３の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサは、図９に示すように、前記第２の実施の形態
に係る振動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有する
が、以下の点で異なる。

【００８７】即ち、環状部１４の内周に環状部１４の中
心に向かって突出する８個の張出し部（４４ａ〜４４
ｈ）が一体に形成されている点と、各弾性部（１６ａ〜
１６ｈ）が、環状部１４の中心を基準とした放射方向を
長軸とする平面ほぼ楕円形状のリング部にて構成されて
いる点と、前記各張出し部（４４ａ〜４４ｈ）上にそれ
ぞれ圧電／電歪素子１８が形成されている点で異なる。

【００８８】前記張出し部（４４ａ〜４４ｈ）は、平面
ほぼ矩形状であって、その高さ方向の厚みが環状部１４
の厚みとほぼ同一とされているが、圧電／電歪素子１８
が形成される部分における高さ方向の厚みが環状部１４
の厚みよりも小に設定されている。即ち、張出し部（４
４ａ〜４４ｈ）のうち、圧電／電歪素子１８が形成され
る部分は、圧電／電歪素子１８の振動方向に対する剛性
が低下されて環状部１４（振動子）での振動振幅が大と
なるように薄肉（薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ））とされ
ている。

【００８９】また、張出し部（４４ａ〜４４ｈ）は、弾
性部（１６ａ〜１６ｈ）に対応して８個設けられ、それ
ぞれ等間隔（中心角４５°の間隔）で、かつ互いに点対
称となる位置に設けられている。

【００９０】なお、図９の例では、Ｘ軸及びＹ軸に沿う
方向に配された４つの張出し部（４４ａ、４４ｃ、４４
ｅ、４４ｇ）における各薄肉部位（３６ａ、３６ｃ、３
６ｅ、３６ｇ）上にそれぞれ駆動用圧電／電歪素子１８
Ａが形成され、その他の４つの張出し部（４４ｂ、４４
ｄ、４４ｆ、４４ｈ）における各薄肉部位（３６ｂ、３
６ｄ、３６ｆ、３６ｈ）上にそれぞれ検出用圧電／電歪
素子１８Ｂが形成された例が示されている。

【００９１】そして、この第３の実施の形態に係る振動
ジャイロ・センサにおいても、前記第２の実施の形態に
係る振動ジャイロ・センサと同様に、図１０に示すよう
に、最下層であるスペーサ層２２と中間層である基板層
２４と最上層である薄板層２６の一体積層体として把握
することができ、張出し部（４４ａ〜４４ｈ）の薄肉部
位（３６ａ〜３６ｈ）が薄板層２６にて与えられ、環状
部１４及び張出し部（４４ａ〜４４ｈ：薄肉部位（３６
ａ〜３６ｈ）を除く）並びに弾性部（１６ａ〜１６ｈ）
が薄板層２６と基板層２４の一体積層化によって与えら
れ、環状枠部１２が薄板層２６と基板層２４とスペーサ
層２２の一体積層化によって与えられる。

【００９２】各圧電／電歪素子１８は、前記第１の実施
の形態に係る振動ジャイロ・センサと同様に、薄膜の下
部電極１８ａと圧電／電歪膜１８ｂと上部電極１８ｃが
積層一体化された状態で、張出し部４４の薄肉部位３６
（薄板層２６）上に直接形成される。

【００９３】この第３の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサにおいては、前記第２の実施の形態に係る振動
ジャイロ・センサと同様に、センサとしての特性におい
て、周囲の磁場による影響を受けることがなく、検出用
圧電／電歪素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、し
かも、センサの小型軽量化を促進させることができる。

【００９４】また、弾性部（１６ａ〜１６ｈ）の構成を
外形が平面ほぼ楕円形状のリング部としているため、環
状部１４の薄肉部位（３６ａ、３６ｃ、３６ｅ、３６
ｇ）に生じる微小な振動を高い追従性をもって環状部１
４全体に伝達させることができ、駆動用圧電／電歪素子
１８Ａの駆動による環状部１４の振動振幅を大幅に向上
させることができる。

【００９５】次に、前記第３の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサの変形例について、図１１及び図１２を
参照しながら説明する。なお、図９及び図１０と対応す
るものについては同符号を付してその重複説明を省略す
る。

【００９６】この変形例に係る振動ジャイロ・センサ
は、図１１に示すように、前記第３の実施の形態に係る
振動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有するが、環
状枠部１２の代わりに、外径が環状部１４の内径よりも
小で、かつ中心に孔４０を有する支持部４２が前記弾性
部（１６ａ〜１６ｈ）及び環状部１４と共にセラミック
スの一体焼成体にて構成されている点と、環状部１４の
内周と支持部４２の外周との間に８個の弾性部（１６ａ
〜１６ｈ）が均等に配置されている点と、環状部１４の
外周から８個の張出し部（４４ａ〜４４ｈ）が外方に突
出するように形成されている点で異なる。

【００９７】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいても、前記第３の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、図１２に示すように、最下層であるス
ペーサ層２２と中間層である基板層２４と最上層である
薄板層２６の一体積層体として把握することができ、張
出し部（４４ａ〜４４ｈ）における各薄肉部位（３６ａ
〜３６ｈ）が薄板層２６にて与えられ、環状部１４及び
張出し部（４４ａ〜４４ｈ：薄肉部位（３６ａ〜３６
ｈ）を除く）並びに弾性部（１６ａ〜１６ｈ）が薄板層
２６と基板層２４の一体積層化によって与えられ、支持
部４２が薄板層２６と基板層２４とスペーサ層２２の一
体積層化によって与えられる。

【００９８】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいては、前記第３の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、センサとしての特性において、周囲の
磁場による影響を受けることがなく、検出用圧電／電歪
素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、しかも、セン
サの小型軽量化を促進させることができる。

【００９９】また、環状部１４の薄肉部位（３６ａ、３
６ｃ、３６ｅ、３６ｇ）に生じる微小な振動を高い追従
性をもって環状部１４全体に伝達させることができ、駆
動用圧電／電歪素子１８Ａの駆動による環状部１４の振
動振幅を大幅に向上させることができる。

【０１００】次に、第４の実施の形態に係る振動ジャイ
ロ・センサについて、図１３及び図１４を参照しながら
説明する。なお、図５及び図６と対応するものについて
は同符号を付してその重複説明を省略する。

【０１０１】この第４の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサは、図１３に示すように、前記第２の実施の形
態に係る振動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有す
るが、環状部１４の内周に該環状部１４の中心に向かっ
て突出する８個の張出し部（４６ａ〜４６ｈ）が一体に
形成されている点と、各張出し部（４６ａ〜４６ｈ）上
にそれぞれ圧電／電歪素子１８が形成されている点で異
なる。

【０１０２】各張出し部（４６ａ〜４６ｈ）は、平面ほ
ぼ台形状であって、その高さ方向の厚みが環状部１４の
厚みとほぼ同一とされているが、圧電／電歪素子１８が
形成される部分における高さ方向の厚みが環状部１４の
厚みよりも小に設定されている。即ち、張出し部（４６
ａ〜４６ｈ）のうち、圧電／電歪素子１８が形成される
部分は、圧電／電歪素子１８の振動方向に対する剛性が
低下されて環状部１４（振動子）での振動振幅が大とな
るように薄肉（薄肉部位：３６ａ〜３６ｈ）とされてい
る。

【０１０３】また、張出し部（４６ａ〜４６ｈ）は、弾
性部（１６ａ〜１６ｈ）に対応して８個設けられ、それ
ぞれ等間隔（中心角４５°の間隔）で、かつ互いに点対
称となる位置に設けられている。そして、図１３の例で
は、Ｘ軸及びＹ軸に沿う方向に配された４つの張出し部
（４６ａ、４６ｃ、４６ｅ、４６ｇ）における各薄肉部
位（３６ａ、３６ｃ、３６ｅ、３６ｇ）上にそれぞれ駆
動用圧電／電歪素子１８Ａが形成され、その他の４つの
張出し部（４６ｂ、４６ｄ、４６ｆ、４６ｈ）における
各薄肉部位（３６ｂ、３６ｄ、３６ｆ、３６ｈ）上にそ
れぞれ検出用圧電／電歪素子１８Ｂが形成されている。

【０１０４】そして、図１４に示すように、最下層であ
るスペーサ層２２と中間層である基板層２４と最上層で
ある薄板層２６の一体積層体として把握することがで
き、張出し部（４６ａ〜４６ｈ）の薄肉部位（３６ａ〜
３６ｈ）が薄板層２６にて与えられ、環状部１４及び張
出し部（４６ａ〜４６ｈ：薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）
を除く）並びに弾性部（１６ａ〜１６ｈ）が薄板層２６
と基板層２４の一体積層化によって与えられ、環状枠部
１２が薄板層２６と基板層２４とスペーサ層２２の一体
積層化によって与えられる。

【０１０５】各圧電／電歪素子１８は、前記第１の実施
の形態に係る振動ジャイロ・センサと同様に、薄膜の下
部電極１８ａと圧電／電歪膜１８ｂと上部電極１８ｃが
積層一体化された状態で、張出し部４６の薄肉部位３６
（薄板層２６）上に直接形成される。

【０１０６】この第４の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサにおいては、前記第２の実施の形態に係る振動
ジャイロ・センサと同様に、センサとしての特性におい
て、周囲の磁場による影響を受けることがなく、検出用
圧電／電歪素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、し
かも、センサの小型軽量化を促進させることができる。

【０１０７】また、弾性部（１６ａ〜１６ｈ）の構成を
外形が平面ほぼ楕円形状のリング部としているため、環
状部１４の薄肉部位（３６ａ、３６ｃ、３６ｅ、３６
ｇ）に生じる微小な振動を高い追従性をもって環状部１
４全体に伝達させることができ、駆動用圧電／電歪素子
１８Ａの駆動による環状部１４の振動振幅を大幅に向上
させることができる。

【０１０８】次に、前記第４の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサの変形例について、図１５及び図１６を
参照しながら説明する。なお、図１３及び図１４と対応
するものについては同符号を付してその重複説明を省略
する。

【０１０９】この変形例に係る振動ジャイロ・センサ
は、図１５に示すように、前記第４の実施の形態に係る
振動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有するが、環
状枠部１２の代わりに、外径が環状部１４の内径よりも
小で、かつ中心に孔４０を有する支持部４２が前記弾性
部（１６ａ〜１６ｈ）及び環状部１４と共にセラミック
スの一体焼成体にて構成されている点と、環状部１４の
内周と支持部４２の外周との間に８個の弾性部（１６ａ
〜１６ｈ）が均等に配置されている点と、環状部１４の
外周から８個の張出し部（４６ａ〜４６ｈ）が外方に突
出するように形成されている点で異なる。

【０１１０】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいても、前記第４の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、図１６に示すように、最下層であるス
ペーサ層２２と中間層である基板層２４と最上層である
薄板層２６の一体積層体として把握することができ、張
出し部（４６ａ〜４６ｈ）における薄肉部位（３６ａ〜
３６ｈ）が薄板層２６にて与えられ、環状部１４及び張
出し部（４６ａ〜４６ｈ：薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）
を除く）並びに弾性部（１６ａ〜１６ｈ）が薄板層２６
と基板層２４の一体積層化によって与えられ、支持部４
２が薄板層２６と基板層２４とスペーサ層２２の一体積
層化によって与えられる。

【０１１１】各圧電／電歪素子１８は、前記第１の実施
の形態に係る振動ジャイロ・センサと同様に、薄膜の下
部電極１８ａと圧電／電歪膜１８ｂと上部電極１８ｃが
積層一体化された状態で、張出し部４６の薄肉部位３６
（薄板層２６）上に直接形成される。

【０１１２】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいては、前記第４の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、センサとしての特性において、周囲の
磁場による影響を受けることがなく、検出用圧電／電歪
素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、しかも、セン
サの小型軽量化を促進させることができる。

【０１１３】また、環状部１４の薄肉部位（３６ａ、３
６ｃ、３６ｅ、３６ｇ）に生じる微小な振動を高い追従
性をもって環状部１４全体に伝達させることができ、駆
動用圧電／電歪素子１８Ａの駆動による環状部１４の振
動振幅を大幅に向上させることができる。

【０１１４】次に、第５の実施の形態に係る振動ジャイ
ロ・センサについて、図１７及び図１８を参照しながら
説明する。なお、図５及び図６と対応するものについて
は同符号を付してその重複説明を省略する。

【０１１５】この第５の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサは、図１７に示すように、前記第２の実施の形
態に係る振動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有す
るが、環状部１４には薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）は存
在せず、弾性部（１６ａ〜１６ｈ）の短軸あるいは長軸
に薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）が架設されている点で異
なる。この弾性部（１６ａ〜１６ｈ）と薄肉部位（３６
ａ〜３６ｈ）はセラミックスにて一体に形成される。

【０１１６】図１７の例では、Ｙ軸方向に沿った２つの
弾性部（１６ａ及び１６ｅ）並びにこれら弾性部（１６
ａ及び１６ｅ）と左方において隣接する２つの弾性部
（１６ｈ及び１６ｄ）の各長軸に薄肉部位（３６ａ、３
６ｅ、３６ｈ及び３６ｄ）が架設され、他の４つの弾性
部（１６ｂ、１６ｃ、１６ｆ及び１６ｇ）の各短軸に薄
肉部位（３６ｂ、３６ｃ、３６ｆ及び３６ｇ）が架設さ
れた例を示す。

【０１１７】そして、弾性部（１６ａ、１６ｅ、１６ｈ
及び１６ｄ）の長軸に架設された薄肉部位（３６ａ、３
６ｅ、３６ｈ及び３６ｄ）にはそれぞれ駆動用圧電／電
歪素子１８Ａが形成され、弾性部（１６ｂ、１６ｃ、１
６ｆ及び１６ｇ）の短軸に架設された薄肉部位（３６
ｂ、３６ｃ、３６ｆ及び３６ｇ）にはそれぞれ検出用圧
電／電歪素子１８Ｂが形成される。

【０１１８】この第５の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサにおいても、前記第２の実施の形態に係る振動
ジャイロ・センサと同様に、図１８に示すように、最下
層であるスペーサ層２２と中間層である基板層２４と最
上層である薄板層２６の一体積層体として把握すること
ができ、弾性部（１６ａ〜１６ｈ）の長軸あるいは短軸
に架設された薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）が薄板層２６
にて与えられ、環状部１４及び弾性部（１６ａ〜１６
ｈ：薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）を除く）が薄板層２６
と基板層２４の一体積層化によって与えられ、環状枠部
１２が薄板層２６と基板層２４とスペーサ層２２の一体
積層化によって与えられる。

【０１１９】各圧電／電歪素子１８は、前記第１の実施
の形態に係る振動ジャイロ・センサと同様に、薄膜の下
部電極１８ａと圧電／電歪膜１８ｂと上部電極１８ｃが
積層一体化された状態で、弾性部１６の薄肉部位３６
（薄板層２６）上に直接形成される。

【０１２０】そして、図１７上、Ｙ軸に沿って配列され
た二つの薄肉部位３６ａ及び３６ｅ上と、Ｙ軸から左方
に４５゜回転した軸に沿って配列された二つの薄肉部位
３６ｄ及び３６ｈにそれぞれ駆動用圧電／電歪素子１８
Ａが形成され、Ｘ軸に沿って配列された二つの薄肉部位
３６ｃ及び３６ｇ上と、Ｘ軸から左方に４５゜回転した
軸に沿って配列された二つの薄肉部位３６ｂ及び３６ｆ
にそれぞれ検出用圧電／電歪素子１８Ｂが形成される。

【０１２１】特に、この第５の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサにおいては、薄肉部位３６ａ及び３６ｅ
上の駆動用圧電／電歪素子１８Ａによって駆動を行い、
この駆動振動の特性（周波数や振幅）を薄肉部位３６ｃ
及び３６ｇ上の検出用圧電／電歪素子１８Ｂによってモ
ニタ（監視）して、駆動振動の特性が規定の特性（設計
値）から外れた場合に、規定の特性となるように、前記
薄肉部位３６ａ及び３６ｅ上の駆動用圧電／電歪素子１
８Ａにフィードバックをかけるようにしている。前記検
出においては、薄肉部位３６ｂ及び３６ｆ上の検出用圧
電／電歪素子１８Ｂでコリオリ力に基づく振動を検出
し、それと同時に、コリオリ力に基づく振動を相殺する
ように薄肉部位３６ｄ及び３６ｈ上の検出用圧電／電歪
素子１８Ｂに駆動信号を送ることで、コリオリ力に基づ
く振動が生じないようにしている。

【０１２２】コリオリ力に基づく振動を抑える理由は、
駆動側と検出側の共振周波数が同一のいわゆる共振型振
動ジャイロ・センサでは、コリオリ力に基づく振動が安
定するのに要する時間が長く、例えば自動車のように角
速度が時間と共に変化するような場合においては、正確
な角速度が測定できなくなるからである。即ち、コリオ
リ力に基づく振動を抑制することにより、前記応答性の
問題は生じなくなり、高精度に角速度を検出することが
可能となる。

【０１２３】以上をまとめると、薄肉部位３６ａ及び３
６ｅ上の駆動用圧電／電歪素子１８Ａは、振動に係わる
能動素子であって、駆動振動発生用の圧電／電歪素子と
しての機能を有し、薄肉部位３６ｃ及び３６ｇ上の検出
用圧電／電歪素子１８Ｂは、振動に係わる受動素子であ
って、駆動振動モニタ用の圧電／電歪素子としての機能
を有する。また、薄肉部位３６ｂ及び３６ｆ上の検出用
圧電／電歪素子１８Ｂは、検出に係わる受動素子であっ
て、コリオリ力による駆動検出用の圧電／電歪素子とし
ての機能を有し、薄肉部位３６ｄ及び３６ｈ上の駆動用
圧電／電歪素子１８Ａは、検出に係わる能動素子であっ
て、コリオリ力による駆動抑制用の圧電／電歪素子とし
ての機能を有する。

【０１２４】この第５の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサにおいては、前記第２の実施の形態に係る振動
ジャイロ・センサと同様に、センサとしての特性におい
て、周囲の磁場による影響を受けることがなく、検出用
圧電／電歪素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、し
かも、センサの小型軽量化を促進させることができる。

【０１２５】特に、この第５の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサにおいては、弾性部（３６ａ〜３６ｈ）
の構成を外形が平面ほぼ楕円形状のリング部とし、その
うち、４つの弾性部（１６ａ、１６ｅ、１６ｈ及び１６
ｄ）の長軸に架設された薄肉部位（３６ａ、３６ｅ、３
６ｈ及び３６ｄ）にそれぞれ駆動用圧電／電歪素子１８
Ａを形成するようにしているため、長軸方向の微小な振
動振幅が短軸方向に大きな振動振幅として変換され、駆
動用圧電／電歪素子１８Ａの駆動による環状部１４の振
動振幅を大幅に向上させることができる。

【０１２６】次に、前記第５の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサの変形例について、図１９及び図２０を
参照しながら説明する。なお、図１７及び図１８と対応
するものについては同符号を付してその重複説明を省略
する。

【０１２７】この変形例に係る振動ジャイロ・センサ
は、図１９に示すように、前記第５の実施の形態に係る
振動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有するが、環
状枠部１２の代わりに、外径が環状部１４の内径よりも
小で、かつ中心に孔４０を有する支持部４２が前記弾性
部（１６ａ〜１６ｈ）及び環状部１４と共にセラミック
スの一体焼成体にて構成されている点と、環状部１４の
内周と支持部４２の外周との間に８個の弾性部（１６ａ
〜１６ｈ）が均等に配置されている点で異なる。

【０１２８】特に、図１９の例では、Ｙ軸方向に沿った
２つの弾性部（１６ａ及び１６ｅ）並びにこれら弾性部
（１６ａ及び１６ｅ）と右方において隣接する２つの弾
性部（１６ｂ及び１６ｆ）の各長軸に薄肉部位（３６
ａ、３６ｅ、３６ｂ及び３６ｆ）が架設され、他の４つ
の弾性部（１６ｃ、１６ｄ、１６ｇ及び１６ｈ）の各短
軸に薄肉部位（３６ｃ、３６ｄ、３６ｇ及び３６ｈ）が
架設された例を示す。

【０１２９】そして、前記弾性部（１６ａ、１６ｅ、１
６ｂ及び１６ｆ）の長軸に架設された薄肉部位（３６
ａ、３６ｅ、３６ｂ及び３６ｆ）にはそれぞれ駆動用圧
電／電歪素子１８Ａが形成され、弾性部（１６ｃ、１６
ｄ、１６ｇ及び１６ｈ）の短軸に架設された薄肉部位
（３６ｃ、３６ｄ、３６ｇ及び３６ｈ）にそれぞれ検出
用圧電／電歪素子１８Ｂが形成される。

【０１３０】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいても、前記第５の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、図２０に示すように、最下層であるス
ペーサ層２２と中間層である基板層２４と最上層である
薄板層２６の一体積層体として把握することができ、弾
性部（１６ａ〜１６ｈ）の長軸あるいは短軸に架設され
た薄肉部位（３６ａ〜３６ｈ）が薄板層２６にて与えら
れ、環状部１４及び弾性部（１６ａ〜１６ｈ：薄肉部位
（３６ａ〜３６ｈ）を除く）が薄板層２６と基板層２４
の一体積層化によって与えられ、支部部４２が薄板層２
６と基板層２４とスペーサ層２２の一体積層化によって
与えられる。

【０１３１】そして、図１９上、Ｙ軸に沿って配列され
た二つの薄肉部位３６ａ及び３６ｅ上と、Ｙ軸から右方
に４５゜回転した軸に沿って配列された二つの薄肉部位
３６ｂ及び３６ｆにそれぞれ駆動用圧電／電歪素子１８
Ａが形成され、Ｘ軸に沿って配列された二つの薄肉部位
３６ｃ及び３６ｇ上と、Ｘ軸から右方に４５゜回転した
軸に沿って配列された二つの薄肉部位３６ｄ及び３６ｈ
にそれぞれ検出用圧電／電歪素子１８Ｂが形成される。

【０１３２】この場合、薄肉部位３６ａ及び３６ｅ上の
駆動用圧電／電歪素子１８Ａが駆動振動発生用の圧電／
電歪素子としての機能を有し、薄肉部位３６ｃ及び３６
ｇ上の検出用圧電／電歪素子１８Ｂが駆動振動モニタ用
の圧電／電歪素子としての機能を有し、薄肉部位３６ｄ
及び３６ｈ上の検出用圧電／電歪素子１８Ｂがコリオリ
力による駆動検出用の圧電／電歪素子としての機能を有
し、薄肉部位３６ｂ及び３６ｆ上の駆動用圧電／電歪素
子１８Ａがコリオリ力による駆動抑制用の圧電／電歪素
子としての機能を有することとなる。

【０１３３】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいては、前記第５の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、センサとしての特性において、周囲の
磁場による影響を受けることがなく、検出用圧電／電歪
素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、しかも、セン
サの小型軽量化を促進させることができる。また、駆動
用圧電／電歪素子１８Ａの駆動による環状部１４の振動
振幅を大幅に向上させることができる。

【０１３４】次に、第６の実施の形態に係る振動ジャイ
ロ・センサについて、図２１及び図２２を参照しながら
説明する。

【０１３５】この第６の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサは、図２１に示すように、外形が平面ほぼ正方
形状を有し、中央部分に平面ほぼ円形状の開口５０を有
する環状枠部５２と、該環状枠部５２の開口５０内に配
され、かつ振動子を構成する外形が平面ほぼ円形状の環
状部５４と、外径が環状部５４の内径よりも小で、かつ
中心に孔５６を有する支持部５８と、環状枠部５２の内
周と環状部５４の外周との間に架設された複数の外側弾
性部（６０ａ〜６０ｈ）と、環状部５４の内周と支持部
５８の外周との間に架設された複数の内側弾性部（６２
ａ〜６２ｈ）とがセラミックスの一体焼成体にて構成さ
れている。

【０１３６】各外側弾性部（６０ａ〜６０ｈ）は、環状
部５４の中心を基準とした放射方向を短軸とする平面ほ
ぼ楕円形状のリング部にて構成され、その高さ方向の厚
みは、環状部５４の厚みとほぼ同じに設定されている。

【０１３７】また、各外側弾性部（６０ａ〜６０ｈ）
は、前記第５の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ
と同様に、それぞれ等間隔（中心角４５°の間隔）で、
かつ互いに点対称となる位置に配されている。

【０１３８】各外側弾性部（６０ａ〜６０ｈ）の長軸に
は、厚みが環状部５４よりも小とされた薄肉部位（６４
ａ〜６４ｈ）がそれぞれ架設されており、外側弾性部
（６０ａ〜６０ｈ）と薄肉部位（６４ａ〜６４ｈ）とは
セラミックスにて一体に形成されている。

【０１３９】一方、内側弾性部（６２ａ〜６２ｈ）は、
平面長方形状に形成され、その高さ方向の厚みは、環状
部５４の厚みよりも小に設定されている。即ち、各内側
弾性部（６２ａ〜６２ｈ）は、圧電／電歪素子１８の振
動方向に対する剛性が低下されて環状部５４での振動振
幅が大となるように薄肉とされている。各内側弾性部
（６２ａ〜６２ｈ）は、前記外側弾性部（６０ａ〜６０
ｈ）に対応して８個設けられ、それぞれ等間隔（中心角
４５°の間隔）で、かつ互いに点対称となる位置に設け
られている。

【０１４０】そして、８個の外側弾性部６０のうち、所
定の位置にある複数個の外側弾性部６０における薄肉部
位６４に駆動用圧電／電歪素子１８Ａが形成され、８個
の内側弾性部６２のうち、所定の位置にある複数個の内
側弾性部６２（薄肉部位）に検出用圧電／電歪素子１８
Ｂが形成される。

【０１４１】図２１の例では、Ｙ軸方向に沿った２つの
外側弾性部（６０ａ及び６０ｅ）並びにこれら外側弾性
部（６０ａ及び６０ｅ）と右方において隣接する２つの
外側弾性部（６０ｂ及び６０ｆ）の各薄肉部位（６４
ａ、６４ｅ、６４ｂ及び６４ｆ）にそれぞれ駆動用圧電
／電歪素子１８Ａが形成され、Ｘ軸方向に沿った２つの
内側弾性部（６２ｃ及び６２ｇ）並びにこれら内側弾性
部（６２ｃ及び６２ｇ）と右方において隣接する２つの
内側弾性部（６２ｄ及び６２ｈ）にそれぞれ検出用圧電
／電歪素子１８Ｂが形成された例を示す。

【０１４２】この場合、薄肉部位６４ａ及び６４ｅ上の
駆動用圧電／電歪素子１８Ａが駆動振動発生用の圧電／
電歪素子としての機能を有し、内側弾性部（薄肉部位）
６２ｃ及び６２ｇ上の検出用圧電／電歪素子１８Ｂが駆
動振動モニタ用の圧電／電歪素子としての機能を有し、
内側弾性部（薄肉部位）６２ｄ及び６２ｈ上の検出用圧
電／電歪素子１８Ｂがコリオリ力による駆動検出用の圧
電／電歪素子としての機能を有し、薄肉部位６４ｂ及び
６４ｆ上の駆動用圧電／電歪素子１８Ａがコリオリ力に
よる駆動抑制用の圧電／電歪素子としての機能を有する
こととなる。

【０１４３】なお、支持部５８の外周のうち、互いに隣
接する内側弾性部６２間に外方に突出する張出し部６６
が一体に設けられている。これは、第１の実施の形態に
係る振動ジャイロ・センサと同様に、振動ジャイロ・セ
ンサの製造段階において、支持部５８と環状部５４とを
規定位置に連結する連結部を環状部内周部分にて切除し
た結果形成されたものであるため、振動ジャイロ・セン
サとされた段階では、前記張出し部６６はなくてもよ
い。

【０１４４】この第６の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサにおいても、図２２に示すように、最下層であ
るスペーサ層２２と中間層である基板層２４と最上層で
ある薄板層２６の一体積層体として把握することがで
き、外側弾性部（６０ａ〜６０ｈ）の長軸に架設された
薄肉部位（６４ａ〜６４ｈ）及び内側弾性部（６２ａ〜
６２ｈ：薄肉部位）が薄板層２６にて与えられ、環状部
５４及び外側弾性部（６０ａ〜６０ｈ：薄肉部位（６４
ａ〜６４ｈ）を除く）並びに張出し部６６が薄板層２６
と基板層２４の一体積層化によって与えられ、環状枠部
５２及び支持部５８が薄板層２６と基板層２４とスペー
サ層２２の一体積層化によって与えられる。

【０１４５】この第６の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサにおいては、前記第２の実施の形態に係る振動
ジャイロ・センサと同様に、センサとしての特性におい
て、周囲の磁場による影響を受けることがなく、検出用
圧電／電歪素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、し
かも、センサの小型軽量化を促進させることができる。

【０１４６】特に、この第６の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサにおいては、外側弾性部（６０ａ〜６０
ｈ）の構成を外形が平面ほぼ楕円形状のリング部とし、
そのうち、４つの外側弾性部（６０ａ、６０ｅ、６０ｂ
及び６０ｆ）の長軸に架設された薄肉部位（６４ａ、６
４ｅ、６４ｂ及び６４ｆ）にそれぞれ駆動用圧電／電歪
素子１８Ａを形成するようにしているため、前記第５の
実施の形態に係る振動ジャイロ・センサと同様に、長軸
方向の微小な振動振幅が短軸方向に大きな振動振幅とし
て変換され、駆動用圧電／電歪素子１８Ａの駆動による
環状部５４の振動振幅を大幅に向上させることができ
る。

【０１４７】次に、この第６の実施の形態に係る振動ジ
ャイロ・センサの変形例について、図２３及び図２４を
参照しながら説明する。なお、図２１及び図２２と対応
するものについては同符号を付してその重複説明を省略
する。

【０１４８】この変形例に係る振動ジャイロ・センサ
は、図２３に示すように、前記第６の実施の形態に係る
振動ジャイロ・センサとほぼ同様の構成を有するが、以
下の点で構成が異なる。

【０１４９】即ち、８個の外側弾性部（６０ａ〜６０
ｈ）が、平面長方形状に形成され、その高さ方向の厚み
が環状部５４の厚みよりも小に設定され薄肉とされてい
る点と、内側弾性部（６２ａ〜６２ｈ）が、環状部５４
の中心を基準とした放射方向を短軸とする平面ほぼ楕円
形状のリング部にて構成され、その高さ方向の厚みが、
環状部５４の厚みとほぼ同じに設定されている点と、各
内側弾性部（６２ａ〜６２ｈ）の長軸にそれぞれ薄肉部
位（６４ａ〜６４ｈ）が架設されている点と、所定位置
にある４つの外側弾性部（６０ｃ、６０ｄ、６０ｇ及び
６０ｈ）上にそれぞれ検出用圧電／電歪素子１８Ｂが形
成されている点と、所定位置にある４つの内側弾性部
（６２ａ、６２ｂ、６２ｅ及び６２ｆ）における各薄肉
部位（６４ａ、６４ｂ、６４ｅ及び６４ｆ）上にそれぞ
れ駆動用圧電／電歪素子１８Ａが形成されている点で異
なる。

【０１５０】この場合、薄肉部位６４ａ及び６４ｅ上の
駆動用圧電／電歪素子１８Ａが駆動振動発生用の圧電／
電歪素子としての機能を有し、外側弾性部（薄肉部位）
６０ｃ及び６０ｇ上の検出用圧電／電歪素子１８Ｂが駆
動振動モニタ用の圧電／電歪素子としての機能を有し、
薄肉部位６４ｄ及び６４ｈ上の検出用圧電／電歪素子１
８Ｂがコリオリ力による駆動検出用の圧電／電歪素子と
しての機能を有し、外側弾性部（薄肉部位）６０ｂ及び
６０ｆ上の駆動用圧電／電歪素子１８Ａがコリオリ力に
よる駆動抑制用の圧電／電歪素子としての機能を有する
こととなる。

【０１５１】なお、環状枠部５２の内周のうち、互いに
隣接する外側弾性部６０間に内方に突出する張出し部６
６が一体に設けられている。これは、第６の実施の形態
に係る振動ジャイロ・センサと同様に、振動ジャイロ・
センサの製造段階において、環状枠部５２の開口５０内
に環状部５４を規定の位置に支持する連結部を環状部５
４の外周部分にて切除した結果形成されたものであるた
め、振動ジャイロ・センサとされた段階では、前記張出
し部６６はなくてもよい。

【０１５２】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいても、図２４に示すように、最下層であるスペーサ
層２２と中間層である基板層２４と最上層である薄板層
２６の一体積層体として把握することができ、外側弾性
部（６０ａ〜６０ｈ）及び内側弾性部（６２ａ〜６２
ｈ）の長軸に架設された薄肉部位（６４ａ〜６４ｈ）が
薄板層２６にて与えられ、環状部５４及び内側弾性部
（６２ａ〜６２ｈ：薄肉部位（６４ａ〜６４ｈ）を除
く）並びに張出し部６６が薄板層２６と基板層２４の一
体積層化によって与えられ、環状枠部５２及び支持部５
８が薄板層２６と基板層２４とスペーサ層２２の一体積
層化によって与えられる。

【０１５３】この変形例に係る振動ジャイロ・センサに
おいては、前記第６の実施の形態に係る振動ジャイロ・
センサと同様に、センサとしての特性において、周囲の
磁場による影響を受けることがなく、検出用圧電／電歪
素子１８Ｂでの検出感度が大幅に向上し、しかも、セン
サの小型軽量化を促進させることができる。また、駆動
用圧電／電歪素子１８Ａの駆動による環状部５４の振動
振幅を大幅に向上させることができる。

【０１５４】ところで、前記第１〜第６の実施の形態に
係る振動ジャイロ・センサにおいては、何れも、駆動用
圧電／電歪素子１８Ａ、検出用圧電／電歪素子１８Ｂ及
び配線を除き、セラミックスの一体焼成体にて構成され
るものであり、具体的には、次のようにして作製される
こととなる。

【０１５５】まず、第１〜第６の実施の形態に係る振動
ジャイロ・センサ（各変形例も含む）において、環状枠
部１２（５２）、環状部１４（５４）、支持部４２（５
８）、弾性部１６（６０、６２）等からなるセンサ本体
を与えるセラミックスの一体焼成体を形成する材料とし
ては、機械的強度が大きく、後述するように、１４００
℃程度の熱処理が可能で、また接着剤等を用いることな
く、圧電／電歪素子１８等と積層一体化し得る絶縁体若
しくは誘電体であれば、酸化物系のセラミックス材料で
あっても、また非酸化物系のセラミックス材料であって
も、何ら差し支えない。

【０１５６】その中でも、少なくとも酸化アルミニウ
ム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、窒化アルミ
ニウム、窒化珪素のうち、何れかを主成分とした材料
が、変位や発生力が大きく、応答速度も速いという優れ
た作動特性を得るため、好適に採用され、特に、酸化ア
ルミニウム及び（又は）酸化ジルコニウムを主成分とし
たセラミックス材料の使用が推奨される。

【０１５７】更に、その中でも、特に、酸化イットリウ
ム、酸化イッテルビウム、酸化セリウム、酸化カルシウ
ム及び酸化マグネシウムからなる群より選ばれた少なく
とも一つの化合物で安定化された酸化ジルコニウムを主
成分とする材料が、薄い板厚においても高い機械的強度
が得られること、高靭性であること等の特徴を発揮する
ところから、有利に用いられ得る。

【０１５８】なお、酸化ジルコニウムを安定化するため
の前記化合物の添加量としては、酸化イットリウムや酸
化イッテルビウムでは１モル％〜３０モル％、酸化セリ
ウムでは６モル％〜５０モル％、酸化カルシウムや酸化
マグネシウムでは５モル％〜４０モル％とすることが好
ましいが、その中でも、特に、酸化イットリウムを安定
化剤として用いることが望ましく、その場合には、１．
５モル％〜６モル％とすることが、更に好ましくは２モ
ル％〜４モル％とすることが望ましい。

【０１５９】このような添加範囲で、酸化イットリウム
を添加した酸化ジルコニウムは、その結晶相が部分安定
化されることとなり、以て優れたセンサ本体としての特
性を与える。

【０１６０】また、薄板層２６として安定化若しくは部
分安定化ジルコニアを使用する場合、下表に示す助剤の
含有が好ましい。圧電／電歪素子１８に以下の助剤を含
有させても同様の効果を得ることができる。

【０１６１】

【表１】

【０１６２】また、そのようなセンサ本体を構成するセ
ラミックスの一体焼成体は、例えば図２に示すように、
薄板層２６、基板層２４、スペーサ層２２から構成され
ることとなるが、少なくとも薄板層２６を与える材料中
に、酸化珪素（ＳｉＯ，ＳｉＯ₂ ）を含有させることが
好ましい。この酸化珪素の含有量は、０．５重量％以
上、５重量％以下とすることが好ましく、特に１重量％
以上、３重量％以下とすることが望ましい。

【０１６３】このような割合の酸化珪素の含有は、薄板
層２６上に形成される圧電／電歪素子１８の熱処理時に
おいて、圧電／電歪素子１８との過剰な反応を回避する
ことができるため、駆動用圧電／電歪素子１８Ａにおい
ては、良好なアクチュエータ特性を得ることができ、検
出用圧電／電歪素子１８Ｂにおいては、良好な検出特性
を得ることができる。

【０１６４】更に、第１〜第６の実施の形態に係る振動
ジャイロ・センサ（各種変形例を含む）においては、そ
の高速応答性と大きな変位を得るために、圧電／電歪素
子１８が一体的に形成される薄板層２６の厚さ、即ち、
薄肉部位３６（６４）の厚さは、一般に５０μｍ以下、
好ましくは３０μｍ以下、更に好ましくは１５μｍ以下
とすることが好ましい。

【０１６５】一方、基板層２４の厚さは、適宜に決定さ
れることとなるが、一般に３０μｍ以上、好ましくは５
０μｍ以上、更に好ましくは１００μｍ以上とすること
が好ましい。

【０１６６】また、アクチュエータや検出部位として、
大きな変位と大きな発生力を得るために、少なくとも薄
板層２６については、結晶の平均粒子径が０．１〜２μ
ｍであることが好ましく、更に好ましくは１μｍ以下の
平均粒子径を有するセラミックス材料にて構成されてい
ることが望ましい。

【０１６７】なお、このような薄板層２６、基板層２４
及びスペーサ層２２とから構成されるセンサ本体を与え
るセラミックスの一体焼成体を得るには、例えば、それ
ら薄板層２６、基板層２４、スペーサ層２２をグリーン
シートの状態で積層するグリーンシート積層法のほか、
成形型を用いる加圧成形、鋳込み成形、射出成形等の各
種成形法、更には超音波加工、切削・研削加工等の機械
加工によって、環状枠部１２（５２）、支持部４２（５
８）、環状部１４（５４）及び弾性部１６（６０、６
２）等を形成する加工法等が挙げられるが、中でも、加
工応力が残らず、薄板層２６の板厚の精度も高い方法で
あるグリーンシート積層法を用いることが好ましい。

【０１６８】このグリーンシート積層法では、好適に
は、それら薄板層２６、基板層２４及びスペーサ層２２
をそれぞれ与える第１、第２及び第３のグリーンシート
が用いられ、それらを熱圧着により積層した後、焼成す
ることにより、一体化させる方法が採用される。また、
その焼成一体化に際して、第１〜第３のグリーンシート
としては、少なくとも焼成による収縮率が同程度になる
ようにしたグリーンシートを用いることが好ましい。

【０１６９】ところで、第１〜第６の実施の形態に係る
振動ジャイロ・センサを作製する場合に使用されるグリ
ーンシート積層法は、具体的には、３つの方法があり、
各方法を図２５〜図２７にそれぞれ工程ブロック図とし
て示す。

【０１７０】第１の方法は、図２５に示すように、用意
した第１、第２及び第３のグリーンシートに対し成形を
行って、薄板層２６、基板層２４及びスペーサ層２２に
対応する形状をそれぞれ与える（ステップＳ１）。この
成形には、レーザ加工あるいは金型プレス加工あるいは
超音波加工が使用される。

【０１７１】次に、成形後の前記薄板層２６、基板層２
４及びスペーサ層２２を積層一体化した後（ステップＳ
２）、焼成を行って、一体的な焼成体にする（ステップ
Ｓ３）。

【０１７２】次に、薄板層２６の所定部位に駆動用圧電
／電歪素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪素子１８Ｂ並び
に配線を形成する（ステップＳ４）。これら駆動用圧電
／電歪素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪素子１８Ｂ並び
に配線の形成においては、スクリーン印刷、ディッピン
グ法、イオンビーム法、スパッタリング法、真空蒸着
法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ（化学気相成長）
法、めっき法等が使用される。

【０１７３】次に、駆動用圧電／電歪素子１８Ａ及び検
出用圧電／電歪素子１８Ｂの各上部電極１８ｃをトリミ
ング処理して各圧電／電歪素子１８Ａ及び１８Ｂの電気
的特性を調整する（ステップＳ５）。このトリミング処
理は、例えばＲＩＥ等のプラズマエッチングやレーザ加
工によって行われる。

【０１７４】次に、環状部１４（５４）、弾性部１６
（６０、６２）、張出し部２０（６６）及び薄肉部位３
６（６４）をトリミング処理して、センサ本体の機械的
特性を調整する（ステップＳ６）。このトリミング処理
は、例えばレーザ加工や超音波加工によって行われる。

【０１７５】この方法によれば、第１〜第６の実施の形
態に係る振動ジャイロ・センサ（各種変形例を含む）を
容易に、かつ高い信頼性をもって作製することができ
る。

【０１７６】また、圧電／電歪素子１８の上部電極１８
ｃをトリミング処理することにより、簡単に圧電／電歪
素子１８の電気的特性を調整することができ、しかも、
環状部１４（５４）や弾性部１６（６０、６２）等をト
リミング処理することにより、簡単に振動子等の機械的
特性を調整することができるため、工数の削減化におい
て有利になる。

【０１７７】ところで、従来から用いられている多くの
振動ジャイロ・センサにおいては、振動子としてエリン
バー合金を用い、更に電極を形成したバルクの圧電／電
歪素子を振動子に対して接着によって固定するようにし
ているため、圧電／電歪素子の電極への外部配線の接続
として、半田やＡｇペースト等を用いる必要がある。こ
の場合、前記半田やＡｇペースト等並びに外部配線自体
が付加重量となって振動子での振動特性に多大な影響を
与え、製造を困難なものとしていた。

【０１７８】振動子として圧電セラミックスを用いるタ
イプのものでも、振動する部分にリード線を接続すると
いう点では本質的な違いはなく、(イ) 外部配線の接続部
の信頼性が低い、(ロ) 製造ばらつきが大きい、という問
題がある。

【０１７９】しかし、上述した第１〜第６の実施の形態
に係る振動ジャイロ・センサ（各種変形例を含む）にお
いては、各圧電／電歪素子１８の一対の電極への外部配
線の接続を容易に行えるという利点を有する。

【０１８０】環状枠部１２（５２）、環状部１４（５
４）、弾性部１６（６０、６２）、支持部４２（５８）
等の全体が酸化ジルコニアをはじめとするセラミックス
（非導電性物質）の一体焼成体にて構成されているた
め、外部配線をこれらの上に膜形成法により直接配線形
成することができるという利点に加えて、駆動用圧電／
電歪素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪素子１８Ｂの電極
形成にスクリーン印刷等の膜形成法を用いており、圧電
／電歪素子１８の電極形成と同時に、これらの電極への
配線を振動特性に影響を与えない環状枠部１２（５２）
あるいは支持部４２（５８）まで行うことができるとい
う利点を有し、振動ジャイロ・センサの製造の容易性、
歩留まりの向上を実現させることができる。

【０１８１】次に、第２の方法は、図２６に示すよう
に、用意した第１、第２及び第３のグリーンシートのう
ち、第２及び第３のグリーンシートに対し成形を行っ
て、基板層２４及びスペーサ層２２に対応する形状をそ
れぞれ与える（ステップＳ１０１）。

【０１８２】次に、成形後の前記基板層２４及びスペー
サ層２２を第１のグリーンシート（未成形の薄板層２
６）と共に積層一体化した後（ステップＳ１０２）、焼
成を行って、一体的な焼成体にする（ステップＳ１０
３）。その後、最上層の薄板層２６に対し成形を行っ
て、薄板層２６に対応する形状を与える（ステップＳ１
０４）。

【０１８３】次に、薄板層２６の所定部位に駆動用圧電
／電歪素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪素子１８Ｂ並び
に配線を形成した後（ステップＳ１０５）、駆動用圧電
／電歪素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪素子１８Ｂの各
上部電極１８ｃをトリミング処理して各圧電／電歪素子
１８の電気的特性を調整し（ステップＳ１０６）、更
に、環状部１４（５４）、弾性部１６（６０、６２）、
張出し部２０（６６）及び薄肉部位３６（６４）をトリ
ミング処理して、センサ本体の機械的特性を調整する
（ステップＳ１０７）。

【０１８４】この第２の方法においても、前記第１の方
法と同様に、第１〜第６の実施の形態に係る振動ジャイ
ロ・センサ（各種変形例を含む）を容易に、かつ高い信
頼性をもって作製することができ、しかも、簡単に圧電
／電歪素子１８の電気的特性並びに振動子等の機械的特
性を調整することができることから、工数の削減化にお
いて有利になる。

【０１８５】また、環状枠部１２（５２）、環状部１４
（５４）、弾性部１６（６０、６２）、支持部４２（５
８）等の全体が酸化ジルコニアをはじめとするセラミッ
クス（非導電性物質）の一体焼成体にて構成されている
ため、外部配線をこれらの上に膜形成法により直接配線
形成することができるという利点に加えて、駆動用圧電
／電歪素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪素子１８Ｂの電
極形成にスクリーン印刷等の膜形成法を用いており、圧
電／電歪素子１８の電極形成と同時に、これらの電極へ
の配線を振動特性に影響を与えない環状枠部１２（５
２）あるいは支持部４２（５８）まで行うことができる
という利点を有し、振動ジャイロ・センサの製造の容易
性、歩留まりの向上を実現させることができる。

【０１８６】次に、第３の方法は、図２７に示すよう
に、用意した第１、第２及び第３のグリーンシートのう
ち、第２及び第３のグリーンシートに対し成形を行っ
て、基板層２４及びスペーサ層２２に対応する形状をそ
れぞれ与える（ステップＳ２０１）。

【０１８７】次に、成形後の前記基板層２４及びスペー
サ層２２を第１のグリーンシート（未成形の薄板層２
６）と共に積層一体化した後（ステップＳ２０２）、焼
成を行って、一体的な焼成体にする（ステップＳ２０
３）。

【０１８８】その後、最上層の第１のグリーンシート
（未成形の薄板層２６）の所定部位に駆動用圧電／電歪
素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪素子１８Ｂ並びに配線
を形成した後（ステップＳ２０４）、前記第１のグリー
ンシートに対し成形を行って、薄板層２６に対応する形
状を与える（ステップＳ２０５）。

【０１８９】次に、駆動用圧電／電歪素子１８Ａ及び検
出用圧電／電歪素子１８Ｂの各上部電極１８ｃをトリミ
ング処理して各圧電／電歪素子１８の電気的特性を調整
し（ステップＳ２０６）、更に、環状部１４（５４）、
弾性部１６（６０、６２）、張出し部２０（６６）及び
薄肉部位３６（６４）をトリミング処理して、センサ本
体の機械的特性を調整する（ステップＳ２０７）。

【０１９０】この第３の方法においても、前記第１の方
法と同様に、第１〜第６の実施の形態に係る振動ジャイ
ロ・センサ（各種変形例を含む）を容易に、かつ高い信
頼性をもって作製することができ、しかも、簡単に圧電
／電歪素子１８の電気的特性並びに振動子等の機械的特
性を調整することができることから、工数の削減化にお
いて有利になる。

【０１９１】また、環状枠部１２（５２）、環状部１４
（５４）、弾性部１６（６０、６２）、支持部４２（５
８）等の全体が酸化ジルコニアをはじめとするセラミッ
クス（非導電性物質）の一体焼成体にて構成されている
ため、外部配線をこれらの上に膜形成法により直接配線
形成することができるという利点に加えて、駆動用圧電
／電歪素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪素子１８Ｂの電
極形成にスクリーン印刷等の膜形成法を用いており、圧
電／電歪素子１８の電極形成と同時に、これらの電極へ
の配線を振動特性に影響を与えない環状枠部１２（５
２）あるいは支持部４２（５８）まで行うことができる
という利点を有し、振動ジャイロ・センサの製造の容易
性、歩留まりの向上を実現させることができる。

【０１９２】なお、前記第１〜第３の方法において、薄
板層２６、基板層２４及びスペーサ層２２の形状の実現
は、第１、第２及び第３のグリーンシートに対するレー
ザ加工や金型によるプレス加工、超音波加工等を採用し
て、好適に実施されるが、中でも、金型によるプレス加
工が量産性、集積性に優れることから、有利に用いられ
る。

【０１９３】図２８には、前記第３の方法にて例えば第
２の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ（図５参
照）を製造する場合の一例が示されている。

【０１９４】この場合において、薄板層２６を与える第
１のグリーンシート７０は、薄板層２６の形状に何ら加
工されておらず、単なる矩形の一枚の薄板形状において
用いられている。また、基板層２４を与える第２のグリ
ーンシート７２は、基板層２４の形状に対応した形状に
加工され、また、スペーサ層２２を与える第３のグリー
ンシート７４も、同様に、スペーサ層２２の形状に対応
した形状に加工されている。

【０１９５】そして、これら第１、第２及び第３のグリ
ーンシート７０、７２、７４を積層した後、焼成一体化
する。その後、その得られた焼成体７６における未成形
の薄板層２６上の所定部位に対して、圧電／電歪素子１
８が膜形成法に従って一体的に形成される。

【０１９６】その後、前記一体焼成体７６における未成
形の薄板層２６の所定部分に対して、レーザ加工や超音
波加工等による切除加工が施されて、図５に示す第２の
実施の形態に係る振動ジャイロ・センサが完成する。

【０１９７】なお、前記第２の方法（図２６）によれ
ば、駆動用圧電／電歪素子１８Ａ及び検出用圧電／電歪
素子１８Ｂの形成工程と薄板層２６の加工工程との順序
が逆にされて、圧電／電歪素子１８Ａ及び１８Ｂの一体
的な形成をもって、図５に示す振動ジャイロ・センサが
完成することとなる。

【０１９８】ところで、図１に示される第１の実施の形
態に係る振動ジャイロ・センサの構造にあっては、図１
や図２から明らかな如く、環状枠部１２と環状部１４間
に架設された弾性部１６が第１のグリーンシート７０に
て与えられる薄板層２６のみにて形成されることから、
第２のグリーンシート７２と第３のグリーンシート７４
を規定の形状に加工した場合、環状枠部１２の開口１０
内の規定の位置に環状部１４を位置決めすることが困難
なことに加えて、焼成時や圧電／電歪素子１８の形成の
際の熱処理時に変形しやすいという問題を内在してい
る。

【０１９９】そこで、図２９に示すように、例えば第２
のグリーンシート７２への成形加工において、環状枠部
１２となる部分と環状部１４となる部分の間に複数の連
結部８０を存在させ、積層一体化あるいは焼成一体化さ
せた後に、前記連結部８０を切断するという方法が好適
に採用される。

【０２００】この図２９に示す方法は、図１に示される
第１の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサを作製す
るために有効な方法の一つを示すものであって、基板層
２４を与える第２のグリーンシート７２は、図示のよう
に、環状枠部１２となる部分と環状部１４となる部分の
間に複数の連結部８０が存在するように成形される。こ
のとき、薄板層２６を与える第１のグリーンシート７０
は、薄板層２６の形状に何ら加工されておらず、単なる
矩形の一枚の薄板形状とされ、スペーサ層２２を与える
第３のグリーンシート７４は、スペーサ層２２の形状に
対応した形状に加工されている。

【０２０１】そして、これら第１、第２及び第３のグリ
ーンシート７０、７２、７４を積層した後、焼成一体化
する。その後、その得られた焼成体７６における薄板層
２６上の所定部位に対して、圧電／電歪素子１８が膜形
成法に従って一体的に形成される。

【０２０２】その後、前記一体焼成体７６における薄板
層２６の部分に対して、レーザ加工や超音波加工等によ
る切除加工が施されて、薄板層２６による弾性部１６が
形成され、更に、連結部８０が例えばレーザ加工や超音
波加工等によって切除されることによって張出し部２０
とされ、結果として図１に示す第１の実施の形態に係る
振動ジャイロ・センサが完成する。

【０２０３】この図２９に示す製造方法は、前記第１の
実施の形態に係る振動ジャイロ・センサのほか、第６の
実施の形態に係る振動ジャイロ・センサやその変形例に
係る振動ジャイロ・センサにも適用させることができ
る。

【０２０４】そして、上述した第１〜第３の方法におい
て、薄板層２６の所定部位への圧電／電歪素子１８の形
成は、以下のようにして行われることとなる。

【０２０５】まず、上部電極１８ｃ、下部電極１８ａ及
び圧電／電歪膜１８ｂを薄板層２６上の所定部位に形成
するには、各種の膜形成法、例えばスクリーン印刷のよ
うな厚膜法やディッピング等の塗布法、イオンビーム、
スパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティング、Ｃ
ＶＤ、めっき等の薄膜法等が適宜に採用され得るが、そ
れらに何ら限定されるものではない。なお、圧電／電歪
膜１８ｂを形成するには、好ましくはスクリーン印刷、
ディッピング、塗布等による手法が採用される。

【０２０６】これらの膜形成法は、圧電／電歪素子１８
を構成する金属及びセラミックス粒子を主成分とするペ
ーストやスラリーを用いて、薄板層２６上に膜形成する
ことができ、良好な作動特性が得られるからである。ま
た、このようにして、圧電／電歪素子１８の形成を前記
膜形成法によって行うと、接着剤等を用いずに、薄板層
２６と一体化することができることから、信頼性、再現
性に優れ、更に集積化しやすいという効果を奏する。

【０２０７】圧電／電歪素子１８を構成する積層膜の形
状としては、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ等
を用いてパターン形成するほか、レーザ加工法やスライ
シング、超音波加工等の機械加工法を用い、不必要な部
分を除去してパターン形成してもよい。

【０２０８】なお、薄板層２６の所定部位に膜形成法に
て一体的に形成される圧電／電歪素子１８の構造や膜の
形状は、何ら限定されるものではなく、従来から知られ
ているものが適宜に採用可能であり、例えば、図３に示
されるような、電界誘起歪みの横効果を用いる構造のほ
か、図３０に示すように、電界誘起歪みの縦効果を用い
る構造のものも、適宜に採用され、また膜形状において
も、三角形、四角形等の多角形、円、楕円、円環等の円
形、櫛状、格子状、またはこれらを組み合わせた特殊形
状であっても、何ら差し支えない。

【０２０９】そして、このようにして、薄板層２６にて
与えられる薄肉部位３６（６４）上に形成される積層膜
（１８ａ、１８ｂ及び１８ｃ）は、各膜を形成するたび
に、熱処理されて、薄肉部位３６（６４）と一体構造と
なるようにしてもよく、また全部の膜を形成して積層膜
とした後に、一括熱処理して、各膜が同時に薄肉部位３
６（６４）に一体的に結合されるようにしてもよい。な
お、薄膜化手法によって電極膜を形成する場合には、一
体化するために、必ずしも熱処理を必要としない場合が
ある。

【０２１０】薄肉部位３６（６４）上に形成された積層
膜と下層の薄肉部位３６（６４）とを一体化するための
熱処理温度としては、一般に８００℃〜１４００℃程度
の温度が採用され、好ましくは１０００℃〜１４００℃
の範囲の温度が有利に選択される。また、圧電／電歪膜
１８ｂを熱処理する場合には、高温時に圧電／電歪膜１
８ｂの組成が不安定とならないように、そのような圧電
／電歪材料の蒸発源と共に、雰囲気制御を行いながら、
熱処理することが好ましい。

【０２１１】なお、上記の方法にて作製される圧電／電
歪素子１８を構成する電極膜（１８ａ、１８ｃ）の材料
としては、前記熱処理温度並びに焼成温度程度の高温酸
化雰囲気に耐えられる導体であれば、特に限定されるも
のではなく、例えば、金属単体であっても、合金であっ
てもよく、また絶縁性セラミックスやガラス等の添加物
と金属や合金との混合物であってもよく、更には導電性
セラミックスであっても、何ら差し支えない。より好ま
しくは、白金、パラジウム、ロジウム等の高融点金属
類、銀−パラジウム、銀−白金、白金−パラジウム等の
合金を主成分とする電極材料が、好適に用いられる。

【０２１２】また、上記混合物において、金属や合金に
添加されるセラミックスとしては、前記薄板層２６（薄
肉部位）の構成材料、あるいは後述する圧電／電歪材料
と同様の材料を用いることが望ましく、その添加量とし
ては、薄板層２６と同じ材料においては５〜３０体積
％、また圧電／電歪材料と同じ材料においては５〜２０
体積％程度が好ましい。つまり、これら薄板層２６の構
成材料や圧電／電歪材料を前記金属や合金に混在させて
なる混合物が、目的とする電極膜の形成に有利に用いら
れることとなる。

【０２１３】そして、このような材料を用いて形成され
る電極１８ａ及び１８ｃは、用途に応じて適宜の厚さと
されることとなるが、図３に示されるように、電界誘起
歪みの横効果を用いるタイプにおいては、一般に１５μ
ｍ以下、好ましくは５μｍ以下の厚さにおいて形成され
ることとなり、また、図３０に示すように、電界誘起歪
みの縦効果を用いるタイプにおいては、３μｍ以上がよ
く、好ましくは１０μｍ以上、更に好ましくは２０μｍ
以上の厚さにおいて形成されることとなる。

【０２１４】また、駆動用圧電／電歪素子１８Ａ及び検
出用圧電／電歪素子１８Ｂを構成する圧電／電歪膜１８
ｂを与える圧電／電歪材料は、圧電あるいは電歪効果等
の電界誘起歪みを示す材料であれば、何れの材料も用い
ることができ、結晶質の材料であっても、非晶質の材料
であってもよく、また半導体材料であっても、誘電体セ
ラミックス材料や強誘電体セラミックス材料であって
も、何ら差し支えなく、更には分極処理が必要な材料で
あっても、またそれが不必要な材料であってもよい。

【０２１５】具体的には、前記第１〜第６の実施の形態
に係る振動ジャイロ・センサにおいて用いられる圧電／
電歪素子材料としては、好ましくはジルコン酸チタン酸
鉛（ＰＺＴ系）を主成分とする材料、マグネシウムニオ
ブ酸鉛（ＰＭＮ系）を主成分とする材料、ニッケルニオ
ブ酸鉛（ＰＮＮ系）を主成分とする材料、亜鉛ニオブ酸
鉛を主成分とする材料、マンガンニオブ酸鉛を主成分と
する材料、アンチモン錫酸鉛を主成分とする材料、チタ
ン酸鉛を主成分とする材料、チタン酸バリウムを主成分
とする材料、更にはこれらの複合材料等が用いられる。
なお、ＰＺＴ系を主成分とする材料に、ランタン、バリ
ウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン等の酸化物
や、それらの他の化合物を添加物として含んだ材料、例
えばＰＬＺＴ系となるように、前記材料に所定の添加物
を適宜に加えても、何ら差し支えない。

【０２１６】そして、前記構成からなる圧電／電歪素子
１８の厚さとしては、一般に１００μｍ以下、好ましく
は５０μｍ以下、更に好ましくは３０μｍ以下とされる
ことが望ましい。

【０２１７】なお、第１の実施の形態から第４の実施の
形態に係る振動ジャイロ・センサにおける駆動用圧電／
電歪素子１８Ａと検出用圧電／電歪素子１８Ｂの配置関
係を、第５の実施の形態又はその変形例に係る振動ジャ
イロ・センサと同じ配置関係にして、コリオリ力に基づ
く振動を抑制しながら駆動用圧電／電歪素子１８Ａによ
る駆動振動特性を規定の特性にフィードバックする方式
を採用するようにしてもよい。

【０２１８】以上、本発明を、第１〜第６の実施の形態
（各種変形例を含む）に基づいて、具体的に説明してき
たが、本発明は、上記各種実施の形態に何ら限定されて
解釈されるべきものではなく、本発明の範囲を逸脱しな
い限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々なる変
更、修正、改良等を加え得るものであることが、理解さ
れるべきである。

【０２１９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る振動
ジャイロ・センサによれば、振動子を構成する環状部位
と、該環状部位を弾性的に支持する支持体と、前記支持
体と前記環状部位間に設けられた複数の弾性部位と、前
記環状部位上に形成された圧電／電歪素子とを具備し、
前記環状部位、前記支持体及び前記複数の弾性部位を共
に、セラミックスの一体焼成体にて構成し、前記環状部
位のうち、前記圧電／電歪素子が形成されている部分を
その高さ方向について薄肉とされた板状部にて構成する
ようにしている。

【０２２０】このため、振動子の特性が周囲の磁場によ
る影響を受け難く、しかも、加工が容易であって、電気
的な特性及び機械的な特性の調整も有利に行い得るとい
う効果並びに感度に優れるという効果が共に達成され
る。

【０２２１】また、本発明に係る振動ジャイロ・センサ
によれば、振動子を構成する環状部位と、該環状部位を
弾性的に支持する支持体と、前記支持体と前記環状部位
間に設けられた弾性部位と、前記弾性部位上に形成され
た圧電／電歪素子とを具備し、前記環状部位、支持体及
び弾性部位を共に、セラミックスの一体焼成体にて構成
し、前記弾性部位のうち、前記圧電／電歪素子が形成さ
れている部分をその高さ方向について薄肉とされた板状
部にて構成するようにしている。

【０２２２】このため、振動子の特性が周囲の磁場によ
る影響を受け難く、しかも、加工が容易であって、電気
的な特性及び機械的な特性の調整も有利に行い得るとい
う効果並びに感度に優れるという効果が共に達成され
る。

【０２２３】また、本発明に係る振動ジャイロ・センサ
によれば、振動子を構成する環状部位と、該環状部位を
その外側において弾性的に支持する外側支持体と、前記
環状部位をその内側において弾性的に支持する内側支持
体と、前記外側支持体と前記環状部位間に設けられた外
側弾性部位と、前記内側支持体と前記環状部位間に設け
られた内側弾性部位と、前記外側弾性部位及び内側弾性
部位上に形成された圧電／電歪素子とを具備し、前記環
状部位、外側支持体、内側支持体、外側弾性部位及び内
側弾性部位を共に、セラミックスの一体焼成体にて構成
し、前記外側弾性部位及び内側弾性部位のうち、前記圧
電／電歪素子が形成されている部分をその高さ方向につ
いて薄肉とされた板状部にて構成するようにしている。

【０２２４】このため、振動子の特性が周囲の磁場によ
る影響を受け難く、しかも、加工が容易であって、電気
的な特性及び機械的な特性の調整も有利に行い得るとい
う効果並びに感度に優れるという効果が共に達成され
る。

【０２２５】次に、本発明に係る振動ジャイロ・センサ
の製造方法によれば、グリーンシートからなるスペーサ
層、基板層及び薄板層をそれぞれ成形する工程と、前記
成形後のスペーサ層、基板層及び薄板層をそれぞれ積層
一体化させた後、焼成して、環状部位と、該環状部位を
弾性的に支持する支持体と、前記支持体と前記環状部位
間に設けられた複数の弾性部位とを一体的に有する焼成
体を作製する工程と、前記薄板層の所定部位に少なくと
も圧電／電歪素子を膜形成法にて形成する工程と、前記
圧電／電歪素子の電極をトリミング処理して電気的特性
の調整を行う工程と、少なくとも前記環状部位及び弾性
部位をトリミング処理して機械的特性の調整を行う工程
を有することを特徴とする。

【０２２６】このため、振動ジャイロ・センサを容易
に、かつ高い信頼性をもって作製することができると共
に、簡単に圧電／電歪素子の電気的特性及び振動子等の
機械的特性を調整することができ、工数の削減化におい
て有利になる。更に配線及び電極をセンサ本体上に直接
形成することができるという利点に加えて、これらの電
極への配線を振動特性に影響を与えない環状枠部あるい
は支持部まで行うことができるという利点を有し、振動
ジャイロ・センサの製造の容易性、歩留まりの向上を実
現させることができる。

【０２２７】また、本発明に係る振動ジャイロ・センサ
の製造方法によれば、グリーンシートからなる基板層及
びスペーサ層を成形する工程と、前記成形後の基板層及
びスペーサ層を未成形の薄板層と共に積層一体化させた
後、焼成する工程と、前記薄板層を成形して、環状部位
と、該環状部位を弾性的に支持する支持体と、前記支持
体と前記環状部位間に設けられた複数の弾性部位とを一
体的に有する焼成体を作製する工程と、前記薄板層の所
定部位に少なくとも圧電／電歪素子を膜形成法にて形成
する工程と、前記圧電／電歪素子の電極をトリミング処
理して電気的特性の調整を行う工程と、少なくとも前記
環状部位及び弾性部位をトリミング処理して機械的特性
の調整を行う工程を有することを特徴とする。

【０２２８】このため、振動ジャイロ・センサを容易
に、かつ高い信頼性をもって作製することができると共
に、簡単に圧電／電歪素子の電気的特性及び振動子等の
機械的特性を調整することができ、工数の削減化におい
て有利になる。更に配線及び電極をセンサ本体上に直接
形成することができるという利点に加えて、これらの電
極への配線を振動特性に影響を与えない環状枠部あるい
は支持部まで行うことができるという利点を有し、振動
ジャイロ・センサの製造の容易性、歩留まりの向上を実
現させることができる。

【０２２９】また、本発明に係る振動ジャイロ・センサ
の製造方法によれば、グリーンシートからなる基板層及
びスペーサ層を成形する工程と、前記成形後の基板層及
びスペーサ層を未成形の薄板層と共に積層一体化させた
後、焼成する工程と、前記薄板層の所定部位に少なくと
も圧電／電歪素子を膜形成法にて形成する工程と、前記
圧電／電歪素子の電極をトリミング処理して電気的特性
の調整を行う工程と、前記薄板層を成形して、環状部位
と、該環状部位を弾性的に支持する支持体と、前記支持
体と前記環状部位間に設けられた複数の弾性部位とを一
体的に有する焼成体を作製する工程と、少なくとも前記
環状部位及び弾性部位をトリミング処理して機械的特性
の調整を行う工程を有することを特徴とする。

【０２３０】このため、振動ジャイロ・センサを容易
に、かつ高い信頼性をもって作製することができると共
に、簡単に圧電／電歪素子の電気的特性及び振動子等の
機械的特性を調整することができ、工数の削減化におい
て有利になる。更に配線及び電極をセンサ本体上に直接
形成することができるという利点に加えて、これらの電
極への配線を振動特性に影響を与えない環状枠部あるい
は支持部まで行うことができるという利点を有し、振動
ジャイロ・センサの製造の容易性、歩留まりの向上を実
現させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ
の構成を示す平面図である。

【図２】第１の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ
の構成を示す断面図であり、同図Ａは図１におけるＡ−
Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図１におけるＢ−Ｂ線上
の断面を示す。

【図３】電界誘起歪みの横効果を用いた圧電／電歪素子
の構造を一部破断して示す斜視図である。

【図４】第１の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ
の変形例の構成を示す平面図である。

【図５】第２の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ
の構成を示す平面図である。

【図６】第２の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ
の構成を示す断面図であり、同図Ａは図５におけるＡ−
Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図５におけるＢ−Ｂ線上
の断面を示す。

【図７】第２の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ
の変形例の構成を示す平面図である。

【図８】第２の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ
の変形例の構成を示す断面図であり、同図Ａは図７にお
けるＡ−Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図７におけるＢ
−Ｂ線上の断面を示す。

【図９】第３の実施の形態に係る振動ジャイロ・センサ
の構成を示す平面図である。

【図１０】第３の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの構成を示す断面図であり、同図Ａは図９におけるＡ
−Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図９におけるＢ−Ｂ線
上の断面を示す。

【図１１】第３の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの変形例の構成を示す平面図である。

【図１２】第３の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの変形例の構成を示す断面図であり、同図Ａは図１１
におけるＡ−Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図１１にお
けるＢ−Ｂ線上の断面を示す。

【図１３】第４の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの構成を示す平面図である。

【図１４】第４の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの構成を示す断面図であり、同図Ａは図１３における
Ａ−Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図１３におけるＢ−
Ｂ線上の断面を示す。

【図１５】第４の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの変形例の構成を示す平面図である。

【図１６】第４の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの変形例の構成を示す断面図であり、同図Ａは図１５
におけるＡ−Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図１５にお
けるＢ−Ｂ線上の断面を示す。

【図１７】第５の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの構成を示す平面図である。

【図１８】第５の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの構成を示す断面図であり、同図Ａは図１７における
Ａ−Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図１７におけるＢ−
Ｂ線上の断面を示す。

【図１９】第５の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの変形例の構成を示す平面図である。

【図２０】第５の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの変形例の構成を示す断面図であり、同図Ａは図１９
におけるＡ−Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図１９にお
けるＢ−Ｂ線上の断面を示す。

【図２１】第６の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの構成を示す平面図である。

【図２２】第６の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの構成を示す断面図であり、同図Ａは図２１における
Ａ−Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図２１におけるＢ−
Ｂ線上の断面を示し、同図Ｃは図２１におけるＣ−Ｃ線
上の断面を示す。

【図２３】第６の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの変形例の構成を示す平面図である。

【図２４】第６の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの変形例の構成を示す断面図であり、同図Ａは図２３
におけるＡ−Ａ線上の断面を示し、同図Ｂは図２３にお
けるＢ−Ｂ線上の断面を示し、同図Ｃは図２３における
Ｃ−Ｃ線上の断面を示す。

【図２５】第１〜第６の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサ（各種変形例を含む）の製造方法のうち、第１
の方法を示す工程ブロック図である。

【図２６】第１〜第６の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサ（各種変形例を含む）の製造方法のうち、第２
の方法を示す工程ブロック図である。

【図２７】第１〜第６の実施の形態に係る振動ジャイロ
・センサ（各種変形例を含む）の製造方法のうち、第３
の方法を示す工程ブロック図である。

【図２８】第２の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの製造工程の一例を示す説明図である。

【図２９】第１の実施の形態に係る振動ジャイロ・セン
サの製造工程の一例を示す説明図である。

【図３０】電界誘起歪みの縦効果を用いた圧電／電歪素
子の構造を一部破断して示す斜視図である。

【符号の説明】

１０…開口 １２…環状枠部 １４…環状部 １６ａ〜１６ｈ…弾
性部 １８Ａ…駆動用圧電／電歪素子 １８Ｂ…検出用圧電
／電歪素子 ２０…張出し部 ２２…スペーサ層 ２４…基板層 ２６…薄板層 ３６ａ〜３６ｈ…薄肉部位 ４２…支持部 ４４ａ〜４４ｈ、４６ａ〜４６ｈ…張出し部 ５０…開口 ５２…環状枠部 ５４…環状部 ５８…支持部 ６０ａ〜６０ｈ…外側弾性部 ６２ａ〜６２ｈ…内
側弾性部 ６４ａ〜６４ｈ…薄肉部位

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】振動子を構成する環状部位と、 該環状部位を弾性的に支持する支持体と、 前記支持体と前記環状部位間に設けられた複数の弾性部
   位と、 前記環状部位上に形成された圧電／電歪素子とを具備
   し、 前記環状部位、前記支持体及び前記複数の弾性部位が共
   に、セラミックスの一体焼成体にて構成され、 前記環状部位のうち、前記圧電／電歪素子が形成されて
   いる部分が、その高さ方向について薄肉とされた板状部
   にて構成されていることを特徴とする振動ジャイロ・セ
   ンサ。
2. 【請求項２】請求項１記載の振動ジャイロ・センサにお
   いて、 前記環状部位は、前記複数の弾性部位の形成位置とは反
   対の位置に、前記環状部位の軸方向と直交する面に平行
   な主面が圧電／電歪素子の取り付け面とされた素子取付
   部位が一体に設けられ、 該素子取付部位のうち、圧電／電歪素子が形成されてい
   る部分が、その高さ方向において薄肉とされた板状部と
   されていることを特徴とする振動ジャイロ・センサ。
3. 【請求項３】請求項１又は２記載の振動ジャイロ・セン
   サにおいて、 前記複数の弾性部位は、それぞれ等間隔で、かつ点対称
   の位置に配され、 前記圧電／電歪素子は、前記環状部位における前記弾性
   部位の配置位置に対応した位置に形成されていることを
   特徴とする振動ジャイロ・センサ。
4. 【請求項４】請求項３記載の振動ジャイロ・センサにお
   いて、 前記隣接する２つの圧電／電歪素子のうち、一方が前記
   環状部位を振動させるための駆動用圧電／電歪素子であ
   り、他方が前記環状部位の軸を中心に回転したときに前
   記環状部位の振動方向に対して４５°の方向に生じる振
   動に起因する歪みを検出する検出用圧電／電歪素子であ
   ることを特徴とする振動ジャイロ・センサ。
5. 【請求項５】振動子を構成する環状部位と、 該環状部位を弾性的に支持する支持体と、 前記支持体と前記環状部位間に設けられた弾性部位と、 前記弾性部位上に形成された圧電／電歪素子とを具備
   し、 前記環状部位、支持体及び弾性部位が共に、セラミック
   スの一体焼成体にて構成され、 前記弾性部位のうち、前記圧電／電歪素子が形成されて
   いる部分が、その高さ方向について薄肉とされた板状部
   にて構成されていることを特徴とする振動ジャイロ・セ
   ンサ。
6. 【請求項６】請求項５記載の振動ジャイロ・センサにお
   いて、 前記複数の弾性部位は、それぞれ等間隔で、かつ点対称
   の位置に配されていることを特徴とする振動ジャイロ・
   センサ。
7. 【請求項７】請求項６記載の振動ジャイロ・センサにお
   いて、 前記隣接する２つの圧電／電歪素子のうち、一方が前記
   弾性部位を振動させるための駆動用圧電／電歪素子であ
   り、他方が前記環状部位の軸を中心に回転したときに前
   記弾性部位の振動方向に対して４５°の方向に生じる振
   動に起因する歪みを検出する検出用圧電／電歪素子であ
   ることを特徴とする振動ジャイロ・センサ。
8. 【請求項８】請求項７記載の振動ジャイロ・センサにお
   いて、 前記弾性部位が前記リング部にて構成されている場合
   に、前記駆動用圧電／電歪素子は、前記リング部におけ
   る前記環状部位の中心を基準とした放射方向と直交する
   方向に架設された板状部上に形成され、 検出用圧電／電歪素子は、前記リング部における前記環
   状部位の中心を基準とした放射方向に架設された板状部
   上に形成されていることを特徴とする振動ジャイロ・セ
   ンサ。
9. 【請求項９】請求項１〜８のいずれか１項に記載の振動
   ジャイロ・センサにおいて、 前記支持体は、外径が前記環状部位の内径よりも小とさ
   れた平面ほぼ円形状に形成されていることを特徴とする
   振動ジャイロ・センサ。
10. 【請求項１０】請求項１〜８のいずれか１項に記載の振
    動ジャイロ・センサにおいて、 前記支持体は、内径が前記環状部位の外径よりも大とさ
    れた平面ほぼ円形状の開口を有し、該開口内に前記環状
    部位が前記複数の弾性部位を通じて支持されていること
    を特徴とする振動ジャイロ・センサ。
11. 【請求項１１】請求項１〜１０のいずれか１項に記載の
    振動ジャイロ・センサにおいて、 前記弾性部位は、その外形が、環状部位の中心を基準と
    した放射方向を短軸とする平面ほぼ楕円形状のリング部
    にて構成されていることを特徴とする振動ジャイロ・セ
    ンサ。
12. 【請求項１２】請求項１〜１０のいずれか１項に記載の
    振動ジャイロ・センサにおいて、 前記弾性部位は、その外形が、環状部位の中心を基準と
    した放射方向を長軸とする平面ほぼ楕円形状のリング部
    にて構成されていることを特徴とする振動ジャイロ・セ
    ンサ。
13. 【請求項１３】振動子を構成する環状部位と、 該環状部位をその外側において弾性的に支持する外側支
    持体と、 前記環状部位をその内側において弾性的に支持する内側
    支持体と、 前記外側支持体と前記環状部位間に設けられた外側弾性
    部位と、 前記内側支持体と前記環状部位間に設けられた内側弾性
    部位と、 前記外側弾性部位及び内側弾性部位上に形成された圧電
    ／電歪素子とを具備し、 前記環状部位、外側支持体、内側支持体、外側弾性部位
    及び内側弾性部位が共に、セラミックスの一体焼成体に
    て構成され、 前記外側弾性部位及び内側弾性部位のうち、前記圧電／
    電歪素子が形成されている部分が、その高さ方向につい
    て薄肉とされた板状部にて構成されていることを特徴と
    する振動ジャイロ・センサ。
14. 【請求項１４】請求項１３記載の振動ジャイロ・センサ
    において、 前記内側支持体は、外径が前記環状部位の内径よりも小
    とされた平面ほぼ円形状に形成され、 前記外側支持体は、内径が前記環状部位の外径よりも大
    とされた平面ほぼ円形状の開口を有し、 前記開口内に前記環状部位が前記複数の弾性部位を通じ
    て支持されていることを特徴とする振動ジャイロ・セン
    サ。
15. 【請求項１５】請求項１３又は１４記載の振動ジャイロ
    ・センサにおいて、 前記内側弾性部位及び外側弾性部位のうち、いずれかの
    弾性部位は、その外形が、環状部位の中心を基準とした
    放射方向を短軸とする平面ほぼ楕円形状のリング部にて
    構成されていることを特徴とする振動ジャイロ・セン
    サ。
16. 【請求項１６】請求項１３〜１５のいずれか１項に記載
    の振動ジャイロ・センサにおいて、 前記内側弾性部位及び外側弾性部位のうち、いずれかの
    弾性部位は、その外形が、環状部位の中心を基準とした
    放射方向を長軸とする平面ほぼ楕円形状のリング部にて
    構成されていることを特徴とする振動ジャイロ・セン
    サ。
17. 【請求項１７】請求項１３〜１６のいずれか１項に記載
    の振動ジャイロ・センサにおいて、 前記複数の内側及び外側弾性部位は、それぞれ等間隔
    で、かつ点対称の位置に配されていることを特徴とする
    振動ジャイロ・センサ。
18. 【請求項１８】請求項１７記載の振動ジャイロ・センサ
    において、 前記内側弾性部位及び外側弾性部位のうち、いずれか一
    方の弾性部位に形成される圧電／電歪素子が、前記弾性
    部位を振動させるための駆動用圧電／電歪素子であり、
    他方の弾性部位に形成される圧電／電歪素子が前記環状
    部位の軸を中心に回転したときに前記弾性部位の振動方
    向に対して４５°の方向に生じる振動に起因する歪みを
    検出する検出用圧電／電歪素子であることを特徴とする
    振動ジャイロ・センサ。
19. 【請求項１９】グリーンシートからなるスペーサ層、基
    板層及び薄板層をそれぞれ成形する工程と、 前記成形後のスペーサ層、基板層及び薄板層をそれぞれ
    積層一体化させた後、焼成して、環状部位と、該環状部
    位を弾性的に支持する支持体と、前記支持体と前記環状
    部位間に設けられた複数の弾性部位とを一体的に有する
    焼成体を作製する工程と、 前記薄板層の所定部位に少なくとも圧電／電歪素子を膜
    形成法にて形成する工程と、 前記圧電／電歪素子の電極をトリミング処理して電気的
    特性の調整を行う工程と、 少なくとも前記環状部位及び弾性部位をトリミング処理
    して機械的特性の調整を行う工程を有することを特徴と
    する振動ジャイロ・センサの製造方法。
20. 【請求項２０】グリーンシートからなる基板層及びスペ
    ーサ層を成形する工程と、 前記成形後の基板層及びスペーサ層を未成形の薄板層と
    共に積層一体化させた後、焼成する工程と、 前記薄板層を成形して、環状部位と、該環状部位を弾性
    的に支持する支持体と、前記支持体と前記環状部位間に
    設けられた複数の弾性部位とを一体的に有する焼成体を
    作製する工程と、 前記薄板層の所定部位に少なくとも圧電／電歪素子を膜
    形成法にて形成する工程と、 前記圧電／電歪素子の電極をトリミング処理して電気的
    特性の調整を行う工程と、 少なくとも前記環状部位及び弾性部位をトリミング処理
    して機械的特性の調整を行う工程を有することを特徴と
    する振動ジャイロ・センサの製造方法。
21. 【請求項２１】グリーンシートからなる基板層及びスペ
    ーサ層を成形する工程と、 前記成形後の基板層及びスペーサ層を未成形の薄板層と
    共に積層一体化させた後、焼成する工程と、 前記薄板層の所定部位に少なくとも圧電／電歪素子を膜
    形成法にて形成する工程と、 前記圧電／電歪素子の電極をトリミング処理して電気的
    特性の調整を行う工程と、 前記薄板層を成形して、環状部位と、該環状部位を弾性
    的に支持する支持体と、前記支持体と前記環状部位間に
    設けられた複数の弾性部位とを一体的に有する焼成体を
    作製する工程と、 少なくとも前記環状部位及び弾性部位をトリミング処理
    して機械的特性の調整を行う工程を有することを特徴と
    する振動ジャイロ・センサの製造方法。