JP3765961B2 - 振動ジャイロセンサ及びその製造方法 - Google Patents
振動ジャイロセンサ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3765961B2 JP3765961B2 JP2000089961A JP2000089961A JP3765961B2 JP 3765961 B2 JP3765961 B2 JP 3765961B2 JP 2000089961 A JP2000089961 A JP 2000089961A JP 2000089961 A JP2000089961 A JP 2000089961A JP 3765961 B2 JP3765961 B2 JP 3765961B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- gyro sensor
- vibration gyro
- piezoelectric
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動ジャイロセンサ及びその製造方法に関し、例えば、駆動用圧電/電歪素子にて振動を与えられた重りが振動しながら回転したときに発生するコリオリ力を利用して、回転角速度を検出するようにした振動ジャイロセンサ及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、回転角速度を検出するセンサであるジャイロセンサは、航空機や船舶の慣性航法システム等に用いられているが、近年になって、車載用ナビゲーションシステムやロボット無人走行車の姿勢制御、更には、ビデオカメラの画面振れ防止装置等にも用いられるようになってきている。
【0003】
そして、これら各種の分野での使用に適するジャイロセンサとしては、小型のものが必要になってきており、そこで、振動ジャイロセンサが注目されてきている。
【0004】
従来の振動ジャイロセンサ100は、例えば図51A及び図51Bに示すように、セラミック円板102、振動基板104及びセラミック円板106が積層されてなる振動部108が例えば円筒状の支持部110で支持され、更に、振動部108の下面のうち、支持部110で囲まれた部分に重り112が設けられて構成されている(例えば特開平8−201067号公報参照)。また、振動部108の上面のうち、支持部110よりも内側に対応する箇所に検出電極114が形成され、振動部108の下面のうち、支持部110よりも内側に対応する箇所に重り112を囲むように駆動電極116が形成されている。
【0005】
そして、駆動電極116に交番電圧を印加することで、図51Aに示すように、振動部108を例えば上下に振動させる。ここで、上下方向をZ軸、紙面に対して垂直な方向をY軸、左右方向をX軸としたとき、上述の状態から、例えば図51Bに示すように、Y軸を中心として時計方向の角速度ωが作用すると、重り112に対してX軸方向にコリオリ力Fxが発生する。この影響によって、振動部108が変形し、その変形が検出電極114にて検知されて電気信号として取り出されることになる。
【0006】
また、他の従来例に係る振動ジャイロセンサ200は、図52A及び図52Bに示すように、圧電体202からなるセンサ200であって、該センサ200を固定支持するための周囲部204と、中央部206を周囲部204に対して振動可能に支持する可撓部208とを有して構成されている(例えば特開平8−68636号公報参照)。また、圧電体202の上面のうち、中央部206から可撓部208にかけて上部電極210が形成され、圧電体202の下面には下部電極212が形成されている。
【0007】
そして、上部電極210のうち、駆動電極116に交番電圧を印加することで、図52Aに示すように、中央部206を例えば上下に振動させる。この状態から、例えば図52Bに示すように、Y軸を中心として時計方向の角速度ωが作用すると、中央部206に対してX軸方向にコリオリ力Fxが発生する。この影響によって、可撓部208が変形し、その変形が上部電極210の検出電極114にて検知されて電気信号として取り出されることになる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の振動ジャイロセンサ100及び200においては、外乱による影響を受けやすいという問題がある。即ち、従来の振動ジャイロセンサ100及び200は、重りとなる部分(図51A及び図51Bの例では重り112、図52A及び図52Bの例では中央部206)が中央部分のみに存在し、該重りの部分が支持部等(図51A及び図51Bの例では支持部110、図52A及び図52Bの例では周囲部204)で囲まれた形となっている。
【0009】
そのため、外乱によって不要な振動が発生すると、その不要な振動が直接重り112や中央部206に伝わることになるが、この不要な振動を打ち消すような手段が設けられていないことから、該不要な振動が長期間にわたって続き、外乱による不要な振動が重畳された状態で角速度が検出されることになる。即ち、従来の振動ジャイロセンサ100及び200は、検出精度が外乱によって変動するという問題がある。
【0010】
また、図51A及び図51Bに示す振動ジャイロセンサ100は、振動部108に重り112を取り付け、更に、支持部110を固定するという組立作業が必要であることから、生産性が低くなる。しかも、組立誤差が生じやすいため、角速度ωの検出精度を上げるには自ずから限界がある。
【0011】
一方、図52A及び図52Bに示す振動ジャイロセンサ200は、圧電体202を例えば一軸プレスや削り出し等によって形成する必要から、多数個取りが困難であり、生産性の面から不利になる。また、圧電体202は加工が難しく、チッピング等の加工不良を引き起こしやすく、寸法精度が低い。従って、この振動ジャイロセンサ200においても、角速度ωの検出精度を上げるには限界がある。
【0012】
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、外乱による影響を受け難く、角速度の検出を高精度に行うことができ、しかも、生産性を向上させることができる振動ジャイロセンサ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る振動ジャイロセンサは、支持部と、前記支持部の内側に配され、内側振動板によって振動可能とされた内側重りと、前記支持部の外側に配され、外側振動板によって振動可能とされた外側重りと、前記内側振動板及び/又は外側振動板上に形成された圧電/電歪素子とを有することを特徴とする。
【0014】
これにより、内側重りに例えば上下方向の振動を与えた場合、外側重りは、内側重りの振動方向とは逆方向に振動することとなる。そのため、角速度の作用によって内側重りに一方向(例えば右方向)にコリオリ力が働くと、外側重りにはその逆方向(この場合、左方向)にコリオリ力が働くこととなり、内側重りと外側重りは互いに逆方向に振動することになる。そして、前記コリオリ力による内側重りと外側重りの互いの逆方向の振動が圧電/電歪素子に伝わって角速度として検出されることになる。
【0015】
このとき、外乱によって支持部に対し、ある方向に力が加わった場合、該外乱によって、内側重りと外側重りは、互いに同じ方向に振動することになる。しかし、本発明では、内側重りと外側重りの互いの逆方向への振動に基づいて角速度を検出しているため、内側重りと外側重りの同方向への振動は、角速度検出には関係がなく、前記外乱による影響は受けないこととなる。従って、本発明においては、外乱の発生に拘わらず高精度に角速度を検出することができる。
【0016】
そして、前記支持部、外側重り、内側振動板及び外側振動板を、共に環状に形成するようにしてもよい。この場合、前記圧電/電歪素子を、少なくとも複数の検出用圧電/電歪素子とし、少なくとも1軸方向に沿って配列形成することによって少なくとも1軸方向に関する角速度を検出することができる。もちろん、2軸方向に沿ってそれぞれ検出用圧電/電歪素子を配列することにより、2軸方向に関する角速度を検出することができる。
【0017】
また、前記圧電/電歪素子を、少なくとも1つの駆動用圧電/電歪素子と複数の検出用圧電/電歪素子とし、前記複数の検出用圧電/電歪素子を、少なくとも1軸方向に沿って配列形成するようにしてもよい。この場合、前記駆動用圧電/電歪素子と検出用圧電/電歪素子を、前記内側振動板及び外側振動板のいずれか一方にそれぞれ互い違いに形成してもよいし、前記駆動用圧電/電歪素子を、環状に形成するようにしてもよい。
【0018】
また、前記環状の駆動用圧電/電歪素子を、前記内側振動板及び外側振動板のいずれか一方に形成し、前記検出用圧電/電歪素子を、前記内側振動板及び外側振動板のうち、前記駆動用圧電/電歪素子が形成されていない振動板に形成するようにしてもよい。
【0019】
そして、前記複数の検出用圧電/電歪素子を、それぞれ分極方向が互いに逆向きとなるようにすれば、配線が容易となる。
【0020】
次に、本発明に係る振動ジャイロセンサの製造方法は、数種のセラミックグリーンシートを積層してグリーンシート積層体を作製する積層工程と、グリーンシート積層体を一体焼成して、支持部と、前記支持部の内側に配され、かつ、内側振動板によって振動可能とされた内側重りと、前記支持部の外側に配され、かつ、外側振動板によって振動可能とされた外側重りとを有し、前記支持部、外側重り、内側振動板及び外側振動板が共に環状に形成されたセラミック積層体を作製する工程と、前記内側振動板及び/又は外側振動板に前記圧電/電歪素子を形成する工程とを有することを特徴とする。
【0021】
これにより、外乱による影響を受け難く、角速度の検出を高精度に行うことができる振動ジャイロセンサを容易に作製することができ、高性能な振動ジャイロセンサの生産性の向上を図ることができる。
【0022】
そして、前記製造方法において、前記セラミック積層体は、前記支持部、前記内側重り及び前記外側重りに対して共通とされた最下層を有し、前記最下層を切断して、前記支持部、前記内側重り及び前記外側重りをそれぞれ分離するようにしてもよい。
【0023】
この場合、内側振動板及び外側振動板となる部分が非常に薄いと、グリーンシート積層体に対する焼成時に、内側振動板及び外側振動板となる部分に歪みが生じやすくなるが、前記最下層を積層することで、前記歪みの発生を回避することができ、信頼性の向上を図ることができる。
【0024】
また、前記積層工程は、内側振動板及び外側振動板を構成するための第1のセラミックグリーンシートに、前記外側重り、前記内側重り及び前記支持部を構成するための第2のセラミックグリーンシートを積層する工程とを有するようにしてもよい。これによって、簡単にグリーンシート積層体を構成することができる。
【0025】
また、前記第1のセラミックグリーンシートのうち、前記支持部が形成される部分に予め位置決め用の突起部を形成することが好ましい。この場合、前記支持部を所定の位置に形成することができるため、振動ジャイロセンサの歩留まりを向上させることができる。
【0026】
前記突起部は、環状に形成するようにしてもよいが、ねじれに対する変形が懸念されるため、前記支持部が形成される部分に対応して配列された複数の突起で構成することが好ましい。
【0027】
また、本発明に係る振動ジャイロセンサの製造方法は、数種のセラミックグリーンシートを積層してグリーンシート積層体を作製する積層工程と、グリーンシート積層体を一体焼成して、後に支持部が配される部分の内側に配され、かつ、振動板によって振動可能とされた内側重りと、後に支持部が配される部分の外側に配され、かつ、振動板によって振動可能とされた外側重りとを有するセラミック積層体を作製する工程と、前記振動板の所定箇所に支持部を配置して、前記振動板を内側振動板と外側振動板とし、前記セラミック積層体を、前記内側振動板によって振動可能とされた前記内側重りと、前記外側振動板によって振動可能とされた前記外側重りとを有し、前記支持部、外側重り、内側振動板及び外側振動板が共に環状に形成されたセラミック積層体とする工程と、前記内側振動板及び/又は外側振動板に前記圧電/電歪素子を形成する工程とを有することを特徴とする。
【0028】
この場合、支持部を別体の部材で構成することができるため、支持部の構成材料を、支持部が設置される環境に合わせて適宜選択することができ、様々な使用形態に対応させることができる。
【0029】
そして、前記支持部を、前記振動板の所定箇所に対して接着剤を介して固着することが好ましい。支持部を直接内側振動板及び外側振動板に固定させた場合、内側振動板及び外側振動板での振動が支持部を介して外部に伝達され、減衰が大きくなる。そのため、上述のように接着剤のように柔らかい材料を介在させることで、内側振動板及び外側振動板での振動が支持部に伝達し難くなり、上記のような振動の大きな減衰を回避することができる。
【0030】
もちろん、前記支持部で、前記振動板の所定箇所を挟持するようにしてもよい。この場合、振動板との間に柔らかい材料を介在させることが好ましい。
【0031】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る振動ジャイロセンサ及びその製造方法の実施の形態例を図1〜図50を参照しながら説明する。
【0032】
本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10は、図1及び図3に示すように、薄肉の円筒状に形成された支持部12と、該支持部12の内側に配され、環状の内側振動板14によって振動可能とされた円柱状の内側重り16と、支持部12の外側に配され、環状の外側振動板18によって振動可能とされた肉厚の円筒状を有する外側重り20とが一体的に形成された基体22と、該基体22上に形成された圧電/電歪素子部24とを有して構成されている。
【0033】
支持部12は、その先端が内側重り16や外側重り20よりも下方に突出するように形成され、該支持部12を例えば基台26等に固定することで、内側重り16や外側重り20が浮いた状態に保持されるようになっている。なお、内側振動板14と外側振動板18を一括して振動板28と記す。
【0034】
基体22については、全体をセラミックスもしくは金属を用いて構成されたもののほか、セラミックスと金属の材料で製造されたものを組み合わせたハイブリッド構造としてもよい。
【0035】
また、基体22は、各部を有機樹脂、ガラス等の接着剤で接着してなる構造、セラミックグリーン積層体を焼成により一体化してなるセラミック一体構造、ロウ付け、半田付け、共晶接合もしくは溶接等で一体化した金属一体構造等の構成を採用することができ、好ましくはセラミックグリーン積層体を焼成により一体化したセラミック積層体で基体22を構成することが望ましい。
【0036】
このようなセラミックスの一体化物は、各部の接合部に接着剤が介在しないことから、経時的な状態変化がほとんど生じないため、接合部位の信頼性が高く、かつ、剛性確保に有利な構造であることに加え、後述するセラミックグリーンシート積層法により、容易に製造することができる。
【0037】
振動板28は、強度(厚みや組成に基づく強度)が一様である必要はないが、内側重り16及び外側重り20との境界部分が高強度である方が、疲労による劣化が進行しにくいため、長期の信頼性に優れ、使用寿命の点で有利となる。
【0038】
また、外側重り20の外周の形、外側重り20の内周の形並びに内側重り16の外周の形は、円形のほか、正方形や正六角形などの多角形等、種々の形状を採用することができるが、なるべく対称性の高い形状が好ましい。もちろん、支持部12の形状も、外側重り20や内側重り16の形状に合わせて様々な形状をとりうる。
【0039】
そして、圧電/電歪素子部24は、後述のとおり別体として基体22に有機樹脂、ガラス等の接着剤や、ロウ付け、半田付け、共晶接合等で貼り付けられるほか、膜形成法を用いることにより、前記貼り付けではなく直接基体22に形成されることとなる。
【0040】
この圧電/電歪素子部24は、図1及び図2A〜図2Cに示すように、振動板28上に形成された環状の圧電/電歪層30と、該圧電/電歪層30と振動板28との間に形成された環状の下部電極32と、圧電/電歪層30上に形成された上部電極34とを有して構成されている。
【0041】
上部電極34は、図2Cに示すように、振動板28の内周側(内側振動板14に対応する箇所)に形成された環状の駆動電極36と、圧電/電歪層30の外周側(外側振動板18に対応する箇所)に円周に沿って形成された複数(図1の例では4つ)の円弧状の検出電極38a〜38dとを有して構成されている。
【0042】
そして、駆動電極36、圧電/電歪層30及び下部電極32にて1つの駆動用圧電/電歪素子40が構成され、第1〜第4の検出電極38a〜38d、圧電/電歪層30及び下部電極32にて第1〜第4の検出用圧電/電歪素子42a〜42dが構成される。
【0043】
また、第1〜第4の検出用圧電/電歪素子42a〜42dの分極方向は、互いに対向する圧電/電歪素子がそれぞれ逆向きとされ、例えば下部電極32を基準(例えば0V)として、X軸方向に沿って配列された第1及び第3の検出用圧電/電歪素子42a及び42cにおける各分極方向はそれぞれ+と−とされ、Y軸方向に沿って配列された第2及び第4の圧電/電歪素子42b及び42dにおける各分極方向はそれぞれ−と+とされている。なお、駆動用圧電/電歪素子40の分極方向は問わない。
【0044】
ここで、この実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10の動作について図4A〜図9Bを参照しながら説明する。なお、図4A〜図9Bにおいては、図面の複雑化を避けるために、圧電/電歪素子部24の記載を省略する。
【0045】
まず、駆動モードは、駆動用圧電/電歪素子40の駆動電極36に対して図4Aに示すような交番的な駆動電圧を印加する。これによって、図5A及び図5Bに示すように、駆動用圧電/電歪素子40における圧電/電歪層30が印加電圧の振幅に応じて歪み、これにより、内側振動板14が撓むことによって内側重り16が上下に振動することになる(駆動モード)。
【0046】
このとき、振動板28は、支持部12の上端を支点として振動することになるため、外側重り20は、内側重り16の振動方向とは逆方向に振動することとなる。つまり、図5Aに示すように、内側重り16が下向きに変位すれば、外側重り20は上向きに変位し、図5Bに示すように、内側重り16が上向きに変位すれば、外側重り20は下向きに変位する。
【0047】
このように、駆動モードにおいては、例えばX軸方向に関する第1及び第3の検出用圧電/電歪素子42a及び42cに関して見ると、互いに同じように伸び縮みすることとなるため、図6に示すように、第1及び第3の検出用圧電/電歪素子42a及び42cの各検出電極38a及び38bにはそれぞれ例えば負の電荷及び正の電荷が発生し、これにより、第1及び第3の検出用圧電/電歪素子42a及び42cの出力が打ち消し合って、結果として出力は0Vとなる。
【0048】
そして、内側重り16と外側重り20が互いに上下方向に振動している状態で、Y軸方向を中心として例えば時計方向の角速度ωが作用した場合、図7A及び図7Bに示すように、内側重り16及び外側重り20に対してX軸方向にコリオリ力Fxが発生することとなる(検出モード)。
【0049】
例えば、図5Aに示すように、内側重り16が下向きに変位し、外側重り20が上向きに変位している状態では、図7Aに示すように、前記角速度ωの作用によって、内側重り16に例えば右向きにコリオリ力Fxが働き、外側重り20に逆方向(この場合、左向き)にコリオリ力−Fxが働く。
【0050】
このとき、例えばX軸方向に関する第1及び第3の検出用圧電/電歪素子42a及び42cについてみると、第1の検出用圧電/電歪素子42aが引張変形し、第3の検出用圧電/電歪素子42cが圧縮変形することから、図8に示すように、第1及び第3の検出用圧電/電歪素子42a及び42cにおける各検出電極38a及び38cにはそれぞれ例えば負の電荷が帯電し、これにより、第1及び第3の検出用圧電/電歪素子42a及び42cの出力が互いに加算され、結果として各検出用圧電/電歪素子42a及び42cの出力を1Vとした場合、出力は同じく1Vとなる。
【0051】
同様に、図5Bに示すように、内側重り16が上向きに変位し、外側重り20が下向きに変位している状態では、図7Bに示すように、前記角速度ωの作用によって、内側重り16に例えば左向きにコリオリ力−Fxが働き、外側重り20に逆方向(この場合、右向き)にコリオリ力Fxが働く。
【0052】
第1及び第3の検出用圧電/電歪素子42a及び42cの合成出力は、図4Bに示すように、図4Aの駆動電圧の波形が下部電極32の電位(0V)となった時点においてピーク値を示すことになる。従って、この検出モードは、駆動電圧が0Vとなったタイミングに従って第1及び第3の検出用圧電/電歪素子42a及び42cからの出力を取り出す。この場合、駆動電圧から90°位相がずれた波形を検出する、いわゆる位相検波を行うことにより、角速度信号を容易に得ることができる。
【0053】
このように、本実施の形態においては、内側重り16に例えば上下方向の振動を与えた場合、外側重り20は、内側重り16の振動方向とは逆方向に振動することとなる。そのため、角速度ωの作用によって内側重り16に対し一方向(例えば右方向)にコリオリ力Fxが働くと、外側重り20にはその逆方向(この場合、左方向)にコリオリ力−Fxが働くこととなり、内側重り16と外側重り20は互いに逆方向に振動することになる。そして、前記コリオリ力による内側重り16と外側重り20の互いの逆方向の振動が圧電/電歪素子部24に伝わって角速度ωとして検出されることになる。
【0054】
このとき、外乱によって支持部12に対し、ある方向に力が加わった場合、該外乱によって、内側重り16と外側重り20は、互いに同じ方向に振動することになる。しかし、本実施の形態では、内側重り16と外側重り20の互いの逆方向への振動に基づいて角速度ωを検出しているため、内側重り16と外側重り20の同方向への振動は、角速度ωの検出には関係がなく、前記外乱による影響は受けないこととなる。従って、本実施の形態においては、外乱の発生に拘わらず高精度に角速度ωを検出することができる。
【0055】
ここで、従来例に係る振動ジャイロセンサと本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10との出力の比較について図9A及び図9Bを参照しながら説明する。
【0056】
図9A及び図9Bは、従来例に係る振動ジャイロセンサ及び本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10における駆動モードでの出力を示し、駆動モードの開始時点から0.1秒が経過する直前に外乱が生じた場合を示す。この場合、理想的には、検出出力は0Vを示すことになる。
【0057】
従来例に係る振動ジャイロセンサの出力は、図9Aに示すように、外乱による影響を直接受け、検出された出力値(角速度ω)が極端に高くなっているが、本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10においては、図9Bに示すように、外乱が発生しているにも拘わらず、検出出力の変動は非常に小さいものとなっており、外乱による影響をほとんど受けていないことがわかる。
【0058】
次に、本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10の寸法関係について説明する。
【0059】
まず、内側重り16と外側重り20の重量バランスと支持部12の位置については、内側重り16と外側重り20のバランスがとれる位置で支持することが好ましい。外乱による、駆動モード振動や検出モード振動の発生を抑制するためである。
【0060】
つまり、内側重り16及び外側重り20と支持部12のバランスが取れている場合には、外乱により、駆動モードや検出モードの変形が発生し難いため、好ましい。内側重り16及び外側重り20と支持部12のバランスが取れていない場合、例えば外側重り20の方が極端に重かったり、支持部12の位置が内側重り16に寄っている場合には、外乱により、駆動モードや検出モードの変形が発生し易くなり、検出信号にノイズが発生し易くなる。
【0061】
次に、内側重り16及び外側重り20の高さ(厚み)について説明する。駆動モードでの振動ジャイロセンサ10の共振周波数は、内側重り16及び外側重り20の質量のみで変化し、質量が大きくなると、共振周波数が低下する。
【0062】
一方、検出モードでの振動ジャイロセンサ10の共振周波数は、内側重り16及び外側重り20の質量と、これら内側重り16及び外側重り20の振動板28からの重心位置(モーメント)で変化する。この場合、質量が大きくなると共振周波数が低下し、また、規定の質量でも内側重り16及び外側重り20の重心位置が振動板28から遠ざかるほど共振周波数が低下する。
【0063】
従って、振動ジャイロセンサ10では、角速度ωの応答周波数(角速度変動への応答性)を確保するために、離調(駆動モードでの共振周波数よりも検出モードでの共振周波数を僅かに高くする)を行う。この離調度が適当になるように、内側重り16や外側重り20の高さ(厚み)を調整することが好ましい。
【0064】
次に、本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10の変形例、主に圧電/電歪素子部24に関する変形例について図10〜図39を参照しながら説明する。
【0065】
第1の変形例に係る振動ジャイロセンサ10aは、図10〜図12に示すように、上述した実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10とほぼ同様の構成を有するが、上部電極34の形成パターンが異なり、圧電/電歪層30の内周側(内側振動板14に対応する箇所)に内周に沿って複数(図4の例では4つ)の円弧状の上部電極34が形成されている。
【0066】
この場合、内側振動板14上に形成された4つの上部電極34を駆動電極36a〜36dとして使用してもよいし、検出電極38a〜38dとして使用してもよい。このことから、外側振動板18上に形成された4つの上部電極34は、内側振動板14上に形成された4つの上部電極34が駆動電極36a〜36dとして使用された場合は、検出電極38a〜38dとして使用され、反対に検出電極38a〜38dとして使用された場合は、駆動電極36a〜36dとして使用される。
【0067】
従って、この第1の変形例においては、第1〜第4の駆動用圧電/電歪素子40a〜40dが内側振動板14あるいは外側振動板18上に形成され、第1〜第4の検出用圧電/電歪素子42a〜42dが外側振動板18あるいは内側振動板14上に形成されることになる。この場合、リード線の取出し数は、検出電極38a〜38dの数+駆動電極36a〜36dの数+1(下部電極32の分)である。
【0068】
第2の変形例に係る振動ジャイロセンサ10bは、図13〜図15に示すように、上述の第1の変形例とほぼ同様の構成を有するが、下部電極32の形成パターンが異なり、内側振動板14上に環状の第1の下部電極32aが形成され、外側振動板18上に環状の第2の下部電極32bが形成されている。この場合、リード線の取出し数は、検出電極38a〜38dの数+駆動電極36a〜36dの数+2(下部電極32a及び32bの分)である。
【0069】
第3の変形例に係る振動ジャイロセンサ10cは、図16〜図18に示すように、上述の第2の変形例とほぼ同様の構成を有するが、下部電極32の形成パターンが異なり、8つの上部電極34にそれぞれ対応させて下部電極32a〜32hが形成されている。この場合、リード線の取出し数は、(検出電極38a〜38dの数+駆動電極36a〜36dの数)×2である。
【0070】
上述の第1〜第3の変形例に係る振動ジャイロセンサ10a〜10cのうち、第1の変形例に係る振動ジャイロセンサ10aがリード線の取出し数が少ないため、好ましい。
【0071】
第4の変形例に係る振動ジャイロセンサ10dは、図19〜図21に示すように、圧電/電歪素子部24が、外側振動板18上に形成された環状の下部電極32と、該下部電極32上に形成された環状の圧電/電歪層30と、該圧電/電歪層30上に形成された4つの上部電極34とを有して構成され、上部電極34は、互いに180°の位置にある2つの上部電極34が例えば駆動電極36a及び36bとして使用され、残りの2つの上部電極34が検出電極38a及び38bとして使用される。
【0072】
即ち、第1及び第2の駆動用圧電/電歪素子40a及び40b並びに第1及び第2の検出用圧電/電歪素子42a及び42bが共に外側振動板18上に形成されて、1軸方向の角速度が検出されるようになっている。
【0073】
第5の変形例に係る振動ジャイロセンサ10eは、図22〜図24に示すように、上述の第4の変形例とほぼ同様の構成を有するが、圧電/電歪素子部24が内側振動板14上に形成されている点で異なる。
【0074】
第6の変形例に係る振動ジャイロセンサ10fは、図25〜図27に示すように、圧電/電歪素子部24が、外径が外側振動板18の外径よりも僅かに大とされた円形の下部電極32と、該下部電極32上に形成された円形の圧電/電歪層30と、該圧電/電歪層30の上面のうち、内側振動板14に対応する位置に形成された環状の駆動電極36と、前記圧電/電歪層30の上面のうち、外側振動板18に対応する位置に形成された4つの検出電極38a〜38dとを有して構成されている。
【0075】
第7の変形例に係る振動ジャイロセンサ10gは、図28〜図30に示すように、上述の第6の変形例とほぼ同様の構成を有するが、環状の駆動電極36が外側振動板18に対応した位置に形成され、4つの検出電極38a〜38dが内側振動板14に対応した位置に形成されている点で異なる。
【0076】
第8の変形例に係る振動ジャイロセンサ10hは、図31〜図33に示すように、第1の変形例に係る振動ジャイロセンサ10aとほぼ同様の構成を有するが、下部電極32及び圧電/電歪層30がそれぞれ円形である点で異なる。
【0077】
第9の変形例に係る振動ジャイロセンサ10iは、図34〜図36に示すように、第8の変形例に係る振動ジャイロセンサ10hとほぼ同様の構成を有するが、内側振動板14上の上部電極34が、それぞれ45°だけずらして形成されている点で異なる。
【0078】
第10の変形例に係る振動ジャイロセンサ10jは、図37に示すように、上述した本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10とほぼ同様の構成を有するが、支持部12が別体で構成されている点で異なる。支持部12の構成材料として、金属、セラミックス、樹脂等を用いることができる。
【0079】
支持部12は、振動板28の所定箇所に対して接着剤(エポキシ樹脂、シリコーンゴム、シリコーンゲル等)44を介して固着されている。支持部12を直接振動板28に固定させた場合、振動板28の振動が支持部12を介して外部に伝達され、急速に減衰することになる。そのため、上述のように接着剤44のように柔らかい材料を介在させることで、振動板28での振動が支持部12に伝達し難くなり、上記のような振動の早期減衰を回避することができる。
【0080】
第11の変形例に係る振動ジャイロセンサ10kは、図38に示すように、上述した本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10とほぼ同様の構成を有するが、上部支持部12aと下部支持部12bで振動板28の所定箇所を上下から挟持した点で異なる。この場合、上部支持部12aと振動板28との間並びに下部支持部12bと振動板28との間にそれぞれ柔らかい材料46を介在させることが好ましい。
【0081】
第12の変形例に係る振動ジャイロセンサ10mは、図39に示すように、上述した実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10とほぼ同じ構成を有するが、基体22を天地逆にして、振動板28の部分を支持部12で支持した構造を有する点で異なる。なお、図37〜図39において、圧電/電歪素子部24を省略して示す。
【0082】
上述の第1〜第12の変形例に係る振動ジャイロセンサ10a〜10k、10mにおいても、上述した本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10と同様に、外乱による影響を受け難い構造を有しており、検出精度が外乱によって変動することがなく、高精度に角速度を検出することができる。
【0083】
次に、本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10の製造方法について図40〜図50を参照しながら説明する。
【0084】
この実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10は、各部材の構成材料をセラミックスとし、振動ジャイロセンサ10の構成要素として、圧電/電歪素子部24を除く基体22、即ち、内側重り16、外側重り20、振動板28及び支持部12についてはセラミックグリーンシート積層法を用いて製造することが好ましく、一方、圧電/電歪素子部24をはじめとして、図示しない各入出力端子については、薄膜や厚膜等の膜形成手法を用いて製造することが好ましい。
【0085】
振動ジャイロセンサ10の基体22における各部材を一体的に成形することが可能なセラミックグリーンシート積層法によれば、各部材の接合部の経時的な状態変化がほとんど生じないため、接合部位の信頼性が高く、かつ、剛性確保に有利な方法である。
【0086】
この実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10では、振動板28と内側重り16との境界部分、振動板28と外側重り20との境界部分、並びに振動板28と支持部12との境界部分は、変位発現の支点となるため、前記境界部分の信頼性は振動ジャイロセンサ10の特性を左右する重要なポイントである。
【0087】
また、以下に示す製造方法は、生産性や成形性に優れるため、所定形状の振動ジャイロセンサを短時間に、かつ、再現性よく得ることができる。
【0088】
以下、具体的に本実施の形態に係る振動ジャイロセンサ10の製造方法について説明する。ここで、定義付けをしておく。セラミックグリーンシートを積層して得られた積層体をセラミックグリーン積層体(例えば図15B参照)と定義し、このセラミックグリーン積層体を焼成、一体化したものをセラミック積層体と定義し、このセラミック積層体から不要な部分を切除して、内側重り16、外側重り20、振動板28及び支持部12が一体化されたものをセラミック基体と定義する。
【0089】
まず、ジルコニア等のセラミック粉末にバインダ、溶剤、分散剤、可塑剤等を添加混合してスラリーを作製し、これを脱泡処理後、リバースロールコーター法、ドクターブレード法等の方法により、所定の厚みを有するセラミックグリーンシートを作製する。
【0090】
次に、金型を用いた打抜加工やレーザ加工等の方法により、セラミックグリーンシートを図40A〜図40Cのような種々の形状に加工して、複数枚の基体形成用のセラミックグリーンシート50A〜50Cを得る。
【0091】
これらセラミックグリーンシート50A〜50Cは、振動板28を構成するための第1のセラミックグリーンシート50Aと、外側重り20、内側重り16及び支持部12を構成するための第2のセラミックグリーンシート50Bと、焼成時の歪みの発生を防止するための第3のセラミックグリーンシート50Cとを有する。
【0092】
第1のセラミックグリーンシート50Aとしては、焼成後の厚みが1〜50μmとなるような厚みのものが使用される。第2のセラミックグリーンシート50Bは、2層以上で構成され、焼成後の厚みが100〜2mmとなるように積層枚数が調整される。第3のセラミックグリーンシート50Cは、1層以上で構成され、焼成後の厚みが100〜500μmとなるように積層枚数が調整される。
【0093】
第2のセラミックグリーンシート50Bは、金型を用いた打抜加工やレーザ加工等によって、外側重り20を構成する部分50Baと、内側重り16を構成する部分50Bbと、支持部12を構成する部分50Bcの3つに分離されている。なお、セラミックグリーンシート50A〜50Cの枚数は、任意に設定することができる。また、多数個取りの場合は、例えば図41A〜図41Cに示すような形状のグリーンシート50A〜50Cを用いればよい。
【0094】
その後、図42に示すように、第1のセラミックグリーンシート50A上に複数枚の第2のセラミックグリーンシート50Bを積層し、更に、第3のセラミックグリーンシート50Cを積層・圧着して、セラミックグリーン積層体52とした後、該セラミックグリーン積層体52を焼成して、図43に示すように、セラミック積層体54を得る。この場合、図44に示すように、支持を容易にするために、第1のセラミックグリーンシート50Aの下面のうち、支持部12となる部分50Bcが積層される箇所に、第2のセラミックグリーンシート50Bのうち、支持部12を構成する部分50Bcと同様のグリーンシート50Bdを積層しておくことが好ましい。
【0095】
また、図45及び図46に示すように、第1のセラミックグリーンシート50A上に、第2のセラミックグリーンシート50Bを積層する際、支持部12を構成する部分50Bcの積層箇所を特定するために、予め第1のセラミックグリーンシート50Aに位置決め用の突起部60を形成しておくことが好ましい。
【0096】
この場合、前記支持部12を構成する部分50Bcを所定の位置に形成することができるため、振動ジャイロセンサ10の歩留まりを向上させることができる。突起部60は、図47に示すように、環状に形成するようにしてもよいが、検出モードでの振動板28の変形を容易にするために、図46に示すように、支持部12を構成する部分50Bcに対応して配列された複数の突起62で構成することが好ましい。
【0097】
なお、積層一体化のための圧着回数や順序は限定されない。構造に応じて、例えばセラミックグリーンシートの枚数等により所望の構造を得るように適宜決めることができる。この場合、セラミックグリーンシートの枚数、各セラミックグリーンシートの厚みも特に限定されない。
【0098】
圧着は、熱を加えることで、より積層性を向上させることができる。また、セラミック粉末(好ましくは、セラミックグリーンシートに使用されたセラミックスと同一又は類似した組成であることが信頼性確保の点で好ましい)、バインダを主体としたペースト、スラリー等をセラミックグリーンシート上に塗布、印刷して、接合補助層とすることで、セラミックグリーンシート界面の積層性を向上させることができる。なお、第1のセラミックグリーンシート50Aが薄い場合には、プラスチックフィルム、中でも表面にシリコーン系の離型剤をコーティングしたポリエチレンテレフタレートフィルムを用いて取り扱うことが好ましい。
【0099】
次に、図1〜図3に示すように、前記セラミック積層体54の表面のうち、振動板28として機能する部分に圧電/電歪素子部24を形成する。圧電/電歪素子部24の形成法としては、スクリーン印刷法、ディッピング法、塗布法、電気泳動法等の厚膜形成法や、イオンビーム法、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、化学気相成長法(CVD)、めっき等の薄膜形成法を用いることができる。
【0100】
このような膜形成法を用いて圧電/電歪素子部24を形成することにより、接着剤を用いることなく、圧電/電歪素子部24と振動板28とを一体的に接合、配設することができ、信頼性、再現性を確保できると共に、集積化を容易にすることができる。
【0101】
この場合、厚膜形成法により圧電/電歪素子部24を形成することが好ましい。特に、圧電/電歪層30の形成において厚膜形成法を用いれば、平均粒径0.01〜5μm、好ましくは0.05〜3μmの圧電セラミックスの粒子、粉末を主成分とするペーストやスラリー、又はサスペンションやエマルジョン、ゾル等を用いて膜化することができ、それを焼成することによって良好な圧電/電歪特性を得ることができるからである。
【0102】
なお、電気泳動法は、膜を高い密度で、かつ、高い形状精度で形成できるという利点がある。また、スクリーン印刷法は、膜形成とパターン形成とを同時にできるため、製造工程の簡略化に有利である。
【0103】
具体的に、圧電/電歪素子部24の形成について説明する。まず、セラミックグリーン積層体52を1200℃〜1600℃の温度で焼成、一体化してセラミック積層体54を得た後、該セラミック積層体54の表面の所定位置に下部電極32を印刷、焼成し、次いで、圧電/電歪層30を印刷、焼成し、更に、上部電極34を印刷、焼成して圧電/電歪素子部24を形成する。
【0104】
ここで、下部電極32として白金(Pt)、圧電/電歪層30としてジルコン酸チタン酸鉛(PZT)、上部電極34として金(Au)というように、各部材の焼成温度が積層順に従って低くなるように材料を選定すると、ある焼成段階において、それより以前に焼成された材料の再焼結が起こらず、電極材等の剥離や凝集といった不具合の発生を回避することができる。
【0105】
なお、適当な材料を選択することにより、圧電/電歪素子部24の各部材を逐次印刷して、1回で一体焼成することも可能であり、圧電/電歪層30を形成した後に低温で上部電極34を設けることもできる。
【0106】
また、圧電/電歪素子部24の各部材は、スパッタ法や蒸着法等の薄膜形成法によって形成してもよく、この場合には、必ずしも熱処理を必要としない。
【0107】
圧電/電歪素子部24の形成においては、セラミックグリーン積層体52の表面、即ち、振動板28として機能する部分の表面に予め圧電/電歪素子部24の前駆体を形成しておき、該セラミックグリーン積層体52と圧電/電歪素子部24の前駆体とを同時に焼成することも好ましく行われる。同時焼成にあたっては、セラミックグリーン積層体52と圧電/電歪素子部24のすべての構成膜に対して焼成を行うようにしてもよく、下部電極32とセラミックグリーン積層体52とを同時焼成したり、上部電極34を除く他の構成膜とセラミックグリーン積層体52とを同時焼成する方法等が挙げられる。
【0108】
圧電/電歪素子部24とセラミックグリーン積層体52とを同時焼成する方法としては、スラリー原料を用いたテープ成形法等によって圧電/電歪層30の前駆体を成形し、この焼成前の圧電/電歪層30の前駆体をセラミックグリーン積層体52の表面上に熱圧着等で積層し、同時に焼成して内側重り16、外側重り20、振動板28及び支持部12を同時に作製する方法が挙げられる。但し、この方法では、上述した膜形成法を用いて、セラミックグリーン積層体52の表面及び/又は圧電/電歪層30に予め下部電極32を形成しておく必要がある。
【0109】
その他の方法としては、セラミックグリーン積層体52の少なくとも最終的に振動板28となる部分にスクリーン印刷により圧電/電歪素子部24の各構成層である下部電極32、圧電/電歪層30及び上部電極34を形成し、同時に焼成することが挙げられる。
【0110】
圧電/電歪素子部24の構成膜の焼成温度は、これを構成する材料によって適宜決定されるが、一般には、500℃〜1500℃であり、圧電/電歪層30に対しては、好ましくは1000℃〜1400℃である。この場合、圧電/電歪層30の組成を制御するためには、圧電/電歪層30の材料の蒸発源の存在下に焼結することが好ましい。なお、圧電/電歪層30とセラミックグリーン積層体52を同時焼成する場合には、両者の焼成条件を合わせることが必要である。
【0111】
ここで、振動板28となる部分が非常に薄いと、グリーンシート積層体52に対する焼成時に、振動板28となる部分に歪みが生じやすくなるが、前記第3のセラミックグリーンシート50Cを積層することで、前記歪みの発生を回避することができ、信頼性の向上を図ることができる。
【0112】
次に、上述のようにして、図48に示すように、圧電/電歪素子部24が形成されたセラミック積層体54のうち、不要な部分、即ち、第3のセラミックグリーンシート50Cが焼成・圧着によって形成された最下層70を切除して、支持部12、内側重り16及び外側重り20が一体形成されたセラミック基体72を作製する。
【0113】
この切除処理は、ダイシングを用いて最下層70のみが切断されるように行う。ダイシングによる最下層を除去するための切断線CLaの例を図49に示す。多数個取りの場合のダイシングによる最下層を除去するための切断線CLaとチップ分割のための切断線CLbの例を図50に示す。
【0114】
切除の方法としては、ダイシング加工のほか、ワイヤソー加工等の機械加工や、YAGレーザ、エキシマレーザ等のレーザ加工、電子ビーム加工を適用することが可能である。
【0115】
上述の例では、第3のセラミックグリーンシート50Cを積層して最下層70を形成するようにしたが、振動板28がある程度の強度を有する場合は、第3のセラミックグリーンシート50Cを積層しなくてもよい。この場合、上述の切除処理を省略することができる。
【0116】
このように、本実施の形態に係る製造方法においては、外乱による影響を受け難く、角速度の検出を高精度に行うことができる振動ジャイロセンサ10を容易に作製することができ、高性能な振動ジャイロセンサ10の生産性の向上を図ることができる。
【0117】
なお、この発明に係る振動ジャイロセンサ及びその製造方法は、上述の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【0118】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る振動ジャイロセンサ及びその製造方法によれば、外乱による影響を受け難く、角速度の検出を高精度に行うことができ、しかも、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係る振動ジャイロセンサの構成を示す平面図である。
【図2】図2Aは本実施の形態に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図2Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図2Cは上部電極を示す平面図である。
【図3】図1のIII−III線上の断面図である。
【図4】図4Aは駆動用圧電/電歪素子の駆動電極に印加される駆動電圧を示す波形図であり、図4Bは検出用圧電/電歪素子を通じて検出される出力を示す波形図である。
【図5】図5Aは駆動モード時の1つの形態を示す説明図であり、図5Bは駆動モード時の他の形態を示す説明図である。
【図6】駆動モード時において、検出用圧電/電歪素子を通じて検出される出力を示す説明図である。
【図7】図7Aは検出モード時の1つの形態を示す説明図であり、図7Aは検出モード時の他の形態を示す説明図である。
【図8】検出モード時において、検出用圧電/電歪素子を通じて検出される出力を示す説明図である。
【図9】図9Aは従来例に係る振動ジャイロセンサの出力波形を示す説明図であり、図9Bは本実施の形態に係る振動ジャイロセンサの出力波形を示す説明図である。
【図10】第1の変形例に係る振動ジャイロセンサを示す平面図である。
【図11】図11Aは第1の変形例に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図11Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図11Cは上部電極を示す平面図である。
【図12】図10のXII−XII線上の断面図である。
【図13】第2の変形例に係る振動ジャイロセンサを示す平面図である。
【図14】図14Aは第1の変形例に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図14Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図14Cは上部電極を示す平面図である。
【図15】図13のXV−XV線上の断面図である。
【図16】第3の変形例に係る振動ジャイロセンサを示す平面図である。
【図17】図17Aは第3の変形例に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図17Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図17Cは上部電極を示す平面図である。
【図18】図16のXVIII−XVIII線上の断面図である。
【図19】第4の変形例に係る振動ジャイロセンサを示す平面図である。
【図20】図20Aは第1の変形例に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図20Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図20Cは上部電極を示す平面図である。
【図21】図19のXXI−XXI線上の断面図である。
【図22】第5の変形例に係る振動ジャイロセンサを示す平面図である。
【図23】図22Aは第1の変形例に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図22Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図22Cは上部電極を示す平面図である。
【図24】図22のXXIV−XXIV線上の断面図である。
【図25】第6の変形例に係る振動ジャイロセンサを示す平面図である。
【図26】図26Aは第1の変形例に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図26Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図26Cは上部電極を示す平面図である。
【図27】図25のXXVII−XXVII線上の断面図である。
【図28】第7の変形例に係る振動ジャイロセンサを示す平面図である。
【図29】図29Aは第1の変形例に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図29Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図29Cは上部電極を示す平面図である。
【図30】図28のXXX−XXX線上の断面図である。
【図31】第8の変形例に係る振動ジャイロセンサを示す平面図である。
【図32】図32Aは第1の変形例に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図32Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図32Cは上部電極を示す平面図である。
【図33】図31のXXXI−XXXI線上の断面図である。
【図34】第9の変形例に係る振動ジャイロセンサを示す平面図である。
【図35】図35Aは第1の変形例に係る振動ジャイロセンサの圧電/電歪素子部を構成する下部電極を示す平面図であり、図35Bは圧電/電歪層を示す平面図であり、図35Cは上部電極を示す平面図である。
【図36】図34のXXXVI−XXXVI線上の断面図である。
【図37】第10の変形例に係る振動ジャイロセンサを概略的に示す断面図である。
【図38】第11の変形例に係る振動ジャイロセンサを概略的に示す断面図である。
【図39】第12の変形例に係る振動ジャイロセンサを概略的に示す断面図である。
【図40】図40Aは単数取りの場合の第1のセラミックグリーンシートを示す平面図であり、図40Bは同じく第2のセラミックグリーンシートを示す平面図であり、図40Cは同じく第3のセラミックグリーンシートを示す平面図である。
【図41】図41Aは多数個取りの場合の第1のセラミックグリーンシートを示す平面図であり、図41Bは同じく第2のセラミックグリーンシートを示す平面図であり、図41Cは同じく第3のセラミックグリーンシートを示す平面図である。
【図42】セラミックグリーン積層体を示す断面図である。
【図43】セラミック積層体を示す断面図である。
【図44】好ましいセラミックグリーン積層体の積層形態の一例を示す断面図である。
【図45】第1のセラミックグリーンシートに突起部を設けた状態を示す断面図である。
【図46】第1のセラミックグリーンシートに突起部を設けた状態を示す底面図である。
【図47】突起部の他の例を示す底面図である。
【図48】セラミック積層体に圧電/電歪素子部を形成した状態を示す断面図である。
【図49】単数取りの場合におけるダイシング加工の切断線の一例を示す説明図である。
【図50】多数個取りの場合におけるダイシング加工の切断線の一例を示す説明図である。
【図51】図51Aは従来例に係る振動ジャイロセンサの駆動モード時の形態を示す説明図であり、図51Bは検出モード時の形態を示す説明図である。
【図52】図52Aは他の従来例に係る振動ジャイロセンサの駆動モード時の形態を示す説明図であり、図52Bは検出モード時の形態を示す説明図である。
【符号の説明】
10、10a〜10k、10m…振動ジャイロセンサ
12…支持部 14…内側振動板
16…内側重り 18…外側振動板
20…外側重り 22…基体
24…圧電/電歪素子部 28…振動板
30…圧電/電歪層 32、32a〜32h…下部電極
34…上部電極 36、36a〜36d…駆動電極
38a〜38d…検出電極
40、40a〜40d…駆動用圧電/電歪素子
42a〜42d…検出用圧電/電歪素子 44…接着剤
46…柔らかい材料
50A…第1のセラミックグリーンシート
50B…第2のセラミックグリーンシート
50C…第3のセラミックグリーンシート
52…セラミックグリーン積層体 54…セラミック積層体
60…突起部 62…突起
70…最下層 72…セラミック基体
Claims (16)
- 支持部と、
前記支持部の内側に配され、内側振動板によって振動可能とされた内側重りと、
前記支持部の外側に配され、外側振動板によって振動可能とされた外側重りと、
前記内側振動板及び/又は外側振動板上に形成された圧電/電歪素子とを有し、
前記支持部、外側重り、内側振動板及び外側振動板は共に環状に形成されていることを特徴とする振動ジャイロセンサ。 - 請求項1記載の振動ジャイロセンサにおいて、
駆動モードのピーク時点で、前記内側重りが下死点に到達するように設定されていることを特徴とする振動ジャイロセンサ。 - 請求項1又は2記載の振動ジャイロセンサにおいて、
前記圧電/電歪素子は、少なくとも複数の検出用圧電/電歪素子であって、少なくとも1軸方向に沿って配列形成されていることを特徴とする振動ジャイロセンサ。 - 請求項1又は2記載の振動ジャイロセンサにおいて、
前記圧電/電歪素子は、少なくとも1つの駆動用圧電/電歪素子と複数の検出用圧電/電歪素子であって、
前記複数の検出用圧電/電歪素子は、少なくとも1軸方向に沿って配列形成されていることを特徴とする振動ジャイロセンサ。 - 請求項4記載の振動ジャイロセンサにおいて、
前記駆動用圧電/電歪素子と検出用圧電/電歪素子は、前記内側振動板及び外側振動板のいずれか一方にそれぞれ互い違いに形成されていることを特徴とする振動ジャイロセンサ。 - 請求項4記載の振動ジャイロセンサにおいて、
前記駆動用圧電/電歪素子は、環状に形成されていることを特徴とする振動ジャイロセンサ。 - 請求項6記載の振動ジャイロセンサにおいて、
前記環状の駆動用圧電/電歪素子は、前記内側振動板及び外側振動板のいずれか一方に形成され、
前記検出用圧電/電歪素子は、前記内側振動板及び外側振動板のうち、前記駆動用圧電/電歪素子が形成されていない振動板に形成されていることを特徴とする振動ジャイロセンサ。 - 請求項3〜7のいずれか1項に記載の振動ジャイロセンサにおいて、
前記複数の検出用圧電/電歪素子は、それぞれ分極方向が互いに逆向きであることを特徴とする振動ジャイロセンサ。 - 数種のセラミックグリーンシートを積層してグリーンシート積層体を作製する積層工程と、
グリーンシート積層体を一体焼成して、支持部と、前記支持部の内側に配され、かつ、内側振動板によって振動可能とされた内側重りと、前記支持部の外側に配され、かつ、外側振動板によって振動可能とされた外側重りとを有し、前記支持部、外側重り、内側振動板及び外側振動板が共に環状に形成されたセラミック積層体を作製する工程と、
前記内側振動板及び/又は外側振動板に前記圧電/電歪素子を形成する工程とを有することを特徴とする振動ジャイロセンサの製造方法。 - 請求項9記載の振動ジャイロセンサの製造方法において、
前記セラミック積層体は、前記支持部、前記内側重り及び前記外側重りに対して共通とされた最下層を有し、
前記最下層を切断して、前記支持部、前記内側重り及び前記外側重りをそれぞれ分離することを特徴とする振動ジャイロセンサの製造方法。 - 請求項9又は10記載の振動ジャイロセンサの製造方法において、
前記積層工程は、
内側振動板及び外側振動板を構成するための第1のセラミックグリーンシートに外側重り、内側重り及び支持部を構成するための第2のセラミックグリーンシートを積層する工程とを有することを特徴とする振動ジャイロセンサの製造方法。 - 請求項11記載の振動ジャイロセンサの製造方法において、
前記第1のセラミックグリーンシートのうち、前記支持部が形成される部分に予め位置決め用の突起部を形成することを特徴とする振動ジャイロセンサの製造方法。 - 請求項12記載の振動ジャイロセンサの製造方法において、
前記突起部は、前記支持部が形成される部分に対応して配列された複数の突起で構成されていることを特徴とする振動ジャイロセンサの製造方法。 - 数種のセラミックグリーンシートを積層してグリーンシート積層体を作製する積層工程と、
グリーンシート積層体を一体焼成して、後に支持部が配される部分の内側に配され、かつ、振動板によって振動可能とされた内側重りと、後に支持部が配される部分の外側に配され、かつ、振動板によって振動可能とされた外側重りとを有するセラミック積層体を作製する工程と、
前記振動板の所定箇所に支持部を配置して、前記振動板を内側振動板と外側振動板とし、前記セラミック積層体を、前記内側振動板によって振動可能とされた前記内側重りと、前記外側振動板によって振動可能とされた前記外側重りとを有し、前記支持部、外側重り、内側振動板及び外側振動板が共に環状に形成されたセラミック積層体とする工程と、
前記内側振動板及び/又は外側振動板に前記圧電/電歪素子を形成する工程とを有することを特徴とする振動ジャイロセンサの製造方法。 - 請求項14記載の振動ジャイロセンサの製造方法において、
前記支持部を、前記振動板の所定箇所に対して接着剤を介して固着することを特徴とする振動ジャイロセンサの製造方法。 - 請求項14記載の振動ジャイロセンサの製造方法において、
前記支持部で、前記振動板の所定箇所を挟持することを特徴とする振動ジャイロセンサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000089961A JP3765961B2 (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | 振動ジャイロセンサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000089961A JP3765961B2 (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | 振動ジャイロセンサ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001280971A JP2001280971A (ja) | 2001-10-10 |
JP3765961B2 true JP3765961B2 (ja) | 2006-04-12 |
Family
ID=18605641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000089961A Expired - Fee Related JP3765961B2 (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | 振動ジャイロセンサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3765961B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005052966A1 (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 変位素子 |
JP2005340631A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Sony Corp | 圧電素子部品及び電子装置 |
EP1754953B1 (en) * | 2005-08-08 | 2013-01-09 | Northrop Grumman Guidance and Electronics Company, Inc. | Ring resonator gyroscope with cylindrical ring suspension |
EP2090866A4 (en) * | 2006-11-20 | 2011-08-31 | Dainippon Printing Co Ltd | DYNAMIC QUANTITY DETECTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
JP5453791B2 (ja) * | 2008-12-05 | 2014-03-26 | ヤマハ株式会社 | 圧電体素子及びその製造方法、並びに該圧電体素子を用いた角速度センサ |
JP6076634B2 (ja) * | 2012-07-17 | 2017-02-08 | 日本碍子株式会社 | センシング素子 |
-
2000
- 2000-03-28 JP JP2000089961A patent/JP3765961B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001280971A (ja) | 2001-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6391672B2 (en) | Vibration gyro sensor and method for producing vibration gyro sensor | |
JP2000102268A (ja) | 圧電/電歪デバイス | |
JPWO2007091417A1 (ja) | 振動子モジュール | |
WO2008059757A1 (fr) | Capteur | |
JP2010177867A (ja) | 圧電スピーカ | |
WO2010095412A1 (ja) | 慣性力センサ | |
WO2014119609A1 (ja) | 角速度センサ及びその製造方法 | |
JP3765961B2 (ja) | 振動ジャイロセンサ及びその製造方法 | |
JP4812000B2 (ja) | 力学量センサ | |
JP2000275127A (ja) | 力センサ回路 | |
CN112113552A (zh) | 一种微型振动陀螺仪敏感单元及陀螺仪 | |
CN114697837A (zh) | 一种骨传导传声装置 | |
JP6455751B2 (ja) | Mems圧電センサ | |
JP2010122141A (ja) | Memsセンサ | |
CN212378765U (zh) | 一种微型振动陀螺仪敏感单元及陀螺仪 | |
JP5534938B2 (ja) | 圧電スピーカ | |
WO2020162436A1 (ja) | センサ装置 | |
JP2000261057A (ja) | 変位制御デバイス及びアクチュエータ | |
CN114697822A (zh) | 一种传声器装置 | |
JPH0989569A (ja) | 振動ジャイロ | |
US20230362550A1 (en) | Electroacoustic transducer | |
JP2001185773A (ja) | 圧電/電歪デバイス | |
JPH1194555A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP5235361B2 (ja) | センサ | |
JPH09287956A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050602 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051018 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090203 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100203 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100203 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110203 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120203 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130203 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130203 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |