JPWO2009107728A1 - 搬送装置、真空処理装置、及び搬送方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一つの態様は、基板を搬送する搬送装置である。搬送装置は、前記基板を立てた状態で支持しながら第1の搬送路と第2の搬送路との間で同基板を搬送する搬送トレーと、前記搬送トレーを支持可能なトレーステージと、前記トレーステージを上昇させて前記搬送トレーを前記各搬送路から離脱させ、前記トレーステージを下降させて前記搬送トレーを前記各搬送路へ載置するリフト機構と、前記リフト機構を前記第1及び第2の搬送路間で移動させるスライド機構と、を備え、前記リフト機構は、前記トレーステージの上昇と連動して前記搬送トレーを前記トレーステージにロックし、前記トレーステージの下降と連動して前記搬送トレーのロック状態を解除するロック機構を含む。
図3(a)〜(d)は、トラバース装置30を用いた基板Sの搬送工程を示す図である。まず、搬送室15の内部では、図3(a)に示すように、トレーステージ38が往路R1の位置(以下単に、初期位置と言う。)に配置されている。また、フック37が解除位置に配置されて搬送トレー17の移動軌跡から離間している。
(1)トラバース装置30は、トレーステージ38の下降と上昇とによって該搬送路R1,R2に対する搬送トレー17の載置と離脱とを選択的に行うリフト機構32と、リフト機構32を搬送路R1,R2間で移動するスライド機構31とを有する。そして、リフト機構32は、トレーステージ38の上昇と連動して搬送トレー17をトレーステージ38にロックし、トレーステージ38の下降と連動して搬送トレー17のロック状態を解除するロック機構(一実施例では、フック37およびリンク部材39)を有する。
(7)真空処理装置10は、搬送室15にトラバース装置30を搭載することから、搬送処理におけるトレーステージ38(搬送トレー17)の昇降回数を最小限に抑えられ、ひいては、基板Sに関わる一連の処理工程において、スループットを向上させられる。
・フック37は、トレーステージ38の上下動を受けて上下動する構成であっても良い。すなわち、フック37は、トレーステージ38の上下動に連動して、搬送トレー17をロックするロック位置と搬送トレー17のロック状態を解除する解除位置との間を(例えば支持アーム36に沿って上下に)移動する構成でも良い。この場合、好ましくは、フック37を下方に移動させると同時に、もしくは下方に移動させた後に、該フック37を搬送トレー17の移動軌跡から退避させるのがよい。
Claims (13)
- 基板を搬送する搬送装置であって、
前記基板を立てた状態で支持しながら第1の搬送路と第2の搬送路との間で同基板を搬送する搬送トレーと、
前記搬送トレーを支持可能なトレーステージと、
前記トレーステージを上昇させて前記搬送トレーを前記各搬送路から離脱させ、前記トレーステージを下降させて前記搬送トレーを前記各搬送路へ載置するリフト機構と、
前記リフト機構を前記第1及び第2の搬送路間で移動させるスライド機構と、を備え、
前記リフト機構は、
前記トレーステージの上昇と連動して前記搬送トレーを前記トレーステージにロックし、前記トレーステージの下降と連動して前記搬送トレーのロック状態を解除するロック機構を含むことを特徴とする搬送装置。 - 請求項1に記載する搬送装置において、
前記トレーステージが、前記第1搬送路上及び第2搬送路上に選択的に配置されることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1に記載する搬送装置において、
前記トレーステージが、前記リフト機構に上下動可能に支持されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項3に記載する搬送装置は更に、
前記ロック機構と前記トレーステージとを連結し、前記トレーステージの上下動に連動して前記ロック機構を作動させるリンクを備えることを特徴とする搬送装置。 - 請求項4に記載する搬送装置において、
前記搬送トレーが前記各搬送路に載置されるまで前記トレーステージが下降するとき、前記リンクは、前記ロック機構を前記搬送トレーの移動軌跡から外れる位置まで移動させることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載する搬送装置において、
前記ロック機構は、
前記搬送トレーの被係着部と係着することによって前記トレーステージに前記搬送トレーをロックするロック位置と、前記被係着部から離間することによって前記搬送トレーのロック状態を解除する解除位置との間を移動する係着部を含むことを特徴とする搬送装置。 - 請求項6に記載する搬送装置において、
前記係着部は、前記ロック位置と前記解除位置とに選択的に位置するように前記リフト機構に回動自在に支持されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項7に記載する搬送装置において、
前記リフト機構は、前記係着部を回動自在に支持する支持アームを含み、
前記支持アームに前記トレーステージが上下動可能に支持されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項8に記載する搬送装置において、
前記ロック機構は、
前記係着部として機能するフックと、
前記トレーステージと前記フックとの間に連結され、前記トレーステージの上昇と下降とを前記フックへ伝達して前記フックを前記ロック位置と前記解除位置とへ選択的に移動させるリンクとを含むことを特徴とする搬送装置。 - 請求項9に記載する搬送装置において、
前記フックは、前記ロック位置と前記解除位置との間を回動し、
前記リンクは、前記トレーステージの上下動を前記フックの回動に変換することを特徴とする搬送装置。 - 請求項1〜10のいずれか1つに記載の搬送装置であって、
前記リフト機構が、前記スライド機構の上部に設けられたことを特徴とする搬送装置。 - 真空処理装置であって、
基板を立てた状態で支持する搬送トレーと、
前記搬送トレーが移動可能な第1及び第2の搬送路と、
前記第1及び第2の搬送路上に設置されており、前記搬送トレーに支持された前記基板を真空下で処理する真空処理室と、
前記第1及び第2の搬送路上に設置されるとともに前記真空処理室に連結されており、前記搬送トレーが、前記基板を立てた状態で支持しながら前記第1の搬送路と前記第2の搬送路との間で同基板を搬送するために使用される搬送室と、を備え、
前記搬送室が、
前記搬送トレーを支持可能なトレーステージと、
前記トレーステージを上昇させて前記搬送トレーを前記各搬送路から離脱させ、前記トレーステージを下降させて前記搬送トレーを前記各搬送路へ載置するリフト機構と、
前記リフト機構を前記第1及び第2の搬送路間で移動させるスライド機構と、を含み、
前記リフト機構が、
前記トレーステージの上昇と連動して前記搬送トレーを前記トレーステージにロックし、前記トレーステージの下降と連動して前記搬送トレーのロック状態を解除するロック機構を含むことを特徴とする真空処理装置。 - 基板を立てた状態で支持する搬送トレーを第1の搬送路から第2の搬送路へ移動させる搬送方法であって、
前記第1の搬送路にトレーステージを配置すること、
前記トレーステージを上昇させて、前記第1の搬送路上に位置する前記搬送トレーを前記トレーステージ上へ載置すること、
前記トレーステージを前記第1の搬送路から前記第2の搬送路へ移動させること、
前記トレーステージを下降させて、前記トレーステージ上の前記搬送トレーを前記第2の搬送路上へ載置することを備え、
前記トレーステージを上昇させることは、前記トレーステージの上昇に連動するロック機構によって、その上昇時に前記搬送トレーを前記トレーステージにロックすることを含み、
前記トレーステージを下降させることは、前記トレーステージの下降に連動する前記ロック機構によって、その下降時に前記搬送トレーのロック状態を解除することを含むことを特徴とする搬送方法。
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