JPWO2009001451A1

JPWO2009001451A1 - 検出装置及び試験装置

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Publication number: JPWO2009001451A1
Application number: JP2009520252A
Authority: JP
Inventors: 亮藤部
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2007-06-27
Filing date: 2007-06-27
Publication date: 2010-08-26
Anticipated expiration: 2027-06-27
Also published as: JP5143836B2; TW200900713A; TWI386666B; US20090006025A1; DE112007003570T5; WO2009001451A1; KR20100034030A; US7840858B2

Abstract

互いに位相が異なる複数のストローブ信号を生成するマルチストローブ生成部と、複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおける被測定信号の信号値をそれぞれ取得する複数の取得部と、隣接する２つのストローブ信号に応じて取得された２つの信号値が異なる場合に、当該２つのストローブ信号の間に被測定信号の変化点があったことを検出する複数の変化点検出部と、複数の変化点検出部のうち、有効とする変化点検出部を設定するマスク設定部と、有効とされた変化点検出部の出力に基づいて、被測定信号の変化タイミングを出力する変化タイミング出力部とを備える検出装置を提供する。

Description

本発明は、検出装置及び試験装置に関する。特に本発明は、被測定信号の信号値の変化点を検出する検出装置及び試験装置に関する。

従来、マルチストローブ機能を有する試験装置が開示されている（特許文献１参照）。このような試験装置は、半導体デバイス等の被試験デバイスが出力する被測定信号を、位相をわずかずつ異ならせた複数のストローブ信号（マルチストローブ信号）のそれぞれにより取得し、取得結果に基づき被測定信号の変化タイミングを検出する。
特開２００４−１２７４５５号公報

そのような試験装置では、試験サイクル期間に対する一組のマルチストローブ信号のカバーする期間は限られているので、被測定信号値の変化点が試験サイクル期間の広い範囲のどこに位置するかがわからない場合があった。その場合には、試験装置は、例えば、マルチストローブ信号の各ストローブ信号の位相間の間隔を広げ、試験サイクル期間に対する一組のマルチストローブ信号のカバーする期間を広げることで変化点を検出できる。しかし、マルチストローブ信号のカバー期間を広げると、例えば、試験サイクル期間中に被測定信号値の変化点が複数有る場合には、試験装置は、検出目的の変化点以外の誤った変化点を検出してしまう場合がある。

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる検出装置及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、互いに位相が異なる複数のストローブ信号を生成するマルチストローブ生成部と、前記複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおける被測定信号の信号値をそれぞれ取得する複数の取得部と、隣接する２つのストローブ信号に応じて取得された２つの信号値が異なる場合に、当該２つのストローブ信号の間に前記被測定信号の変化点があったことを検出する複数の変化点検出部と、前記複数の変化点検出部のうち、有効とする前記変化点検出部を設定するマスク設定部と、有効とされた前記変化点検出部の出力に基づいて、前記被測定信号の変化タイミングを出力する変化タイミング出力部とを備える検出装置を提供する。

また、本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記被試験デバイスに対して試験信号を供給する試験信号供給部と、前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力する被測定信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備え、前記判定部は、互いに位相が異なる複数のストローブ信号を生成するマルチストローブ生成部と、前記複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおける被測定信号の信号値をそれぞれ取得する複数の取得部と、隣接する２つのストローブ信号に応じて取得された２つの信号値が異なる場合に、当該２つのストローブ信号の間に前記被測定信号の変化点があったことを検出する複数の変化点検出部と、前記複数の変化点検出部のうち、有効とする前記変化点検出部を設定するマスク設定部と、有効とされた前記変化点検出部の出力に基づいて、前記被測定信号の変化タイミングを出力する変化タイミング出力部と、前記被測定信号の変化タイミングに基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する良否判定器とを有する試験装置を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す。本実施形態に係る判定回路３４の構成の一例を示す。（ａ）、（ｂ）は被測定信号とストローブ信号の関係の一例を示す。（ａ）〜（ｄ）は被測定信号と間隔の狭いストローブ信号の関係の一例を示す。（ａ）、（ｂ）は被測定信号と間隔の広いストローブ信号の関係の一例を示す。（ａ）〜（ｆ）はジッタが発生した被測定信号とストローブ信号の関係の一例を示す。（ａ）〜（ｃ）はジッタとグリッチが発生した被測定信号とストローブ信号の関係の一例を示す。（ａ）〜（ｆ）は変化点を有する被測定信号とストローブ信号の関係の一例を示す。本実施形態に係る良否判定器３７０の構成の一例を示す。本実施形態に係る試験装置１００における概略動作のフローチャートを示す。本実施形態に係る試験装置１００における変形例の概略動作のフローチャートを示す。本実施形態に係るシステム制御部２０のハードウェア構成の一例を示す。

符号の説明

１０タイミング発生器
１２パターン発生器
１４波形成形器
（１０，１２，１４）試験信号供給部
１６判定部
２０システム制御部
３０マルチストローブ生成部
３４判定回路
１００試験装置
２００被試験デバイス
３００取得部
３００ａ第１取得部
３００ｂ第２取得部
３００ｃ第３取得部
３００ｄ第４取得部
３００ｅ第ｎ取得部
３１０変化点検出部
３１０ａ第１変化点検出部
３１０ｂ第２変化点検出部
３１０ｃ第３変化点検出部
３１０ｄ第４変化点検出部
３１０ｅ第ｎ変化点検出部
３２０変化点マスキング部
３２０ａ第１変化点マスキング部
３２０ｂ第２変化点マスキング部
３２０ｃ第３変化点マスキング部
３２０ｄ第４変化点マスキング部
３２０ｅ第ｎ変化点マスキング部
３３０マスク設定部
３４０基準信号設定部
３５０基準信号選択部
３６０変化タイミング出力部
３６０ａＤＱ側変化タイミング出力部
３６０ｂＤＱＳ側変化タイミング出力部
３７０良否判定器
３７５レベル検出部
３８０差分器
３９０位相差オフセット比較部
４００判定部
４０１１相目レベル信号
４０２変化点位相信号
４０２ａＤＱ側変化点位相信号
４０２ｂＤＱＳ側変化点位相信号
４０３グリッチ検出信号
４０５位相差信号
５０１良否判定結果信号
６００ＣＰＵ
６１０ＲＯＭ
６２０ＲＡＭ
６３０通信インターフェイス
６４０ハード・ディスク・ドライブ
６５０フレキシブル・ディスク・ドライブ
６６０ＣＤ−ＲＯＭドライブ
６９０フレキシブル・ディスク
６９５ＣＤ−ＲＯＭ

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す。試験装置１００は、複数のストローブ信号を有するマルチストローブ信号を用いて、被試験デバイス（ＤＵＴ）２００の被測定信号の値を検出して、被試験デバイス２００を試験する。試験装置１００は、タイミング発生器１０、パターン発生器１２、及び波形成形器１４を有する試験信号供給部、判定部１６、及び、システム制御部２０を備える。

試験信号供給部は、被試験デバイス２００に対して試験信号を供給する。タイミング発生器１０は、試験装置１００を動作させるためのタイミング信号を生成する。例えば、タイミング発生器１０は、パターン発生器１２から、被試験デバイス２００に試験パターンを供給するタイミングを示すテストセット信号を受信する。また、タイミング発生器１０は、被試験デバイス２００に試験パターンを供給するタイミングを示す信号を、波形成形器１４に供給する。また、タイミング発生器１０は、マルチストローブ生成部３０が発生させるマルチストローブ信号の発生タイミングを示すストローブ信号をマルチストローブ生成部３０に供給する。また、タイミング発生器１０は、試験装置１００の動作を同期させる基準クロックを生成し、試験装置１００の各構成要素に供給する。

パターン発生器１２は、被試験デバイス２００を試験するための試験パターンを生成して波形成形器１４に供給する。それと共に、パターン発生器１２は、その試験パターンが入力されることにより被試験デバイス２００から出力が期待される期待値信号を判定回路３４に出力する。波形成形器１４は、受信した試験パターンを成形する。また、波形成形器１４は、タイミング発生器１０から受け取ったタイミングを示す信号に応じて、成形した試験パターンを被試験デバイス２００に供給する。判定部１６は、被試験デバイス２００が試験信号（試験パターン）に応じて出力する被測定信号に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定して良否判定結果信号５０１を出力する。判定部１６は、マルチストローブ生成部３０と判定回路３４とを有する。

マルチストローブ生成部３０は、タイミング発生器１０から受けるストローブ信号に基づいて、一定間隔づつ位相が異なる複数相のストローブ信号であるマルチストローブ信号を生成する。マルチストローブ信号の相数は、例えば１６相、３２相等の所定数である。また、マルチストローブ信号は、試験サイクル内においてタイミング発生器１０から指定されたストローブ位相位置を起点として１６発、あるいは、３２発のストローブ信号を所定の一定間隔毎に出力する。マルチストローブ信号については、図３〜図８を用いて後述する。ここで、複数相のストローブ信号において、被測定信号の注目区間を細かい位相間隔に設定し、注目以外の区間を粗い位相間隔に設定することにより、有限個の相数を有効活用できる。また、複数相のストローブ信号は、一定間隔以外に、所望の位相間隔を適用する場合もある。

判定回路３４は、複数相のマルチストローブ信号により、被試験デバイス２００から出力された被測定信号を各相のタイミングでラッチ検出する。判定回路３４は、さらにその被測定信号値の変化点を検出する。一方、判定回路３４には、被試験デバイス２００が試験パターン入力に対して出力すると期待される信号（期待値信号）が、パターン発生器１２から供給される。判定回路３４は、パターン発生器１２からの期待値信号から、被測定信号の値が変化するタイミング（変化点）の期待値情報を検出する。判定回路３４は、例えば、期待値信号の変化点と被試験デバイス２００の被測定信号の変化点を比較する。また、判定回路３４は、期待値信号の変化点の範囲内に、被試験デバイス２００の被測定信号の変化点が存在するか否かにより、被試験デバイス２００の良否を判定して良否判定結果信号５０１を出力する。

システム制御部２０は、例えば、図１１を用いて後述するコンピュータ装置であり、試験装置１００内の各部を制御する。また、システム制御部２０は、判定回路３４から良否判定結果信号５０１を受信すると共に、１相目レベル信号４０１、変化点位相信号４０２、及び、グリッチ検出信号４０３を受信し、次の試験サイクルにおける、マスク設定部３３０へのマスキングするストローブ信号の位相の設定値と、基準信号設定部３４０への基準信号を出力する取得部の設定値を決めて出力する。

被試験デバイス２００としては、例えば、ＤＤＲ−ＳＤＲＡＭ（Double Data Rate-SDRAM）等の半導体素子を利用した集積回路であってもよい。ＤＤＲ−ＳＤＲＡＭは、クロック（ＤＱＳ）信号の立ち上がり又は立ち下がりに同期してデータ（ＤＱ）信号を出力し、データの受け渡しにおける、セットアップ／ホールドのタイミング条件を緩和する。このようなデバイスにおいては、データのセットアップ／ホールドを誤り無く行うために、被測定信号とクロックとの間に、所定のセットアップタイム及びホールドタイムが必要になる。被試験デバイス２００がＤＤＲ−ＳＤＲＡＭである場合、判定部１６は、ＤＤＲ−ＳＤＲＡＭの被測定信号、及び被測定信号に同期して出力されるクロック信号であるＤＱＳを出力信号として受け取る。この場合、判定部１６は、受けとった被測定信号及びクロック信号に基づいて、被試験デバイス２００のセットアップ／ホールド試験を行い、被試験デバイス２００の良否を判定する。具体的には、判定部１６は、被測定信号及びクロック信号をそれぞれ別のマルチストローブにより取得し、変化点の位相差に基づきセットアップ／ホールド試験を行う。

図２は、本実施形態に係る判定回路３４の構成の一例を示す。判定回路３４は、本実施形態に係る検出装置の一例であり、レベル検出部３７５と、複数の取得部３００ａ〜ｅと、複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅと、複数の変化点マスキング部３２０ａ〜ｅと、マスク設定部３３０と、変化タイミング出力部３６０と、良否判定器３７０とを有する。

レベル検出部３７５は、被試験デバイス２００から出力されるアナログ電圧の被測定信号を入力し、信号レベルに応じた論理値を出力する。例えば、レベル検出部３７５は、入力電圧が所定のしきい値電圧ＶＯよりも上か下かで、１か０等の異なる値を出力する。また、レベル検出部３７５は、例えば、所定のしきい値電圧を高電位側のＶＯＨと低電位側のＶＯＬの２系統を有する。レベル検出部３７５は、入力電圧が低電位側から高電位側に遷移する場合には、所定のしきい値電圧として高電位側のＶＯＨを用い、入力電圧が高電位側から低電位側に遷移する場合には、所定のしきい値電圧として低電位側のＶＯＬを用いてもよい。

複数の取得部３００ａ〜ｅは、マルチストローブ生成部３０から複数のストローブ信号が入力され、複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおける被測定信号の信号値をそれぞれ取得する。さらに、複数の取得部３００ａ〜ｅは、その信号値を後段の変化点検出部３１０と基準信号選択部３５０に出力する。複数の取得部３００ａ〜ｅは、例えば、各々が各ストローブ信号をクロックとして被測定信号をラッチするフリップフロップであってよい。複数の取得部３００ａ〜ｅは、第１取得部３００ａ、第２取得部３００ｂ、第３取得部３００ｃ、第４取得部３００ｄ、・・・、第ｎ取得部３００ｅ（ｎは正の整数）を含む。

第１取得部３００ａは、レベル検出部３７５の出力値と、マルチストローブ信号における第１の位相のストローブ信号が入力され、第１の位相のストローブ信号のタイミングで検出されたレベル検出部３７５の出力値を出力する。

第２取得部３００ｂは、レベル検出部３７５の出力値と、マルチストローブ信号における第２の位相のストローブ信号が入力され、第２の位相のストローブ信号のタイミングで検出されたレベル検出部３７５の出力値を出力する。

第３取得部３００ｃ以降の各取得部も同様に、レベル検出部３７５の出力値と、マルチストローブ信号における対応する位相のストローブ信号が入力され、そのストローブ信号のタイミングで検出されたレベル検出部３７５の出力値を出力する。

複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅは、複数の取得部３００ａ〜ｅから各被測定信号の信号値が入力され、隣接する２つのストローブ信号に応じて取得された２つの信号値が異なる場合に、当該２つのストローブ信号の間に被測定信号の変化点があったことを検出する。さらに、複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅは、その検出結果を後段の変化点マスキング部３２０に出力する。複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅは、例えば、各々が複数の取得部３００ａ〜ｅ内の対応する取得部とそれに隣接して後側のストローブ信号側の取得部から出力される各被測定信号の信号値を入力する排他的論理和ゲートであってよい。複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅは、第１変化点検出部３１０ａ、第２変化点検出部３１０ｂ、第３変化点検出部３１０ｃ、第４変化点検出部３１０ｄ、・・・、第ｎ変化点検出部３１０ｅ（ｎは正の整数）を含む。

第１変化点検出部３１０ａには、第１取得部３００ａの出力と、第２取得部３００ｂの出力とが入力され、双方の値が異なる場合に変化点検出信号を出力する。すなわち、第１変化点検出部３１０ａは、被試験デバイス２００から出力された被測定信号のレベルが、第１の位相のストローブ信号のタイミングと第２の位相のストローブ信号のタイミングとで異なる場合に、変化点検出信号を出力する。

同様に第２変化点検出部３１０ｂは、被試験デバイス２００から出力された被測定信号のレベルが、第２の位相のストローブ信号のタイミングと第３の位相のストローブ信号のタイミングとで異なる場合に、変化点検出信号を出力する。また、第３変化点検出部３１０ｃ以降の各変化点検出部も、被試験デバイス２００から出力された被測定信号のレベルが、対応する順番の位相のストローブ信号のタイミングとその次の位相のストローブ信号のタイミングとで異なる場合に、変化点検出信号を出力する。

複数の変化点マスキング部３２０ａ〜ｅは、複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅから被測定信号の変化点の検出結果を入力し、マスク設定部３３０の設定内容に従い、複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅのうち、有効とする変化点検出部３１０の検出結果を後段の変化タイミング出力部３６０に出力し、有効ではない変化点検出部３１０の検出結果についてはマスキングする。複数の変化点マスキング部３２０ａ〜ｅは、例えば、各々が複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅ内の対応する変化点検出部から出力される被測定信号の変化点の検出結果とマスク設定部３３０の出力とを入力する論理積ゲートであってよい。複数の変化点マスキング部３２０ａ〜ｅは、第１変化点マスキング部３２０ａ、第２変化点マスキング部３２０ｂ、第３変化点マスキング部３２０ｃ、第４変化点マスキング部３２０ｄ、・・・、第ｎ変化点マスキング部３２０ｅを含む。

第１変化点マスキング部３２０ａには、第１変化点検出部３１０ａの出力と、マスク設定部３３０の出力とが入力され、第１の位相のストローブ信号のタイミングと第２の位相のストローブ信号のタイミングの間における被測定信号値の変化点が検出され、第１の位相のストローブ信号のタイミングがマスキングの対象ではない場合に、変化点検出信号を出力する。具体的には、第１変化点マスキング部３２０ａは、第１変化点検出部３１０ａの出力をマスクしない場合に論理値１を、マスクする場合に論理値０となるマスク信号をマスク設定部３３０から入力し、第１変化点検出部３１０ａの出力とマスク信号との論理積を出力する。

同様に第２変化点マスキング部３２０ｂには、第２変化点検出部３１０ｂの出力と、マスク設定部３３０の出力とが入力され、第２の位相のストローブ信号のタイミングと第３の位相のストローブ信号のタイミングの間における被測定信号値の変化点が検出され、第２の位相のストローブ信号のタイミングがマスキングの対象ではない場合に、変化点検出信号を出力する。また、第３変化点マスキング部３２０ｃ以降の各変化点マスキング部も、対応する順番の変化点検出部の出力と、マスク設定部３３０の出力とが入力され、対応する順番の位相のストローブ信号のタイミングとその次の位相のストローブ信号のタイミングの間における被測定信号値の変化点が検出され、対応する順番の位相のストローブ信号のタイミングがマスキングの対象ではない場合に、変化点検出信号を出力する。

マスク設定部３３０は、複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅのうち、有効とする変化点検出部３１０を設定する。具体的には、マスク設定部３３０は、各変化点検出部３１０に対応する設定レジスタを有する。

基準信号設定部３４０は、複数の取得部３００ａ〜ｅにより取得された複数の信号値のうちいずれの信号値を、被測定信号の変化前または変化後の値を示す基準信号値とするかを設定する。例えば、被測定信号の変化前の値を示す基準信号値を設定する場合には、試験装置１００は、マルチストローブ信号の初期位相に対応する第１取得部３００ａの出力を、基準信号とするように、基準信号設定部３４０に設定してよい。

また、例えば、被測定信号の変化後の値を示す基準信号値を設定する場合には、試験装置１００は、取得部３００でマルチストローブ信号により検出された各信号値のうちのストローブ信号の位相が最後の信号値を基準信号設定部３４０に設定してよい。例えば、パターン発生器１２のパターンメモリに記載されたマルチストローブ信号の期待値を反転して用いる場合、基準信号設定部３４０は、ストローブ信号の位相が最前である信号値を基準信号値として設定するのに変えて、ストローブ信号の位相が最後である信号値が基準信号値として設定されてよい。これにより、基準信号設定部３４０は、パターン発生器１２のパターンメモリ中の試験パターンのデータを変更せずに、試験パターンの期待値を反転させることができる。

また、基準信号設定部３４０は、変化点検出部３１０に入力される信号値のうち、マスク設定部３３０により有効と設定されて、対応するストローブ信号の位相が最前または最後である信号値を、基準信号値として設定することができる。例えば、前回の試験サイクル（第１の試験サイクル）において被測定信号値の変化点が複数となるグリッチが検出された場合、システム制御部２０によりマスク設定部３３０に有効とする変化点検出部３１０が設定される。システム制御部２０は、マスキングされない（有効と設定された）ストローブ信号の位相により検出される各信号値のうちの、最前の信号値か最後の信号値を、基準信号設定部３４０に次回の試験サイクル（第２の試験サイクル）における基準信号として設定する。

なお、基準信号選択部３５０から出力される基準信号値は、被測定信号の信号値そのものであってもよく、レベル検出部３７５から出力するＨ側またはＬ側のレベルコンパレータ出力のうち、期待値に応じたレベルコンパレータから出力されたパス／フェイル値であってもよい。基準信号値は、パス／フェイル値であっても、信号値を表している。

基準信号選択部３５０は、複数の信号値の中から何れかの信号値を選択して出力する。基準信号選択部３５０は、複数の取得部３００ａ〜ｅの各出力信号と基準信号設定部３４０の出力信号が入力され、基準信号設定部３４０に設定された取得部３００からの出力信号を、１相目レベル信号４０１として選択して良否判定器３７０に出力する。例えば、基準信号設定部３４０により第１取得部３００ａの出力が基準信号として設定されている場合、基準信号選択部３５０は、第１取得部３００ａの出力を選択して、１相目レベル信号４０１として良否判定器３７０に出力する。同様に、基準信号設定部３４０により第２取得部３００ｂの出力が基準信号として設定されている場合、基準信号選択部３５０は、第２取得部３００ｂの出力を選択して、１相目レベル信号４０１として良否判定器３７０に出力する。以降も同様に、基準信号設定部３４０により第３取得部３００ｃ以降の取得部の出力が基準信号として設定されている場合には、基準信号選択部３５０は、その取得部の出力を選択して、１相目レベル信号４０１として良否判定器３７０に出力する。通常は、全ての取得部３００ａ〜３００ｅの区間の中で、マスク設定部３３０で設定される有効な検出区間における先頭位置を示すように設定される。これによれば、１相目レベル信号４０１のＨ／Ｌレベルから被測定信号がＬレベルから遷移したか、Ｈレベルから遷移したかを特定できるので、良否判定の条件に利用できる。

変化タイミング出力部３６０は、有効とされた変化点検出部３１０の出力に基づいて、被測定信号の変化タイミングを出力する。変化タイミング出力部３６０は、例えば、プライオリティエンコーダであり、複数の変化点マスキング部３２０ａ〜ｅの各出力が入力され、その入力に基づき、どのストローブ信号の位相において被測定信号値の変化点が検出されたかを示す変化点位相信号４０２、及び、複数の変化点が存在することを示すグリッチ検出信号４０３を良否判定器３７０に出力する。

良否判定器３７０は、被測定信号の変化タイミングに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。良否判定器３７０は、基準信号選択部３５０からの１相目レベル信号４０１と、変化タイミング出力部３６０からの変化点位相信号４０２及びグリッチ検出信号４０３と、パターン発生器１２からの複数ビットの期待値信号を入力し、１相目レベル信号４０１、変化点位相信号４０２、グリッチ検出信号４０３、及び良否判定結果信号５０１を出力する。また、良否判定器３７０は、良否判定結果信号５０１をパターン発生器１２にも出力し、パターン発生器１２から出力されるパターンを次の試験用に変更させることができる。ここで、良否判定器３７０と、基準信号選択部３５０、及び変化タイミング出力部３６０との間にはフェイルメモリが設けられていてもよい。この場合、フェイルメモリには、基準信号選択部３５０及び変化タイミング出力部３６０の出力を書き込む。良否判定器３７０は、試験後又は試験途中にフェイルメモリの内容を読み出して上記制御を行ってよい。なお、図２の構成例では、パターン発生器１２からリアルタイムに期待値データを変更可能な複数ビットの期待値信号を受ける場合であるが、リアルタイム性が要求されない場合には、良否判定器３７０内に期待値レジスタ（図示なし）を設けて、上記同様の良否判定を行うようにしてよい。

このように本実施形態の判定部１６では、マルチストローブ信号の各ストローブ信号に対応する被測定信号の信号値を取得して信号値の変化点を得る際に、複数の変化点マスキング部３２０ａ〜ｅ、マスク設定部３３０、基準信号設定部３４０、及び、基準信号選択部３５０等により、グリッチ等の不要な変化点をマスクできる。さらに本実施形態の判定部１６では、マスクの対象外のストローブ信号における最前又は最後の検出信号値を、基準値として設定することができる。従って、本実施形態の判定部１６は、ジッタの変動幅が大きい場合でも一組のマルチストローブ信号で被測定信号値の変化点を検出できることに加え、被測定信号値の変化点が複数検出される場合にも、検出目的の変化点以外の誤った変化点をマスクすることで検出しないようにできる。

図３（ａ）、（ｂ）は、被測定信号とストローブ信号の関係の一例を示す。図３（ａ）では、ＤＵＴ出力は、例えば、被試験デバイス２００からレベル検出部３７５へと入力される被測定信号である。ＶＯＨは、レベル検出部３７５における高電位側のしきい値、ＶＯＬは、レベル検出部３７５における低電位側のしきい値である。例えば、入力電圧が低電位側から高電位側に遷移する場合には、所定のしきい値電圧として高電位側のＶＯＨを用い、入力電圧が高電位側から低電位側に遷移する場合には、所定のしきい値電圧として低電位側のＶＯＬを用いてもよい。図３（ｂ）は、例えば、１６位相のマルチストローブ信号であり、最前（左端）のストローブ信号が指定したストローブの位相である。また、各ストローブ間隔は、例えば、数十ｐ秒であり、試験サイクルに対して非常に短く設定されてよい。

図４（ａ）〜（ｄ）は、被測定信号と間隔の狭いストローブ信号の関係の一例を示す。図４（ａ）では、ＤＵＴ出力は、試験サイクル内に一つの被測定信号値の変化点がある場合の一例を示す。図４（ｂ）では、（ａ）の被測定信号値の変化点に対して、各ストローブ間隔が狭いマルチストローブ信号（Ａ）が、試験サイクル内の前側の位置で発生を開始及び終了してしまっており、被測定信号値の変化点を検出できない場合の一例を示す。この場合には、試験装置１００は、マルチストローブ信号（Ａ）の開始位相の位置を、試験サイクル内の後ろ側の位置に変えて再度、被測定信号値の変化点検出する。

図４（ｃ）では、まだ（ａ）の被測定信号値の変化点に対して、マルチストローブ信号（Ａ）が、試験サイクル内の前側の位置で発生を開始及び終了してしまっており、被測定信号値の変化点を検出できない場合の一例を示す。この場合には、試験装置１００は、マルチストローブ信号（Ａ）の開始位相の位置を、試験サイクル内において（ｃ）の場合よりもさらに後ろ側の位置に変えて再度、被測定信号値の変化点検出する。図４（ｄ）は、（ａ）の被測定信号値の変化点に対して、マルチストローブ信号（Ａ）で被測定信号値の変化点を検出できた場合の一例を示す。この場合には、試験装置１００は、マルチストローブ信号（Ａ）の開始位相の位置を変えて再度、被測定信号値の変化点を検出しない。試験装置は、検出された被測定信号値の変化点を利用して試験を実施、あるいは、試験結果を判定することができる。

図３（ａ）、（ｂ）及び図４（ａ）〜（ｄ）に示された信号入力がある場合に、マルチストローブ信号（Ａ）を用いる試験装置では、ストローブ信号の相数が固定され、各ストローブ信号間の時間間隔が非常に小さく、試験サイクル期間に対してマルチストローブ信号（Ａ）でカバーする期間が少ないので、一回のマルチストローブ信号（Ａ）では被測定信号値の変化点が検出できない場合がある。その場合の試験装置は、試験サイクル期間内のマルチストローブ信号（Ａ）が始まる位相の位置を変更して、被測定信号値の変化点が見つかるまで値の検出処理等を繰り返す。

図５（ａ）、（ｂ）は、被測定信号と間隔の広いストローブ信号の関係の一例を示す。図５（ａ）では、ＤＵＴ出力は、試験サイクル内に一つの被測定信号値の変化点がある場合の一例を示す。図５（ｂ）は、（ａ）の被測定信号値の変化点に対して、各ストローブ間隔を広げることで試験サイクル内のカバー範囲を広げたマルチストローブ信号（Ｂ）により被測定信号値の変化点を検出できた場合の一例を示す。この場合には、試験装置１００は、マルチストローブ信号（Ｂ）の開始位相の位置を変えて再度、被測定信号値の変化点を検出しなくてもよい。試験装置１００は、検出された被測定信号値の変化点を利用して試験を実施、あるいは、試験結果を判定することができる。

図５（ａ）、（ｂ）に示された信号入力がある場合に、マルチストローブ信号（Ｂ）を用いる試験装置では、マルチストローブ信号の各ストローブ信号間の各位相間の間隔を広げることで、試験サイクル期間に対する一組のマルチストローブ信号のカバー期間を大きくして被測定信号値の変化点を検出できる。

図６（ａ）〜（ｆ）は、ジッタが発生した被測定信号とストローブ信号の関係の一例を示す。図６（ａ）では、ＤＵＴ出力の被測定信号値の変化点に、非常に大きいジッタが発生した場合の一例を示す。図６（ｂ）では、（ａ）の大きいジッタが発生した被測定信号値の変化点を、マルチストローブ信号（Ａ）で検出しようとする場合の一例を示す。図６（ｃ）では、（ａ）の大きいジッタが発生した被測定信号値の変化点が、ジッタ範囲の最前側である場合の一例を示す。図６（ｄ）では、（ｃ）のジッタ範囲の最前側の被測定信号値の変化点を、マルチストローブ信号（Ａ）の最前側のストローブ信号で検出できない場合の一例を示す。図６（ｅ）では、（ｃ）と同様に、（ａ）の大きいジッタが発生した被測定信号値の変化点が、ジッタ範囲の最前側である場合の一例を示す。図６（ｆ）では、（ａ）の被測定信号値の変化点に対して、マルチストローブ信号（Ｂ）により被測定信号値の変化点を検出できる場合の一例を示す。

図６（ａ）〜（ｄ）に示したようにマルチストローブ信号（Ａ）を用いる試験装置では、ジッタの変動幅がマルチストローブ信号の全相数の期間幅よりも大きい場合には、１つの試験サイクルでは、被測定信号値の変化点を検出できないことがある。そこで試験装置１００は、試験サイクル期間内のマルチストローブ信号が始まる位相の位置を変更して検出処理を繰り返す。それに対して、図６（ｅ）、（ｆ）に示に示したように、各ストローブ信号間の時間間隔を広げて一組のマルチストローブ信号のカバー期間を大きくしたマルチストローブ信号（Ｂ）を用いる試験装置では、ジッタの変動幅が大きい場合でも、一組のマルチストローブ信号で被測定信号値の変化点を検出できる。

図７（ａ）〜（ｃ）は、ジッタとグリッチが発生した被測定信号とストローブ信号の関係の一例を示す。図７（ａ）では、ＤＵＴ出力の被測定信号値の変化点にジッタとグリッチが発生し、検出対象でない前側変化点のジッタが大きく、検出対象の後側変化点のジッタが比較的小さい場合の一例を示す。図７（ｂ）は、（ａ）の後側変化点の比較的小さいジッタで目的とする被測定信号値の変化点を、マルチストローブ信号（Ａ）で検出できる場合の一例を示す。図７（ｃ）は、（ａ）の後側変化点の比較的小さいジッタで目的とする被測定信号値の変化点を、マルチストローブ信号（Ｂ）でも検出できるが、（ａ）の前側変化点の大きいジッタの目的外の被測定信号値の変化点も検出してしまう場合の一例を示す。

図７（ａ）、（ｂ）に示したように、狭い範囲のマルチストローブ信号（Ａ）を適切なタイミングで用いることができれば、試験装置１００は、目的とする被測定信号値の変化点を検出できる。しかし、図７（ａ）、（ｃ）に示したように、広い範囲のマルチストローブ信号（Ｂ）を用いる場合、検出目的の被測定信号値の変化点以外の誤った被測定信号値の変化点も検出してしまうことがある。

図８（ａ）〜（ｆ）は、被測定信号値の変化点を有する被測定信号とストローブ信号の関係の一例を示す。
図８（ａ）は、試験サイクル期間内に被測定信号の被測定信号値の変化点を一つ有し、マルチストローブ信号（Ｂ）の最前のストローブ信号の位相における信号値が良（ｐａｓｓ）の基準信号値である場合の一例を示す。
図８（ｂ）は、試験サイクル期間内に被測定信号の被測定信号値の変化点を一つ有し、マルチストローブ信号（Ｂ）の最前のストローブ信号の位相における信号値が否（ｆａｉｌ）の基準信号値である場合の一例を示す。
図８（ｃ）は、試験サイクル期間内に被測定信号の被測定信号値の変化点が無く、マルチストローブ信号（Ｂ）の最前のストローブ信号の位相における信号値が良（ｐａｓｓ）の基準信号値である場合の一例を示す。
図８（ｄ）は、試験サイクル期間内に被測定信号の被測定信号値の変化点が無く、マルチストローブ信号（Ｂ）の最前のストローブ信号の位相における信号値が否（ｆａｉｌ）の基準信号値である場合の一例を示す。
図８（ｅ）は、試験サイクル期間内に被測定信号の被測定信号値の変化点（グリッチ）を複数有し、マルチストローブ信号（Ｂ）の最前のストローブ信号の位相における信号値が良（ｐａｓｓ）の基準信号値である場合の一例を示す。
図８（ｆ）は、試験サイクル期間内に被測定信号の被測定信号値の変化点（グリッチ）を複数有し、マルチストローブ信号（Ｂ）の最前のストローブ信号の位相における信号値が否（ｆａｉｌ）の基準信号値である場合の一例を示す。

図８（ａ）〜（ｄ）に示された信号入力がある場合で、マルチストローブ信号（Ｂ）を用いる場合、試験装置１００は、例えば、マルチストローブ信号（Ｂ）の最前のストローブ信号の位相における信号値を基準信号値とする。試験装置１００は、その後のストローブ信号の位相で被測定信号値の変化点の有無を検出することで、被測定信号値の変化点が良（ｐａｓｓ）から否（ｆａｉｌ）の変化であるか、あるいは逆の変化であるかを検出できる。そして試験装置１００は、その変化点を利用して試験を実施、あるいは、試験結果を判定することができる。
また、図８（ｅ）、（ｆ）に示された信号入力がある場合で、マルチストローブ信号（Ｂ）を用いる場合、試験装置１００は、例えば、被測定信号値の変化点の数が複数か否かによりグリッチを検出して後段の制御回路に基準信号値と被測定信号値の変化点の有無とグリッチの有無を通知する。これにより、試験装置１００は、被測定信号であるＤＵＴ出力の概略波形を通知することができる。つまり、ここで示した試験装置１００は、基準信号値と、変化点の有無と、グリッチの検出結果を通知することで、被測定信号値とマルチストローブ信号のタイミング比較結果を全て伝送することなくＤＵＴ出力の概略波形を通知することができる。しかし、マルチストローブ信号（Ｂ）を用いる場合の試験装置１００は、例えば図８（ｅ）又は（ｆ）の入力に対してグリッチが検出されると、検出目的の変化点を検出することができないことがある。それに対して本実施形態の試験装置１００は、図８（ｅ）又は（ｆ）のような入力がある場合でも、検出目的以外の変化点以外をマスクすることで、検出目的の変化点のみを検出することができる。

図９は、本実施形態に係る良否判定器３７０の内部構成の一例を示す。ＤＱ側変化タイミング出力部３６０ａは、基本的に図２に示した変化タイミング出力部３６０と同様であるが、入力される信号がデータ（ＤＱ）信号であり、ＤＱ側変化点位相信号４０２ａとしてデータ（ＤＱ）信号の変化点の位相を出力する。ＤＱＳ側変化タイミング出力部３６０ｂも、基本的に図２に示した変化タイミング出力部３６０と同様であるが、入力される信号がクロック（ＤＱＳ）信号であり、ＤＱＳ側変化点位相信号４０２ｂとしてクロック（ＤＱＳ）信号の変化点の位相を出力する。差分器３８０は、ＤＱＳ側変化点位相信号４０２ｂとＤＱ側変化点位相信号４０２ａを入力して、両信号のタイミングの差分を求めて、その結果を位相差信号４０５として出力する。

例えば、位相差オフセット比較部３９０は、入力した位相差信号４０５を、試験装置１００と被試験デバイス２００の仕様により予め規定されたオフセット範囲と比較する。つまり、クロック信号と被測定信号の位相差を仕様と比較して比較結果を出力する。判定部４００は、クロック信号と被測定信号の位相差が仕様範囲外である場合、良否判定結果信号５０１として不合格（フェイル）をシステム制御部２０に出力する。判定部４００は、クロック信号と被測定信号の位相差が仕様範囲内である場合には、良否判定結果信号５０１として合格（パス）をシステム制御部２０に出力する。また、判定部４００は、クロック信号と被測定信号の位相差が仕様範囲外である場合で、条件を変えて再試験する場合も、システム制御部２０に不合格（フェイル）を出力する。
システム制御部２０は、不合格（フェイル）を受信した場合、マスク設定部３３０および基準信号設定部３４０に対して設定の変更を出力する。システム制御部２０は、次の試験サイクルの試験では、その設定により試験を実施する。

図１０は、本実施形態に係る試験装置１００における概略動作のフローチャートを示す。システム制御部２０は、試験パターン入力に対する被試験デバイス２００からの被測定信号（被測定信号）と同期して、マルチストローブ生成部３０からマルチストローブ信号（Ｂ）を判定回路３４に出力する（Ｓ１）。判定回路３４のレベル検出部３７５は、被測定信号のアナログ信号値からデジタル信号値を取得し、取得部３００に出力する（Ｓ２）。取得部３００では、マルチストローブ信号（Ｂ）により各ストローブ信号の位相における各信号値を、変化点検出部３１０と基準信号選択部３５０に出力する。

基準信号選択部３５０は、基準信号設定部３４０に設定された基準信号に従い、例えば、目的の変化点を検出するための１相目のストローブ信号を選択して入力した各信号値から１相目の信号値を検出する。そして基準信号選択部３５０は、検出結果を１相目レベル信号４０１として良否判定器３７０およびシステム制御部２０に出力する（Ｓ３）。

例えば、初回の試験サイクルで被測定信号値の変化点の数が不明である場合、または、前回の試験サイクルにおいて被測定信号値の変化点が単独であり、グリッチが検出されなかった場合、システム制御部２０は、取得部３００で検出された各信号値のうちの最前（１相目）の信号値を、次回の試験サイクルにおける基準信号として、基準信号設定部３４０に設定する。また、マルチストローブ信号の期待値を反転して用いる場合には、システム制御部２０は、最後の相の信号値を、次回の試験サイクルにおける基準信号として、基準信号設定部３４０に設定してもよい。このように、基準信号設定部３４０は、マルチストローブ信号における基準信号を得る位相を、そのマルチストローブ信号の最前のストローブ信号または最後のストローブ信号に設定できる。

変化点検出部３１０は、取得部３００から入力した各信号値のうち、隣接するストローブ信号に対応する信号値が異なる場合を検出することで、変化点を検出して変化点検出信号を出力する（Ｓ４）。

具体的には、最初の第１の試験サイクルでは、マスク設定部３３０によるマスクの設定は不明であるので、例えば、変化点マスキング部３２０は変化点検出信号を全て通過させてもよい。

変化タイミング出力部３６０では、変化点検出部３１０から変化点マスキング部３２０を介して入力した各変化点検出信号から、まず変化点の有無を判定する（Ｓ５）。変化点が有る場合（Ｓ５：ＹＥＳ）には、変化タイミング出力部３６０は、その変化点が、例えば、マルチストローブ信号における各ストローブ信号の何番目の信号に対応するかにより、どの位相のタイミングであるかを検出する（Ｓ６）。変化点が無い場合（Ｓ５：ＮＯ）には、試験装置１００は、処理を終了する。

次に、変化タイミング出力部３６０は、入力した変化点検出信号から、変化点が複数存在するかを判定する（Ｓ７）。変化点が複数存在する場合（Ｓ７：ＹＥＳ）には、変化タイミング出力部３６０は、グリッチ検出信号４０３を良否判定器３７０およびシステム制御部２０に出力する。変化点が複数存在しない場合（Ｓ７：ＮＯ）には、変化タイミング出力部３６０は、被測定信号における１個の変化点に対応する位相のタイミングを検出して変化点位相信号４０２として良否判定器３７０およびシステム制御部２０に出力して処理を終了する（Ｓ１０）。

上記したステップＳ７でＹｅｓの場合、システム制御部２０は、マスク設定部３３０に対する設定が初回であるか否かを判定する（Ｓ８）。ただし、マスク設定部３３０に対する設定が初回とは、例えば、上記したように第１の試験サイクルで変化点検出部３１０が全ての変化点検出信号を通過させた後の、マスク設定部３３０に対して設定が初回ということである。初回設定である場合（Ｓ８：ＹＥＳ）には、システム制御部２０は、マスク設定部３３０に、例えば、最前の変化点を有効変化点とし、他の変化点を無効とするような初回の有効変化点の設定を行い、次の第２の試験サイクルに進んでＳ１に戻る。その場合、具体的には、システム制御部２０は、初回の有効変化点の設定として、マルチストローブ信号において、最前の変化点を検出するストローブ信号に対応する信号値まではマスクを設定しないで、それ以降のストローブ信号に対応する信号値に対してはマスクするようにマスク設定部３３０に設定する。

また、システム制御部２０は、基準信号選択部３５０に対しても、マスクが設定されていない範囲から目的の変化点を検出するための１相目のストローブ信号を選択して設定する。初回設定ではない場合（Ｓ８：ＮＯ）には、システム制御部２０は、マスク設定部３３０に、前回までと異なる有効変化点の設定を行い、また、基準信号選択部３５０に対しても、マスクが設定されていない範囲から目的の変化点を検出するための１相目のストローブ信号を選択して設定し、次の第２の試験サイクルに進んでＳ１に戻る（Ｓ９）。この場合、システム制御部２０は、１相目のストローブ信号として、例えば、最前の変化点を有効変化点とする場合であれば、マスクが設定されていない範囲の最前のストローブ信号を選択してマスク設定部３３０に設定してよい。

例えば、ステップＳ７の処理で、第１の試験サイクルにおいて複数の被測定信号値の変化点の存在を示すグリッチが検出された場合の、ステップＳ８の処理について説明する。その場合、システム制御部２０は、マスク設定部３３０に、例えば、被測定信号値の最前の変化点を検出目的の変化点として、残りの変化点についてはマスキングするように設定する。これにより、第２の試験サイクルにおいて、変化点マスキング部３２０は、検出目的である最前の変化点以外の位相のストローブ信号による変化点検出部３１０の検出結果をマスクする。その結果、システム制御部２０およびマスク設定部３３０は、次回の試験サイクルにおいて、変化点マスキング部３２０から検出目的である最前の変化点のみを出力させることができる。

上記した実施形態では、第１の試験サイクルでは、マスク設定部３３０は変化点検出信号を全て通過させる設定で、その結果で複数の変化点が検出された場合には、第２の試験サイクルにおけるマスク設定部３３０の設定を実施する場合について説明した。しかし、例えば、マスク設定部３３０に予め有効にする変化点検出部３１０を設定しておき、複数の変化点が検出される場合でも、第１の試験サイクルで、目的とする変化点検出信号を得られるようにしても良い。

図１１は、本実施形態に係る試験装置１００における変形例の概略動作のフローチャートを示す。
図１１のフローチャートにおいて、ステップＳ１８は、図１０のステップＳ８と同様な、マスク設定部３３０に対する設定が初回であるか否かを判定する処理である。また、ステップＳ１９は、図１０のステップＳ９と同様な処理である。しかし、本変形例では、各試験サイクルの処理において最初にそれらの処理を実施する点で異なっている。システム制御部２０は、マスク設定部３３０に対する初回の設定である場合(Ｓ１８：ＹＥＳ)には、予め設定されている初回の設定をマスク設定部３３０に対して設定してステップ１に進む。システム制御部２０は、マスク設定部３３０に対する初回の設定ではない場合(Ｓ１８：ＮＯ)には、ステップＳ１９で前回までと異なる有効変化点の設定を行いステップ１に進む。ステップＳ１〜ステップＳ７及びＳ１０の処理内容は、図１０の場合と同様であるが、ステップＳ５でＮＯの場合には、処理を終了しないでステップＳ１９に戻り、前回までと異なる有効変化点の設定を行う点が異なっている。

図１１の場合のマスク設定部３３０は、第１の試験サイクルにおいては、複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅのうち、隣接する２以上のストローブ信号に応じて取得される２以上の信号値を入力する２以上の変化点検出部３１０を有効とする。そして変化タイミング出力部３６０は、第１の試験サイクルにおいてマスク設定部３３０により有効とされた２以上の変化点検出部３１０を含む第１グループについて、被測定信号の変化タイミングを検出する。隣接する２以上のストローブ信号に応じて取得される２以上の信号値とは、例えば、図２の隣接する第１取得部３００ａ〜第３取得部３００ｃから出力される信号値であってよい。また、２以上の変化点検出部３１０とは、例えば、上記した第１取得部３００ａ〜第３取得部３００ｃから出力される信号値の場合は、それに対応する変化点検出部３１０ａ〜ｃであってよい。その場合、変化点検出部３１０ａ〜ｃを第１グループとしてよい。

また、図１１の場合のマスク設定部３３０は、次の第２の試験サイクルにおいては、複数の変化点検出部３１０ａ〜ｅのうち、隣接する２以上のストローブ信号に応じて取得される２以上の信号値を入力する、第１グループとは異なる２以上の変化点検出部３１０を有効とする。そして変化タイミング出力部３６０は、第２の試験サイクルにおいてマスク設定部３３０により有効とされた２以上の変化点検出部３１０を含む第２グループについて、被測定信号の変化タイミングを検出する。第１グループとは異なる２以上の変化点検出部３１０とは、例えば、上記した第１の試験サイクルの場合の変化点検出部３１０ａ〜ｃに対して、変化点検出部３１０ｄ〜ｅであってよい。その場合、変化点検出部３１０ｄ〜ｅを第２グループとしてよい。

また、変化タイミング出力部３６０が、有効とされた２以上の変化点検出部３１０が２以上の変化点を検出したことに応じて、グリッチを検出した場合、システム制御部２０は、マスク設定部３３０に設定する設定値について、有効とする変化点検出部３１０の範囲を狭める。システム制御部２０は、この処理を変化タイミング出力部３６０がグリッチを検出したことに応じて実施する。例えば、図７（ｃ）のマルチストローブ（Ｂ）において、最前から６個までのストローブ信号に対応する変化点の検出信号を、システム制御部２０がマスク設定部３３０に設定する。すると変化点検出部３１０の有効な範囲は狭くなる。これにより、システム制御部２０およびマスク設定部３３０は、次回の試験サイクルにおいて、変化点マスキング部３２０から検出目的である変化点を出力させやすくできる。

また、グリッチを検出した場合で、例えば、目的の変化点よりも後側に目的外の変化点が検出された場合には、システム制御部２０は、良否判定器３７０で基準信号値が期待値と一致し、かつ、変化タイミング出力部３６０がグリッチを検出したことに応じて、マスク設定部３３０を設定する。システム制御部２０は、マスク設定部３３０に対して、基準信号値が被測定信号の変化前の信号値を示す場合には、変化後の信号値を入力する変化点検出部３１０を無効とし、基準信号値が被測定信号の変化後の信号値を示す場合には、変化前の信号値を入力する変化点検出部３１０を無効とするように設定する。例えば、図８（ｅ）の左図で最前の立ち上がりエッジが目的の変化点である場合で、最前のストローブ信号ＳＴ１に対応する信号値が期待値と一致する基準信号値である場合には、システム制御部２０は、図８（ｅ）の左図でストローブ信号ＳＴｎ＋１以降の全ストローブ信号に対応する変化点検出部３１０を無効とするようにマスク設定部３３０に設定する。また、信号値がジッタの影響を受ける場合には、システム制御部２０は、例えば、ストローブ信号ＳＴｎ＋１からジッタの影響をキャンセルできるような所定数だけ後のストローブ信号を指定してそれ以後のストローブ信号に対応する変化点検出部３１０を無効とするようにマスク設定部３３０に設定してもよい。このようにしても、システム制御部２０およびマスク設定部３３０は、次回の試験サイクルにおいて、変化点マスキング部３２０から検出目的である変化点を出力させやすくできる。

また、グリッチを検出した場合で、例えば、目的の変化点よりも前側に目的外の変化点が検出された場合には、システム制御部２０は、基準信号値が期待値と異なり、かつ、変化タイミング出力部３６０がグリッチを検出したことに応じて、マスク設定部３３０を設定する。システム制御部２０は、マスク設定部３３０に対して、基準信号値が被測定信号の変化前の信号値を示す場合には、変化前の信号値を入力する変化点検出部３１０を無効とし、基準信号値が被測定信号の変化後の信号値を示す場合には、変化後の信号値を入力する変化点検出部３１０を無効とするように設定する。例えば、図８（ｆ）の左図でステップＳＴＳｎ＋１以降の立ち上がりエッジが目的の変化点である場合で、最前の変化後のストローブ信号ＳＴｎ＋１に対応する信号値が期待値と一致しない基準信号値である場合には、システム制御部２０は、図８（ｆ）の左図でストローブ信号ＳＴｎ＋１以前の全ストローブ信号に対応する変化点検出部３１０を無効とするようにマスク設定部３３０に設定する。この場合も、信号値がジッタの影響を受ける場合には、システム制御部２０は、例えば、ストローブ信号ＳＴｎ＋１からジッタの影響をキャンセルできるような所定数だけ前のストローブ信号を指定してそれ以前のストローブ信号に対応する変化点検出部３１０を無効とするようにマスク設定部３３０に設定してもよい。このようにしても、システム制御部２０およびマスク設定部３３０は、次回の試験サイクルにおいて、変化点マスキング部３２０から検出目的である変化点を出力させやすくできる。

このようにして、本実施形態の試験装置１００では、グリッチを検出した場合、例えば、複数の試験サイクルのそれぞれにおいて、マスク設定部３３０により有効とされた２以上の変化点検出部３１０を含むグループを複数用いて変化タイミングを検出する。そして、その場合の試験装置１００では、いずれかのグループにおいて変化タイミングを検出した場合に、被測定信号の変化タイミングをその検出した変化タイミングとする。

図１２は、本実施形態に係るシステム制御部２０のハードウェア構成の一例を示す。本実施形態に係るシステム制御部２０は、ＣＰＵ６００、ＲＯＭ６１０、ＲＡＭ６２０、通信インターフェイス６３０、ハード・ディスク・ドライブ６４０、フレキシブル・ディスク・ドライブ６５０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ６６０を備える。

ＣＰＵ６００は、ＲＯＭ６１０及びＲＡＭ６２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ＲＯＭ６１０は、システム制御部２０の起動時にＣＰＵ６００が実行するブート・プログラム、又は、システム制御部２０のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。ＲＡＭ６２０は、ＣＰＵ６００が実行するプログラム及びＣＰＵ６００が使用するデータ等を格納する。通信インターフェイス６３０は、バス等を介して他の構成部分と通信したり、通信ネットワークを介して他の装置と通信する。ハード・ディスク・ドライブ６４０は、システム制御部２０が使用するプログラム及びデータを格納し、ＲＡＭ６２０を介してＣＰＵ６００に供給する。フレキシブル・ディスク・ドライブ６５０は、フレキシブル・ディスク６９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ６２０に提供する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ６６０は、ＣＤ−ＲＯＭ６９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ６２０に提供する。

ＲＡＭ６２０を介してＣＰＵ６００に提供されるプログラムは、フレキシブル・ディスク６９０、ＣＤ−ＲＯＭ６９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、ＲＡＭ６２０を介してシステム制御部２０にインストールされ、システム制御部２０において実行される。

システム制御部２０にインストールされて実行され、試験装置１００の機能を制御するプログラムは、タイミング発生器１０、パターン発生器１２、波形成形器１４、マルチストローブ生成部３０、及び、判定回路３４を制御して、試験装置１００に上記した動作を実施させる内容を含む。

以上に示したプログラムは、外部の記録媒体に格納されてもよい。記録媒体としては、フレキシブルディスク６９０、ＣＤ−ＲＯＭ６９５の他に、ＤＶＤやＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、通信ネットワークを介して外部のネットワークからプログラムをシステム制御部２０に提供してもよい。

このようにして本実施形態の試験装置１００では、ジッタの変動幅が大きい場合でも一組のマルチストローブ信号で被測定信号値の変化点を検出できることに加え、被測定信号値の変化点が複数検出される場合にも、検出目的の変化点以外の誤った変化点をマスクすることで検出しないようにできる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

Claims

互いに位相が異なる複数のストローブ信号を生成するマルチストローブ生成部と、
前記複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおける被測定信号の信号値をそれぞれ取得する複数の取得部と、
隣接する２つのストローブ信号に応じて取得された２つの信号値が異なる場合に、当該２つのストローブ信号の間に前記被測定信号の変化点があったことを検出する複数の変化点検出部と、
前記複数の変化点検出部のうち、有効とする前記変化点検出部を設定するマスク設定部と、
有効とされた前記変化点検出部の出力に基づいて、前記被測定信号の変化タイミングを出力する変化タイミング出力部と
を備える検出装置。
前記複数の取得部により取得された複数の信号値のうちいずれの信号値を、前記被測定信号の変化前または変化後の値を示す基準信号値とするかを設定する基準信号設定部と、
前記複数の信号値の中から前記基準信号値を選択して出力する基準信号選択部と、
を更に備える請求項１に記載の検出装置。
前記基準信号設定部は、前記マスク設定部により有効と設定された前記変化点検出部に入力される信号値のうち、対応するストローブ信号の位相が最前または最後である信号値を、前記基準信号値として設定する請求項２に記載の検出装置。
第１の試験サイクルにおいて、
前記マスク設定部は、前記複数の変化点検出部のうち、隣接する２以上のストローブ信号に応じて取得される２以上の信号値を入力する２以上の前記変化点検出部を有効とし、
前記変化タイミング出力部は、前記第１の試験サイクルにおいて前記マスク設定部により有効とされた２以上の前記変化点検出部を含む第１グループについて、前記被測定信号の変化タイミングを検出し、
第２の試験サイクルにおいて、
前記マスク設定部は、前記複数の変化点検出部のうち、隣接する２以上のストローブ信号に応じて取得される２以上の信号値を入力する、前記第１グループとは異なる２以上の前記変化点検出部を有効とし、
前記変化タイミング出力部は、前記第２の試験サイクルにおいて前記マスク設定部により有効とされた２以上の前記変化点検出部を含む第２グループについて、前記被測定信号の変化タイミングを検出する
請求項２に記載の検出装置。
前記変化タイミング出力部は、有効とされた２以上の前記変化点検出部が２以上の変化点を検出したことに応じて、グリッチを検出し、
前記マスク設定部は、前記変化タイミング出力部がグリッチを検出したことに応じて、有効とする前記変化点検出部の範囲を狭める
請求項２に記載の検出装置。
前記基準信号値が期待値と一致し、かつ、前記変化タイミング出力部がグリッチを検出したことに応じて、前記マスク設定部は、前記基準信号値が前記被測定信号の変化前の信号値を示す場合には変化後の信号値を入力する前記変化点検出部を無効とし、前記基準信号値が前記被測定信号の変化後の信号値を示す場合には変化前の信号値を入力する前記変化点検出部を無効とする
請求項５に記載の検出装置。
前記基準信号値が期待値と異なり、かつ、前記変化タイミング出力部がグリッチを検出したことに応じて、前記マスク設定部は、前記基準信号値が前記被測定信号の変化前の信号値を示す場合には変化前の信号値を入力する前記変化点検出部を無効とし、前記基準信号値が前記被測定信号の変化後の信号値を示す場合には変化後の信号値を入力する前記変化点検出部を無効とする
請求項５に記載の検出装置。
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに対して試験信号を供給する試験信号供給部と、
前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力する被測定信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記判定部は、
互いに位相が異なる複数のストローブ信号を生成するマルチストローブ生成部と、
前記複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおける被測定信号の信号値をそれぞれ取得する複数の取得部と、
隣接する２つのストローブ信号に応じて取得された２つの信号値が異なる場合に、当該２つのストローブ信号の間に前記被測定信号の変化点があったことを検出する複数の変化点検出部と、
前記複数の変化点検出部のうち、有効とする前記変化点検出部を設定するマスク設定部と、
有効とされた前記変化点検出部の出力に基づいて、前記被測定信号の変化タイミングを出力する変化タイミング出力部と、
前記被測定信号の変化タイミングに基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する良否判定器と
を有する試験装置。