JPWO2008114866A1 - 金属微粒子及びその製造方法、並びに金属微粒子分散液及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

界面活性剤等を含まずに有機溶剤中に分散されるナノサイズの金属微粒子及びその分散液を製造する方法を提供する。還元性を示さない有機溶剤中に金属化合物を分散させ、次に、この有機溶剤中の金属化合物に攪拌下でレーザー光を照射する工程を含む、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア／シェル構造を有する金属微粒子または金属微粒子分散液の製造方法である。

Description

本発明は、金属微粒子及びその製造方法、並びに金属微粒子分散液及びその製造方法に関する。

レーザー光を照射することによりナノサイズの金属微粒子やその分散液を得る方法として、次の非特許文献及び特許文献が報告されている。例えば、非特許文献１には、還元作用を示す有機溶剤であるイソプロピルアルコール（２−プロパノール）中に酸化銅（ＣｕＯ）粉末を分散させ、レーザー光を照射させてナノサイズの銅微粒子コロイドを得る方法が記されている。

また、非特許文献２には、界面活性剤を含む水溶液中に配置した金プレートにレーザー光を照射させてナノサイズの金微粒子を得る方法が記されている。

特許文献１には、水・アルコール混合溶剤中に原料となる銅箔片を分散させ、レーザー光を照射させてナノサイズの銅微粒子を得る方法が記されている。
J. Phys. Chem. B, 103, 6851(1999) J. Phys. Chem. B, 105, 5114(2001) 国際公開WO 2006/030605 A1号パンフレット

非特許文献１に記されている、還元作用を示す有機溶剤であるイソプロピルアルコール（２−プロパノール）中に酸化銅（ＣｕＯ）粉末を分散させて、レーザー光を照射させる方法では、生成したナノサイズの銅微粒子が凝集したため、有機溶剤中で安定な銅微粒子を得ることができなかった。

また、非特許文献２に記されている、界面活性剤を含む水溶液中に配置した金プレートにレーザー光を照射させる方法では、個々の金微粒子の表面を界面活性剤が被覆するために、金成分として利用する応用面では、被覆された界面活性剤の除去に高温で処理するなどの多大なエネルギーをかける必要があった。また、レーザー光を照射する際には集光することによりエネルギー密度を高くする必要があった。

特許文献１に記されている、水・アルコール混合溶剤中に原料となる銅箔片を分散させ、レーザー光を照射させる方法では、銅箔片を原料に用いるため、ナノサイズの銅微粒子の生成効率が低かった。

本発明は、界面活性剤等を含まずに長期間有機溶剤中に分散されるナノサイズの金属微粒子及びその分散液、並びにそれらを簡便な設備を使用し、高い効率で製造する方法を提供することを課題とする。

本発明は、還元性を示さない有機溶剤中に金属化合物を分散させる工程と、その後に、有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光を照射する工程とを含む、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア／シェル構造を有する金属微粒子の製造方法および金属微粒子分散液の製造方法である。原料となる金属化合物の種類としては、金属酸化物、金属硫化物、金属窒化物、金属塩を用いることが好ましく、また、金属としては、遷移金属を用いることが好ましい。

本発明に係る金属微粒子は、原料となる金属化合物と還元作用を示さない有機溶剤とをレーザー光を透過させる容器に取り、有機溶剤中に分散させた金属化合物にレーザー光を攪拌下で照射することにより製造される。このとき得られた金属微粒子は有機溶剤中に分散された状態であり、金属微粒子が分散された状態の分散液となるが、この製造に用いた有機溶剤の一部または全部を他の有機溶剤や水などで置換したり、あるいは他の有機溶剤や水などを添加したりするなどして、製造時に使用した有機溶剤とは異なる分散媒に分散されている金属微粒子分散液を調製することもできる。

原料である金属化合物は、レーザー光のエネルギーを吸収し、原子レベルに粉砕されると同時に、還元作用を示さない有機溶剤で冷却されて、ナノサイズの金属微粒子となる。

本発明に係る金属微粒子は、レーザー光を照射するだけの簡便な設備を使用して製造することができる。このようにして得られたナノサイズの金属微粒子は、中心部が金属で表皮部が金属酸化物からなるコア／シェル構造を有しているため、金属原子同士が直接接して金属結合することを妨げるので、界面活性剤等を添加することなく有機溶剤中でも凝集が抑制され、金属微粒子分散液は優れた安定性を示す。そのため応用面では、被覆された界面活性剤の除去に高温で処理するなどの多大なエネルギーをかける必要がなく、電子回路装置の導体形成用インクをはじめ、様々な用途への適用が期待される。

図１は、分散液中にある銅微粒子の平均粒径の経時変化を示すグラフであり、７０日後でも初期と同様の平均粒径約８０ｎｍであることから分散安定性に優れていることがわかる。 図２は、分散液中にある銅微粒子固形分の経時変化を示すグラフであり、初期の銅微粒子固形分の濃度を１とした場合の分散液中の銅微粒子濃度を指数で示したものである。図２によれば、７０日後であっても初期と同様の値を示していることから、分散安定性に優れていることがわかる。 図３は、銅微粒子分散液の吸光スペクトルの放置時間依存性を示す図である。図３によれば、１週間にわたる吸光スペクトルの変化は非常に小さく、表面プラズモンピークの強度に殆ど変化は見られない。この結果から、銅微粒子分散液において、銅微粒子間の凝集のみならず、銅微粒子の酸化も強く抑制されるという、銅微粒子分散液の稀なる安定性が裏付けられる。 図４は、Ｍｉｅ理論に基づいて計算した球状銅微粒子分散液の理論吸光スペクトルの粒径依存性を示す図であり、図３との対比から、実施例１で得られた銅微粒子の平均的な粒径は、５０ｎｍ以下と推定できる。 図５は分散液中にあるナノサイズの銅微粒子のＸＲＤ測定結果を示す図であり、ＣｕとＣｕ_２Ｏの存在が明らかである。また、全体的にピークが広幅になり、微結晶化していることも分かる。 図６は、遠心分離後の分級沈降物として得られる銅微粒子のＸＲＤ測定結果を示す図であり、派生的に生成する、銅微粒子よりも大きな粒径を有するものにも、銅（Ｃｕ）と亜酸化銅（Ｃｕ_２Ｏ）が存在し、しかも銅（Ｃｕ）の比率が高いことが分かる。 図７は、ナノサイズの銅微粒子のＸＰＳ測定結果で、Ａｒエッチングによる深さ方向の定性分析結果を示す図である。図７によれば、サテライトピークが観察されないことから、２価のＣｕがないことが分かる。 図８は、ナノサイズの銅微粒子のオージェスペクトルを示す図であり、図８の（１）は、ナノサイズの銅微粒子を深さ方向にＡｒエッチングした際のオージェスペクトル（定性分析）の結果を、図８の（２）は、ナノサイズの銅微粒子のオージェスペクトルの結果を示す図である。これらの図から、Ａｒエッチング時間の増大、すなわち、表層から内部に向かって行くと共に、亜酸化銅（Ｃｕ_２Ｏ）から銅（Ｃｕ）に変わっていくことが分かる。 図９は、ナノサイズの銅微粒子のＴＥＭ観察写真を示す図であり、図９から、銅微粒子のシェル層は２〜４ｎｍであることが分かる。

本発明の金属微粒子は、還元作用を示さない有機溶剤中に分散させた金属化合物にレーザー光を攪拌下で照射して製造され、中心部が金属で表皮部が金属酸化物のコア／シェル構造を有することを特徴とする。得られる金属微粒子の特性は、金属化合物の種類、金属化合物の粒径、金属化合物の量、有機溶剤の種類、レーザー光の波長、レーザー光の出力、レーザー光の照射時間、温度、金属化合物の攪拌状態、有機溶剤中に導入する気体バブリングガスの種類、バブリングガスの量、添加物などの諸条件を適宜選択することによって制御できる。

金属微粒子の原料である金属化合物としては、金属酸化物、金属硫化物、金属窒化物、金属塩が挙げられる。これらを単独で用いても、複数種用いてもよい。金属化合物の量は特に制限されない。原料である金属化合物を分散させる有機溶剤には還元性を示さない有機溶剤であるアセトン等のケトン系溶剤を用いることが好ましい。レーザーの波長に制限はないが、金属微粒子の生成効率が高くなる波長を用いるのが好ましく、その波長は原料の金属化合物の種類により異なる。金属微粒子の生成効率を考慮すると、レーザーの出力は高い方が好ましく、３６００Ｊ以下（２００ｍＪ／ｐｕｌｓｅ以下、パルス幅１０ｎｓ、１０Ｈｚ、ビーム径１０ｍｍ、３０分間）のレーザー光を照射しても金属微粒子を得ることができない。８０００Ｊ以上（４４０ｍＪ／ｐｕｌｓｅ以上、パルス幅１０ｎｓ、１０Ｈｚ、ビーム径１０ｍｍ、３０分間）のレーザー光を照射する場合、レーザーの照射時間に制限はないが、照射時間が長いほど金属微粒子の生成量は多くなる。金属化合物を分散させた有機溶剤の温度は特に制限されない。この分散液はレーザー光照射中攪拌されていることが好ましい。攪拌方法はマグネチックスターラーや攪拌羽根等の一般的な方法が用いられる。また、必要であれば気泡を発生させて攪拌してもよい。さらに、分散液を循環させることにより、原料である金属化合物が繰り返しレーザー光の照射を受けることもできる。そして、金属微粒子の平均粒径や粒子形状等を制御するための添加物を用いてもよい。その種類、量は特に制限されず、金属微粒子の種類、目的とする金属微粒子の平均粒径や形状等に合致させるように適宜選択される。

次に、本発明に係る金属微粒子の製造方法について説明する。はじめに、本発明を実施するために重要な条件である、原料、レーザー光及び還元作用を示さない有機溶剤について一般的な説明を加える。

Ａ．原料
原料は金属化合物であって、例えば、金属酸化物、金属硫化物、金属窒化物、金属塩を用いることができる。金属化合物の中でも、遷移金属化合物が好ましく、例えば、遷移金属酸化物、遷移金属硫化物、遷移金属窒化物、遷移金属塩が好適に用いられる。
具体的には、酸化銅・亜酸化銅・酸化銀・酸化ニッケル・酸化コバルト・酸化ネオジウム・酸化タンタル・酸化モリブデン・硫化銀・硫化銅・硫化コバルト・硫化タンタル・オクチル酸銅・オクチル酸銀・塩化銅・塩化銀、塩化ロジウム、酸化ルテニウム、塩化パラジウム、窒化タンタル、その他の金属化合物を用いることができる。

金属化合物は、形状面からは粉体であることが好ましい。既述のように、例えば箔状であるとナノサイズの粒子の生成効率が低くなるためである。

本発明において、原料の大きさは重要である。同じエネルギー密度のレーザー光を照射する場合でも、原料の金属化合物粉体の粒径が小さいほど粒径の小さな金属微粒子が効率よく得られる。金属化合物の大きさは、用いる金属化合物の種類によって一概にはいえないが、一般に、１〜３０μｍ程度の大きさであることが、分散性の点からも好ましい。

Ｂ．レーザー光
次に重要なものはレーザー光である。レーザー光の波長は金属化合物の吸収係数がなるべく大きくなるような波長とすることが好ましいが、ナノサイズの金属微粒子の結晶成長を抑制するためには、熱線としての効果が低い短波長のレーザー光を使用することが好ましい。

例えば、レーザー光は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザー、エキシマレーザー、半導体レーザー、色素レーザーなどを用いることができる。また、高エネルギーのレーザーを同じ条件で多くの金属化合物に照射するためにはパルス照射が好ましい。

Ｃ．有機溶剤 (分散媒)
有機溶剤は金属化合物を分散させるための分散媒であるが、本発明においては還元性を示さない有機溶剤を用いることから、中心部が金属で表皮部が金属酸化物のコア／シェル構造を有する金属微粒子を得ることができるため、分散媒中で凝集させることが少ない。また、応用面では、金属微粒子に特別な保護層を設ける必要がないので、電子回路装置等に利用する際に容易に分離できるために好ましい。

金属化合物の分散媒に用いる有機溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、γ−ブチロラクトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤を使用することがナノサイズの金属微粒子を得る際には好ましいが、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどの極性溶剤やトルエン、テトラデカンなどの炭化水素系溶剤を用いることができる。還元性を示す有機溶剤を用いると金属微粒子の表層シェルを形成する酸化皮膜を還元し、金属が露出することにより、凝集体を形成するために、金属微粒子の分散安定性を損なうことになる。
なお、有機溶剤は、一種を単独で用いても、２種以上を混合して用いてもよい。

以上のような原料および装置を用いて、本発明の金属微粒子および金属微粒子分散液は、次のようにして製造される。

まず、還元作用を示さない有機溶剤であるケトン系溶剤中に原料となる金属化合物の粉体を分散させる。次に、この有機溶剤中の金属化合物に攪拌下でレーザー光を照射する。金属化合物がレーザー光のエネルギーを効率よく吸収し、原子レベルに粉砕されると同時に、ケトン系溶剤で冷却されてナノサイズ（平均粒径が１ｎｍ乃至５００ｎｍの範囲）の金属微粒子が生成し、生成した金属微粒子がケトン系溶剤中に安定的に分散される。得られる金属微粒子は、中心部が金属で表皮部が金属酸化物からなるコア／シェル構造を有し、界面活性剤等の金属微粒子の保護層を形成するための添加剤を配合することなく、凝集・沈降が認められない。また、原子レベルに粉砕された金属成分が冷却される前に結合すると、サブミクロンサイズの高い結晶性を示す金属微粒子が生成し、ケトン系溶剤中に分散されずに沈降成分として回収される。
なお、本発明において、平均粒径とは、ベックマンコールター社製サブミクロン粒子アナライザーＮ５型（商品名）を用いて２５℃で測定し、得られた強度分布から求められるものをいう。

［実施例１］
金属化合物として、和光純薬工業(株)製酸化銅試薬を用い、還元作用を示さない有機溶剤には和光純薬工業(株)製アセトン特級試薬を用いた。１００ｍｌのアセトンに対して１ｇの酸化銅を、マグネチックスターラーを備えた内容量５００ｍｌのガラス製ビーカーに秤量した。レーザー照射装置として、Ｓｐｅｃｔｒａ−Ｐｈｙｓｉｃｓ社製Ｑｕａｎｔａ−Ｒａｙ ＰＲＯ−２３０ Ｎｄ：ＹＡＧレーザーを使用し、波長１０６４ｎｍ、パルス幅１０ｎｓ、パルス周波数１０Ｈｚ、１パルス当たりの照射エネルギー１１００ｍＪのレーザー光を３０分間照射した。レーザー光照射後、トミー精工製高速冷却遠心分離器Ｓｕｐｒｅｍａ２３を使用して、ガラス製ビーカー内の内容物を毎分４０００回転で５分間遠心分離することにより、沈降物と銅微粒子分散液を分離した。

アセトン中に分散されている銅微粒子の分散粒径は、Ｂｅｃｋｍａｎ−Ｃｏａｌｔｅｒ社製サブミクロン粒子アナライザーＮ５で測定した結果、平均粒径８０ｎｍであった。また、分散液中の銅微粒子の割合は、０．３ｍａｓｓ％であった。分散安定性を調べるために、銅微粒子平均粒径の経時変化を測定した。結果を図１に示す。図１によれば、７０日後であっても平均粒径は約８０ｎｍで、変化が少なく安定していた。同様に、沈降せずにアセトン中に分散している銅微粒子固形分の割合について、初期の銅微粒子固形分の濃度を１とした場合の分散液中の銅微粒子濃度を指数として表した結果を図２に示すが、７０日後であっても約１．２と変化が少なく安定していた。

また、室温で１時間乃至１週間放置した銅微粒子分散液の一部を採取してアセトンで希釈し、得られた希薄分散液の可視吸光スペクトルを浜松ホトニクス製ＰＭＡ−１１分光光度計で測定した。結果を図３に示す。比較のために、完全な球形を有する銅微粒子を含むアセトン分散液の理論的な吸光スペクトル（吸収と散乱の寄与を含む）をＭｉｅ理論に基づいて計算し、図４に示す。図４は、アセトン中に分散した銅微粒子の総質量を一定に保って、粒子の粒径（直径）を４ｎｍから１００ｎｍまで変化させたときの理論的な吸光スペクトルの変化を示したものである。銅微粒子のスペクトルは、５８０ｎｍ付近に現れる表面プラズモン吸収（および散乱）ピークと、７００ｎｍ付近から短波長に向かって次第に増加するバンド間吸収の重なりから成る。散乱の寄与は比較的大きな粒子のみにおいて重要で、特に長波長域のテールを上昇させる（例えば粒径１００ｎｍのスペクトル参照）。表面プラズモンとバンド間遷移の相対的な寄与、表面プラズモンの強度、およびそのピーク位置は銅微粒子の粒径により比較的大きく変化するため、このような吸光スペクトルの実測によって逆に銅微粒子の粒径を近似的に見積もることもできる。

図３及び図４から、実施例１で得られた銅微粒子の平均的な粒径は、５０ｎｍ以下と推定できる。図３で遠心分離直後から１時間の放置でスペクトルの強度が全体に低下しているのは、遠心分離で沈降をまぬがれた比較的大きな粒子がゆっくりと重力沈降したことによる。その後の１週間にわたる変化は非常に小さく、表面プラズモン吸収ピークの強度に殆ど変化は見られない。この結果は、銅微粒子分散液において、銅微粒子間の凝集（図４から予想されるようにスペクトルを大きく変化させる）のみならず、銅微粒子の酸化進行（バンド間遷移と表面プラズモン吸収を共に顕著に減少させる）も強く抑制されるという、銅微粒子分散液の稀なる安定性を裏付けている。

得られた銅微粒子の構造解析には、(株)リガク製Ｘ線回折装置ＡＴＸ−Ｇ（ＸＲＤ）、島津／Ｋｒａｔｏｓ製Ｘ線光電子分光分析装置ＡＸＩＳ−１６５（ＸＰＳ）及び（株）日立製作所製透過型電子顕微鏡Ｈ−９０００ＮＡＲ（ＴＥＭ）を使用した。ＸＲＤの測定条件は、Ｘ線源：Ｃｕ、電圧：４０ｋＶ、電流：２０ｍＡで行った。ＸＰＳの測定条件は、検出角度：９０°、測定面積：０．３ｍｍ×０．７ｍｍ、定性スペクトルＰＥ＝１６０ｅＶ、定量スペクトルＰＥ＝１０ｅＶ、深さ方向分析：Ａｒエッチングで行った。ＴＥＭの測定条件は、加速電圧３００ｋＶで行った。測定結果を図５〜９に示した。

図５に示すＸＲＤ測定結果から銅(Ｃｕ)と亜酸化銅(Ｃｕ_２Ｏ)が混在することが明らかとなった。また、図６に示す分級沈降物のＸＲＤ測定結果によると、この分級沈降物と分散液中の銅微粒子とは異なるものであることがわかる。一方、図７に示すＸＰＳ測定結果にサテライトピークが認められないことから、２価の銅（ＣｕＯ）が存在しないことが明らかとなった。さらに、図８の（１）及び図８の（２）に示すナノサイズの銅微粒子を深さ方向にＡｒエッチングした際のオージェスペクトルから、表皮部のシェルに亜酸化銅(Ｃｕ_２Ｏ)が存在し、内部のコアに銅（Ｃｕ）が存在することが明らかとなった。そして、図９に示すＴＥＭ観察写真から表皮部のシェルの厚さは２〜４ｎｍであることが分かった。

次に、ディスペンサを用いてガラス基板上に銅微粒子による５μｍ厚の配線層を形成し、窒素雰囲気下および３％の水素を含む窒素雰囲気下で１００℃のホットプレート上に配置して厚さ１μｍの導電層を形成し、（株）ダイアインスツルメンツ製抵抗率計ロレスタＧＰ ＭＣＰ−Ｔ６１０を用いて表面抵抗を測定した結果、０．１Ω／□を示した。

［実施例２］
実施例１の金属化合物として、和光純薬工業(株)製酸化銅試薬に代えて、それぞれ、日本化学産業(株)製酸化銅、和光純薬工業(株)製亜酸化銅試薬、和光純薬工業(株)製酸化銀特級試薬、和光純薬工業(株)製酸化タンタル（Ｖ）試薬、和光純薬工業(株)製酸化ネオジウム試薬、和光純薬工業(株)製酸化ニッケル（ＩＩ）試薬、シーアイ化成(株)酸化コバルトＮｏｎｏｔｅｋ、和光純薬工業(株)製酸化モリブデン（ＩＶ）一級試薬、和光純薬工業(株)製窒化タンタル一級試薬、Ｓｔｒｅｍ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ，Ｉｎｃ．製硫化タンタル（ＩＶ）、ケミライト工業(株)製高純度酸化銅を使用した。その結果、いずれも対応する金属微粒子を得ることができた。

［実施例３］
実施例１の還元作用を示さない有機溶剤として、アセトンに代えてγ−ブチロラクトン、シクロヘキサノンを使用した。その結果、いずれも分散安定性に優れるナノサイズ（いずれも、平均粒径が８０ｎｍ）の銅微粒子を得ることができた。

［実施例４］
実施例１で、有機溶剤としてアセトンを１００ｍｌと１０ｍｌのγ−ブチロラクトンを用い、金属微粒子を生成させた後、分散媒であるアセトンを約９０ｍｌ留去することにより濃縮し、その後イソプロピルアルコールを添加して、固形分量が０．３ｍａｓｓ％の銅微粒子分散液を調製した。その結果、分散安定性に優れるナノサイズの銅微粒子を得ることができた。

本発明に係る金属微粒子は、電子回路装置の導体形成用インク等に適用することが期待される。また、レーザー光照射設備と金属化合物を有機溶剤中に分散させるための容器だけで基本的に構成される簡便な設備を使用して、上記金属微粒子を高い効率で製造することができる。

以上のように、本発明は工業的に大きな波及効果が期待でき、その産業上の利用可能性は極めて大きい。

Claims (17)

1. 還元性を示さない有機溶剤中に金属化合物を分散させる工程と、その後に、有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光を照射する工程とを含む、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア／シェル構造を有する金属微粒子の製造方法。
2. 金属化合物として金属酸化物、金属硫化物、金属窒化物または金属塩を用いることを特徴とする請求項１に記載の金属微粒子の製造方法。
3. 金属化合物として遷移金属化合物を用いることを特徴とする請求項１に記載の金属微粒子の製造方法。
4. 遷移金属化合物が遷移金属酸化物、遷移金属硫化物、遷移金属窒化物または遷移金属塩であることを特徴とする請求項３に記載の金属微粒子の製造方法。
5. 金属化合物が粉体であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
6. 還元作用を示さない有機溶剤がケトン系有機溶剤であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
7. 平均粒径が1ｎｍ乃至５００ｎｍの範囲であって、有機溶剤中で安定的に分散されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
8. 有機溶剤中に金属化合物を分散させる工程と、その後に、有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光を照射する工程とを含む、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア／シェル構造を有する金属微粒子分散液の製造方法。
9. 金属化合物として金属酸化物、金属硫化物、金属窒化物または金属塩を用いることを特徴とする請求項８に記載の金属微粒子分散液の製造方法。
10. 金属化合物として遷移金属化合物を用いることを特徴とする請求項８に記載の金属微粒子分散液の製造方法。
11. 遷移金属化合物が遷移金属酸化物、遷移金属硫化物、遷移金属窒化物または遷移金属塩であることを特徴とする請求項１０に記載の金属微粒子分散液の製造方法。
12. 金属化合物が粉体であることを特徴とする請求項８〜１１のいずれかに記載の金属微粒子分散液の製造方法。
13. 有機溶剤が還元作用を示さない有機溶剤であることを特徴とする請求項８〜１２のいずれかに記載の金属微粒子分散液の製造方法。
14. 還元作用を示さない有機溶剤がケトン系有機溶剤であることを特徴とする請求項１３に記載の金属微粒子分散液の製造方法。
15. 金属微粒子の平均粒径が1ｎｍ乃至５００ｎｍの範囲であって、有機溶剤中で安定的に分散されていることを特徴とする請求項８〜１４のいずれかに記載の金属微粒子分散液の製造方法。
16. 有機溶剤中に金属化合物を分散させる工程と、その後に、有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光を照射する工程により製造される、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア／シェル構造を有する金属微粒子。
17. 有機溶剤中に金属化合物を分散させる工程と、その後に、有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光を照射する工程により製造される、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア／シェル構造を有する金属微粒子分散液。

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