JPWO2008084578A1 - 圧電薄膜共振子 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)基板と、一対の電極間に圧電薄膜が配置された振動部と、前記基板と前記振動部とを互いに接続するとともに、前記基板と前記振動部との間に空隙部を設ける支持部とを備え、前記支持部は、前記基板と接続するアーチ状のアーチ部と、該アーチ部と前記振動部とを接続する橋部とから構成する。
(1)基板と前記振動部との間に空隙部を設ける支持部を、基板と接続するアーチ状のアーチ部と、該アーチ部と前記振動部とを接続する橋部とから構成したことにより、支持部の基板との接続部から振動部との接続部までの直線的な距離を長くすることなく、振動部の反りを低減し、且つ振動部と基板との間の空隙部の高さを稼ぐことができ、振動部の膜の応力がばらついて膜に反りが多少発生しても振動部の角または腹が基板と接触するのを防ぐことができる。
12,45,52,62−絶縁層
13−下部電極
14,43,54,64−圧電薄膜
16,46,67−応力調整膜
15−上部電極
17,47,56,66−温度特性補償膜
20−振動部
21,25,27−支持部
22−橋部
23,24,26−アーチ部
30−犠牲層
31−空隙部
100−構造体
101,102,103−圧電薄膜共振子
第1の実施形態に係る圧電薄膜共振子について図2〜図8を参照して説明する。
図2は第1の実施形態に係る圧電薄膜共振子の主要部の斜視図である。また図3(A)はその上面図、図3(B)は図3(A)におけるB−B部分の断面図、図3(C)は図3(A)におけるC−C部分の断面図である。
第2の実施形態に係る圧電薄膜共振子について図9・図10を参照して説明する。
図9・図10はそれぞれ第2の実施形態に係る圧電薄膜共振子の三面図である。両図において(A)は上面図、(B)は(A)におけるB−B部分の断面図、(C)は(A)におけるC−C部分の断面図である。
図11は第3の実施形態に係る圧電薄膜共振子の主要部の斜視図である。図2に示した圧電薄膜共振子と異なるのはアーチ部24a,24bの形状である。
図11において振動部20は支持部25a,25bによって、基板との間に所定の空隙層を設けて支持している。支持部25aは振動部20の一方の短辺中央から引き出した橋部22aと一端が基板に接するアーチ部24aとで構成している。同様に支持部25bは振動部20の他方の短辺中央から引き出した橋部22bと一端が基板に接するアーチ部24bとで構成している。
図12は第4の実施形態に係る圧電薄膜共振子の主要部の斜視図である。図2に示した圧電薄膜共振子と異なるのはアーチ部26a,26bの形状である。この例ではアーチ部26a,26bをミアンダ形状としている。
図13は第5の実施形態に係る圧電薄膜共振子の主要部の斜視図である。この圧電薄膜共振子は図2に示したものにおいて振動部20の一方の短辺の中央からのみ支持部21aで支持するようにしたものに相当する。このような片持ち梁構造とすれば支持部の基板上での占有面積を縮小化でき全体に小型化が図れる。また、振動部の片側が支持されていないので、図7のように振動部とアーチ部とで膜構造を変えなくても、膜の上方部と下方部との応力を等しくしておけば、アーチ部は撓んだ状態を、且つ振動部は平坦な状態を、それぞれ実現できる。
これまでに示した各実施形態では、単一の振動部を備えた圧電薄膜共振子について示したが、この第6の実施形態では二つの振動部を備えた圧電薄膜共振子について示す。
なお、破線の楕円で囲んだ部分が基板との接続部である。
Claims (9)
- 基板と、一対の電極間に圧電薄膜が配置された振動部と、前記基板と前記振動部とを互いに接続するとともに、前記基板と前記振動部との間に空隙部を設ける支持部とを備えた圧電薄膜共振子において、
前記支持部は、前記基板と接続するアーチ状のアーチ部と、該アーチ部と前記振動部とを接続する橋部とからなる、圧電薄膜共振子。 - 前記支持部は、前記振動部の対向する2つの辺の両方に接続される両持ち梁構造である、請求項1に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記支持部は、前記振動部の対向する2つの辺の一方に設けられる片持ち梁構造である、請求項1に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記アーチ部は、その一端のみが前記基板に接続される、請求項1〜3のいずれかに記載の圧電薄膜共振子。
- 前記振動部の膜の圧縮応力の大きさが、前記アーチ部の膜の圧縮応力の大きさに比べて小さい、請求項1〜4のいずれかに記載の圧電薄膜共振子。
- 前記アーチ部には、その両端から前記振動部の前記一対の電極の一方に向けて配線が施されている、請求項1または2に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記橋部は前記アーチ部に対して略垂直に延びる、請求項1〜6のいずれかに記載の圧電薄膜共振子。
- 前記橋部は前記アーチ部の頂点または頂点近傍から延びる、請求項1〜7のいずれかに記載の圧電薄膜共振子。
- 前記振動部の振動モードは拡がり振動モードまたは長さ振動モードである、請求項1〜8のいずれかに記載の圧電薄膜共振子。
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