JP2009158999A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電デバイスは、圧電振動片12をパッケージに搭載した構成である。圧電振動片12は、一方の主面18と他方の主面20とを貫通する貫通部22を外形の内側に設けている。この貫通部22には、一方の主面18に設けたマウント電極16bと、パッケージに設けたパッド電極36とを導通するワイヤを通している。また他方の主面20に設けたマウント電極16bと、パッケージに設けたパッケージ側マウント電極34とに導電性接合材を設けて、圧電振動片12を1点支持している。
【選択図】図1
Description
また特許文献2に開示された発明は、圧電振動素子に2つのパッド電極を設け、これらのパッド電極上に塗布される導電性接着剤を結んだ延長線上に励振電極を配設した構成であり、さらに溝を設ける構成にすることも可能になっている。
ッケージの内壁との間に隙間を設ける必要がある。またパッケージの平面サイズを大きくできない場合は、圧電振動片の平面サイズを小さくして、圧電振動片とパッケージの内壁との間に隙間を設ける必要がある。ところが小型化した現在の圧電デバイスでは、圧電振動片とパッケージの内壁との隙間の一例としては0.1mm程度であり、ワイヤを接合する隙間が残っていない。このため圧電振動片とパッケージ側との導通を確実なものにするためには、圧電デバイスの平面サイズの大型化は避けられない。
また特許文献3に開示された発明は、パッケージに棚部を設けている。このパッケージは、例えば、板状の絶縁シートの上に、枠幅の異なる枠型絶縁シートを複数積層することにより、棚部を形成できる。ところがパッケージに棚部を設けると、パッケージの構造が複雑になってしまう。
一方の主面に設けた電極パターンとパッケージ側とを導通するワイヤが圧電振動片の外形よりも内側を通過するので、圧電振動片とパッケージの内壁との間にワイヤを通す隙間が必要ない。したがって圧電デバイスは、平面サイズを小型化でき、パッケージの構成も簡単にできる。
また圧電デバイスは、導電性接合材によって1点支持されているので、圧電振動片やパッケージ、導電性接合材のそれぞれの線膨張係数の違いからリフロー工程等において歪みが残ってしまうのを防止できる。
これにより圧電振動片を1点で支持したときの影響を励振電極の配設部分に与えるのを防止できる。
これにより圧電振動片を1点で支持するときのバランスが良好になる。
これにより浮遊容量の発生を防止できる。また導電性接合材として導電性接着剤を用いた場合は、導電性接着剤が圧電振動片の側面を介して一方の主面に流れ込んで来ても、一
方の主面に設けたマウント電極やリード電極に導通するのを防ぐことができる。
っている。このパッケージ30は、圧電振動片12が接合する平板状の絶縁基板32を有しており、この上面にパッケージ側マウント電極34およびパッド電極36を設けている。また絶縁基板32の下面に外部端子38が設けてあり、外部端子38とパッケージ側マウント電極34、外部端子38とパッド電極36がそれぞれ導通している。そして絶縁基板32の上面に枠型のシールリング40を接合して、圧電振動片12を収容する凹陥部42を形成している。
40を接合して凹陥部42を形成した構成や、絶縁基板32と枠型絶縁基板32との2枚を重ねて凹陥部42を形成した構成にすることができるので、従来に比べて階段部を形成する枠型の絶縁基板を1枚省略することができる。よって圧電デバイス10は、薄型化することもできる。
このように貫通部22が切り欠き62であっても、ワイヤ28は圧電振動片60の外形よりも内側を通ることができ、前述した実施形態と同様の効果を奏することができる。
Claims (4)
- 圧電振動片の一方の主面と他方の主面とを貫通する貫通部を前記圧電振動片の外形の内側に設け、
前記圧電振動片をパッケージに搭載して、前記一方の主面に設けたマウント電極と前記パッケージに設けたパッド電極とを導通するワイヤを、前記貫通部を通して設け、
前記他方の主面に設けたマウント電極と前記パッケージに設けたパッケージ側マウント電極とに導電性接合材を設けた、
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 前記マウント電極は、各主面に設けた励振電極に導通しており、前記マウント電極と前記励振電極の間に前記貫通部を設けたことを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記導電性接合材を前記圧電振動片の幅方向の中央部に設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電デバイス。
- 前記マウント電極は、このマウント電極を設けている主面内を引き回したリード電極を介して励振電極に導通しており、
前記他方の主面に設けた前記マウント電極は、前記一方の主面に設けた前記マウント電極およびリード電極から平面方向にずれて配設した、
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電デバイス。
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