JPWO2008001871A1 - メンテナンス方法、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はこのような事情に鑑み、液浸法で露光を行う露光装置の効率的なメンテナンス技術を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、液体と接する接液部の洗浄を容易に行うことができる洗浄技術、露光技術、及びデバイス製造技術を提供することをも目的とする。
本発明によれば、液浸法で露光を行う際にその接液部に付着する異物の少なくとも一部をその第1液体とともに容易に除去できる。従って、その第1液体の供給及び回収を行う機構のメンテナンスを効率的に行うことができる。この際に、液浸露光の際に用いる第1液体を予め又は並行して供給することによって、接液部に付着した異物を容易に除去できるとともに、その第1液体を洗浄用の液体としても用いるため、洗浄用の液体の供給機構が簡素化できる。
また、本発明による第4のメンテナンス方法は、光学部材(2)と第1液体とを介して露光光で基板を露光する露光装置のメンテナンス方法であって、その光学部材とその基板との間にその第1液体を保持するノズル部材と対向して可動体を配置し、その第1液体と接する接液部に関する情報に応じて、その接液部の第2液体による洗浄条件を設定するものである。
これらの発明によれば、接液部の洗浄を容易に行うことができ、ひいては液浸法で露光を行う露光装置の効率的なメンテナンスを行うことができる。
また、本発明の第2の露光方法は、光学部材(2)と第1液体とを介して露光光で基板(P)を露光する露光方法であって、その第1液体と接する接液部を有しかつその光学部材とその基板との間にその第1液体を保持するノズル部材(30)と対向して可動体(MST)を配置し、そのノズル部材を介してその可動体に供給される第2液体を用いてその接液部を洗浄するものである。
また、本発明の第3の露光方法は、光学部材(2)と第1液体とを介して露光光で基板(P)を露光する露光方法であって、その光学部材とその基板との間にその第1液体を保持するノズル部材(30)と対向して可動体(MST)を配置し、その第1液体と接する接液部に関する情報に応じて、その接液部の第2液体による洗浄条件を設定するものである。
この第2又は第3の露光方法によれば、接液部の洗浄を容易に行うことができ、ひいては液浸法で露光を行う露光装置の効率的なメンテナンスを行うことができる。
また、本発明による第2の露光装置は、光学部材(2)と基板(P)との間を第1液体で満たして液浸空間を形成し、その光学部材とその第1液体とを介して露光光でその基板を露光する露光装置において、その第1液体で液浸空間を形成する液浸空間形成部材(30)と、その光学部材に対して相対移動可能な可動体(MST)と、その液浸空間形成部材を介してその可動体上に供給されるその第1液体を蓄積する蓄積機構(63F,91,92)と、その可動体に少なくとも一部が設けられ、その第1液体に接する接液部の洗浄を行うために、その蓄積機構で蓄積されたその第1液体をその接液部の少なくとも一部を含む領域に向けて噴出する液体噴出装置(63E,91,92)とを備えたものである。
また、本発明による第4の露光装置は、光学部材(2)と第1液体とを介して露光光で基板(P)を露光する露光装置であって、その光学部材とその基板との間にその第1液体を保持するノズル部材(30)と、その第1液体と接する接液部を第2液体で洗浄する洗浄部材と、少なくともその洗浄時にそのノズル部材に対向して配置される可動体(MST)と、その洗浄部材を制御してその第2液体による洗浄条件を可変とし、かつその接液部に関する情報に応じてその洗浄条件が設定する制御装置(61)と、を備えるものである。
これらの本発明の第1、第2、第3、又は第4の露光装置によってそれぞれ本発明の第1、第2、第3、又は第4のメンテナンス方法を使用できる。
また、本発明によるデバイス製造方法は、本発明の露光方法又は露光装置を用いて基板を露光することと、その露光された基板を現像することを含むものである。
なお、以上の本発明の所定要素に付した括弧付き符号は、本発明の一実施形態を示す図面中の部材に対応しているが、各符号は本発明を分かり易くするために本発明の要素を例示したに過ぎず、本発明をその実施形態の構成に限定するものではない。
図1は第1実施形態の露光装置EXを示す概略構成図であり、図1において、露光装置EXは、転写用のパターンが形成されたマスクMを支持するマスクステージRSTと、露光対象の基板Pを支持する基板ステージPSTと、マスクステージRSTに支持されているマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像を基板ステージPSTに支持されている基板P上の投影領域AR1に投影する投影光学系PLと、アライメント用の基準マーク等が形成されている計測ステージMSTと、露光装置EX全体の動作を統括制御する制御装置CONTと、液浸法の適用のための液浸システム(液浸機構)とを備えている。本実施形態の液浸システムは、に基板P上及び計測ステージMST上に液体1を供給する液体供給機構10と、基板P上及び計測ステージMST上に供給された液体1を回収する液体回収機構20とを備えている。
また、基板ステージPSTは、基板Pを例えば真空吸着で保持する基板ホルダPHと、基板ホルダPH(基板P)のZ方向の位置(フォーカス位置)及びθX,θY方向の傾斜角を制御するZステージ部と、このZステージ部を支持して移動するXYステージ部とを備える。このXYステージ部は、ベース54上のXY平面に平行なガイド面(投影光学系PLの像面と実質的に平行な面)上にX方向、Y方向に移動できるように例えばエアベリング(気体軸受け)を介して載置されている。基板ステージPST(Zステージ部及びXYステージ部)は例えばリニアモータ等の基板ステージ駆動装置PSTDにより駆動される。基板ステージ駆動装置PSTDは制御装置CONTにより制御される。なお、本実施形態では、Zステージ部はテーブル、及びこのテーブルを少なくともZ、θX及びθY方向に駆動するアクチュエータ(例えば、ボイスコイルモータなど)を含み、基板ホルダとテーブルとを一体に形成し、まとめて基板ホルダPHと呼んでいる。また、基板ステージPSTはテーブルがXYステージ部に対して6自由度の方向に微動可能な粗微動ステージでも良い。
次に、図1の液体供給機構10は、所定の液体1を基板P上に供給するものであって、液体1を送出可能な液体供給部11と、液体供給部11にその一端部を接続する供給管12とを備えている。液体供給部11は、液体1を収容するタンク、フィルタ部、及び加圧ポンプ等を備えている。なお、液体供給機構10が、タンク、フィルタ部、加圧ポンプなどのすべてを備えている必要はなく、それらの少なくとも一部を、例えば露光装置EXが設置される工場などの設備で代用してもよい。
図1において、計測ステージMSTは、Y方向に細長い長方形状でX方向(走査方向)に駆動されるXステージ部181と、この上に例えばエアベアリングを介して載置されたレベリングテーブル188と、このレベリングテーブル188上に配置された計測ユニットとしての計測テーブルMTBとを備えている。一例として、計測テーブルMTBはレベリングテーブル188上にエアベアリングを介して載置されているが、計測テーブルMTBをレベリングテーブル188と一体化することも可能である。Xステージ部181は、ベース54上に例えばエアベアリングを介してX方向に移動自在に載置されている。
図4は、計測ステージMSTに装着された洗浄液の噴出機構を示し、この計測テーブルMTBを断面にした図4において、計測テーブル本体159の上面の2箇所に凹部60A及び60Bが形成され、第1の凹部60Aの上部のプレート101には開口101aが形成され、第2の凹部60Bの上部のプレート101の領域101bには、遮光膜及び撥液コートは形成されていない。従って、領域101bでは照明光がプレート101を通過することができる。
図1において、基板P上には複数のショット領域が設定されており、本例の制御装置CONTは、投影光学系PLの光軸AX(投影領域AR1)に対して基板Pが所定経路に沿って進むように、レーザ干渉計56Bの出力をモニタしつつ基板ステージPSTを移動し、複数のショット領域を順次ステップ・アンド・スキャン方式で露光する。すなわち、露光装置EXによる走査露光時には、投影光学系PLによる矩形状の投影領域AR1にマスクMの一部のパターン像が投影され、マスクMが照明領域に対してX方向に速度Vで移動するのに同期して、基板ステージPSTを介して基板Pが投影領域AR1に対してX方向に速度β・V(βは投影倍率)で移動する。そして、基板P上の1つのショット領域への露光終了後に、基板Pのステップ移動によって次のショット領域が走査開始位置に移動し、以下、図5に示すように、ステップ・アンド・スキャン方式で基板Pを移動しながら各ショット領域に対する走査露光処理が順次行われる。
基板P上に供給された液体1は、基板Pの動きに合わせて投影光学系PLの下を流れる。例えば、あるショット領域の露光中に基板Pが+X方向に移動しているときには、液体1は基板Pと同じ方向である+X方向に、ほぼ基板Pと同じ速度で、投影光学系PLの下を流れる。この状態で、照明光学系ILより射出されマスクMを通過した露光光ELが投影光学系PLの像面側に照射され、これによりマスクMのパターンが投影光学系PL及び液浸領域AR2の液体1を介して基板Pに露光される。制御装置CONTは、露光光ELが投影光学系PLの像面側に照射されているときに、すなわち基板Pの露光動作中に、液体供給機構10による基板P上への液体1の供給を行う。露光動作中に液体供給機構10による液体1の供給を継続することで液浸領域AR2は良好に形成される。一方、制御装置CONTは、露光光ELが投影光学系PLの像面側に照射されているときに、すなわち基板Pの露光動作中に、液体回収機構20による基板P上の液体1の回収を行う。露光動作中に(露光光ELが投影光学系PLの像面側に照射されているときに)、液体回収機構20による液体1の回収を継続的に実行することで、液浸領域AR2の拡大を抑えることができる。
なお、液浸領域AR2を、基板ステージPSTと計測ステージMSTとの間で移動する動作、及び基板Pの交換中における計測ステージMSTの計測動作の詳細は、国際公開第2005/074014号パンフレット(対応する欧州特許出願公開第1713113号明細書)、国際公開第2006/013806号パンフレットなどに開示されている。また、基板ステージと計測ステージを備えた露光装置は、例えば特開平11−135400号公報(対応する国際公開第1999/23692号パンフレット)、特開2000−164504号公報(対応する米国特許第6,897,963号)に開示されている。指定国及び選択国の国内法令が許す限りにおいて、米国特許第6,897,963号の開示を援用して本文の記載の一部とする。
上記の如き露光工程において、図1の基板Pと液浸領域AR2の液体1とが接触すると、基板Pの一部の成分が液体1中に溶出することがある。例えば、基板P上の感光性材料として化学増幅型レジストが使われている場合、その化学増幅型レジストは、ベース樹脂、ベース樹脂中に含まれる光酸発生剤(PAG:Photo Acid Generator)、及びクエンチャーと呼ばれるアミン系物質を含んで構成されている。そのようなレジストが液体1に接触すると、レジストの一部の成分、具体的にはPAG及びアミン系物質等が液体1中に溶出することがある。また、基板Pの基材自体(例えばシリコン基板)と液体1とが接触した場合にも、その基材を構成する物質によっては、その基材の一部の成分(シリコン等)が液体1中に溶出する可能性がある。
(A1)図7(C)に示すように、洗浄液1Bがノズル部材30の回収口24及び供給口13,14に供給されるため、液浸法で露光を行う際にノズル部材30内に蓄積される、あるいはその表面に堆積される異物の少なくとも一部を洗浄液1Bとともに除去できる。この際に、予め又は部分的に並行して液浸領域AR2を形成しているため、ノズル部材30に付着している異物を容易に剥離して除去することができる。また、洗浄液の飛散などによる露光装置の汚染を防止することもできる。このため、効率的に液体供給機構10及び液体回収機構20のメンテナンス(ひいては露光装置のメンテナンス)又はノズル部材30の洗浄を行うことができる。その結果、その後の露光工程において、基板P上の液浸領域AR2の液体中の異物の量が減少するため、転写されるパターンの形状誤差等が低減され、高精度に露光を行うことができる。
(A4)また、本例のノズル部材30は、投影光学系PLの像面に最も近い光学素子2を囲むように配置されるとともに、ノズル部材30の回収口24にメッシュフィルタ25が設けられており、上記の洗浄工程では、メッシュフィルタ25等に洗浄液1Bが噴射される。この際に、光学素子2の下面にも洗浄液1Bを噴射してもよい。これによって、光学素子2に付着した異物も除去できる。
なお、洗浄液1Bとして液体1そのものを用いることも可能であり、この場合には、図1の洗浄液供給部26及び図4の噴出装置62の蓄積部62aを図1の液体供給部11で兼用することが可能となり、液体及び洗浄液の供給機構の構成を簡素化できる。
次に、本発明の実施形態の他の例につき図8を参照して説明する。本例の露光装置も基本的に図1の露光装置EXと同じ構成であるが、本例の露光装置ではノズル部材30を洗浄するために図1の計測ステージMST側に設けられた洗浄機構が異なっている。以下、図8において図4及び図7(A)に対応する部分には同一符号を付してその詳細説明を省略する。
先ず、図8(A)に示すように、露光光ELの照射を停止した状態で計測ステージMSTを駆動して、投影光学系PLの底面に計測テーブルMTBの回収流路87Aの開口を移動する(移動工程)。この状態では、シリンダー部91のピストン部92は限界まで押されており、シリンダー部91には液体1は蓄積されていないものとする。続いて、液浸法による露光時と同様に(ただし、露光光ELは照射されない)、図1の液体供給機構10からノズル部材30の供給口13,14を通して投影光学系PLの光学素子2及びこれを囲むノズル部材30の底面と計測テーブルMTBの上面との間に液体1を供給して液浸領域AR2を形成する(液浸工程)。そして、シリンダー部91のピストン部92を次第に限界まで引いて、液浸領域AR2内の液体1を回収流路87A及び回収管63Fを介してシリンダー部91内に蓄積する(蓄積工程)。この際に、図1の液体供給機構10からは、シリンダー部91の容量以上の液体1を供給する。
(A7)ノズル部材30を洗浄するための洗浄液として、図1の液体供給機構10からノズル部材30を介して液浸領域AR2に供給される液体1を用いている。従って、洗浄液の供給機構を簡素化できる。また、予め接液部に液体1を供給するのと同等であるため、ノズル部材30内に付着している異物を効率的に除去できる。このため、効率的に液体供給機構10及び液体回収機構20のメンテナンス(ひいては露光装置のメンテナンス)又はノズル部材30の洗浄を行うことができる。
(A8)本例では、図8(A)に示すように、ジェットノズル部90から液体1を噴射しているため、高い洗浄効果が得られる。なお、ジェットノズル部90の代わりに、例えば単に液体1を噴出する部材を用いることも可能である。
なお、シリンダー部91及びピストン部92を液体1の蓄積機構及び噴出装置で個別に備えてもよい。この場合には、例えばその2つのシリンダー部を逆止弁を介して連結しておくことによって、上記の液体1の蓄積工程と液体1を用いる洗浄工程とを少なくとも部分的に並行して行うことが可能となる。
また、ノズル部材30内のメッシュフィルタ25(又は他の多孔部材の場合も同様)を交換可能とした場合、異物が付着したメッシュフィルタ25を未使用(又は洗浄済み)の別のメッシュフィルタと交換する際には、例えば図1の制御装置CONTが液体回収機構20を駆動して、図3のノズル部材30内の供給流路82A,82B及び回収流路84を含む液体1の流路から液体1を全て排出しておくことが望ましい。これによって、メッシュフィルタ25の交換時に、メッシュフィルタ25から液体1中に溶出した異物がノズル部材30内に残留することを防止できる。
なお、本発明は、各種計測器類を基板ステージPSTに搭載した露光装置(計測ステージMSTを備えていない露光装置)にも適用することができる。また、各種計測器類はその一部のみが計測ステージMSTまたは基板ステージPSTに搭載され、残りは外部あるいは別の部材に設けるようにしてもよい。これらの場合、例えば図4のジェットノズル部90を含む洗浄機構を基板ステージPST側に設けてもよい。
なお、上記実施形態では露光光ELの照射領域(前述の照明領域、投影領域AR1を含む)が矩形状であるものとしたが、これに限らず、例えば円弧状などでもよい。また、照射領域(AR1など)は投影光学系PLの視野内で光軸AXを含んで設定されるものとしたが、これに限らず、例えば光軸AXを含まず偏心して設定されてもよい。
なお、上述の実施形態においては、転写用のパターンが形成されたマスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6,778,257号明細書に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターンまたは反射パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。この電子マスクは、可変成形マスク(アクティブマスクあるいはイメージジェネレータ)とも呼ばれ、例えば非発光型画像表示素子(空間光変調器)の一種であるDMD(Digital Micro-mirror Device)などを含むものである。
また、本発明は、例えば特開平10−163099号公報、特開平10−214783号公報(対応する米国特許第6,341,007、6,400,441、6,549,269及び6,590,634号明細書)、特表2000−505958号公報(対応する米国特許第5,969,441号明細書)あるいは米国特許第6,208,407号明細書などに開示されているような複数の基板ステージを備えたマルチステージ型の露光装置にも適用できる。マルチステージ型の露光装置に関して、指定国及び選択国の国内法令が許す限りにおいて、上記米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
さらに、例えば特表2004−519850号公報(対応する米国特許第6,611,316号明細書)に開示されているように、2つのマスクのパターンを、投影光学系を介して基板上で合成し、1回の走査露光によって基板上の1つのショット領域をほぼ同時に二重露光する露光装置にも本発明を適用することができる。
また、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得ることは勿論である。また、明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約を含む2006年6月30日付け提出の日本国特願2006−182561の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。
Claims (92)
- 光学部材と基板との間を第1液体で満たして液浸空間を形成し、前記光学部材と前記第1液体とを介して露光光で前記基板を露光する露光装置のメンテナンス方法において、
前記第1液体で前記液浸空間を形成する液浸空間形成部材と対向して可動体を配置する移動工程と、
前記液浸空間形成部材を用いて前記可動体上に前記第1液体による前記液浸空間を形成する液浸工程と、
前記第1液体に接する接液部の洗浄を行うために、前記可動体側から前記接液部の少なくとも一部を含む領域に向けて第2液体を噴出する洗浄工程とを有するメンテナンス方法。 - 前記液浸工程と前記洗浄工程とを少なくとも部分的に並行に実行する請求項1に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄工程では、前記第2液体をジェットノズルから噴射する請求項1又は2に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄工程では、前記第2液体に気体を混合させて噴出する請求項1から3のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2液体を回収する回収工程を有する請求項1から4のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第1液体と前記第2液体とは異なる請求項1から5のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2液体は前記第1液体を含む請求項1から6のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2液体は前記第1液体に気体あるいは溶剤を混入してなる請求項7に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2液体は前記第1液体と同一である請求項1から5のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第1液体は、前記液浸空間形成部材を介して前記可動体側に供給される請求項7から9のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 光学部材と基板との間を第1液体で満たして液浸空間を形成し、前記光学部材と前記第1液体とを介して露光光で前記基板を露光する露光装置のメンテナンス方法において、
前記第1液体で前記液浸空間を形成する液浸空間形成部材と対向して可動体を配置する移動工程と、
前記液浸空間形成部材を用いて前記可動体上に前記第1液体を供給し、この供給された前記第1液体を蓄積する蓄積工程と、
前記第1液体に接する接液部の洗浄を行うために、前記蓄積工程で蓄積された前記第1液体を前記接液部の少なくとも一部を含む領域に向けて噴出する洗浄工程とを有するメンテナンス方法。 - 前記洗浄工程では、前記蓄積工程で蓄積された前記第1液体をジェットノズルから噴射する請求項11に記載のメンテナンス方法。
- 前記蓄積工程と前記洗浄工程とを少なくとも部分的に並行に実行する請求項11又は12に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄工程では、前記液浸空間形成部材の前記第1液体の通過口が少なくとも洗浄される請求項1から13のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記液浸空間形成部材は、前記第1液体の供給口及び回収口の少なくとも一方を有し、前記通過口は、前記供給口及び前記回収口の少なくとも一方を含む請求項14に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄工程では、前記液浸空間形成部材の多孔部材が少なくとも洗浄される請求項1から15のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記多孔部材は、前記液浸空間形成部材の前記第1液体の回収口あるいは回収流路に設けられる請求項16に記載のメンテナンス方法。
- 前記液浸空間形成部材は、前記光学部材を囲むように配置される請求項1から17のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記露光装置は、前記光学部材が最も像面の近くに配置される投影光学系を有する請求項18に記載のメンテナンス方法。
- 光学部材と第1液体とを介して露光光で基板を露光する露光装置のメンテナンス方法であって、
前記第1液体と接する接液部を有しかつ前記光学部材と前記基板との間に前記第1液体を保持するノズル部材と対向して可動体を配置し、前記ノズル部材を介して前記可動体に供給される第2液体を用いて前記接液部を洗浄するメンテナンス方法。 - 前記第2液体を前記可動体から噴出して前記接液部を洗浄する請求項20に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄時、前記光学部材と前記可動体との間に液浸領域を形成する請求項20又は21に記載のメンテナンス方法。
- 前記液浸領域は前記第2液体で形成される請求項22に記載のメンテナンス方法。
- 前記可動体に供給される第2液体を蓄積し、該蓄積された第2液体を前記接液部に向ける請求項20から23のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 光学部材と第1液体とを介して露光光で基板を露光する露光装置のメンテナンス方法であって、
前記光学部材と前記基板との間に前記第1液体を保持するノズル部材と対向して可動体を配置し、前記第1液体と接する接液部に関する情報に応じて、前記接液部の第2液体による洗浄条件を設定するメンテナンス方法。 - 前記情報は、前記接液部の洗浄対象領域の位置と状態との少なくとも一方に関する情報を含む請求項25に記載のメンテナンス方法。
- 前記情報は、前記洗浄対象領域の汚染に関する情報を含む請求項26に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄条件は、前記情報に応じて可変である請求項25から27のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄条件は、前記第2液体の特性を含む請求項25から28のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2液体は、前記接液部に向けて噴出され、前記洗浄条件は、前記第2液体の噴出条件を含む請求項25から29のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2液体は前記第1液体を含む請求項20から30のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2液体は前記第1液体に気体あるいは溶剤を混入してなる請求項31に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2液体は前記第1液体と同一である請求項20から31のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2液体は前記第1液体と異なる請求項20から31のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記ノズル部材の接液部のうち少なくとも前記第1液体の通過口を洗浄する請求項20から34のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記ノズル部材は、前記第1液体の供給口及び回収口の少なくとも一方を有し、前記供給口及び前記回収口の少なくとも一方を洗浄する請求項20から35のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記ノズル部材の接液部のうち少なくとも多孔部材を洗浄する請求項20から36のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記多孔部材は、前記ノズル部材の前記第1液体の回収口あるいは回収流路に設けられる請求項37に記載のメンテナンス方法。
- 前記ノズル部材と異なる前記第1液体との接液部の洗浄も行う請求項20から38のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記ノズル部材と異なる接液部は少なくとも前記光学部材を含む請求項39に記載のメンテナンス方法。
- 前記ノズル部材は、前記光学部材を囲んで配置され、前記露光装置は、前記光学部材が最も像面の近くに配置される投影光学系を有する請求項20から40のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記接液部は、前記第1流体に対して親液性の領域を含む請求項1から41のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記可動体は、前記基板を保持可能な可動体とは異なる請求項1から42のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 光学部材と第1液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
請求項1から43のいずれか一項に記載のメンテナンス方法を用いる工程を有する露光方法。 - 光学部材と第1液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記第1液体と接する接液部を有しかつ前記光学部材と前記基板との間に前記第1液体を保持するノズル部材と対向して可動体を配置し、前記ノズル部材を介して前記可動体に供給される第2液体を用いて前記接液部を洗浄することを含む露光方法。 - 光学部材と第1液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記光学部材と前記基板との間に前記第1液体を保持するノズル部材と対向して可動体を配置し、前記第1液体と接する接液部に関する情報に応じて、前記接液部の第2液体による洗浄条件を設定することを含む露光方法。 - 請求項44から46のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することを含むデバイス製造方法。 - 光学部材と基板との間を第1液体で満たして液浸空間を形成し、前記光学部材と前記第1液体とを介して露光光で前記基板を露光する露光装置において、
前記第1液体で前記液浸空間を形成する液浸空間形成部材と、
前記光学部材に対して相対移動可能な可動体と、
前記可動体に少なくとも一部が設けられかつ第2液体を噴出する液体噴出機構と、
前記液浸空間形成部材を介して前記可動体上に前記第1液体による前記液浸空間が形成されているときに、前記第1液体に接する接液部の洗浄を行うために、前記液体噴出機構から前記接液部の少なくとも一部を含む領域に向けて第2液体を噴出させる制御装置とを備える露光装置。 - 前記液体噴出機構は、前記第2液体を噴射するジェットノズルを含む請求項48に記載の露光装置。
- 前記液体噴出機構は、前記第2液体に気体を混合させる混合器を含む請求項48又は49に記載の露光装置。
- 前記第2液体を回収する液体回収機構を備える請求項48から50のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1液体と前記第2液体とは異なる請求項48から51のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2液体は前記第1液体を含む請求項48から52のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2液体は前記第1液体に気体あるいは溶剤を混入してなる請求項53に記載の露光装置。
- 前記第2液体は前記第1液体と同一である請求項48から51のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1液体は、前記液浸空間形成部材を介して前記可動体側に供給される請求項53から55のいずれか一項に記載の露光装置。
- 光学部材と基板との間を第1液体で満たして液浸空間を形成し、前記光学部材と前記第1液体とを介して露光光で前記基板を露光する露光装置において、
前記第1液体で前記液浸空間を形成する液浸空間形成部材と、
前記光学部材に対して相対移動可能な可動体と、
前記液浸空間形成部材を介して前記可動体上に供給される前記第1液体を蓄積する蓄積機構と、
前記可動体に少なくとも一部が設けられ、前記第1液体に接する接液部の洗浄を行うために、前記蓄積機構で蓄積された前記第1液体を前記接液部の少なくとも一部を含む領域に向けて噴出する液体噴出装置とを備える露光装置。 - 前記液体噴出装置は、前記蓄積機構で蓄積された前記第1液体を噴射するジェットノズルを含み、
前記蓄積機構は、前記第1液体が前記液浸空間形成部材側に逆流するのを防止するための逆止弁を含む請求項57に記載の露光装置。 - 前記接液部は、前記液浸空間形成部材の前記第1液体の通過口を少なくとも含む請求項48から58のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記液浸空間形成部材は、前記第1液体の供給口及び回収口の少なくとも一方を有し、前記通過口は、前記供給口及び前記回収口の少なくとも一方を含む請求項59に記載の露光装置。
- 前記接液部は、前記液浸空間形成部材の多孔部材を少なくとも含む請求項48から60のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記多孔部材は、前記液浸空間形成部材の前記第1液体の回収口あるいは回収流路に設けられる請求項61に記載の露光装置。
- 前記液浸空間形成部材は、前記第1液体の通過口に多孔部材が固定的に、又は交換可能に設けられる請求項48から62のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記多孔部材は交換可能であり、前記多孔部材の交換時に前記第1液体をその流路内から全て排出する液体回収部を備える請求項63に記載の露光装置。
- 前記液浸空間形成部材は、前記光学部材を囲むように配置される請求項48から64のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記光学部材が最も像面の近くに配置される投影光学系を備える請求項65に記載の露光装置。
- 光学部材と第1液体とを介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記第1液体と接する接液部を有しかつ前記光学部材と前記基板との間に前記第1液体を保持するノズル部材と、
前記光学部材に対して相対移動可能な可動体と、
前記可動体に少なくとも一部が設けられ、前記ノズル部材を介して前記可動体に供給される第2液体を用いて前記接液部を洗浄する洗浄部材を備える露光装置。 - 前記洗浄部材は、前記第2液体を前記可動体から噴出して前記接液部を洗浄する請求項67に記載の露光装置。
- 前記洗浄時、前記ノズル部材によって前記光学部材と前記可動体との間に液浸領域を形成する請求項67又は68に記載の露光装置。
- 前記液浸領域は前記第2液体で形成される請求項69に記載の露光装置。
- 前記可動体に供給される第2液体を蓄積する蓄積部を備え、前記洗浄部材は、前記蓄積された第2液体を前記接液部に向ける請求項67から70のいずれか一項に記載の露光装置。
- 光学部材と第1液体とを介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記光学部材と前記基板との間に前記第1液体を保持するノズル部材と、
前記第1液体と接する接液部を第2液体で洗浄する洗浄部材と、
少なくとも前記洗浄時に前記ノズル部材に対向して配置される可動体と、
前記洗浄部材を制御して前記第2液体による洗浄条件を可変とし、かつ前記接液部に関する情報に応じて前記洗浄条件が設定する制御装置と、を備える露光装置。 - 前記情報は、前記接液部の洗浄対象領域の位置と状態との少なくとも一方に関する情報を含む請求項72に記載の露光装置。
- 前記情報は、前記洗浄対象領域の汚染に関する情報を含む請求項73に記載の露光装置。
- 前記洗浄条件は、前記第2液体の特性を含む請求項72から74のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記洗浄部材は、前記第2液体を前記接液部に向けて噴出し、前記洗浄条件は、前記第2液体の噴出条件を含む請求項72から75のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2液体は前記第1液体を含む請求項67から76のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2液体は前記第1液体に気体あるいは溶剤を混入してなる請求項77に記載の露光装置。
- 前記第2液体は前記第1液体と同一である請求項67から77のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2液体は前記第1液体と異なる請求項67から77のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記ノズル部材の接液部のうち少なくとも前記第1液体の通過口を洗浄する請求項67から80のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記ノズル部材は、前記第1液体の供給口及び回収口の少なくとも一方を有し、前記供給口及び前記回収口の少なくとも一方を洗浄する請求項67から81のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記ノズル部材の接液部のうち少なくとも多孔部材を洗浄する請求項67から82のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記多孔部材は、前記ノズル部材の前記第1液体の回収口あるいは回収流路に設けられる請求項83に記載の露光装置。
- 前記ノズル部材は、前記第1液体の通過口に固定される、あるいは交換可能に設けられる多孔部材を有する請求項67から83のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記洗浄部材は、前記ノズル部材と異なる前記第1液体との接液部の洗浄も行う請求項67から85のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記ノズル部材と異なる接液部は少なくとも前記光学部材を含む請求項86に記載の露光装置。
- 前記光学部材が最も像面の近くに配置される投影光学系を備え、前記ノズル部材は、前記光学部材を囲んで配置される請求項67から87のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記接液部は、前記第1流体に対して親液性の領域を含む請求項48から88のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記可動体は、前記基板を保持可能な可動体とは異なる請求項48から89のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記可動体は、前記基板を保持可能な基板ステージ又は該基板ステージとは独立に移動するステージである請求項48から89のいずれか一項に記載の露光装置。
- 請求項48から91のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することを含むデバイス製造方法。
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