JP5217239B2 - 露光方法及び装置、メンテナンス方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第2の目的は、液浸法で露光を行うために、液体が接触する部材(例えば、基板ステージ等)に付着した異物を効率的に除去できる露光技術、メンテナンス技術、及びデバイス製造技術を提供することである。
本発明の別の態様に従えば、第1の態様の露光方法又は第2の態様の露光装置(EX,EX’)を用いて基板を露光すること(204)と、露光した基板を現像すること(204)と、現像した基板を加工すること(205)とを含むデバイス製造方法が提供される。
また、本明細書には、以下の発明の態様も記載されている。
本明細書に記載された発明によれば、例えばその液浸領域に対してその基板ステージを移動することで、その基板ステージ及び/又は液浸部材に付着している異物を除去することができる。従って、その後、基板を液浸法で露光する際に、液体中に混入する異物の量が減少し、高精度に露光を行うことができる。
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。
図1は本発明の第1実施形態に従う露光装置EXを示す概略構成図であり、図1において、露光装置EXは、転写用のパターンが形成されたマスクMを支持するマスクステージRSTと、露光対象の基板Pを支持する基板ステージPSTと、マスクステージRSTに支持されているマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像を基板ステージPSTに支持されている基板P上の投影領域AR1に投影する投影光学系PLと、アライメント用の基準マーク等が形成されている計測ステージMSTと、露光装置EX全体の動作を統括制御する制御装置CONTと、液浸法の適用のための液浸機構とを備えている。本例の液浸機構は、基板P上及び計測ステージMST上に液体1を供給する液体供給機構10と、基板P上及び計測ステージMST上に供給された液体1を回収する液体回収機構20とを含む。
また、基板ステージPSTの上部には、基板Pを例えば真空吸着で保持する基板ホルダPHが固定されている。そして、基板ステージPSTは、基板ホルダPH(基板P)のZ方向の位置(フォーカス位置)及びθX,θY方向の傾斜角を制御するZステージ部と、このZステージ部を支持して移動するXYステージ部とを備えている。そして、このXYステージ部がベース54上のXY平面に平行なガイド面(投影光学系PLの像面と実質的に平行な面)上に、例えばエアベリング(気体軸受け)を介して載置されている。基板ステージPST(Zステージ部及びXYステージ部)はリニアモータ等の基板ステージ駆動装置PSTDにより駆動される。基板ステージ駆動装置PSTDは制御装置CONTにより制御される。本例では、Z、θX及びθY方向に可動なテーブルに基板ホルダを形成しており、まとめて基板ホルダPHと呼んでいる。なお、テーブルと基板ホルダとを別々に構成し、例えば真空吸着などによって基板ホルダをテーブルに固定してもよい。また、Zステージ部は基板ホルダPH(テーブル)をZ、θX及びθY方向に駆動するアクチュエータのみを含むものとしてもよい。
次に、図1の液体供給機構10は、所定の液体1を基板P上に供給するものであって、液体1を送出可能な第1液体供給部11及び第2液体供給部12と、第1、第2液体供給部11,12のそれぞれにその一端部を接続する第1、第2供給管11A,12Aとを備えている。第1、第2液体供給部11,12のそれぞれは、液体1を収容するタンク、フィルタ部、及び加圧ポンプ等を備えている。なお、液体供給機構10が、タンク、フィルタ部、加圧ポンプなどのすべてを備えている必要はなく、それらの少なくとも一部を、例えば露光装置EXが設置される工場などの設備で代用してもよい。
また、本例では液体の供給口13,14と回収口23A〜23Dとは同じ流路形成部材30に設けられているが、供給口13,14と回収口23A〜23Dとは別の部材に設けてもよい。さらに、例えば国際公開第2005/122218号パンフレットに開示されているように、流路形成部材30の外側に液体回収用の第2の回収口(ノズル)を設けてもよい。また、供給口13,14は基板Pと対向するように配置されていなくてもよい。さらに、流路形成部材30はその下面が投影光学系PLの下端面(射出面)とほぼ同じ高さ(Z位置)に設定されているが、例えば流路形成部材30の下面を投影光学系PLの下端面よりも像面側(基板側)に設定してもよい。この場合、流路形成部材30の一部(下端部)を、露光光ELを遮らないように投影光学系PL(光学素子2)の下側まで潜り込ませて設けてもよい。
図1において、本例の基板ホルダPHには、基板Pの裏面側に流入した液体を外部に排出する吸引機構が設けられている。また、本例の露光装置EXにおいては、基板ホルダPH上のレジストが塗布された露光対象の基板Pを、必要に応じて不図示のウエハローダ系によって、基板Pと実質的に同じ形状の基板であるダミー基板CPと交換できるように構成されている。後述のように本例の露光装置は、基板Pの露光を行わない期間中に、基板ステージPSTの上部、本例では基板ホルダPH(プレート部97)の上面等を洗浄する工程を実行するが、その際に、基板ホルダPHの内面の真空吸着用の穴等に液体が流入するのを防止するために、基板ホルダPH上に基板Pの代わりにダミー基板CPを載置する。このため、ダミー基板CPは、基板ホルダPHの内面を覆うための蓋基板又は蓋ウエハ、あるいはカバー部材とも呼ぶことができる。
図5に示すように、基板ホルダPHは、基材PHBと、この基材PHBに形成されて、ダミー基板CP(又は露光対象の基板P、以下同様。)を吸着保持する保持部PH1とを備えている。保持部PH1は、基材PHB上に形成されて、ダミー基板CPの裏面CPbを支持する、上面46Aが平坦な小さい円錐状の多数の支持部46と、基材PHB上に形成され、ダミー基板CPの裏面CPbに対向し、多数の支持部46を囲むように設けられた円周状の周壁部(リム部)42とを備えている。保持部PH1は、基板ホルダPHに形成されてダミー基板CPが収納される凹部97a内に配置されている。
なお、上述の図5、図6の説明においては、基板ホルダPHにダミー基板CPが保持されているが、露光対象である基板Pも同様にして、基板ホルダPHに保持することができる。この場合も、基板Pの表面とプレート部97の表面とがほぼ同一平面となるように、プレート部97の高さ(Z方向に位置)が設定されている。
図1に戻り、計測ステージMSTは、Y方向に細長い長方形の板状でX方向(走査方向)に駆動されるXステージ部181と、この上に例えばエアベアリングを介して載置されたレベリングテーブル188と、このレベリングテーブル188上に配置された計測ユニットとしての計測テーブルMTBとを備えている。一例として、計測テーブルMTBはレベリングテーブル188上にエアベアリングを介して載置されているが、計測テーブルMTBをレベリングテーブル188と一体化することも可能である。Xステージ部181は、ベース54上にエアベアリングを介してX方向に移動自在に載置されている。
次に本発明に従う露光方法及びメンテナンス方法を図15のフローチャートを参照して説明する。図1において、基板P上には複数のショット領域が設定されている。本例の制御装置CONTは、投影光学系PLの光軸AX(投影領域AR1)に対して基板Pが所定経路に沿って進むように、レーザ干渉計56Bの出力をモニタしつつ基板ステージPSTを移動し、複数のショット領域を順次ステップ・アンド・スキャン方式で露光する(図15に示したステップS1)。すなわち、露光装置EXによる走査露光時には、投影光学系PLによる矩形状の投影領域AR1にマスクMの一部のパターン像が投影され、投影光学系PLに対して、マスクMがX方向に速度Vで移動するのに同期して、基板ステージPSTを介して基板PがX方向に速度β・V(βは投影倍率)で移動する。そして、基板P上の1つのショット領域への露光終了後に、基板Pのステップ移動によって次のショット領域が走査開始位置に移動し、以下、ステップ・アンド・スキャン方式で基板Pを移動しながら各ショット領域に対する走査露光処理が順次行われる。
基板P上に供給された液体1は、基板Pの動きに合わせて投影光学系PLの下を流れる。例えば、あるショット領域の露光中に基板Pが+X方向に移動しているときには、液体1は基板Pと同じ方向である+X方向に、ほぼ基板Pと同じ速度で、投影光学系PLの下を流れる。この状態で、照明光学系ILより射出されマスクMを通過した露光光ELが投影光学系PLの像面側に照射され、これによりマスクMのパターンが投影光学系PL及び液浸領域AR2の液体1を介して基板Pに露光される。制御装置CONTは、露光光ELが投影光学系PLの像面側に照射されているときに、すなわち基板Pの露光動作中に、液体供給機構10による基板P上への液体1の供給を行う。露光動作中に液体供給機構10による液体1の供給を継続することで液浸領域AR2は良好に形成される。一方、制御装置CONTは、露光光ELが投影光学系PLの像面側に照射されているときに、すなわち基板Pの露光動作中に、液体回収機構20による基板P上の液体1の回収を行う。露光動作中に(露光光ELが投影光学系PLの像面側に照射されているときに)、液体回収機構20による液体1の回収を継続的に実行することで、液浸領域AR2の拡大などを抑えることができる。
また、例えば基板Pの交換中、制御装置CONTは、計測ステージMSTを投影光学系PLの光学素子2と対向する位置に移動し、計測ステージMST上に液浸領域AR2を形成する。この場合、基板ステージPSTと計測ステージMSTとを近接させた状態で移動して、一方のステージとの交換で他方のステージを光学素子2と対向して配置することで、基板ステージPSTと計測ステージMSTとの間で液浸領域AR2を移動する。
なお、液浸領域AR2を、基板ステージPSTと計測ステージMSTとの間で移動する動作、及び基板Pの交換中における計測ステージMSTの計測動作の詳細は、国際公開第2005/074014号パンフレット(対応する欧州特許出願公開第1713113号明細書)、国際公開第2006/013806号パンフレットなどに開示されている。また、基板ステージと計測ステージを備えた露光装置は、例えば特開平11−135400号公報(対応する国際公開第1999/23692号パンフレット)、特開2000−164504号公報(対応する米国特許第6,897,963号)に開示されている。指定国及び選択国の国内法令が許す限りにおいて、米国特許第6,897,963号の開示を援用して本文の記載の一部とする。
上記の如き露光工程において、図1の基板Pと液浸領域AR2の液体1とが接触すると、基板Pの一部の成分が液体1中に溶出することがある。例えば、基板Pの感光性材料として化学増幅型レジストが使われている場合、その化学増幅型レジストは、ベース樹脂、ベース樹脂中に含まれる光酸発生剤(PAG:Photo Acid Generator)、及びクエンチャーと呼ばれるアミン系物質を含んで構成されている。そのようなレジストが液体1に接触すると、レジストの一部の成分、具体的にはPAG及びアミン系物質等が液体1中に溶出することがある。また、基板Pの基材自体(例えばリシコン基板)と液体1とが接触した場合にも、その基材を構成する物質によっては、その基材の一部の成分(シリコン等)が液体1中に溶出する可能性がある。
なお、吸引装置50を省いてもよい。例えば、ダミー基板CPの端部CPcも撥液性にした場合には、凹部97aへの液体1の流入を抑えることができるので、吸引装置50を設けなくても良い。
A1:上述のように本例の洗浄工程を行うことによって、基板ステージPST上の基板ホルダPHに付着している異物を除去して、液浸露光用の露光装置のメンテナンスを実行することができる。従って、その後、基板ホルダPH上のダミー基板CPを露光対象の基板Pに交換して液浸法で露光する際に、液浸領域AR2の液体1中に混入する異物の量が減少し、転写されるパターンの欠陥が低減する。従って、製造される半導体デバイス等の歩留まりが向上する。
A4:また、ダミー基板CPの上面部CPaは撥液性であり、かつその上面部に複数の親液性の溝部CPnが形成されている場合には、その溝部CPnにパーティクル等の微小な異物を捕捉できるため、基板ホルダPHの洗浄をより効率的に行うことができる。このため、ダミー基板CPは洗浄工程中に他の未使用のダミー基板と交換してもよい。
本発明の第2実施形態に従う露光装置EX’につき図10〜13を参照して説明する。以下の説明において、第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図10に示した第2実施形態の露光装置EX’では、液体供給機構10が露光工程において液体1を基板P上及び計測ステージMST上に供給し、洗浄工程においては洗浄液1Aを基板P上及び計測ステージMST上供給する。第2実施形態の露光装置EX’は、基板ステージPST側から液体供給機構10の液体の供給口に洗浄液1Bを吹き付けるステージ側液体供給機構118(図12参照)を備えている。
以下に、第2実施形態に従う露光装置EX’を用いた露光方法を図16のフローチャートを参照して説明する。なお、第2実施形態に従う露光装置EX’も図8及び9に示した計測ステージと同じ計測ステージを備えるが、その説明は第1実施形態の説明を参照されたい。最初に露光装置EX’を用いて、第1実施形態と同様にして基板Pの液浸露光を行う(図16のステップSS1)。
露光装置EX’は、基板Pの露光を行わない期間、例えば1つのロットの基板の露光が終わってから次のロットの基板の露光が始まるまでの間等に、以下のように、基板ステージPST(基板ホルダPH)及び計測ステージMSTの洗浄工程を実行する。洗浄工程において、まず、基板ホルダPH上に上記のダミー基板CPを吸着保持する。そして、露光光ELの照射を停止した状態で、図10の液体供給機構10’の液体供給部11,111,12,121から、図11に示すように、ダミー基板CP上に洗浄液1Aを供給してダミー基板CP上に液浸領域AR2を形成し、液浸領域AR2(流路形成部材30)に対して基板ステージPST及び計測ステージMSTを所定の経路に沿って移動して、基板ステージPST上の基板ホルダPHの上面及び計測ステージMSTの計測テーブルMTBの上面の洗浄を行う(図16のステップSS2,SS3)。この際に、一例として液体供給部11,111,12,121による洗浄液1Aの単位時間当たりの供給量とほぼ同じ量だけ液体回収機構20(液体回収部21)によって液浸領域AR2の洗浄液1Aを回収する。これによって、液浸領域AR2の大きさを所望状態に維持しつつ、基板ホルダPH及び計測テーブルMTB上に残留していた異物は洗浄液1A中に混入して、液体回収部21に回収される。この際に、洗浄効果を高めたい場合には、図11の超音波振動子112,122を駆動して洗浄液1A内に超音波を出力してもよい。
次に、図3の液体供給口13,14(供給ノズル)の洗浄を行う方法を説明する。供給口13,14(供給ノズル)の洗浄のために、液体供給機構10による液体1又は洗浄液1Aの供給動作を停止した状態で、図13に示すように、基板ホルダPHに設けられたステージ側液体供給機構118のノズル部113を、流路形成部材30の液体の供給口13の下方に基板ステージを移動することにより移動させて、2点鎖線で示すように、ノズル部113から洗浄液1Bを流路形成部材30側に吹き付けるようにする。続いて、ノズル部113を図3の供給口14の下方に基板ステージを移動することにより移動させながら、ノズル部113から上方に洗浄液1Bを吹き付け、洗浄液1Bを図10の液体回収機構20によって回収することによって、供給口13,14及び回収口23A〜23Dの近傍に付着していた異物を除去することができる(図16のステップSS2)。この際に、図13の超音波振動子117を作動させて超音波洗浄を併用することによって、洗浄効果を高めることができる。
B1:上述の洗浄液1A又は1Bを用いる洗浄工程を行うことによって、基板ステージPST上の基板ホルダPH上又は供給口13,14等の流路形成部材30の底面に付着している異物を溶剤に溶かして容易に除去することができる。従って、その後、基板ホルダPH上のダミー基板CPを露光対象の基板Pに交換して液浸法で露光する際に、液浸領域AR2の液体1中に混入する異物の量が減少し、転写されるパターンの欠陥が低減する。従って、製造される半導体デバイス等の歩留まりが向上する。
B3:ダミー基板CPの上面のエッジ部分(端部CPc)を除く部分は撥液性であり、その洗浄工程において、そのエッジ部分を伝ってダミー基板CPの裏面側に流れた洗浄液1Aを基板ホルダPH側から回収している。従って、基板ホルダPHの全面の洗浄をより効率的に行うことができる。
B4:洗浄工程において、投影光学系PLを介して、又は直接に露光光ELを基板ステージPST又は計測ステージMST側に照射する光洗浄も行うことによって、洗浄効果を高めることができる。光洗浄は第1実施形態においても用いることができる。
B6:洗浄工程において、洗浄液1A又は1Bを超音波で振動させる超音波洗浄を加えることによっても、洗浄効果を高めることができる。図11において、液浸領域AR2に露光時と同じ液体1を供給した状態で、超音波振動子112,122によって超音波洗浄を行ってもよい。同様に、図13において、洗浄液1Bとして露光時と同じ液体1を使用した状態で、超音波振動子117によって超音波洗浄を行ってもよい。これらの場合には、洗浄用の液体には溶剤は混入していないが、超音波洗浄によって、高い洗浄効果が得られる。
また、上述の各実施形態では干渉計システム(56A〜56C)を用いてマスクステージRST、基板ステージPST、及び計測ステージMSTの各位置情報を計測するものとしたが、これに限らず、例えば各ステージに設けられるスケール(回折格子)を検出するエンコーダシステムを用いてもよい。この場合、干渉計システムとエンコーダシステムの両方を備えるハイブリッドシステムとし、干渉計システムの計測結果を用いてエンコーダシステムの計測結果の較性(キャリブレーション)を行うことが好ましい。また、干渉計システムとエンコーダシステムとを切り替えて用いる、あるいはその両方を用いて、ステージの位置制御を行うようにしてもよい。
なお、本発明は、各種計測器類(計測用部材)を基板ステージPSTに搭載した露光装置(計測ステージMSTを備えていない露光装置)にも適用することができる。また、各種計測器類はその一部のみが計測ステージMSTまたは基板ステージPSTに搭載され、残りは外部あるいは別の部材に設けるようにしてもよい。
なお、上述の各実施形態においては、転写用のパターンが形成されたマスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6,778,257号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターンまたは反射パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。この電子マスクは、可変成形マスク(アクティブマスクあるいはイメージジェネレータ)とも呼ばれ、例えば非発光型画像表示素子(空間光変調器)の一種であるDMD(Digital Micro-mirror Device)などを含むものである。DMDは、所定の電子データに基づいて駆動する複数の反射素子(微小ミラー)を有し、複数の反射素子は、DMDの表面に2次元マトリックス状に配列され、かつ素子単位で駆動されて露光光を反射、偏向する。各反射素子はその反射面の角度が調整される。DMDの動作は、制御装置CONTにより制御され得る。制御装置CONTは、基板P上に形成すべきパターンに応じた電子データ(パターン情報)に基づいてDMDの反射素子を駆動し、照明系ILにより照射される露光光を反射素子でパターン化する。DMDを使用することにより、パターンが形成されたマスク(レチクル)を用いて露光する場合に比べて、パターンが変更されたときに、マスクの交換作業及びマスクステージにおけるマスクの位置合わせ操作が不要になるため、露光動作を一層効率よく行うことができる。なお、電子マスクを用いる露光装置では、マスクステージを設けず、基板ステージによって基板をX軸及びY軸方向に移動するだけでもよい。なお、DMDを用いた露光装置は、上記米国特許のほかに、例えば特開平8−313842号公報、特開2004−304135号公報に開示されている。指定国または選択国の法令が許す範囲において米国特許第6,778,257号公報の開示を援用して本文の記載の一部とする。
また、本発明は、例えば特開平10−163099号公報、特開平10−214783号公報(対応する米国特許第6,341,007、6,400,441、6,549,269及び6,590,634号明細書)、特表2000−505958号公報(対応する米国特許第5,969,441号明細書)あるいは米国特許第6,208,407号明細書などに開示されているような複数の基板ステージを備えたマルチステージ型の露光装置にも適用できる。この場合、複数の基板ステージのそれぞれに対して洗浄が実施される。マルチステージ型の露光装置に関して、指定国及び選択国の国内法令が許す限りにおいて、上記米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
また、本発明は、例えば国際公開第2001/035168号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板P上に形成することによって、基板P上にライン・アンド・スペースパターンを形成する露光装置にも適用できる。この場合も、光学部材と基板Pとの間の液体を介して基板Pに露光光が照射される。
Claims (32)
- 基板を露光する露光方法であって、
基板ステージの保持部に保持された前記基板上に液浸領域を形成し、露光光で前記液浸領域の液体を介して前記基板を露光することと、
前記基板の露光を行わない期間中に、前記基板ステージの前記保持部に保持されたダミー基板上に液浸領域を形成するとともに、前記液浸領域が前記ダミー基板上でのみ移動するように、前記液浸領域と前記基板ステージとを相対移動して、前記ダミー基板上の前記液浸領域への液体供給と前記ダミー基板上の前記液浸領域からの液体回収の少なくとも一方を行うための液浸部材を洗浄することを含むことを特徴とする露光方法。 - 前記基板の露光を行わない期間中に、所定の洗浄用の液体を用いて前記ダミー基板上に前記液浸領域を形成することを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記ダミー基板の少なくとも上面は撥液性であり、かつ前記上面に複数の親液性の溝部が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光方法。
- 前記洗浄時に、前記液浸領域と前記基板ステージとを、前記露光光の光軸に垂直な方向の速度及び加速度の少なくとも一方が、前記基板の露光時よりも大きくなるように相対的に移動することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記洗浄時に、前記液浸領域と前記基板ステージとを、前記露光光の光軸に平行な方向の速度及びストロークの少なくとも一方が、前記基板の露光時よりも大きくなるように相対的に移動することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記洗浄時、前記基板の露光を行うときの前記基板ステージの移動の軌跡以外の軌跡に沿って、前記液浸領域に対して前記基板ステージを移動することを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記洗浄時、前記液浸領域の液体を回収することを含むことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記露光光は、光学部材及び前記液体を介して前記基板に照射され、
前記基板と前記光学部材との間の前記露光光の光路空間が液体で満たされて、前記基板ステージ上に前記露光光の照射領域を含む局所的な液浸領域が形成されることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の露光方法。 - 前記基板の露光を行わない期間中に、前記液浸領域に洗浄用液体を供給することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記洗浄用液体が、前記露光時に形成される液浸領域の液体に所定の溶剤を混入してなる洗浄用の液体、又は前記液体と異なる液体であることを特徴とする請求項9に記載の露光方法。
- 前記洗浄用液体は、前記液体を供給する液体供給機構を介して前記液浸領域に供給されることを特徴とする請求項9又は10に記載の露光方法。
- 前記洗浄時、前記露光光を前記基板ステージ側に照射することを含むことを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記洗浄時、前記基板ステージを前記露光光の光軸と平行な方向に振動させることを含むことを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の露光方法。
- 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持部に保持する基板ステージと、
前記基板上に液体を供給して液浸領域を形成する液浸機構と、
前記基板ステージを制御可能な制御装置と、を備え、
前記液浸機構は、前記液浸領域への液体の供給及び回収の少なくとも一方を行うための液浸部材を含み、
前記制御装置は、前記基板の露光を行わない期間中に、前記液浸部材を洗浄するために、前記基板ステージの前記保持部に保持されたダミー基板上に形成された液浸領域が前記ダミー基板上のみで移動するように、前記液浸領域と前記基板ステージとを相対移動することを特徴とする露光装置。 - 前記基板ステージは、前記保持部の周囲に配置され、前記保持部で保持された基板の表面とほぼ平行な平坦面を有することを特徴とする請求項14に記載の露光装置。
- 前記制御装置は、
前記基板の露光を行う第1モードと、
前記洗浄時に、前記液浸領域と前記基板ステージとを、前記露光光の光軸に垂直な方向の速度及び加速度の少なくとも一方が、前記第1モード時よりも大きくなるように相対的に移動する第2モードとを有することを特徴とする請求項14又は15に記載の露光装置。 - 前記制御装置は、
前記洗浄時に、前記液浸領域と前記基板ステージとを、前記露光光の光軸に平行な方向の速度及びストロークの少なくとも一方が、前記第1モード時よりも大きくなるように相対的に移動する第3モードを有することを特徴とする請求項16に記載の露光装置。 - 前記液浸機構は、前記液体を供給する液体供給機構と、前記供給された液体を回収する液体回収機構とを含むことを特徴とする請求項14から17のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記液浸機構が、前記液体を供給する第1液体供給機構と、所定の溶剤を含む洗浄用の液体を供給する第2液体供給機構とを有し、
前記洗浄時、前記第2液体供給機構は、前記洗浄用の液体を前記ダミー基板上に供給することを特徴とする請求項14から18のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2液体供給機構は、前記第1液体供給機構から供給される液体に前記所定の溶剤を混入する混入機構を有し、
前記洗浄用の液体は、前記露光時に形成される液浸領域の液体に前記所定の溶剤が混入されたものであることを特徴とする請求項19に記載の露光装置。 - 前記制御装置は、前記洗浄動作中に、前記露光光を発光させることを特徴とする請求項14から20のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記制御装置は、前記洗浄動作中に、前記保持部を前記光軸と平行な方向に振動させることを特徴とする請求項14から21のいずれか一項に記載の露光装置。
- 基板ステージの保持部に保持された基板上に液浸領域を形成し、露光光で前記液浸領域の液体を介して前記基板を露光する露光装置のメンテナンス方法であって、
前記基板の露光を行わない期間中に、前記基板ステージの前記保持部にレジストが塗布されていない基板を保持するとともに、該基板が、前記液浸領域への液体の供給及び回収の少なくとも一方を行う液浸部材に対向するように前記基板ステージを配置することと、
前記基板の露光を行わない期間中に、前記保持部に保持された前記レジストが塗布されていない基板上に形成された液浸領域が該基板上のみで移動するように、前記液浸領域と前記基板ステージとを相対移動して、前記液浸部材を洗浄することを含むことを特徴とするメンテナンス方法。 - 前記基板ステージは、前記保持部の周囲に配置された平坦面を有し、
前記洗浄時、前記保持部に保持された前記レジストが塗布されていない基板の表面は、前記平坦面とほぼ平行であることを特徴とする請求項23に記載のメンテナンス方法。 - 前記洗浄時、前記保持部に保持された前記レジストが塗布されていない基板の表面は撥液性であることを特徴とする請求項23又は24に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄時、前記液浸領域と前記基板ステージとを、前記露光光の光軸に垂直な方向の速度及び加速度の少なくとも一方が、前記基板の露光時よりも大きくなるように相対的に移動することを特徴とする請求項23から25のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄時、前記液浸領域と前記基板ステージとを、前記露光光の光軸に平行な方向の速度及びストロークの少なくとも一方が、前記基板の露光時よりも大きくなるように相対的に移動することを特徴とする請求項23から26のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記露光装置は、前記液浸領域の液体を回収する液体回収機構を備え
前記洗浄時、前記液浸領域の液体を回収することを含むことを特徴とする請求項23から27のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。 - 前記基板の露光を行わない期間中に、前記液浸領域に洗浄用液体を供給することを特徴とする請求項23から28のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
- 前記洗浄用液体が、前記露光時に形成される液浸領域の液体に所定の溶剤を混入してなる洗浄用の液体、又は前記液体と異なる液体であることを特徴とする請求項29に記載のメンテナンス方法。
- 請求項1から13のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光した基板を現像することと、
現像した基板を加工することを含むデバイス製造方法。 - 請求項14から22のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光した基板を現像することと、
現像した基板を加工することを含むデバイス製造方法。
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